JPWO2003075343A1 - 真空中での基板保持方法、液晶表示装置の製造方法、及び基板保持装置 - Google Patents
真空中での基板保持方法、液晶表示装置の製造方法、及び基板保持装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2003075343A1 JPWO2003075343A1 JP2003573698A JP2003573698A JPWO2003075343A1 JP WO2003075343 A1 JPWO2003075343 A1 JP WO2003075343A1 JP 2003573698 A JP2003573698 A JP 2003573698A JP 2003573698 A JP2003573698 A JP 2003573698A JP WO2003075343 A1 JPWO2003075343 A1 JP WO2003075343A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- adhesive
- liquid crystal
- substrate holding
- substrates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J7/00—Adhesives in the form of films or foils
- C09J7/10—Adhesives in the form of films or foils without carriers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1341—Filling or closing of cells
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6835—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B38/00—Ancillary operations in connection with laminating processes
- B32B38/18—Handling of layers or the laminate
- B32B2038/1891—Using a robot for handling the layers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2309/00—Parameters for the laminating or treatment process; Apparatus details
- B32B2309/60—In a particular environment
- B32B2309/68—Vacuum
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2457/00—Electrical equipment
- B32B2457/20—Displays, e.g. liquid crystal displays, plasma displays
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
- B32B37/12—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by using adhesives
- B32B37/1284—Application of adhesive
- B32B37/1292—Application of adhesive selectively, e.g. in stripes, in patterns
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/02—Controlled or contamination-free environments or clean space conditions
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
- B65G2249/045—Details of suction cups suction cups
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J2301/00—Additional features of adhesives in the form of films or foils
- C09J2301/20—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the structural features of the adhesive itself
- C09J2301/204—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the structural features of the adhesive itself the adhesive coating being discontinuous
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J2409/00—Presence of diene rubber
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/133302—Rigid substrates, e.g. inorganic substrates
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/133354—Arrangements for aligning or assembling substrates
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F2202/00—Materials and properties
- G02F2202/28—Adhesive materials or arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/1015—Shape
- H01L2924/1017—Shape being a sphere
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24149—Honeycomb-like
- Y10T428/24165—Hexagonally shaped cavities
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24355—Continuous and nonuniform or irregular surface on layer or component [e.g., roofing, etc.]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/28—Web or sheet containing structurally defined element or component and having an adhesive outermost layer
- Y10T428/2852—Adhesive compositions
- Y10T428/2878—Adhesive compositions including addition polymer from unsaturated monomer
- Y10T428/2883—Adhesive compositions including addition polymer from unsaturated monomer including addition polymer of diene monomer [e.g., SBR, SIS, etc.]
Abstract
Description
本発明は、真空中で2枚の基板を貼り合わせる真空中での基板保持方法、液晶表示装置の製造方法、及び基板保持装置に関するものである。
背景技術
液晶表示パネルの製造においては、透明電極や薄膜トランジスタアレイ等を設けた2枚のガラス基板を数μm程度の極めて接近した間隔でシール材にて貼り合わせ、その間隔内に液晶を充填して封止する必要がある。
ここで、従来の液晶の充填及び封止は、例えば、以下のような方法を採っていた。
先ず、常圧下において、液晶を注入する口を設けたシール材料を基板内のセルの外周に形成し、2枚の基板を貼り合わせてプレス・硬化を行う。次に、上記の貼り合わせた基板を上記注入口がガラスエッジにくるように所定のセルサイズ等に分断を行う。さらに、所定のセルサイズに分断したものを上記注入口から従来の液晶注入方式にてセル内に液晶を封入していた。
上記における液晶の封入方式では、2枚の基板を貼り合わせる工程と液晶を封入する工程とを別々に行う必要がある。このため、最近では、それを同時に行うことができるように、前記のシールを形成した基板に液晶を滴下した後に、真空中で2枚の基板を貼り合わせることによって、基板の貼り合わせと液晶の封入とを同時に行うようになってきている。
具体的には、上記の真空装置内での液晶の封入は、真空下において、貼り合わせるいずれか片方の基板にシール材を塗布し、いずれか片方の基板に液晶を滴下して2枚の基板を貼り合わせている。
ところで、上記真空下における滴下貼り合わせにおいては、以下のような課題がある。
すなわち、上記封入工程自体が真空装置内で行われているので、上部に配置する基板の保持として真空吸着方法は使用できない。また、静電チャックを使用して基板の保持をする方法が考えられるが、基板を保持するときに高電圧を印加するので、基板上に形成したTFT(Thin Film Transistor:薄膜トランジスタ)素子の特性が変化してしまうという問題がある。
このような問題を解決するために、例えば、日本国公開特許公報「特開2001−133745公報」(公開日2001年5月18日)では、真空中の基板の保持として粘着シート等の粘着材料を使用することが提案されている。
この方法により、基板サイズが大型化、薄型化しても容易に真空中にて基板を高精度に貼り合わせることが可能となる。
しかしながら、上記従来の公報に記載された真空中での基板保持方法では、使用する粘着シートについて具体的に明記されていない。
一般的な、粘着シートとして考えられるのは、粘着剤を塗布したテープ等が考えられる。しかし、このような粘着剤を塗布したテープにて基板を保持した場合には、粘着剤が基板に付着するという問題点を有している。また、粘着力が強すぎる場合には、基板を貼り付けた後に粘着シートが基板から剥がれず、その結果、粘着シートを基板から外す際に、基板を損傷するおそれがあるという問題点を有している。
また、上下の液晶ガラス基板同士を貼り合わせた場合、これら両基板の間隔は、2〜9μm程度と非常に狭い間隔であり、この間隔の大小により液晶表示の明暗が変化するなど、液晶表示パネルの性能・品質に影響する。このため、液晶ガラス基板を貼り合わせする際には基板全体に渡って均一な高さおよび押圧力で貼り合わせることが重要である。しかしながら、粘着テープの類では厚みが一定でなく、基板全体に対してほぼ均一な押圧力を与えることができなかった。
本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、粘着剤が基板に付着するのを防止するとともに、基板を貼り付けた後には容易に粘着シートを基板から剥がすことができる真空中での基板保持方法、液晶表示装置の製造方法、及び基板保持装置を提供することにある。
本発明の他の目的は、基板全体に渡って均一な押圧力を付与し、基板同士を均一な基板間隔に貼り合わせることができる真空中での基板保持方法、液晶表示装置の製造方法、及び基板保持装置の提供することにある。
発明の開示
本発明の真空中での基板保持方法は、上記課題を解決するために、ジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パッド又は粘着シートにより基板を保持することを特徴としている。
また、本発明の液晶表示装置の製造方法は、上記課題を解決するために、貼り合わせる2枚の基板の内、いずれか一方の基板に前記2枚の基板同士を固定するためのシール材を塗布し、いずれか一方の基板に液晶を滴下して、真空中で2枚の基板を貼り合わせる工程を含む液晶表示装置の製造方法において、上記基板を貼り合わせるときに、ジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パッド又は粘着シートにより上側に配置する基板を保持して真空中で2枚の基板を貼り合わせることを特徴としている。
また、本発明の基板保持装置は、上記課題を解決するために、真空中で基板を保持する基板保持装置において、上記基板を保持するためのジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パット又は粘着シートが設けられていることを特徴としている。
上記の発明によれば、ジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パット又は粘着シートにて基板を保持することとしており、このジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パッド又は粘着シートは、両端にCH2−を有し、真空中において基板を保持する場合に、適度な粘着性及び離脱性が得られる。
すなわち、粘着剤を塗布した両面テープ等のように、粘着剤が基板に付着することがない上、付着力が強すぎて粘着パッド又は粘着シートが基板から剥がれないということがない。
したがって、粘着剤が基板に付着するのを防止するとともに、基板の貼り付けた後には容易に粘着パッド及び粘着シートを基板から剥がすことができる真空中での基板保持方法、液晶表示装置の製造方法、及び基板保持装置を提供することができる。
また、特に、液晶表示装置を製造する際に、本発明では、静電チャックを使用して基板の保持を行うというものではないので、基板を保持するときの高電圧印加に伴うTFT(Thin Film Transistor:薄膜トランジスタ)素子の特性変化を防止することができる。さらに、ジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パッド又は粘着シートにて基板を保持するので、真空内における基板保持装置が複雑とならない。
また、本発明の真空中での基板保持方法は、上記記載の真空中での基板保持方法において、前記ジエン系樹脂は、不飽和ポリブタジエンからなることを特徴としている。
また、本発明の液晶表示装置の製造方法は、上記液晶表示装置の製造方法において、前記ジエン系樹脂は、不飽和ポリブタジエンからなることを特徴としている。
また、本発明の基板保持装置は、上記記載の基板保持装置において、前記ジエン系樹脂は、不飽和ポリブタジエンからなることを特徴としている。
上記の発明によれば、ジエン系樹脂は、不飽和ポリブタジエンからなっている。
この不飽和ポリブタジエンは、ジエン系樹脂において、真空中において基板を保持する場合に、適度な粘着性及び離脱性が得られる。また、真空中においても、粘着性が落ちることがないとともに、ガスの発生等もなく安定している。さらに、ごみが付いても水洗いして乾燥させれば粘着力が復活する。
また、本発明の基板保持装置は、上記記載の基板保持装置において、前記粘着パッドのパッドを自在に貫通させる貫通口を有し、かつ基板側に平面を有するステージが設けられていることを特徴としている。
上記の発明によれば、ステージには貫通口が設けられ、この貫通口は、粘着パッドのパッドを自在に貫通させることができるものとなっている。
このため、貫通口の径及びこの貫通口を通る粘着パッドにおけるパッドの粘着面の広さを、真空中での保持に必要な時間に応じて設定することができる。
また、粘着パッドのパッドがステージに対して突出していると、基板全体に対して均一にプレス圧力を加えることができない。
この点、本発明では、ステージの貫通口は、粘着パッドのパッドを自在に貫通させることができるものとなっているので、粘着パッドにて基板を保持するときに、この粘着パッドのパッドをステージから突出させないようにすることができる。
したがって、基板を、平面を有するステージに当接した状態で粘着パッドにて保持することができるので、基板全体をステージに当接することができる。その結果、例えば、基板の貼り付け時における基板の押圧に際して、基板における、パッドに当接していた部分がムラになるのを防止することができる。
また、本発明の基板保持装置は、上記記載の基板保持装置において、前記貫通口は、粘着パッドのパッドにて保持された基板に向けてガスを噴出可能となっていることを特徴としている。
上記の発明によれば、貫通口は、粘着パッドのパッドにて保持した基板に向けてガスを噴出可能となっているので、この貫通口を通して基板を剥がすべく基板に向けてガスを噴出することができる。
したがって、基板の離脱を容易に行うととともに、離脱するときに基板が損傷するのを防止することができる。
上記の真空中での基板保持方法、および基板保持装置は、前記粘着パッド又は粘着シートが、粘着面に凹凸形状を有している構成である。
また、本発明の液晶表示装置の製造方法は、貼り合わせる2枚の基板の内、いずれか一方の基板に前記2枚の基板同士を固定するためのシール材を塗布し、いずれか一方の基板に液晶を滴下して、真空中で2枚の基板を貼り合わせる工程を含む液晶表示装置の製造方法において、上記基板を貼り合わせるときに、ジエン系樹脂を含む材料にて成形され、かつ粘着面に凹凸形状を有する粘着パッド又は粘着シートにより、上側または下側に配置する何れか一方の基板、もしくは双方の基板を保持し、真空中で2枚の基板を貼り合わせる構成である。
上記の構成によれば、粘着パッド又は粘着シートにおいて、保持する基板と接するのは凹凸形状の凸部であり、粘着パッド又は粘着シートにて保持した基板同士を両側から押圧して貼り合わせる場合には、凸部が適宜変形可能である。したがって、粘着面が凹凸形状を有することなく平坦面となった粘着パッド又は粘着シートを使用する場合と比較して、基板全体に渡って均一な押圧力を付与し、基板同士を均一な基板間隔に貼り合わせることができる。
また、保持する基板に対する粘着力を凹凸形状により調整することができる。したがって、保持する基板に対して過度の粘着力が作用し、基板と粘着パッド又は粘着シートとを引き剥がすときに、基板に大きなストレスが生じる事態を防止することができる。
上記の真空中での基板保持方法、液晶表示装置の製造方法および基板保持装置において、前記粘着パッド又は粘着シートの凹凸形状における凸部の粘着面には、前記凸部よりも微細な微細凸部が形成されている構成としてもよい。
上記の構成によれば、凸部の粘着面に微細凸部が形成されていることにより、この微細凸部によって基板との接触面積、即ち凸部での粘着力を調整可能である。したがって、凸部での粘着力を調整するために凸部の粘着面が過度に小さくなって基板に対して凸部から局部的に過度の押圧力が加わる事態、あるいは凸部の剛性が過度に低下する事態を防止することができる。
上記の真空中での基板保持方法、液晶表示装置の製造方法および基板保持装置において、前記凸部は、ハニカム形状における六角形の少なくとも辺の一部を構成し、六角形を形成するように配列されている構成としてもよい。
また、前記凸部は、ハニカム形状における六角形の1辺を構成するように配列されている構成としてもよい。
また、前記凸部は、ハニカム形状における六角形の頂点を含んでいる構成としてもよい。
さらに、前記凸部は、ハニカム形状における六角形の頂点を中心として、隣接する3個の六角形の少なくとも辺の一部を構成するように、3方向に延びた形状を有している構成としてもよい。
上記の構成によれば、粘着パッド又は粘着シートにより基板を粘着して保持し、例えばこのようにしてそれぞれ保持した2枚の基板同士を両側から押圧して貼り合わせる場合に、凸部による凹凸パタンによりセル厚ムラ(貼り合わされた基板間の厚みムラ)を発生させないように、粘着パッド又は粘着シートにおいて凸部を密に配置し易くなる。また、上記のように基板同士を貼りあわせる際に基板同士を位置合わせする場合において、凸部は、単に一方向に並んで配列されているような場合と比較して、倒れが生じ難く、基板同士の位置合わせが容易となる。
また、上記の基板保持装置は、真空中にて基板の保持動作を行う構成としてもよい。このように、粘着パッド又は粘着シートにより基板を粘着して保持する基板保持装置では、真空中においても基板を適切に保持可能であり、液晶基板等の基板に対して静電チャックで問題となる電気的ダメージを与えることもなく、真空中での使用に好適である。
本発明の基板保持装置は、可撓性を有し、外力が解除された場合に一定の形状を保持可能な粘着部材であり、かつそれ自体が粘着性を有している粘着部材にて基板を保持することを特徴としている。
上記の構成によれば、粘着剤を塗布したテープ等で生じる、保持した基板に粘着剤が付着するといった問題が生じず、また、基板を保持しかつ基板を離脱する上において適度な粘着力が得易く、基板を保持する装置として好適である。
本発明のさらに他の目的、特徴、および優れた点は、以下に示す記載によって十分わかるであろう。また、本発明の利益は、添付図面を参照した次の説明で明白になるであろう。
発明を実施するための最良の形態
以下、実施例および比較例により、本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらにより何ら限定されるものではない。
〔実施の形態1〕
本発明の実施の一形態について図1ないし図12に基づいて説明すれば、以下の通りである。
本実施の形態の液晶表示装置の液晶表示パネル10は、例えば、図2に示すように、画素領域の液晶材料1を個別に電界印加により駆動できるよう画素電極2を配設した基板としてのガラス基板3と、対向電極4を配設した基板としてのガラス基板5とを対向させ、液晶材料1を一定の厚みで狭持し、周辺部をシール材6にて固着して貼り合せたものである。上記液晶表示パネル10には、さらに、偏光板7・8及びアルミニウム等からなる反射板9が設けられるとともに、図示しない位相差板、光拡散板、カラーフィルタ層等が設けられている。また、上記ガラス基板3側には、図示しないTFT(Thin Film Transistor:薄膜トランジスタ)素子等の駆動用素子が設けられている。そして、この液晶表示パネル10に図示しない駆動用回路等を接続することにより、液晶表示装置が構成されている。
ただし、本発明の液晶表示装置においては、必ずしもこれに限らず、液晶表示パネル10に他の部材が設けられていてよく、或いは、上記液晶表示パネル10における反射板9の代わりに、さらにバックライトユニット等と組み合わせて構成する等、必要に応じて各部材を追加及び省略することが可能である。
上記の液晶表示パネル10を形成する際には、図3に示すように、ガラス基板3の周辺にシール材6を塗布するとともに、このガラス基板3のシール材6の内部に液晶材料1を滴下し、図4に示すように、上側からガラス基板3にて押圧することにより、図2に示すように、液晶材料1を封入した状態で2枚のガラス基板3・5を貼り合わせる。なお、シール材6の塗布及び液晶材料1の滴下はいずれのガラス基板3・5であっても良い。
ここで、上記の液晶材料1の封入工程においては、気泡を混入させないことが要求される。このため、真空装置内にて、液晶材料1の封入工程が行われるが、その場合に、どのようにしてガラス基板5を保持するかが問題となる。この点、本実施の形態では、図1に示すように、粘着パッド20…により、例えば、上側の基板であるガラス基板5を保持するようにしている。
すなわち、粘着パッド20は、図5(a)(b)に示すように、数ミリ程度の薄肉円柱形状のものからなっているとともに、ゴム状にて弾性を有している。この粘着パッド20は、複数のものが、ステージとしての上ステージ32に部分的に貼り付け固定されている。なお、粘着パッド20の粘着面の面積は、真空中での貼り合わせに必要な時間以上、ガラス基板5を保持できるように設定すればよい。
ここで、粘着パッド20は、この形態に限らず、他の形態を採用することが可能である。例えば、図6(a)(b)に示すように、平板部21bの表面から部分的に円柱状に突出する複数のパッド21a…を有するというように、平板部21bとパッド21a…とが一体に形成された粘着パッド21とすることが可能である。なお、この場合、粘着パッド21が柔らかい場合には、平板部21bの厚みを厚くしたり、粘着パッド21を前記上ステージ32に貼り付け固定したり、又は硬質の平板に固着したりする等して用いることができる。
また、必ずしも前記粘着パッド20及び粘着パッド21のように、円柱状のパッド形状のものに限らず、例えば、図7(a)(b)に示すように、粘着シート22からなるものであってもよい。なお、この場合も、粘着シート22が柔らかい場合には、粘着シート22の厚みを厚くしたり、粘着シート22を前記上ステージ32に貼り付け固定したり、又は硬質の平板に固着したりする等して用いることができる。
さらに、図8に示すように、上ステージ32に貫通口32aを設けるとともに、この上ステージ32よりも厚い円柱状のパッド23aを硬質基板23bに固定し、上記円柱状のパッド23aが上記貫通口32aに自由に嵌挿できるようにした粘着パッド23とすることができる。これによって、図9(a)(b)(c)に示すように、ガラス基板5を保持したときに、ガラス基板5を粘着パッド23から剥がすときに、容易に剥がすことができるものとなっている。
すなわち、図9(a)に示すように、真空チャンバ内において、最初の状態では、粘着パッド23のパッド23aの下端面は、上ステージ32の平面からなる下面32bよりも入り込んだ状態となっている。この状態から、ガラス基板5を上ステージ32の下方に配置し、真空吸着することで、図9(b)に示すように、ガラス基板5が上ステージ32の下面32b側に吸引され、下面32bに当接される。そして、図9(c)に示すように、粘着パッド23を下降させて、パッド23aの下端面をガラス基板5に接触させることにより、粘着パッド23にてガラス基板5を保持することができる。なお、粘着パッド23の下降は、できるだけガラス基板5が上ステージ32の下面32bに当接している状態を維持する範囲に抑えることが好ましい。これは、ガラス基板5を水平に維持するためである。
上記粘着パッド23によるガラス基板5の保持は、真空チャンバを大気圧状態に戻しても維持されており、ガラス基板5は粘着パッド20から落下しない。
一方、この粘着パッド23にて保持されたガラス基板5を粘着パッド23から外すときには、上ステージ32を固定した状態で粘着パッド23を上昇させることにより、容易にガラス基板5を粘着パッド23から外すことができる。
次に、本実施の形態の粘着パッド20・21・23及び粘着シート22の材質について詳述する。
本実施の形態の粘着パッド20・21・23及び粘着シート22は、ジエン系樹脂を含む材料にて成形したものからなっており、具体的には、ジエン系樹脂である不飽和ポリブタジエンからなっている。
上記不飽和ポリブタジエンは、硬化前は、
CH2=CH−CH=CH2
という化学式を有しており、不飽和の二重結合を2個有するジエン系樹脂となっている。この、不飽和ポリブタジエンが硬化すると、
−CH2−CH=CH−CH2−
という化学式になる。本実施の形態の粘着パッド20・21・23及び粘着シート22の粘着性は、この化学式の両端のCH2−によるものと考えられ、真空中でも働くが、水分が付着するか又はごみが付いて表面が隠れると粘着力は働かなくなる。ただし、ごみが付いても水洗いし、乾燥させれば粘着力は復活する。また、粘着力は、例えば、100g/cm2以上である。
この不飽和ポリブタジエンの粘着パッド20・21・23及び粘着シート22は、A3サイズまでなら、例えば、板厚0.3mm〜5mm程度、A3サイズを超え、730×920mmまでなら、例えば、板厚1mm〜5mm程度に仕上げることができる。
上記の粘着パッド23を用いた基板貼り合わせ装置にて、液晶表示装置の液晶表示パネル10を製造する方法について説明する。
基板保持装置としての基板貼り合わせ装置30は、図10(a)に示すように、真空チャンバ31内において、2枚のガラス基板3・5の内、上部に配置するガラス基板5を押圧するための上ステージ32と、この上ステージ32の貫通口32a内で上下移動可能に設けられた不飽和ポリブタジエンを成形した粘着パッド23とを備えている。また、その下方には、他方のガラス基板3を載置するための下ステージ33が設けられている。上記上ステージ32は上下方向に移動可能になっているとともに、粘着パッド23もこの上ステージ32とは別個に上下移動できるようになっている。
なお、同図においては、真空チャンバ31を真空にするための真空配管等は省略している。
また、このとき、真空チャンバ31内における基板貼り合わせ装置30の側方には、図示しない前記画素電極2を配したガラス基板3と、図示しない前記対向電極4を配したガラス基板5とが準備されている。このガラス基板3には、周囲にシール材6が塗布されているとともに、その内側中央部に液晶材料1が滴下された状態となっている。なお、同図においては、シール材6はガラス基板3に塗布されているが、必ずしもこれに限らず、ガラス基板5に塗布しておくことも可能である。
この状態から、ガラス基板5を上ステージ32の下方に移動し、真空吸着することで図10(b)に示すように、ガラス基板5が上ステージ32に当接される。この状態にて、粘着パッド23を下降し、ガラス基板5に当接させることにより、ガラス基板5が粘着パッド23に保持される。
このとき、不飽和ポリブタジエンの粘着パッド23は粘着性を有しており、真空中でも粘着性が落ちることもない。また、真空中においてもガスの発生等もなく安定しているため、ガラス基板5・3の貼り合わせの際に真空中に晒しても問題はない。さらに、粘着パッド23によって、ガラス基板5の保持ができているので、真空吸着を解除してもガラス基板5が落ちることはない。
また、粘着パッド23のパッド23aは、上ステージ32に対して突出していると、貼り合わせの際に均一にプレス圧力を加えることができない。そして、貼り合わせた後に、ガラス基板5におけるパッド23aに当接していた部分がセル厚ムラになるため、できるだけ上ステージ32からのパッド23aの突出をなくすようにする。
次いで、図10(c)に示すように、ガラス基板3を下ステージ33に移動して、この下ステージ33にガラス基板3を載置する。次いで、真空チャンバ31内を所定の真空度になるようにさらに吸引する。なお、同図においては、下側のガラス基板3を上側のガラス基板5よりも後に基板貼り合わせ装置30に導入しているが、必ずしもこれに限らず、ガラス基板5よりも先にガラス基板3を基板貼り合わせ装置30に導入することも可能である。
次いで、図10(d)に示すように、粘着パッド23と一体に上ステージ32を下降させ、上下のガラス基板5・3を位置決めしながら貼り合わせていく。この際、上側のガラス基板5は、粘着パッド23により保持されているため、ずれることはない。なお、下側のガラス基板3に関しては、例えば、この粘着パッド23を使用してもよく、或いは機械的に位置ズレしないように保持してもよい。
次いで、図11(a)に示すように、ガラス基板5とガラス基板3との間隔が一定となる状態まで押圧することによって、押圧完了状態となる。
その後、図11(b)に示すように、上ステージ32を固定した状態で粘着パッド23を上昇させることにより、粘着パッド23とガラス基板5との粘着が解除され、その後、上ステージ32を上昇移動させる。なお、この貼り合わせ完了後のガラス基板5・3の引き剥がしに関しては、例えば、プレス圧力を抜いた後真空吸着用の隙間つまり上ステージ32の貫通口32aにおけるパッド23aとの間の隙間から窒素ガス又はドライエアによるバックブローをかけることによっても引き剥がし可能である。この際の真空チャンバ31内の圧力は、大気圧に戻した後よりも真空中で行った方が引き剥がし易い。
次に、真空チャンバ31内を大気圧状態に戻した後、図11(c)に示すように、貼り付けたガラス基板3・5を真空チャンバ31から取り出す。次いで、貼り付けたガラス基板3・5に、紫外線照射及び熱焼成を施すことにより、シール材6を完全に硬化させる。
この後、さらに、ガラス基板3・5に、前記偏光板7・8及びアルミニウム等からなる反射板9等を取り付けることにより液晶表示パネル10が完成するとともに、この液晶表示パネル10に図示しない駆動用回路等を接続することにより、液晶表示装置が完成する。
このように、本実施の形態の真空中での基板保持方法、液晶表示装置の製造方法、及び基板貼り合わせ装置30では、ジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パッド20・21・23及び粘着シート22を用いており、このジエン系樹脂は、両端にCH2−を有し、真空中においてガラス基板5を保持する場合に、適度な粘着性及び離脱性が得られる。
すなわち、粘着剤を塗布した両面テープ等のように、粘着剤がガラス基板5に付着することがない上、付着力が強すぎて粘着パッド20・21・23及び粘着シート22がガラス基板5から剥がれないということがない。
したがって、粘着剤がガラス基板5に付着するのを防止するとともに、ガラス基板5・3の貼り付け後には容易に粘着パッド20・21・23及び粘着シート22をガラス基板5から剥がすことができる真空中での基板保持方法、液晶表示装置の製造方法、及び基板貼り合わせ装置30を提供することができる。
また、特に、液晶表示装置を製造する際に、本実施の形態では、静電チャックを使用してガラス基板5・3の保持を行うというものではないので、ガラス基板3を保持するときの高電圧印加に伴うTFT(Thin Film Transistor:薄膜トランジスタ)素子の特性変化を防止することができる。さらに、ジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パッド20・21・23及び粘着シート22にてガラス基板5を保持するので、真空内における基板貼り合わせ装置30が複雑とならない。
また、本実施の形態の真空中での基板保持方法、液晶表示装置の製造方法、及び基板貼り合わせ装置30では、ジエン系樹脂は、不飽和ポリブタジエンからなっている。
この不飽和ポリブタジエンは、ジエン系樹脂において、真空中においてガラス基板5を保持する場合に、適度な粘着性及び離脱性が得られる。また、真空中においても、粘着性が落ちることがないとともに、ガスの発生等もなく安定している。さらに、ごみが付いても水洗いして乾燥させれば粘着力が復活する。さらに、溶剤等の薬剤に対して高い耐久性を有している。
また、本実施の形態の基板貼り合わせ装置30では、上ステージ32には貫通口32aが設けられ、この貫通口32aは、粘着パッド23のパッド23aを自在に貫通させることができるものとなっている。
このため、貫通口32aの径及びこの貫通口32aを通る粘着パッド23におけるパッド23aの粘着面の広さを、真空中での保持に必要な時間に応じて設定することができる。
また、粘着パッド23のパッド23aが上ステージ32に対して突出していると、ガラス基板5の全体に対して均一にプレス圧力を加えることができない。
この点、本実施の形態では、上ステージ32の貫通口32aは、粘着パッド23のパッド23aを自在に貫通させることができるものとなっているので、粘着パッド23にてガラス基板5を保持するときに、この粘着パッド23のパッド23aを上ステージ32から突出させないようにすることができる。
したがって、ガラス基板5を、平面を有する上ステージ32に当接した状態で粘着パッド23にて保持することができるので、ガラス基板5の全体を上ステージ32に当接することができる。その結果、ガラス基板5・3の貼り付け時におけるガラス基板5の押圧に際して、ガラス基板5における、パッド23aに当接していた部分がムラになるのを防止することができる。
また、本実施の形態の基板貼り合わせ装置30では、貫通口32aは、粘着パッド23のパッド23aにて保持されたガラス基板5に向けてガスを噴出可能となっているので、この貫通口32aを通してガラス基板5を剥がすべくガラス基板5に向けてガスを噴出することができる。
したがって、ガラス基板5の離脱を容易に行うととともに、離脱するときにガラス基板5が損傷するのを防止することができる。
なお、本実施の形態では、基板として液晶表示パネル10を製造する場合のガラス基板5・3として説明したが、必ずしもこれに限らず、プラズマディスプレイ(PDP:Plasma Display Panel)基板、EL(Electro Luminesence)基板、プラズマアドレス(PALC)基板、電界放射ディスプレイ(FED:Field Emission Display)基板、シリコンボール等の各基板に適用できる。なお、シリコンボールとは、図12に示すように、プリント基板に、シリコンボールを取り付けたものであり、シリコンボール表面に配した電極を介して、プリント基板とシリコンボール及びシリコンボール同士の接続を行う。これにより、メモリやプロセッサといった各種機能を搭載したシリコンボール同士を立体的に接続して、システムLSIを構築できるものである。
(実施例1)
前記実施の形態で述べた不飽和ポリブタジエンからなる粘着パッド21の粘着効果を確認するために、実験を行った。
先ず、粘着パッド21の材質である不飽和ポリブタジエンは、旭化成株式会社製の不飽和ポリブタジエン樹脂(商品名「APR K−11」)を使用した。なお、APRは登録商標である。また、この不飽和ポリブタジエンは、主に、凸版印刷の版材として使用されているものである。
上記不飽和ポリブタジエン樹脂を用いて、先ず、露光装置のガラス板の上に、ネガフィルム、カバーフィルム、上記不飽和ポリブタジエン樹脂、ベースフィルムの順にセットし、上側ガラス板にて押さえる。
次いで、バック露光にて、先ず、バック析出層を形成し、続いて、レリーフ露光する。これにより、シャープなレリーフ部つまりパッド部分を形成することができる。その後、ウォッシャー液にて、未硬化樹脂を洗浄する。
次いで、温風で乾燥後、必要であれば、細い部分を確実に硬化させるために後露光を行う。
これによって、粘着パッド20を形成した。この粘着パッド20を用いて、真空装置内でガラス基板5の保持を行ったところ、保持性能を満足することがわかった。また、この粘着パッド20を用いて、ガラス基板5を保持した後の離脱性も十分満足して使用できることが判明した。
また、真空中においても、粘着性が落ちることがないとともに、ガスの発生等もなく安定していることが判明した。さらに、ごみが付いても水洗いし、乾燥させれば粘着力が復活することが確認された。また、真空吸着を解除してもガラス基板5が落ちることはなかった。
なお、比較例として、アクリル樹脂系粘着剤を用いた両面粘着テープ、粘着ラベルでは、保持後の離脱性に難点があること、及び粘着剤がガラス基板5に残る可能性があることがわかった。また、不飽和ポリエステル、ポリエステルとウレタンとの混合物について検討したが、粘着性が十分でないことがわかった。
〔実施の形態2〕
本発明の実施の他の形態について図13ないし図20に基づいて説明すれば、以下の通りである。
本実施の形態において、図2に示した液晶表示パネル10を形成する際には、図3に示したように、ガラス基板3の周辺にシール材6を塗布するとともに、このガラス基板3のシール材6の内部に液晶材料1を滴下し、ガラス基板3・5の少なくとも一方を押圧することにより、図2に示したように、液晶材料1を封入した状態で2枚のガラス基板3・5を貼り合わせる。なお、シール材6の塗布及び液晶材料1の滴下はいずれのガラス基板3・5に対して行っても良い。
ここで、前述のように、液晶材料1の封入工程においては、気泡を混入させないことが要求される。このため、真空装置内にて、液晶材料1の封入工程が行われるが、その場合に、どのようにしてガラス基板3・5を保持するかが問題となる。この点に関し、本実施の形態では、図13に示すように、粘着シート51により、例えば、上側の基板であるガラス基板5を保持するようにし、粘着パッド52により、例えば、下側の基板であるガラス基板3を保持している。なお、図13は本実施の形態における基板貼り合わせ装置を示す縦断面図である。
粘着シート51は、上基板保持装置53の保持基体部54における下面に設けられている。保持基体部54は内部に空間部54aを有し、この空間部54aから下面に貫通する複数の貫通孔54bを有し、さらに空間部54aから側面に貫通する真空引き孔54cを有している。
一方、粘着パッド52は、下基板保持装置55の保持基体部56における円柱形をなす凸部57の上面に設けられている。保持基体部56は内部に空間部56aを有し、この空間部56aから上面に貫通する複数の貫通孔56bを有し、さらに空間部56aから側面に貫通する真空引き孔56cを有している。
保持基体部56の凸部57および粘着パッド52は、平板状の下ステージ58を貫通している円柱穴状の開口部58aに配されており、保持基体部56が上下移動することにより、開口部58aにおいて進出および退行動作を行うようになっている。
粘着シート51は、その平面図である図14(a)に示すように、下面、即ち粘着面のほぼ全面に多数の凸部61が形成され、これら凸部61の群れの中に、吸着パッド部62がほぼ均等に分散した状態で形成されている。
上記の凸部61は、図14(a)の拡大図である図14(b)に示すように、ハニカム形状を形成するように連なって配されている。即ち、各凸部61は六角形の1辺を構成するように配され、かつこれら凸部61によって形成される六角形の壁は、六角形の環状に閉じることなく、隣り合う凸部61同士の間において開放された構造となっている。
一方、吸着パッド部62は、例えば円形の環状をなし、吸着パッド部62の突出した壁は環状に閉じた構造となっている。吸着パッド部62の中心部には、粘着シート51を厚さ方向に貫通する貫通孔63が形成されている。この貫通孔63は保持基体部54における貫通孔54bと連通している。
また、粘着シート51は、図14(b)におけるX−X線矢視断面図である図14(c)に示す縦断面形状を有している。同図に示すように、粘着シート51は、総厚みHが数mm程度であり、凸部61の高さhが100μm〜1mm程度、さらに好ましくは300〜500μmとなっており、ゴム状にて弾性を有している。
さらに、粘着シート51の凸部61の粘着面には、図15(a)(b)に示すように、微小凸部64が形成されている。なお、図15(a)は凸部61の粘着面の拡大図であり、図15(b)は図15(a)におけるY−Y線矢視断面図である。微小凸部64の深さdは、10〜100μm程度とすることが好ましく、さらに好ましくは20〜40μmである。なお、微小凸部64を形成しない場合、凸部61の粘着面の自然に生じる凹凸における凸部の高さは数μm程度である。
粘着シート51における上記の凸部61および微小凸部64の形状(配置形状)、並びに凸部61および微小凸部64のピッチについては、真空中においてガラス基板5等の基板を保持するのに必要な粘着力、上下のガラス基板5・3を貼り合せたときに粘着シート51の凹凸パタンが貼り合せ後のガラス基板5・3においてセル厚ムラを発生させないピッチ、および貼り合せ後のガラス基板5からの良好な離脱性がそれぞれ得られるように定められている。
凸部61の配置形状を上記のように六角形状としているのは次の理由による。一つには、上下のガラス基板5・3を貼り合せたときに粘着シート51の凹凸パタンによってセル厚ムラを発生させないように、凸部61を密に配置しやすいためである。他には、ガラス基板5・3の貼り合わせ中のアライメント時(ガラス基板5・3同士の位置合わせ時)において、アラインメントが収束し易い(ガラス基板5・3同士の位置合わせを行い易い)ためである。
即ち、上記アラインメントに関して、上側のガラス基板5と下側のガラス基板3とを貼り合わせる際には、これら両者を液晶材料1やシール材11を介した状態で水平方向において位置合わせする。この場合には、ガラス基板5と粘着シート51との間に水平方向の力が加わる。このとき、凸部61の配置が偏っている場合等においては、凸部61の倒れを生じ、アライメントが収束しないなどの不具合を生じる恐れがある。そこで、凸部61を六角形状に配置しておけば、360度方向に対して凸部61の横倒れに対する剛性のバランスが良好となり、アラインメントが容易に収束する。なお、凸部61の横倒れに対する剛性のバランスが良好であれば、凸部61の配置形状は六角形に限定されるものではなく、円形や四角形、その他多角形、棒線状、波線状、もしくはこれらの組み合わせでも良い。
また、粘着シート51において、六角形の各辺を構成する凸部61は、その頂点において六角形に閉じた形状ではなく、各凸部61が独立した状態となっている。したがって、粘着シート51がガラス基板5を保持した状態において周囲を真空雰囲気とした場合にも、凸部61によって形成される六角形の内部の空気の抜け道が確保される。これにより、凸部61によって形成される六角形の内部の空気が膨張してガラス基板5の保持状態が不安定になる事態、さらにはガラス基板5が外れてしまう事態を防止することができる。
なお、凸部61の配置形状は、空気の抜け道が確保されるならば、六角形状に限定されない。また、保持基体部54の貫通孔54bと連通する真空引き用の吸着パッド部62は閉じた形状とする。
また、凸部61および微小凸部64は、例えば従来周知のフォトリソグラフィを使用した方法により作製することができる。あるいは、機械的方法により作製してもよい。
上基板保持装置53によりガラス基板5を保持する際には、基板搬送手段、例えばロボットアーム(図示せず)等にてガラス基板5を粘着シート51の直下に準備する。次に、保持基体部54の真空引き孔54cから例えば真空ポンプにより空間部54a内の真空引きを行う。これにより、粘着シート51の貫通孔63から真空引きが行われ、吸着パッド部62にガラス基板5が吸着される。この吸着後、ガラス基板5は粘着シート51における凸部61の粘着面(下面)の粘着力により、粘着シート51に保持される。なお、このときには、上基板保持装置53から、吸着ピン(図示せず)のような部分吸着手段をガラス基板5に向けて下降させ、ガラス基板5を粘着あるいは真空吸着して粘着シート51の位置まで上昇させるなどの補助手段を用いても良い。
一方、上基板保持装置53の粘着シート51にて保持されているガラス基板5を粘着シート51から離脱させる際には、基板搬送手段、例えばロボットアーム(図示せず)等をガラス基板5の直下に準備するとともに、粘着シート51の貫通孔63からエアパージを行うことにより、ガラス基板5を離脱させる。なお、このときには、上基板保持装置53から離脱ピン(図示せず)のような離脱手段をガラス基板5に向けて下降させ、離脱させるなどの補助手段を用いることもできる。
粘着パッド52は、下基板保持装置55の平面図である図16(a)、および下基板保持装置55の縦断面図である図16(b)に示すように、外形が薄い円柱形状となっている。粘着パッド52は、下基板保持装置55において複数個が分散するように設けられ、粘着シート51と同様、上面、即ち粘着面のほぼ全面に多数の凸部61が形成されている。また、上面の中央部に吸着パッド部62が形成され、この吸着パッド部62の中心部には貫通孔63が形成されている。凸部61は粘着シート51の場合と同様の形状に配置され、吸着パッド部62も同様の形状となっている。
粘着パッド52は、粘着シート51と同様、図14(c)に示したように、総厚みHが数mm程度であり、凸部61の高さhが100μm〜1mm程度、さらに好ましくは300〜500μmとなっており、ゴム状にて弾性を有している。
さらに、粘着パッド52の凸部61の粘着面には、粘着シート51の場合と同様、図15(a)(b)に示したように、微小凸部64が形成されている。微小凸部64の深さdは、10〜100μm程度とすることが好ましく、さらに好ましくは20〜40μmである。
下基板保持装置55によりガラス基板3を保持する際には、基板搬送手段、例えば、ロボットアーム(図示せず)等にてガラス基板3を下ステージ58の直上に準備する。次に、下基板保持装置55からリフトピン(図示せず)をガラス基板3に向けて上昇させ、基板搬送手段からガラス基板3を離した状態で基板搬送手段を待避させたのちリフトピンを下降させる。このとき、下ステージ58の上面と粘着パッド52の上面が同一高さ面となるように粘着パッド52を上昇させておく。次に、保持基体部56の真空引き孔56cから例えば真空ポンプにより空間部56a内の真空引きを行う。これにより、粘着パッド52の貫通孔63から真空引きが行われ、吸着パッド部62にガラス基板3が吸着される。この吸着後、ガラス基板3は粘着パッド52における凸部61の粘着面(上面)の粘着力により、粘着パッド52に保持される。
一方、下基板保持装置55の粘着パッド52にて保持されているガラス基板3を粘着パッド52から離脱させる際には、下ステージ58を固定した状態で粘着パッド52を下降させる。これにより、ガラス基板3を粘着パッド52から容易に外すことができる。このとき、貫通穴63よりエアパージを併用して行えばより容易に離脱できる。
本実施の形態の粘着シート51及び粘着パッド52の材質は、前述の粘着パッド20・21・23や粘着シート22と同様、粘着剤等を塗布することなく、それ自身が粘着機能を有するものである。具体的には、粘着シート51及び粘着パッド52は、ジエン系樹脂を含む材料にて成形したものからなっており、さらに具体的には、ジエン系樹脂である不飽和ポリブタジエンからなっている。この不飽和ポリブタジエンの機能等については前述したとおりである。
不飽和ポリブタジエンからなる粘着シート51及び粘着パッド52は、A3サイズまでなら、例えば、板厚0.3mm〜5mm程度、A3サイズを超え、730×920mmまでなら、例えば、板厚1mm〜5mm程度に仕上げることができる。
ここで、表1には、不飽和ポリブタジエンと液晶パネル用のガラス基板、プラスチック液晶と呼ばれる液晶パネル用のPES(ポリエーテルスルホン)基板、および液晶パネル用のエポキシ基板との粘着力についての測定結果を示す。測定方法については、凹凸形状のない平坦な直径20mmの不飽和ポリブタジエン製の粘着部材を試作し、上記の各被粘物に対して、1.96Nの押圧力で10秒間加圧した後、垂直に引っ張って剥離したときの引っ張り力をプッシュプルゲージにて測定した。表1の数値は、その測定値を1平方メートル当たりの粘着力に換算したものである。
次に、粘着シート51および粘着パッド52において、実際に必要な粘着力とその調整方法ついて説明する。
粘着させようとするワークが、例えば比重が約2.8g/cm3で、厚さが0.7mmの液晶用のガラス基板5である場合、1平方センチメートル当たりの重量は約0.2gとなる。粘着シート51の粘着力は、395g/cm2もあるため、ガラス基板5全面を粘着したのでは粘着力が過剰となり、離脱のときにガラス基板5に余計なストレスが加わる。このため、本実施の形態の粘着シート51では、六角形の凸部61パタンのピッチP(図15参照)を8.66mm、長さLを2.2mm、幅Wを0.5mmとし、粘着シート51の全体面積(下面の面積)の概ね約5%の面積に相当する凸部61を形成し、さらにそれら凸部61における下面全体の10%の面積に相当する微小凸部64を形成した。これにより、粘着シート51全体として0.5%の面積のみが直接的にガラス基板5と接するようにした。粘着シート51において上記のような凸部61を形成した結果、粘着シート51の平均粘着力は約2g/cm2となった。したがって、本実施の形態の粘着シート51では、1平方センチメートル当たりの重量が約0.2gのガラス基板5を粘着するには充分な粘着力と、ガラス基板5を離脱させる場合にガラス基板5に余計なストレスを発生することなく離脱できる粘着力とを両立することができた。
また、ワークが、比重が1.9g/cm3で、厚さが0.4mmの液晶用のエポキシ基板である場合、1平方センチメートル当たりの重量は約0.08gとなる。粘着シート51の粘着力は、183g/cm2もあるため、エポキシ基板全面を粘着したのでは同様に粘着力が過剰となり、離脱のときにエポキシ基板に余計なストレスが加わる。このため、この場合の粘着シート51では、六角形の凸部61パタンのピッチP(図15参照)を8.66mm、長さLを2.2mm、幅Wを0.4mmとし、粘着シート51の全体面積(下面の面積)の概ね約4%の面積に相当する凸部61を形成し、さらにそれら凸部61における下面全体の10%の面積に相当する微小凸部64を形成した。これにより、粘着シート51全体として0.4%の面積のみが直接的にエポキシ基板と接するようにした。粘着シート51において上記のような凸部61を形成した結果、粘着シート51の平均粘着力は約0.8g/cm2となった。したがって、この粘着シート51では、1平方センチメートル当たりの重量が約0.08gのエポキシ基板を粘着するには充分な粘着力と、エポキシ基板を離脱させる場合にエポキシ基板に余計なストレスを発生することなく離脱できる粘着力とを両立することができた。
なお、凸部61や微小凸部64の面積の割合、およびワークの大きさに対する粘着シート51や粘着パッド52の大きさを調整することにより、上述したガラス基板5やエポキシ基板の他、表1に記載したPES基板など、種々の比重や形状を有するワークに対しても対応可能であることは言うまでもない。
次に、上記の粘着シート51及び粘着パッド52を用いた基板貼り合わせ装置(基板保持装置)にて、液晶表示装置の液晶表示パネル10を製造する方法について説明する。ここで、図17(a)に示すように、使用する基板貼り合わせ装置70は、粘着シート51を有する前記上基板保持装置53と、粘着パッド52を有する前記下基板保持装置55と、下ステージ58と、これらを収納した真空チャンバ71とを備えたものとなっている。上基板保持装置53および下基板保持装置55は上下移動が可能である。また、同図においては、真空チャンバ71を真空にするための真空配管等は省略している。
まず、基板貼り合わせ装置70では、図17(a)に示すように、真空チャンバ71の扉72が開放され、真空チャンバ71内において、上基板保持装置53と下基板保持装置55とが所定の間隔をおいた状態に配される。また、真空チャンバ71の出入り口73の側方においては、2枚のガラス基板3・5、即ち前記画素電極2を配したガラス基板3と前記対向電極4を配したガラス基板5とが真空チャンバ71内へ搬入可能な状態に準備される。
この場合、ガラス基板3には、周囲にシール材6が塗布され、その内側中央部に液晶材料1が滴下された状態となっている。なお、同図においては、シール材6はガラス基板3に塗布されているが、必ずしもこれに限らず、ガラス基板5に塗布しておくことも可能である。
次に、上記の状態から、基板搬送手段、例えば、ロボットアーム(図示せず)等にてガラス基板5を粘着シート51の直下に移動するとともに、粘着シート51の貫通孔63から真空引きすることにより、図17(b)に示すように、ガラス基板5を粘着シート51に保持させる。このとき、上基板保持装置53から、吸着ピン(図示せず)のような部分吸着手段をガラス基板5に向けて下降し、粘着ないし真空吸着し、ガラス基板5を粘着シート51へと上昇させるなどの補助手段を用いても良い。
次に、基板搬送手段、例えば、ロボットアーム(図示せず)等にてガラス基板3を下ステージ58の直上に移動するとともに、下基板保持装置55からリフトピン(図示せず)をガラス基板3に向けて上昇させ、基板搬送手段からガラス基板3を離した状態で基板搬送手段を待避させた後、リフトピンを下降させる。このとき下ステージ58の上面と粘着パッド52の上面とが同一高さ面とになるように粘着パッド52を上昇させておき、その貫通孔63から真空吸引を行うことで、図17(c)に示すように、ガラス基板3を粘着パッド52に粘着させ、保持させる。
次に、図18(a)に示すように、真空チャンバ71の扉72を閉じて、真空チャンバ71内を真空引きする。このとき、不飽和ポリブタジエンからなる粘着シート51及び粘着パッド52は、粘着性を有しており、真空中でも粘着性が落ちることはない。また、真空中においてもガスの発生等もなく安定しているため、ガラス基板5・3の貼り合わせの際に真空中に晒しても問題はない。さらに、ガラス基板5は、粘着シート51により保持されているので、真空吸着を解除しても落下することがなく、同様に、ガラス基板3は、粘着パッド52により保持されているので位置ズレすることがない。
次に、粘着シート51を備える上基板保持装置53を下降させ、上下のガラス基板5・3を位置決めしながら貼り合わせていく。この際、上側のガラス基板5は粘着シート51により、また下側のガラス基板3は粘着パッド52によりそれぞれ保持されているため、位置ズレすることはない。
次に、図18(b)に示すように、ガラス基板5とガラス基板3との間隔が一定となる状態まで押圧することによって、押圧完了状態となる。
次に、図18(c)に示すように、下ステージ58を固定した状態で粘着パッド52、即ち下基板保持装置55を下降させる。これにより、粘着パッド52とガラス基板3との粘着が解除される。
次に、図19(a)に示すように、上基板保持装置53を上昇移動させる。この場合、上記のように貼り合わされたガラス基板5とガラス基板3とは、ガラス基板5が粘着シート51に粘着されていることにより、上基板保持装置53と共に上昇移動する。
また、真空チャンバ71内には、図18(b)に示す押圧完了後から図19(a)に示す上基板保持装置53の上昇完了後までの間に、大気またはN2などのパージガスを導入し、ガス圧にて上下のガラス基板5・3が押し付けられる状態とする。
この状態において、真空チャンバ71の扉72を開き、貼り合されたガラス基板3・5の直下に基板搬送手段、例えば、ロボットアーム(図示せず)を移動させ、粘着シート51の貫通孔63からエアパージを行うことにより、粘着シート51からガラス基板5を離脱する。これによって、貼り合わされたガラス基板5・3を基板移動手段上に載置させ、さらに、図19(b)に示すように、基板移動手段により真空チャンバ71から取り出す。なお、ガラス基板5の離脱の際には、上基板保持装置53から、離脱ピン(図示せず)のような離脱手段をガラス基板5に向けて下降させて離脱させるなどの補助手段を用いることもできる。
次に、貼り合わされたガラス基板3・5に、紫外線照射及び熱焼成を施すことにより、シール材6を完全に硬化させる。
その後、さらに、ガラス基板3・5に、前記偏光板7・8及びアルミニウム等からなる反射板9等を取り付けることにより液晶表示パネル10が完成する。また、この液晶表示パネル10に図示しない駆動用回路等を接続することにより液晶表示装置が完成する。
このように、本実施の形態の真空中での基板保持方法、液晶表示装置の製造方法、及び基板貼り合わせ装置では、ジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着シート51及び粘着パッド52を用いており、このジエン系樹脂は、両端にCH2−を有し、真空中においてガラス基板5・3を保持する場合に、適度な粘着性及び離脱性が得られる。
すなわち、粘着剤を塗布した両面テープ等のように、粘着剤がガラス基板5・3に付着することがない上、付着力が強すぎてガラス基板5・3から剥がれないということがない。したがって、粘着剤がガラス基板5・3に付着するのを防止するとともに、ガラス基板5・3の貼り付け後には容易に粘着シート51及び粘着パッド52をガラス基板5・3から剥がすことができる。
なお、本実施の形態においては、粘着シート51を上側のガラス基板5の保持に、粘着パッド52を下側のガラス基板3の保持に用いているが、これら粘着シート51と粘着パッド52とを入れ替えた構成にすることも可能である。また、固定状態の粘着シートと可動である粘着パットとを例えば下基板保持装置55において組み合わせるなどの配置をとることも可能である。
また、本実施の形態の構成において、静電チャックを使用していないので、高電圧印加に伴うTFT素子の特性変化を防止できる点、粘着シート51及び粘着パッド52がジエン系樹脂を含む材料、さらには不飽和ブタジエンにて形成されていることから、真空内における基板貼り合わせ装置が複雑とならない点、真空中においてガラス基板5・3に対して適度な粘着性及び離脱性が得られる点、ガスの発生等がなく、ごみが付いても水洗いして乾燥させれば粘着力が復活する点等は、先の実施の形態の場合と同様である。また、液晶用の基板だけでなく、プラズマディスプレイ基板、EL基板、プラズマアドレス基板、電界放射ディスプレイ基板、シリコンボール等の各基板にも適用できる点についても同様である。
(実施例2)
上記の実施の形態に示した、凸部61が六角形状に配置されている粘着シート51および粘着パッド52によるガラス基板に対しての均一な押圧機能を確認するために、比較試験を行った。
試験に際しては、図14(a)〜図14(c)に示した粘着シート51に対する比較例として、図20(a)〜図20(c)に示す粘着シート81を作成した。粘着シート81は、その平面図である図20(a)に示すように、下面、即ち粘着面に、粘着シート51の凸部61に相当する、楕円形状の多数の凸部82が同方向を長手方向として並設されている。凸部82は、図20(a)の拡大図である図20(b)に示すように、突出した壁が環状に閉じた構造となっている。即ち、粘着シート81において、凸部は楕円の環状をなすように閉じた構造となっている。凸部82が形成する楕円形状の中心部には、図20(b)におけるZ−Z線矢視断面図にも示すように、粘着シート81を厚さ方向に貫通する、真空引き用の貫通孔83が形成されている。
各凸部82は、楕円形状における長さL1が75mm、楕円形状における幅L2が15mm、凸部82における突出部分の幅W1が0.6mm、X方向(楕円形状の幅方向)における凸部82の形成ピッチPXが25mm、Y方向(楕円形状の長手方向)における凸部82の形成ピッチPYが100mmである。これによって、粘着シート81の全体面積(下面の面積)の概ね約4%の面積に相当する凸部82を形成し、さらにそれら凸部82における下面全体の12.5%の面積に相当する前記微小凸部64を形成した。これにより、粘着シート81全体として0.5%の面積のみが直接的にガラス基板5と接するようにした。
上記の各粘着シートおよび粘着パッドは、前記の実施例1の場合と同様、旭化成株式会社製の不飽和ポリブタジエン樹脂(商品名「APRK−11」)を使用し、同様の方法により作製した。また、ガラス基板5・3の貼り合わせは、前述の図17〜図19に示した方法にて行った。
また、ワークとなるガラス基板5・3としては、前述のものと同様、比重が約2.8g/cm3で、厚さが0.7mm、1平方センチメートル当たりの重量が約0.2gのものを使用した。
この比較試験の結果、凸部61が六角形状に配置されている粘着シート51では、前述のように、平均粘着力が約2g/cm2であり、1平方センチメートル当たりの重量が約0.2gのガラス基板5を粘着して確実に保持し、かつ凸部61による押しムラ、即ちセル厚ムラが生じることなく、ガラス基板5・3を良好に貼り合わせることができた。
一方、凸部82を有する粘着シート81では、平均粘着力が約2g/cm2であり、1平方センチメートル当たりの重量が約0.2gのガラス基板5を粘着して確実に保持できたものの、貫通孔83から真空排気して基板を吸着させた際に、楕円形の凸部82の内側に向かってガラス基板5が変形し、その状態で貼り合わされたため、凸部82の内側に押し圧が十分に加わらず、貼り合わせたガラス基板5・3に表示不良の原因となるセル厚ムラが生じた。
(実施例3)
さらに、図14(a)〜図14(c)に示した粘着シート51に対する比較例として、図21(a)〜図21(c)に示す粘着シート91を作成した。粘着シート91は、その平面図である図21(a)に示すように、下面、即ち粘着面に、粘着シート51の凸部61に相当する、多数の凸部92が設けられている。凸部92は、図21(a)の拡大図である図21(b)に示すように、円形の環状形状になっており、これら凸部92の中心には、図21(b)におけるZZ−ZZ線矢視断面図にも示すように、粘着シート91を厚さ方向に貫通する、真空引き用の貫通孔93が形成されている。
各凸部92は、円状の環状形状における頂点の外径D1が3mm、内径D2が2mm、凸部92の形成ピッチPXYが28mmである。これによって、粘着シート91の全体面積(下面の面積)の概ね約0.5%の面積に相当する凸部92を形成し、それら凸部92には微小凸部64を形成しなかった。これにより、粘着シート91全体として0.5%の面積が直接的にガラス基板5と接するようにした。
上記の各粘着シートおよび粘着パッドは、前記の実施例1の場合と同様、旭化成株式会社製の不飽和ポリブタジエン樹脂(商品名「APRK−11」)を使用し、同様の方法により作製した。また、ガラス基板5・3の貼り合わせは、前述の図17〜図19に示した方法にて行った。
また、ワークとなるガラス基板5・3としては、前述のものと同様、比重が約2.8g/cm3で、厚さが0.7mm、1平方センチメートル当たりの重量が約0.2gのものを使用した。
この比較試験の結果、凸部61が六角形状に配置されている粘着シート51では、前述のように、平均粘着力が約2g/cm2であり、1平方センチメートル当たりの重量が約0,2gのガラス基板5を粘着して確実に保持し、かつ凸部61による押しムラ、即ちセル厚ムラが生じることなく、ガラス基板5・3を良好に貼り合わせることができた。
一方、凸部92を有する粘着シート91では、平均粘着力が約2g/cm2であり、1平方センチメートル当たりの重量が約0.2gのガラス基板5を粘着して確実に保持でき、貫通孔93から真空排気して基板を吸着させた際に、粘着シート81の楕円形の凸部82のように内側に向かってガラス基板5が変形することもなかった。しかしながら、貼り合わせの際の押し圧が粘着シート91全体の0.5%に相当する凸部92に集中する結果、その部分が潰れすぎる一方、他の部分に十分に押し圧が加わらず、ガラス基板5・3に表示不良の原因となるセル厚ムラが生じた。
したがって、凸部61が六角形状に配置されている粘着シート51および粘着パッド52は、均一なセル厚を得る上において、ガラス基板5・3の貼り合わせに適していることが分かった。
上記の例では、凸部61がハニカム形状における六角形の1辺を構成するように配列されている場合について示した。しかしながら、凸部61は、これに限定されることなく、ハニカム形状における六角形の少なくとも辺の一部を構成し、六角形を形成するように配列されていてもよい。その具体例についてさらに説明する。
例えば前記粘着シート51に代わる粘着シート101は、その平面図である図22(a)に示すように、下面、即ち粘着面のほぼ全面に多数の凸部111が形成され、これら凸部111の群れの中に、吸着パッド部112がほぼ均等に分散した状態で形成されている。
上記の凸部111は、図22(a)の拡大図である図22(b)に示すように、ハニカム形状を形成するように連なって配されている。即ち、各凸部は、ハニカム形状における六角形の頂点を中心として、隣接する3個の六角形の少なくとも辺の一部を構成するように、3方向に延びた形状を有している。また、凸部111は、ハニカム形状における六角形の頂点を含んでいる。これら凸部111によって形成される六角形の壁は、六角形の環状に閉じることなく、隣り合う凸部111同士の間において開放された構造となっている。したがって、各凸部111は、前記凸部61と同様、ハニカム形状における六角形の少なくとも辺の一部を構成し、六角形を形成するように配列されている。
一方、吸着パッド部112は、例えば円形の環状をなし、吸着パッド部112の突出した壁は環状に閉じた構造となっている。吸着パッド部112の中心部には、粘着シート101を厚さ方向に貫通する貫通孔113が形成されている。この貫通孔113は図13に示す保持基体部54における貫通孔54bと連通している。
また、粘着シート101は、図22(b)におけるXX−XX線矢視断面図である図14(c)に示す縦断面形状を有している。同図に示すように、粘着シート101は、総厚みHが数mm程度であり、凸部111の高さhが100μm〜1mm程度、さらに好ましくは300〜500μmとなっており、ゴム状にて弾性を有している。
さらに、粘着シート101の凸部111の粘着面には、前記粘着シート51における微小凸部64と同様の微小凸部が形成されている。この微小凸部の深さは前記微小凸部64の深さと同様である。
粘着シート101における上記の凸部111および微小凸部の形状(配置形状)、並びに凸部111および微小凸部のピッチについては、前記粘着シート51と同様、真空中においてガラス基板5等の基板を保持するのに必要な粘着力、上下のガラス基板5・3を貼り合せたときに粘着シート101の凹凸パタンが貼り合せ後のガラス基板5・3においてセル厚ムラを発生させないピッチ、および貼り合せ後のガラス基板5からの良好な離脱性がそれぞれ得られるように定められている。
凸部111の配置形状を上記のように六角形状としているのは前記前記粘着シート51の場合と同様、一つには、上下のガラス基板5・3を貼り合せたときに粘着シート101の凹凸パタンによってセル厚ムラを発生させないように、凸部111を密に配置しやすいためである。他には、ガラス基板5・3の貼り合わせ中のアライメント時(ガラス基板5・3同士の位置合わせ時)において、アラインメントが収束し易い(ガラス基板5・3同士の位置合わせを行い易い)ためである。
即ち、上記アラインメントに関して、上側のガラス基板5と下側のガラス基板3とを貼り合わせる際には、これら両者を液晶材料1やシール材11を介した状態で水平方向において位置合わせする。この場合には、ガラス基板5と粘着シート101との間に水平方向の力が加わる。このとき、凸部111の配置が偏っている場合等においては、凸部111の倒れを生じ、アライメントが収束しないなどの不具合を生じる恐れがある。そこで、凸部111を六角形状に配置しておけば、360度方向に対して凸部61の横倒れに対する剛性のバランスが良好となり、アラインメントが容易に収束する。
また、粘着シート101において、六角形の辺を構成する凸部111は、六角形に閉じた形状ではなく、各凸部111が独立した状態となっている。したがって、粘着シート101がガラス基板5を保持した状態において周囲を真空雰囲気とした場合にも、凸部111によって形成される六角形の内部の空気の抜け道が確保される。これにより、凸部111によって形成される六角形の内部の空気が膨張してガラス基板5の保持状態が不安定になる事態、さらにはガラス基板5が外れてしまう事態を防止することができる。
以上のように、本発明の液晶表示装置の製造方法は、貼り合わせる2枚の基板の内、いずれか一方の基板に上記2枚の基板を固定するためのシール材を塗布し、いずれか一方の基板に液晶を滴下して、真空中で2枚の基板を貼り合わせる基板を組み立てて、液晶表示パネルを形成する液晶表示装置の製造方法において、上記基板を貼り合わせるときに、上側に配置する基板の保持としてジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パッド又は粘着シートにより基板を保持して真空中で2枚の基板を貼り合わせる構成である。
尚、発明を実施するための最良の形態の項においてなした具体的な実施態様または実施例は、あくまでも、本発明の技術内容を明らかにするものであって、そのような具体例にのみ限定して狭義に解釈されるべきものではなく、本発明の精神と次に記載する特許請求の範囲内で、いろいろと変更して実施することができるものである。
産業上の利用の可能性
本発明の真空中での基板保持方法は、ジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パッド又は粘着シートにより基板を保持する方法である。
また、本発明の液晶表示装置の製造方法は、基板を貼り合わせるときに、ジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パッド又は粘着シートにより上側に配置する基板を保持して真空中で2枚の基板を貼り合わせる方法である。
また、本発明の基板保持装置は、上記課題を解決するために、基板を保持するためのジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パット又は粘着シートが設けられているものである。
それゆえ、ジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パッド又は粘着シートは、両端にCH2−を有し、真空中において基板を保持する場合に、適度な粘着性及び離脱性が得られる。
したがって、粘着剤が基板に付着するのを防止するとともに、基板の貼り付けた後には容易に粘着パッド及び粘着シートを基板から剥がすことができる真空中での基板保持方法、液晶表示装置の製造方法、及び基板保持装置を提供することができるという効果を奏する。
また、本発明の液晶表示装置の製造方法は、基板を貼り合わせるときに、ジエン系樹脂を含む材料にて成形され、かつ粘着面に凹凸形状を有する粘着パッド又は粘着シートにより、上側または下側に配置する何れか一方の基板、もしくは双方の基板を保持し、真空中で2枚の基板を貼り合わせる構成である。
これにより、凹凸形状の凸部が適宜変形可能であり、粘着面が凹凸形状を有することなく平坦面となった粘着パッド又は粘着シートを使用する場合と比較して、基板全体に渡って均一な押圧力を付与し、基板同士を均一な基板間隔に貼り合わせることができる。
また、保持する基板に対する粘着力を凹凸形状により調整することができる。したがって、保持する基板に対して過度の粘着力が作用し、基板と粘着パッド又は粘着シートとを引き剥がすときに、基板に大きなストレスが生じる事態を防止することができるといった効果を奏する。
本発明の基板保持装置は、可撓性を有し、外力が解除された場合に一定の形状を保持可能な粘着部材であり、かつそれ自体が粘着性を有している粘着部材にて基板を保持する構成である。
これにより、粘着剤を塗布したテープ等で生じる、保持した基板に粘着剤が付着するといった問題が生じず、また、基板を保持しかつ基板を離脱する上において適度な粘着力が得易く、基板を保持する装置として好適であるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
図1は、本発明における実施の一形態を示すものであり、真空中での基板保持方法を示す正面図である。
図2は、上記真空中での基板保持方法、及び液晶表示装置の製造方法にて製造される液晶表示装置の構成を示す断面図である。
図3は、上記液晶表示装置における液晶表示パネルの液晶材料の封入工程を示す斜視図である。
図4は、上記液晶表示装置における液晶表示パネルの液晶材料の封入工程を示す断面図である。
図5(a)は上ステージに設けられた粘着パッドを示す正面図であり、図5(b)は上ステージに設けられた粘着パッドを示す底面図である。
図6(a)は他の粘着パッドを示す断面図であり、図6(b)は他の粘着パッドを示す底面図である。
図7(a)は粘着シートを示す正面図であり、図7(b)は粘着シートを示す底面図である。
図8は、さらに他の粘着パッドを示す断面図である。
図9(a)〜(c)は基板における粘着保持の工程を示す断面図である。
図10(a)は基板の貼り合わせ工程における基板導入前状態を示す断面図、図10(b)は上基板を基板貼り合わせ装置に導入した状態を示す断面図、図10(c)は下基板を基板貼り合わせ装置に導入した状態を示す断面図、図10(d)は貼り合わせ途中を示す断面図である。
図11(a)は基板の貼り合わせ工程におけるプレス完了状態を示す断面図、図11(b)は粘着パッドの粘着を解除した後、上ステージを上昇させる状態を示す断面図、図11(c)は貼り合わせ基板を基板貼り合わせ装置から排出した状態を示す断面図である。
図12は、シリコンボールの構成を示す斜視図である。
図13は、本発明の実施の他の形態における基板貼り合わせ装置を示す縦断面図である。
図14(a)は、図13に示した基板貼り合わせ装置の上基板保持装置に備えられている粘着シートを示す平面図、図14(b)は図14(a)の拡大図、図14(c)は図14(b)におけるX−X線矢視断面図である。
図15(a)は図14(b)に示した凸部の粘着面の拡大図、図15(b)は図15(a)におけるY−Y線矢視断面図である。
図16(a)は、図13に示した基板貼り合わせ装置の下基板保持装置を示す平面図、図16(b)は図16(a)に示した下基板保持装置の縦断面図である。
図17(a)は図13に示した基板貼り合わせ装置を使用する、基板の貼り合わせ工程における基板導入前状態を示す断面図、図17(b)は上基板を基板貼り合わせ装置に導入した状態を示す断面図、図17(c)は下基板を基板貼り合わせ装置に導入した状態を示す断面図である。
図18(a)は、図17(c)の状態に続く状態であって、真空チャンバの扉を閉じて真空チャンバ内を真空引きする状態を示す断面図、図18(b)は、基板の押圧完了状態を示す断面図、図18(c)は、下基板保持装置の粘着パッドと下側の基板との粘着を解除した状態を示す断面図である。
図19(a)は、図18(c)の状態に続く状態であって、上基板保持装置を上昇移動させた状態を示す断面図、図19(b)は、真空チャンバ内から基板を取り出した状態を示す断面図である。
図20(a)は、図14に示した粘着シートの比較例となる粘着シートを示す平面図、図20(b)は図20(a)の拡大図、図20(c)は図20(b)におけるZ−Z線矢視断面図である。
図21(a)は、図14に示した粘着シートの他の比較例となる粘着シートを示す平面図、図21(b)は図21(a)の拡大図、図21(c)は図21(b)におけるZZ−ZZ線矢視断面図である。
図22(a)は、図13に示した基板貼り合わせ装置の上基板保持装置に備えられている粘着シートの他の例を示す平面図、図22(b)は図22(a)の拡大図、図22(c)は図22(b)におけるXX−XX線矢視断面図である。
Claims (29)
- ジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パッド又は粘着シートにより基板を保持することを特徴とする真空中での基板保持方法。
- 前記ジエン系樹脂は、不飽和ポリブタジエンからなることを特徴とする請求項1記載の真空中での基板保持方法。
- 前記粘着パッド又は粘着シートは、粘着面に凹凸形状を有していることを特徴とする請求項1記載の真空中での基板保持方法。
- 前記粘着パッド又は粘着シートの凹凸形状における凸部の粘着面には、前記凸部よりも微細な微細凸部が形成されていることを特徴とする請求項3記載の真空中での基板保持方法。
- 前記凸部は、ハニカム形状における六角形の少なくとも辺の一部を構成し、六角形を形成するように配列されていることを特徴とする請求項3記載の基板保持方法。
- 前記凸部は、ハニカム形状における六角形の1辺を構成するように配列されていることを特徴とする請求項5記載の基板保持方法。
- 前記凸部は、ハニカム形状における六角形の頂点を含んでいることを特徴とする請求項5記載の基板保持方法。
- 前記凸部は、ハニカム形状における六角形の頂点を中心として、隣接する3個の六角形の少なくとも辺の一部を構成するように、3方向に延びた形状を有していることを特徴とする請求項7記載の基板保持方法。
- 貼り合わせる2枚の基板の内、いずれか一方の基板に前記2枚の基板同士を固定するためのシール材を塗布し、いずれか一方の基板に液晶を滴下して、真空中で2枚の基板を貼り合わせる工程を含む液晶表示装置の製造方法において、
上記基板を貼り合わせるときに、ジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パッド又は粘着シートにより上側に配置する基板を保持して真空中で2枚の基板を貼り合わせることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 前記ジエン系樹脂は、不飽和ポリブタジエンからなることを特徴とする請求項9記載の液晶表示装置の製造方法。
- 貼り合わせる2枚の基板の内、いずれか一方の基板に前記2枚の基板同士を固定するためのシール材を塗布し、いずれか一方の基板に液晶を滴下して、真空中で2枚の基板を貼り合わせる工程を含む液晶表示装置の製造方法において、
上記基板を貼り合わせるときに、ジエン系樹脂を含む材料にて成形され、かつ粘着面に凹凸形状を有する粘着パッド又は粘着シートにより、上側または下側に配置する何れか一方の基板、もしくは双方の基板を保持し、真空中で2枚の基板を貼り合わせることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 前記粘着パッド又は粘着シートの凹凸形状における凸部の粘着面には、前記凸部よりも微細な微細凸部が形成されていることを特徴とする請求項11記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記ジエン系樹脂は、不飽和ポリブタジエンからなることを特徴とする請求項11記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記凸部は、ハニカム形状における六角形の少なくとも辺の一部を構成し、六角形を形成するように配列されていることを特徴とする請求項11記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記凸部は、ハニカム形状における六角形の1辺を構成するように配列されていることを特徴とする請求項14記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記凸部は、ハニカム形状における六角形の頂点を含んでいることを特徴とする請求項14記載の液晶表示装置の製造方法。
- 前記凸部は、ハニカム形状における六角形の頂点を中心として、隣接する3個の六角形の少なくとも辺の一部を構成するように、3方向に延びた形状を有していることを特徴とする請求項16記載の液晶表示装置の製造方法。
- 真空中で基板を保持する基板保持装置において、
上記基板を保持するためのジエン系樹脂を含む材料にて成形した粘着パッド又は粘着シートが設けられていることを特徴とする基板保持装置。 - 前記ジエン系樹脂は、不飽和ポリブタジエンからなることを特徴とする請求項18記載の基板保持装置。
- 前記粘着パッドのパッドを自在に貫通させる貫通口を有し、かつ基板側に平面を有するステージが設けられていることを特徴とする請求項18又は19記載の基板保持装置。
- 前記貫通口は、粘着パッドのパッドにて保持した基板に向けてガスを噴出可能となっていることを特徴とする請求項20記載の基板保持装置。
- 前記粘着パッド又は粘着シートは、粘着面に凹凸形状を有していることを特徴とする請求項18記載の基板保持装置。
- 前記粘着パッド又は粘着シートの凹凸形状における凸部の粘着面には、前記凸部よりも微細な微細凸部が形成されていることを特徴とする請求項22記載の基板保持装置。
- 前記凸部は、ハニカム形状における六角形の少なくとも辺の一部を構成し、六角形を形成するように配列されていることを特徴とする請求項22記載の基板保持装置。
- 前記凸部は、ハニカム形状における六角形の1辺を構成するように配列されていることを特徴とする請求項24記載の基板保持装置。
- 前記凸部は、ハニカム形状における六角形の頂点を含んでいることを特徴とする請求項24記載の基板保持装置。
- 前記凸部は、ハニカム形状における六角形の頂点を中心として、隣接する3個の六角形の少なくとも辺の一部を構成するように、3方向に延びた形状を有していることを特徴とする請求項26記載の基板保持装置。
- 真空中にて基板の保持動作を行うことを特徴とする請求項22記載の基板保持装置。
- 可撓性を有し、外力が解除された場合に一定の形状を保持可能な粘着部材であり、かつそれ自体が粘着性を有している粘着部材にて基板を保持することを特徴とする基板保持装置。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002059462 | 2002-03-05 | ||
JP2002059462 | 2002-03-05 | ||
JP2002318911 | 2002-10-31 | ||
JP2002318911 | 2002-10-31 | ||
PCT/JP2003/001674 WO2003075343A1 (en) | 2002-03-05 | 2003-02-17 | Method for holding substrate in vacuum, method for manufacturing liquid crystal display device, and device for holding substrate |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2003075343A1 true JPWO2003075343A1 (ja) | 2005-06-30 |
JP4134907B2 JP4134907B2 (ja) | 2008-08-20 |
Family
ID=27790975
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003573698A Expired - Fee Related JP4134907B2 (ja) | 2002-03-05 | 2003-02-17 | 真空中での基板保持方法、液晶表示装置の製造方法、基板保持装置、液晶表示装置の製造装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US7326457B2 (ja) |
JP (1) | JP4134907B2 (ja) |
KR (1) | KR100702070B1 (ja) |
CN (1) | CN100472747C (ja) |
AU (1) | AU2003211350A1 (ja) |
TW (1) | TWI251894B (ja) |
WO (1) | WO2003075343A1 (ja) |
Families Citing this family (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100493384B1 (ko) * | 2002-11-07 | 2005-06-07 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치의 기판을로딩하기 위한 구조 |
JP2005309332A (ja) * | 2004-04-26 | 2005-11-04 | Fujitsu Ltd | 貼合せ基板製造装置及び貼合せ基板製造方法 |
KR100600881B1 (ko) * | 2004-10-20 | 2006-07-18 | 삼성에스디아이 주식회사 | 레이저 열전사 장치, 라미네이터 및 상기 장치를 사용하는레이저 열전사 방법 |
JP4863350B2 (ja) * | 2005-12-01 | 2012-01-25 | 信越ポリマー株式会社 | 粘着性シート及び保持治具 |
JP5318324B2 (ja) * | 2005-12-06 | 2013-10-16 | 東京応化工業株式会社 | サポートプレートの貼り合わせ方法 |
US7791708B2 (en) * | 2006-12-27 | 2010-09-07 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, substrate table, and method for enhancing substrate release properties |
KR101362135B1 (ko) * | 2006-12-29 | 2014-02-12 | 엘지디스플레이 주식회사 | 발광 표시장치의 제조장치 및 제조방법 |
JP2008203619A (ja) * | 2007-02-21 | 2008-09-04 | Citizen Holdings Co Ltd | 液晶表示パネルの製造方法 |
WO2008114337A1 (ja) * | 2007-02-22 | 2008-09-25 | Shin-Etsu Engineering Co., Ltd. | 真空貼り合わせ方法及び真空貼り合わせ装置 |
TW201005975A (en) * | 2008-03-14 | 2010-02-01 | Dow Corning | Method of forming a photovoltaic cell module |
EP2273475A1 (en) * | 2008-04-17 | 2011-01-12 | Asahi Glass Company, Limited | Glass laminate, display panel with support, method for producing glass laminate and method for manufacturing display panel with support |
JP5144434B2 (ja) * | 2008-08-28 | 2013-02-13 | リンテック株式会社 | 支持装置 |
JP5329916B2 (ja) * | 2008-10-23 | 2013-10-30 | リンテック株式会社 | 半導体ウエハの支持具 |
JP5164785B2 (ja) * | 2008-10-23 | 2013-03-21 | リンテック株式会社 | 支持装置 |
JP2010153585A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Ebara Corp | 基板保持具および基板保持方法 |
JP5384930B2 (ja) * | 2008-12-26 | 2014-01-08 | 株式会社タイカ | 液晶パネル積層体の製造方法並びにその装置 |
US8697228B2 (en) * | 2009-05-06 | 2014-04-15 | Corning Incorporated | Carrier for glass substrates |
JP5337620B2 (ja) * | 2009-08-05 | 2013-11-06 | 信越エンジニアリング株式会社 | ワーク粘着保持装置及び真空貼り合わせ機 |
KR101234597B1 (ko) * | 2009-10-15 | 2013-02-22 | 한국전자통신연구원 | 플립 칩 본딩 방법 및 그의 구조 |
JP2012009720A (ja) * | 2010-06-28 | 2012-01-12 | Nikon Corp | ウェハホルダおよび露光装置 |
JP5128653B2 (ja) * | 2010-12-07 | 2013-01-23 | 篠田プラズマ株式会社 | プラズマチューブアレイ型表示装置 |
KR101799937B1 (ko) * | 2011-05-12 | 2017-11-22 | 엘지디스플레이 주식회사 | 경량 박형의 액정표시장치의 제조 방법 |
US8383460B1 (en) * | 2011-09-23 | 2013-02-26 | GlobalFoundries, Inc. | Method for fabricating through substrate vias in semiconductor substrate |
WO2013058094A1 (ja) * | 2011-10-21 | 2013-04-25 | 株式会社クリエイティブ テクノロジー | ワーク保持装置 |
JP5961366B2 (ja) * | 2011-11-28 | 2016-08-02 | 東芝機械株式会社 | ワーク設置装置およびワーク設置方法 |
JP5798020B2 (ja) | 2011-12-01 | 2015-10-21 | 東芝機械株式会社 | ワーク設置装置およびワーク設置方法 |
KR102143448B1 (ko) | 2012-10-11 | 2020-08-11 | 가부시키가이샤 크리에이티브 테크놀러지 | 워크 유지 장치 및 이것을 사용한 워크의 옆 어긋남 검출방법 |
CN103995377A (zh) * | 2013-02-18 | 2014-08-20 | 群创光电股份有限公司 | 显示面板制造方法与系统 |
CN103927941B (zh) * | 2013-12-23 | 2017-11-03 | 上海天马有机发光显示技术有限公司 | 一种显示装置及其制造方法 |
JP6328000B2 (ja) * | 2014-08-05 | 2018-05-23 | 株式会社アルバック | 基板ホルダおよび基板着脱方法 |
CN104669762B (zh) * | 2015-03-24 | 2017-03-29 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种真空贴合装置 |
CN104979284B (zh) * | 2015-06-01 | 2018-01-16 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种将超薄玻璃从承载基板剥离的方法 |
US10632708B2 (en) * | 2016-02-29 | 2020-04-28 | Alienus Film Llc | Insulating film |
TWI613736B (zh) * | 2017-02-18 | 2018-02-01 | 盟立自動化股份有限公司 | 承載結構及其承載基板 |
KR20200142622A (ko) * | 2019-06-12 | 2020-12-23 | 삼성디스플레이 주식회사 | 기판 이송 장치 및 이를 이용한 기판 이송 방법 |
JP7057335B2 (ja) * | 2019-10-29 | 2022-04-19 | キヤノントッキ株式会社 | 基板保持装置、基板処理装置、基板保持方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 |
JP7057336B2 (ja) * | 2019-10-29 | 2022-04-19 | キヤノントッキ株式会社 | 基板保持部材、基板保持装置、基板処理装置、基板保持方法、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 |
JP7057337B2 (ja) * | 2019-10-29 | 2022-04-19 | キヤノントッキ株式会社 | 基板剥離装置、基板処理装置、及び基板剥離方法 |
JP7128534B2 (ja) * | 2020-05-26 | 2022-08-31 | Aiメカテック株式会社 | 基板組立装置及び基板組立方法 |
WO2024063126A1 (ja) * | 2022-09-22 | 2024-03-28 | リンテック株式会社 | 素子転写用シート |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4630355A (en) | 1985-03-08 | 1986-12-23 | Energy Conversion Devices, Inc. | Electric circuits having repairable circuit lines and method of making the same |
JPS61207035U (ja) * | 1985-06-17 | 1986-12-27 | ||
US5407519A (en) * | 1993-07-07 | 1995-04-18 | Interserv Corp. | Apparatus for manufacturing liquid crystal display screens |
CA2173855C (en) * | 1993-10-29 | 2007-06-26 | Mieczyslaw H. Mazurek | Pressure-sensitive adhesives having microstructured surfaces |
US5531835A (en) | 1994-05-18 | 1996-07-02 | Applied Materials, Inc. | Patterned susceptor to reduce electrostatic force in a CVD chamber |
JP3081122B2 (ja) * | 1994-07-18 | 2000-08-28 | シャープ株式会社 | 基板搬送用治具及びそれを用いた液晶表示素子の製造方法 |
JPH0868993A (ja) | 1994-08-29 | 1996-03-12 | Optrex Corp | 液晶表示素子用カラーフィルターの加工方法、装置及びそれを用いた液晶表示素子 |
US6197397B1 (en) * | 1996-12-31 | 2001-03-06 | 3M Innovative Properties Company | Adhesives having a microreplicated topography and methods of making and using same |
JP2001051284A (ja) * | 1999-08-10 | 2001-02-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶表示装置製造装置 |
JP3574865B2 (ja) | 1999-11-08 | 2004-10-06 | 株式会社 日立インダストリイズ | 基板の組立方法とその装置 |
JP3859937B2 (ja) * | 2000-06-02 | 2006-12-20 | 住友大阪セメント株式会社 | 静電チャック |
US6838142B2 (en) * | 2001-05-18 | 2005-01-04 | 3M Innovative Properties Company | Specular laminates |
-
2003
- 2003-02-17 AU AU2003211350A patent/AU2003211350A1/en not_active Abandoned
- 2003-02-17 US US10/506,636 patent/US7326457B2/en active Active
- 2003-02-17 WO PCT/JP2003/001674 patent/WO2003075343A1/ja active Application Filing
- 2003-02-17 JP JP2003573698A patent/JP4134907B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2003-02-17 CN CNB038053888A patent/CN100472747C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2003-02-17 KR KR1020047013164A patent/KR100702070B1/ko active IP Right Grant
- 2003-03-05 TW TW092104649A patent/TWI251894B/zh not_active IP Right Cessation
-
2007
- 2007-10-25 US US11/924,054 patent/US7905979B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-10-26 US US11/924,680 patent/US20080060754A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1639858A (zh) | 2005-07-13 |
KR100702070B1 (ko) | 2007-04-02 |
TWI251894B (en) | 2006-03-21 |
US20080060754A1 (en) | 2008-03-13 |
AU2003211350A1 (en) | 2003-09-16 |
US7905979B2 (en) | 2011-03-15 |
US20080099137A1 (en) | 2008-05-01 |
CN100472747C (zh) | 2009-03-25 |
TW200402115A (en) | 2004-02-01 |
US20050167036A1 (en) | 2005-08-04 |
US7326457B2 (en) | 2008-02-05 |
KR20040096609A (ko) | 2004-11-16 |
JP4134907B2 (ja) | 2008-08-20 |
WO2003075343A1 (en) | 2003-09-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4134907B2 (ja) | 真空中での基板保持方法、液晶表示装置の製造方法、基板保持装置、液晶表示装置の製造装置 | |
JP5500076B2 (ja) | ガラス基板積層装置及び積層ガラス基板の製造方法 | |
JP5029523B2 (ja) | ガラス積層体、支持体付き表示装置用パネル、表示装置用パネル、表示装置およびこれらの製造方法 | |
JP4078487B2 (ja) | 基板組立装置及び方法 | |
JP4125776B1 (ja) | 粘着チャック装置 | |
US20060240199A1 (en) | Pellicle frame | |
JP6024916B2 (ja) | パネル貼付方法およびパネル貼付装置 | |
KR20100119168A (ko) | 플렉서블 표시장치의 제조 방법 | |
KR20140047150A (ko) | 레티클 척 클리너 및 레티클 척 클리닝 방법 | |
KR102561186B1 (ko) | 기재 부착 방법 및 기재 부착 장치 | |
KR20130047590A (ko) | 접착 장치 및 접착 방법 | |
KR101334406B1 (ko) | 개선된 기판 합착 장치 및 합착 방법 | |
JP2015199218A (ja) | ワーク貼り合わせ装置 | |
KR101270246B1 (ko) | 개선된 기판 합착 장치 및 합착 방법 | |
KR20040081054A (ko) | 액정 표시 장치의 제조 방법 | |
KR101317790B1 (ko) | 점착척 및 그 제조방법 | |
KR101404057B1 (ko) | 기판 합착 장치용 라미네이팅 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 합착 장치 및 방법 | |
JP2015187648A (ja) | 貼合方法および貼合装置 | |
CN111987193B (zh) | 微发光二极管转移装置及其制作方法 | |
TWI826773B (zh) | 基板組裝裝置及基板組裝方法 | |
JP3773866B2 (ja) | 基板の組立方法およびその装置 | |
KR101270247B1 (ko) | 개선된 기판 합착 장치 및 합착 방법 | |
JP4241203B2 (ja) | 可撓性フィルムのラミネート方法およびラミネート装置並びに回路基板の製造方法 | |
JP2004061940A (ja) | 偏光板貼付装置の偏光板貼り付け方法 | |
KR102483233B1 (ko) | 기포 및 이물질이 유입되지 않는 광학필름용 필름 접합장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20060920 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20060921 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070522 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20070712 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070718 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20070712 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080115 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080310 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080507 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080520 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4134907 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110613 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120613 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130613 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130613 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140613 Year of fee payment: 6 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |