JPWO2002064299A1 - ワイヤ放電加工方法及び装置 - Google Patents

Abstract

加工電力供給手段によりワイヤ電極（１ａ）と被加工物（２）との極間に放電エネルギを供給し、位置決め手段によりワイヤ電極（１ａ）及び被加工物（２）を相対移動させて、被加工物（２）を加工するワイヤ放電加工装置において、前記極間に加工液（４ａ）を供給する加工液供給手段、前記極間にミスト（７）を供給するミスト供給手段及び前記極間に気体（８）を供給する気体供給手段並びに被加工物（２）を冷却する冷却用流体である加工液（４ａ）を供給する冷却用流体供給手段を組み合わせて一体に形成された流体供給手段（１２）を備えた。より高精度化及び高品位化に適したワイヤ放電加工を行うことができる。

Description

技術分野
この発明は、ワイヤ電極と被加工物の極間に加工電力を供給し、放電エネルギにより前記被加工物を加工する、ワイヤ放電加工方法及び装置の改良に関するものである。
背景技術
放電加工は金型等の加工技術として確固たる地位を築いており、自動車産業、家電産業、半導体産業等の金型加工の分野において多用されてきた。
第７図は、放電加工のメカニズムの説明図であり、図において、１は電極、２は被加工物、３はアーク柱、４は加工液、５は放電加工により生成された加工屑である。以下の（ａ）乃至（ｅ）のサイクル（第７図の（ａ）乃至（ｅ）に対応）を繰返しながら被加工物２の放電による除去加工が進行する。即ち、（ａ）放電の発生によるアーク柱３の形成、（ｂ）放電の熱エネルギによる局部的溶融及び加工液４の気化、（ｃ）加工液４の気化爆発力の発生、（ｄ）溶融部（加工屑５）の飛散、（ｅ）加工液による冷却、凝固、極間の絶縁回復、である。
この発明は、放電加工の中でも、くり貫き加工、切断加工等に使用されるワイヤ放電加工に関するものである。ワイヤ放電加工は、特に高精度化への要求が強まっており、例えば、半導体業界等で使用される高精度金型の加工では、１〜２μｍ程度の高い加工精度が要求されるようになってきている。
第８図は、ワイヤ放電加工の加工プロセスの例を示す説明図であり、図において、１ａはワイヤ電極、２は被加工物、４ａは例えば水である加工液、６はイニシャルホールであり、第８図の（ａ）は荒加工であるファーストカットを、第８図の（ｂ）は荒加工後の中仕上げ加工であるセカンドカットを、第８図の（ｃ）は最終仕上げ加工であるサードカットの様子を示している。
第８図の（ａ）のファーストカットの加工例は、イニシャルホール６にワイヤ電極１ａを通し、被加工物２をくり貫く加工を示している。このようなファーストカットの場合、後の加工で面粗さ及び精度を仕上げるため、それほど厳しい面粗さ及び精度は要求されず、生産性向上のために特に加工速度を上げることが重要である。ワイヤ放電加工において、加工速度を上げるためには、ワイヤ電極１ａと被加工物２の極間からの加工屑の排出を効率的に行うため、加工液４ａを前記極間に噴出することが行われる。また、前記極間への加工液４ａのかかりのむらを無くし、ワイヤ電極１ａの断線を防止するために、図示しない加工槽の中に加工液４ａを溜めて被加工物２を浸漬する方法が用いられる。このように、ワイヤ電極１ａと被加工物２の極間に加工液を供給する加工液供給手段が用いられる。
以上のような従来のワイヤ放電加工では、ファーストカット（第８図の（ａ））後のセカンドカット（第８図の（ｂ））及びサードカット（第８図の（ｃ））等の加工も、加工液４ａ中で行われる。
ワイヤ電極１ａと被加工物２の極間に電圧が印加されると、プラス極性とマイナス極性は互いに引き合う力が働くため、この静電力により剛性の小さいワイヤ電極１ａは被加工物２側に引っ張られることになる。これが、ワイヤ電極１ａの振動の原因となり、このような振動により高精度加工が困難になるという問題点があった。
また、放電エネルギにより加工液の気化爆発力が発生した状態（例えば、第７図の（ｃ））では、ワイヤ電極１ａには、加工液の気化爆発力により被加工物２と反対方向に大きな力が作用し、振動が発生する。このような振動により、被加工物２の形状に凹凸が生じ、精度の悪化につながるという問題点があった
さらに、ワイヤ放電加工の利用分野である半導体業界等において、例えば、ＩＣリードフレームの金型等の加工においては、形状精度が１μｍ、面粗さが１μｍＲｍａｘ以下というような被加工物に対して極めて高精度かつ非常に滑らかな面粗さが求められる用途が増加しており、特にこのような用途では、前記のようなワイヤ電極の振動等に起因する問題点が顕著であった。
このような液中ワイヤ放電加工の問題点を解決するための方策として、ワイヤ電極と被加工物の極間に加工液を介在させずに大気中でワイヤ放電加工を行う、気中ワイヤ放電加工に関する技術が開示されている（東京農工大学安達他、「気中放電加工によるセカンドカットの高精度化」、型技術、第１４巻、第７号、１９９９年、１５４頁、日刊工業新聞社）。この技術では、大気中におけるワイヤ放電加工により被加工物切断面の真直精度を向上することができることが開示されており、通常の加工液中でのワイヤ放電加工と比較すると高精度化の観点での意義は大きいが、このような気中でワイヤ放電加工を行う場合、あるいはミスト中でワイヤ放電加工を行う場合においては、加工液による冷却効果（例えば第７図の（ｅ））を利用することができないため、ワイヤ電極と被加工物の極間の冷却が十分に行えず、放電による発熱により被加工物に熱ひずみが生じた状態で加工が進行するため、前記のような被加工物に対して極めて高精度かつ非常に滑らかな面粗さが求められる用途等には対応できないという問題点があった。
発明の開示
この発明は、前記のような課題を解決するためになされたものであり、ワイヤ放電加工の高精度化及び高品位化に適したワイヤ放電加工方法及び装置を得ることを目的とする。
この発明に係るワイヤ放電加工方法は、ワイヤ電極と被加工物の極間に放電を発生させて前記被加工物を加工するワイヤ放電加工方法において、ミスト中又は気中における加工工程において、前記被加工物を冷却しながら加工を行うものである。
また、この発明に係るワイヤ放電加工方法は、ワイヤ電極と被加工物の極間に放電を発生させて前記被加工物を加工するワイヤ放電加工方法において、加工液中での加工、ミスト中での加工及び気中での加工の３つの加工の中の少なくとも２つの加工を組み合わせて加工を行い、ミスト中又は気中における加工工程において、前記被加工物を冷却しながら加工を行うものである。
この発明に係るワイヤ放電加工装置は、加工電力供給手段によりワイヤ電極と被加工物の極間に放電エネルギを供給し、位置決め手段により前記ワイヤ電極及び被加工物を相対移動させて、気中又はミスト中にて前記被加工物を加工するワイヤ放電加工装置において、前記被加工物を冷却する冷却用流体を供給する冷却用流体供給手段を備えたものである。
また、この発明に係るワイヤ放電加工装置は、加工電力供給手段によりワイヤ電極と被加工物の極間に放電エネルギを供給し、位置決め手段により前記ワイヤ電極及び被加工物を相対移動させて、前記被加工物を加工するワイヤ放電加工装置において、前記極間に加工液を供給する加工液供給手段、前記極間にミストを供給するミスト供給手段及び前記極間に気体を供給する気体供給手段の中の少なくとも２つの加工用流体を供給する加工用流体供給手段と、前記被加工物を冷却する冷却用流体を供給する冷却用流体供給手段とを備えたものである。
また、この発明に係るワイヤ放電加工装置は、加工電力供給手段によりワイヤ電極と被加工物の極間に放電エネルギを供給し、位置決め手段により前記ワイヤ電極及び被加工物を相対移動させて、前記被加工物を加工するワイヤ放電加工装置において、前記極間に加工液を供給する加工液供給手段、前記極間にミストを供給するミスト供給手段及び前記極間に気体を供給する気体供給手段の中の少なくとも２つの加工用流体を供給する加工用流体供給手段と、前記被加工物を冷却する冷却用流体を供給する冷却用流体供給手段と、生産性及び被加工物に対する要求精度等に応じて、前記加工液供給手段による前記極間への前記加工液の供給、前記ミスト供給手段による前記極間への前記ミストの供給及び前記気体供給手段による前記極間への前記気体の供給の切り換え、並びに前記ミスト供給手段による前記極間への前記ミストの供給時又は前記気体供給手段による前記極間への前記気体の供給時に前記冷却用流体供給手段による前記被加工物への前記冷却用流体の供給を制御する制御手段とを備えたものである。
また、この発明に係るワイヤ放電加工装置は、前記加工用流体供給手段は前記ワイヤ電極に沿って前記加工用流体を前記極間に供給するものであり、前記冷却用流体供給手段は前記加工用流体の外側から前記被加工物に向かって前記冷却用流体を噴出するものである
また、この発明に係るワイヤ放電加工装置は、前記加工用流体供給手段及び前記冷却用流体供給手段を組み合わせて一体に形成された流体供給手段を備えたものである。
また、この発明に係るワイヤ放電加工装置は、前記加工液供給手段は加工液タンク内の加工液をポンプにて前記極間に供給するものであり、前記気体供給手段は空気等の気体をコンプレッサにて加圧して前記極間に供給するものであり、前記ミスト供給手段は前記加工液供給手段により供給される加工液と前記気体供給手段によって供給される気体とを混合してミストを生成して前記極間に供給するものである。
また、この発明に係るワイヤ放電加工装置は、前記冷却用流体供給手段が前記加工液タンク内の加工液をポンプにて加圧して前記極間に供給するものである。
また、この発明に係るワイヤ放電加工装置は、前記コンプレッサにて加圧された気体を冷却する冷却手段を備えたものである。
また、この発明に係るワイヤ放電加工装置は、前記冷却手段が前記加工液タンク内に配設された熱交換器を用いて構成されるものである。
この発明に係るワイヤ放電加工方法及び装置は以上のように構成されているため、気中又はミスト中におけるワイヤ放電加工において、被加工物の冷却を効果的に行うことができ、被加工物の熱ひずみを抑制することができるため、高精度化及び高品位化に適したワイヤ放電加工を行うことができるという効果を奏する。また、生産性及び被加工物に対する要求精度等に応じて、加工液中での加工、ミスト中での加工及び気中での加工を組み合わせて行うことにより要求仕様に適切に対応することができるという効果を奏する。
発明を実施するための最良の形態
実施の形態１．
第１図は、この発明の実施の形態１に係るワイヤ放電加工方法の一例を示す説明図であり、図において、１ａはワイヤ電極、２は被加工物、４ａは例えば水である加工液、６はイニシャルホール、７は水等のミスト、８は空気等の気体であり、第１図の（ａ）は荒加工であるファーストカットを、第１図の（ｂ）は荒加工後の中仕上げ加工であるセカンドカットを、第１図の（ｃ）は最終仕上げ加工であるサードカットを示している。ファーストカット、セカンドカット及びサードカットは便宜上のものであり、必ずしもワイヤ放電加工が３回の加工で終了するものではない。被加工物への要求精度が低い加工では、ファーストカットのみ、あるいは、ファーストカットとセカンドカットのみで終了する場合もあり、被加工物への要求精度が高い加工では、７回、８回と加工を行う場合もある。
次に、加工方法の概略について説明する。第１図の（ａ）のファーストカットは、イニシャルホール６にワイヤ電極１ａを通し、被加工物２をくり貫く加工である。ファーストカットでは、後の加工で面粗さ及び精度を仕上げるため、それほど厳しい面粗さ及び精度は要求されず、生産性向上のために特に加工速度を上げることが重要であり、背景技術の第８図と同様にワイヤ電極１ａと被加工物２の極間に加工液を供給する加工液供給手段により、加工液４ａを前記極間に介在させて加工を行う。この加工液供給手段としては、加工槽の中に加工液４ａを溜めて被加工物２を浸漬する手段及び前記極間に加工液４ａを噴出する手段の中の少なくともどちらかが用いられる。
通常のワイヤ放電加工では、ファーストカット後も、加工液供給手段により前記極間に加工液を供給して加工が進められるが、背景技術に示したようにワイヤ電極の振動等の問題があるため、高精度加工には適さない。
この発明は、仕上げ加工において、前記極間に加工液を介在させずに加工を行い、被加工物の精度及び面粗さを改善するものである。
第１図の（ｂ）の中仕上げ加工であるセカンドカットでは、ワイヤ電極１ａの振動を抑えて加工形状精度を改善するために、加工液４ａ中での加工ではなく、ミスト７中での加工を行うものである。ミスト７中での加工速度は加工液４ａ中での加工と比べてそれほど遜色はなく、静電力によるワイヤ電極１ａの振動が抑制されるため加工精度が向上する。ミスト７中での加工は、例えば図示しないミスト供給手段によりワイヤ電極１ａと被加工物２の極間にミストを噴出することにより行うことができる。
また、第１図の（ｃ）の最終仕上げ加工であるサードカットの場合には、気体８中での放電を使用することにより、さらにワイヤ電極１ａの振動を抑制することができる。気体８中での加工は、大気中又は図示しない気体供給手段によりワイヤ電極１ａと被加工物２の極間に所定の成分の気体を噴出することにより行うことができる。
以上のようなミスト７中及び気体８中の放電加工により高い精度が得られる理由は、以下の通りである。ワイヤ電極１ａと被加工物２の極間に電圧が印加されたときに前記極間に作用する静電力は前記極間の誘電率に比例するため、同じ極間距離として計算すると、前記極間の介在物が加工液４ａである場合に比べて、前記極間の介在物がミスト７又は気体８である場合は、前記静電力が数十分の一となる（例えば、誘電率は真空中が最も小さく、水中では真空中の約８０倍である）。また、放電による気化爆発力は前記極間に介在する液体により生ずるため、前記極間にミスト７又は気体８しか存在しない場合には、ワイヤ電極１ａは気化爆発力の影響をほとんど受けない。
従って、ミスト７中又は気体８中の放電により高精度なワイヤ放電加工を行うことができ、生産性及び被加工物に対する要求精度等に応じて、加工液中での加工、ミスト中での加工及び気中での加工を組み合わせて行うことにより要求仕様に適切に対応することができる。
第２図は、この発明の実施の形態１に係るワイヤ放電加工装置を示す構成図であり、図において、１ａはワイヤ電極、２は被加工物、４ａは例えば水である加工液、７はミスト、８は気体、９は被加工物２を固定する定盤、１１はワイヤボビン、１２は流体供給手段、１３はキャプスタンローラ、１４はピンチローラ、１５は被加工物２の水平方向（Ｘ方向）の駆動を行うためのＸテーブル、１６は被加工物２の水平方向（Ｙ方向）の駆動を行うためのＹテーブル、１７はＸテーブル１５を駆動する図示しない駆動モータを制御するＸ軸サーボアンプ、１８はＹテーブル１６を駆動する図示しない駆動モータを制御するＹ軸サーボアンプ、１９は制御手段である。キャプスタンローラ１３及びピンチローラ１４によりワイヤ電極１ａを挟持して牽引し、ワイヤ電極１ａを走行させながら、ワイヤ電極１ａと被加工物２の極間に図示しない加工電力供給手段から加工電力を供給し、位置決め手段であるＸテーブル及びＹテーブル等によりワイヤ電極１ａと被加工物２とを相対移動させながら被加工物２の加工を行う。
第３図は、この発明の実施の形態１に係るワイヤ放電加工装置の流体供給手段１２の構成を示す説明図であり、第３図の（ａ）は縦断面図、第３図の（ｂ）は第３図の（ａ）のＡ−Ａ断面図である。第３図において、１ａはワイヤ電極、２は被加工物、４ａは例えば水である加工液、７はミスト、８は気体、１２は流体供給手段、１２ａは流体供給手段１２にワイヤ電極１ａの通る穴の外側に同心円状に形成された冷却用流体である加工液４ａを被加工物２に噴出するための溝、２０及び２１はカプラである。
第４図は、流体供給手段１２への流体供給方法の説明図であり、図において、４ａは例えば水である加工液、２２は加工液タンク、２３は加圧気体をワイヤ電極１ａと被加工物２の極間に供給するためのコンプレッサ、２４は加工液タンク２２内の加工液４ａの温度を制御する温度制御装置、２５乃至２７はバルブ、２８は温度制御装置２４により温度制御された加工液４ａを供給するポンプである。ワイヤ電極１ａと被加工物２の極間に気体８又はミスト７を供給して気中又はミスト中にてワイヤ放電加工を行う場合には、カプラ２１から加工液４ａを流体供給手段１２に供給することにより、流体供給手段１２の溝１２ａから、冷却用流体である加工液４ａを前記極間の近傍にワイヤ電極１ａの同心円状に噴出する。このような冷却用流体の噴出は、ワイヤ電極１ａの同心円状に限定されるものではなく、加工用流体として前記極間に供給される気体８又はミスト７の外側から被加工物２に噴出するものであればよい。
このような気中又はミスト中にてワイヤ放電加工を行う場合に、気体８又はミスト７をコンプレッサ２３により高圧にして前記極間に供給すれば、前記極間に加工液４ａが進入することなく、前記極間の近傍に冷却加工液を供給して被加工物を冷却することができ、加工熱による被加工物の熱ひずみを効果的に低減することができる。
次に、実加工時の動作について説明する。ワイヤ電極１ａと被加工物２の極間に加工液４ａを供給し加工する場合には、バルブ２５を閉、バルブ２６を開、バルブ２７を閉とし、カプラ２０に加工用流体である加工液４ａを送る。また、前記極間に気体８を供給し加工する場合には、バルブ２５を開、バルブ２６を閉、バルブ２７を開とし、カプラ２０に加工用流体である加圧気体８を、カプラ２１に冷却用流体である加工液４ａを送る。さらに、前記極間にミスト７を供給し加工する場合には、バルブ２５、２６及び２７をすべて開とし、コンプレッサ２３からの加圧気体８と加工液４ａにより加工用流体であるミスト７を生成してカプラ２０に送り、カプラ２１に冷却用流体である加工液４ａを送る。このようなバルブ２５乃至２７の開閉の切り換えは制御手段１９により行う。
以上のように、流体供給手段１２は、加工液供給手段、ミスト供給手段及び気体供給手段としての機能（加工用流体供給手段）並びに被加工物を冷却する冷却用流体供給手段としての機能を有するものである。
以上のような構成により、必要とされる加工速度、加工精度等に応じて、ワイヤ電極１ａと被加工物２の極間に、加工液４ａ、ミスト７又は気体８が選択的に供給されると共に、気中又はミスト中のワイヤ放電加工においては、被加工物２を効果的に冷却することができる。従って、被加工物の熱ひずみの抑制により、より高精度かつ非常に滑らかな面粗さが求められる用途等にも対応することができる。
以上においては、流体供給手段１２が、加工用流体供給手段としての機能及び冷却用流体供給手段としての機能を有する場合について説明したが、加工用流体供給手段及び冷却用流体供給手段を分離して別々に設けることもできる。
実施の形態２．
第５図は、この発明の実施の形態２に係るワイヤ放電加工装置の流体供給手段１２への流体供給方法の説明図であり、ワイヤ放電加工装置の構成は実施の形態１の第２図と同様であり、ワイヤ放電加工装置の流体供給手段１２の構成は実施の形態１の第３図と同様である。第５図において、実施の形態１の第４図と同一符号は同一又は相当部分を示しており、２９は冷却器である。また、バルブ２５乃至２７の開閉の切り換え等の動作は実施の形態１と同様である。
第５図において、コンプレッサ２３とバルブ２５の間に冷却器２９を配置したことにより、ワイヤ電極と被加工物の極間に気体を供給して放電加工を行う場合には、冷却器で冷却された気体が前記極間に供給される。また、前記極間にミストを供給して加工する場合には、冷却器で冷却された加圧気体を使ってミストが生成される。従って、従来の温度制御されていない気体を使用した場合に比べ、気体又はミストを前記極間に噴射して加工する場合において、被加工物加工部の冷却効率を向上させることができる。
実施の形態３．
第６図は、この発明の実施の形態３に係るワイヤ放電加工装置の流体供給手段１２への流体供給方法の説明図であり、ワイヤ放電加工装置の構成及び動作等は実施の形態１及び２と同様である。第６図において、実施の形態１の第４図及び実施の形態２の第５図と同一符号は同一又は相当部分を示しており、３０は熱交換器である。
第６図は、実施の形態１の第４図におけるコンプレッサ２３とバルブ２５の間に熱交換器３０を追加し、この熱交換器３０を加工液タンク２２内に設置したものである。加工液タンク２２内の加工液４ａは温度制御装置２４によって、室温又はそれ以下の温度に制御されているので、コンプレッサ２３で加圧された空気８が、加工槽２２内の温度制御された加工液４ａによって冷却される。従って、実施の形態２と同様の被加工物加工部の冷却効率向上効果がある。さらに、実施の形態２の第５図の冷却器２９の機能をより簡単な構成で実現できるため、コスト低減を図ることができるという効果もある。
産業上の利用可能性
以上のように、この発明に係るワイヤ放電加工方法及び装置は、特に高精度かつ高品位な放電加工作業に用いられるのに適している。
【図面の簡単な説明】
第１図は、この発明の実施の形態１に係るワイヤ放電加工方法の一例を示す説明図である。
第２図は、この発明の実施の形態１に係るワイヤ放電加工装置を示す構成図である。
第３図は、この発明の実施の形態１に係るワイヤ放電加工装置の流体供給手段の構成を示す説明図である。
第４図は、この発明の実施の形態１に係るワイヤ放電加工装置の流体供給手段への流体供給方法の説明図である。
第５図は、この発明の実施の形態２に係るワイヤ放電加工装置の流体供給手段への流体供給方法の説明図である。
第６図は、この発明の実施の形態３に係るワイヤ放電加工装置の流体供給手段への流体供給方法の説明図である。
第７図は、放電加工のメカニズムの説明図である。
第８図は、ワイヤ放電加工の加工プロセスの例を示す説明図である。

【０００４】
発明の開示
この発明は、前記のような課題を解決するためになされたものであり、ワイヤ放電加工の高精度化及び高品位化に適したワイヤ放電加工方法及び装置を得ることを目的とする。
この発明に係るワイヤ放電加工方法は、ワイヤ電極と被加工物の極間に放電を発生させて前記被加工物を加工するワイヤ放電加工方法において、加工液中での加工、ミスト中での加工及び気中での加工の３つの加工の中の少なくとも２つの加工を組み合わせて加工を行い、ミスト中又は気中における加工工程において、前記被加工物を冷却しながら加工を行うものである。
この発明に係るワイヤ放電加工装置は、加工電力供給手段によりワイヤ電極と被加工物の極間に放電エネルギを供給し、位置決め手段により前記ワイヤ電極及び被加工物を相対移動させて、前記被加工物を加工するワイヤ放電加工装置において、前記極間に加工液を供給する加工液供給手段、前記極間にミストを供給するミスト供給手段及び前記極間に気体を供給する気体供給手段の中の少なくとも２つの加工用流体を

Claims (11)

1. ワイヤ電極と被加工物の極間に放電を発生させて前記被加工物を加工するワイヤ放電加工方法において、
   ミスト中又は気中における加工工程において、前記被加工物を冷却しながら加工を行うことを特徴とするワイヤ放電加工方法。
2. ワイヤ電極と被加工物の極間に放電を発生させて前記被加工物を加工するワイヤ放電加工方法において、
   加工液中での加工、ミスト中での加工及び気中での加工の３つの加工の中の少なくとも２つの加工を組み合わせて加工を行い、ミスト中又は気中における加工工程において、前記被加工物を冷却しながら加工を行うことを特徴とするワイヤ放電加工方法。
3. 加工電力供給手段によりワイヤ電極と被加工物の極間に放電エネルギを供給し、位置決め手段により前記ワイヤ電極及び被加工物を相対移動させて、気中又はミスト中にて前記被加工物を加工するワイヤ放電加工装置において、
   前記被加工物を冷却する冷却用流体を供給する冷却用流体供給手段を備えたことを特徴とするワイヤ放電加工装置。
4. 加工電力供給手段によりワイヤ電極と被加工物の極間に放電エネルギを供給し、位置決め手段により前記ワイヤ電極及び被加工物を相対移動させて、前記被加工物を加工するワイヤ放電加工装置において、
   前記極間に加工液を供給する加工液供給手段、前記極間にミストを供給するミスト供給手段及び前記極間に気体を供給する気体供給手段の中の少なくとも２つの加工用流体を供給する加工用流体供給手段と、
   前記被加工物を冷却する冷却用流体を供給する冷却用流体供給手段とを備えたことを特徴とするワイヤ放電加工装置。
5. 加工電力供給手段によりワイヤ電極と被加工物の極間に放電エネルギを供給し、位置決め手段により前記ワイヤ電極及び被加工物を相対移動させて、前記被加工物を加工するワイヤ放電加工装置において、
   前記極間に加工液を供給する加工液供給手段、前記極間にミストを供給するミスト供給手段及び前記極間に気体を供給する気体供給手段の中の少なくとも２つの加工用流体を供給する加工用流体供給手段と、
   前記被加工物を冷却する冷却用流体を供給する冷却用流体供給手段と、
   生産性及び被加工物に対する要求精度等に応じて、前記加工液供給手段による前記極間への前記加工液の供給、前記ミスト供給手段による前記極間への前記ミストの供給及び前記気体供給手段による前記極間への前記気体の供給の切り換え、並びに前記ミスト供給手段による前記極間への前記ミストの供給時又は前記気体供給手段による前記極間への前記気体の供給時に前記冷却用流体供給手段による前記被加工物への前記冷却用流体の供給を制御する制御手段とを備えたことを特徴とするワイヤ放電加工装置。
6. 請求の範囲４又は５において、前記加工用流体供給手段は前記ワイヤ電極に沿って前記加工用流体を前記極間に供給するものであり、前記冷却用流体供給手段は前記加工用流体の外側から前記被加工物に向かって前記冷却用流体を噴出するものであることを特徴とするワイヤ放電加工装置。
7. 請求の範囲６において、前記加工用流体供給手段及び前記冷却用流体供給手段を組み合わせて一体に形成された流体供給手段を備えたことを特徴とするワイヤ放電加工装置。
8. 請求の範囲４又は５において、前記加工液供給手段は加工液タンク内の加工液をポンプにて前記極間に供給するものであり、前記気体供給手段は空気等の気体をコンプレッサにて加圧して前記極間に供給するものであり、前記ミスト供給手段は前記加工液供給手段により供給される加工液と前記気体供給手段によって供給される気体とを混合してミストを生成して前記極間に供給するものであることを特徴とするワイヤ放電加工装置。
9. 請求の範囲８において、前記冷却用流体供給手段が前記加工液タンク内の加工液をポンプにて加圧して前記極間に供給するものであることを特徴とするワイヤ放電加工装置。
10. 請求の範囲８において、前記コンプレッサにて加圧された気体を冷却する冷却手段を備えたことを特徴とするワイヤ放電加工装置。
11. 請求の範囲１０において、前記冷却手段が前記加工液タンク内に配設された熱交換器を用いて構成されるものであることを特徴とするワイヤ放電加工装置。

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