TWI715977B

TWI715977B - 振動輔助線切割放電加工模組

Info

Publication number: TWI715977B
Application number: TW108115924A
Authority: TW
Inventors: 許文政
Original assignee: 國立高雄科技大學
Priority date: 2019-05-08
Filing date: 2019-05-08
Publication date: 2021-01-11
Also published as: US11433469B2; US20200353548A1; JP6970988B2; CN111906396B; JP2020183034A; CN111906396A; TW202041306A

Abstract

一種振動輔助線切割放電加工模組，可在線切割的放電加工過程中提供振動輔助，令電極線受相交的雙軸向振動源的驅動，而雙軸向振動源係提供雙軸向的弦波振動，其中，雙軸向的弦波振動的波形具有相同的振幅，且優選地，雙軸向的弦波振動的波形呈現同步且振動相位差維持90度。過去，雖有單軸向振動輔助線切割放電加工的研究文獻，但其單軸向振動必導致沿振動軸向的擴孔而不符合實務加工精度要求，相較之下，本申請旨在藉振動波形的複數波腹分散電極線承受放電脈衝的位置，尤其藉雙軸同步高頻的振動分散放電點，從而減少放電集中現象以消除電極線斷線問題與單軸向振動擴孔現象，是以，本申請不只能提升線切割放電加工的相對穩定度與工件的放電加工移除率，也能使放電加工所形成的幾何形狀符合精度需求(例如:圓孔的真圓度)，還能減少工件經放電加工後的鼓形量誤差(尤以高厚度工件為甚)，因此，本申請的振動輔助線切割放電加工模組能對工件進行高效率與高精度的放電加工。

Description

振動輔助線切割放電加工模組

本申請係涉及一種振動輔助線切割放電加工模組，更詳而言之，涉及可使電極線在加工件上的線切割放電加工能達成預防斷線及提高放電加工移除率，與改善高厚度加工件的鼓形量誤差的振動輔助線切割放電加工模組。

按，近年來，非傳統加工被廣泛運用在對傳統機械難以切削的材料加工，而放電加工是常見的非傳統加工中的一種，放電加工時，加工液在電極線與加工件之間的間隙中，產生電弧放電現象進而對加工件產生熱作用，使加工件融熔而產生放電痕，如此反覆進行，就可逐漸完成加工件的放電加工，因此，舉凡難以切削的特殊材料或硬質導體都可以透過放電加工達成去除加工。

然，在線切割放電加工的過程中，經常因屑渣排除不易與集中放電而造成斷線問題，尤其線切割高厚度件時，常因排屑不易與放電點集中於線電極局部表面導致常發生斷線，而嚴重影響加工效率與表面形貌。過去，雖已有人提出振動輔助線切割放電加工的研究文獻，但一般所採的單軸向振動必造成沿振動軸向的擴孔現象，使放電加工所形成的幾何形狀不符合精度要求，例如圓孔的真圓度不足；且在高厚度加工件的放電加工下，容易出現材料移除率低下與鼓形量誤差，使其振動輔助的線切割放電加工無法做高精度的加工品質。因此，如何改善當前放電集中與斷線的相關技術問題，以克服現有技術中的加工速度、精度與表面品質種種問題，即為本案待解決的技術課題。

鑒於上述先前技術之缺點，本申請係提供一種振動輔助線切割放電加工模組，用於在對加工件進行線切割的放電加工時提供振動輔助。所述振動輔助放電加工模組係包括：電極線、核心振動結構、第一軸震盪器以及第二軸震盪器。電極線係用以對加工件進行放電加工。核心振動結構係引導電極線延伸至加工件，且具有相交的第一軸向與第二軸向。第一軸震盪器係結合核心振動結構，並在核心振動結構的第一軸向對電極線提供第一弦波振動波，以驅使電極線沿第一軸向振動。第二軸震盪器係結合核心振動結構，並在核心振動結構的第二軸向對電極線提供第二弦波振動波，以驅使電極線沿第二軸向振動。

可選擇性地，於上述振動輔助線切割放電加工模組中，核心振動結構包括：第一軸引導桿以及第二軸引導桿。第一軸引導桿係沿第一軸向延伸，令第一軸震盪器經由第一軸引導桿提供第一弦波振動波。第二軸引導桿係沿第二軸向延伸，令第二軸震盪器經由第二軸引導桿提供第一弦波振動波。

可選擇性地，於上述振動輔助線切割放電加工模組中，第一軸震盪器與第二軸震盪器係分別為超音波震盪器，而第一軸引導桿與第二軸引導桿係分別為超音波擴幅桿。

可選擇性地，於上述振動輔助線切割放電加工模組中，第一弦波振動波的波形與第二弦波振動波的波形具有相同的振幅，且兩者振動波的波形的相位差維持90度，第一弦波振動波具有第一位移，第二弦波振動波具有第二位移。該第一軸向與第二軸向可選擇地為互為垂直，因此，當第一位移相當於振幅乘以COS(ωt)時，則第二位移相當於振幅乘以SIN(ωt)，讓第一位移與第二位移同步驅使電極線在以振幅為半徑的繞圓軌跡上運動；其中，令ω=2πf、ω為振動角頻率、f為振動頻率、t為振動時間。

可選擇性地，於上述振動輔助線切割放電加工模組中，振動頻率大於等於16KHz，而振幅的尺寸係小於對加工件進行放電加工的放電間隙寬減去至少1微米後的尺寸。

可選擇性地，於上述振動輔助線切割放電加工模組中，還包括加工主軸與振動載具，電極線係自加工主軸向下延伸且通過振動載具，振動載具係結合加工主軸，且振動載具係承載核心振動結構、第一軸震盪器與第二軸震盪器。

可選擇性地，於上述振動輔助線切割放電加工模組中，還包括配重結構，配重結構係結合振動載具，使振動載具的重心位置與核心振動結構上電極線的中心位置實質相同，俾維持振動輔助線切割放電加工的穩定性。

可選擇性地，於上述振動輔助線切割放電加工模組中，核心振動結構係為用於引導電極線走向的眼模，配重結構與第一軸震盪器兩者中心線的交角為135度，配重結構與第二軸震盪器兩者中心線的交角為135度。

可選擇性地，於上述振動輔助線切割放電加工模組中，振動載具包含上腔室與下腔室，核心振動結構係容置於上腔室內，第一軸震盪器與第二軸震盪器係分別於上腔室結合核心振動結構；下腔室具有加工液導入結構、加工液引導結構與加工液導出結構。加工液導入結構係將加工液沿圓周切線方向導入下腔室內。加工液引導結構係引導加工液於下腔室內流動。加工液導出結構係令加工液迅速流出下腔室。

可選擇性地，於上述振動輔助線切割放電加工模組中，上腔室包含排液口，排液口係排除上腔室內的液體，以避免上腔室內積存液體而影響第一軸震盪器與第二軸震盪器兩者的運作。

可選擇性地，於上述振動輔助線切割放電加工模組中，加工液引導結構係具有引導弧面，俾引導下腔室內的加工液沿圓周切線方向以渦旋方式流動；加工液導出結構係位於下腔室內加工液流動範圍下方，並具有循圓周佈設的至少一通孔，俾接受並導出加工液，使加工液迅速流出下腔室。

可選擇性地，於上述振動輔助線切割放電加工模組中，還包括導流管，導流管係結合振動載具且鄰近下腔室，並連通加工液導出結構，其中，電極線係通過導流管，使加工液導出結構導出的加工液經由導流管在一預定足夠的液體壓力下包覆電極線而後進入加工件。

相較於先前技術，本申請的振動輔助線切割放電加工模組可在線切割的放電加工過程中提供振動輔助，令電極線受相交的雙軸向振動源的驅動，而雙軸向振動源係提供雙軸向的弦波振動，其中，雙軸向的弦波振動的波形具有相同的振幅，且雙軸向的弦波振動的波形呈現同步且振動相位差維持90度，從而減少放電集中現象以消除電極線斷線問題，與消除振動輔助線切割放電單軸向擴孔現象，使加工件放電加工後的幾何形狀符合精度需求(例如：圓孔的真圓度)，且提升線切割放電加工的相對穩定度與高厚度加工件的放電加工移除率，也可減少高厚度加工件放電加工後的鼓形量誤差。因此，本申請的振動輔助線切割加工模組能夠對線切割加工件進行高效率與高精度的放電加工。

1:振動輔助放電加工模組

11:核心振動結構

12:電極線

13:第一軸震盪器

14:第二軸震盪器

15:加工主軸

16:振動載具

161:上腔室

1611:排液口

162:下腔室

1621:加工液導入結構

1622:加工液引導結構

16221:引導弧面

1623:加工液導出結構

16231:通孔

17:配重結構

18:導流管

191:第一軸引導桿

192:第二軸引導桿

2:加工件

3:加工液

A1:第一軸向

A2:第二軸向

R:振幅

X:第一位移

Y:第二位移

圖1、係本申請振動輔助線切割放電加工模組的放電加工作業示意圖；圖2、係圖1所示振動輔助線切割放電加工模組符號A所指區域的放大圖；圖3、係圖2所示構件中沿線段BB裁切的剖面圖；圖4、係圖3所示構件中符號C所指區域的放大圖；圖5、係本申請振動輔助線切割放電加工模組的使用狀態示意圖；圖6、係本申請振動輔助線切割放電加工模組的俯視示意圖；圖7、係圖6所示構件中沿線段DD裁切的剖面圖；圖8、係圖7所示構件中符號E所指區域的放大圖；圖9、係本申請振動輔助線切割放電加工模組之電極線的繞圓軌跡示意圖；圖10、係本申請振動輔助線切割放電加工模組之其中一軸向電極線的振動狀態示意圖；圖11、係使用本申請振動輔助線切割放電加工模組(UA-WEDM)放電加工高厚度加工件可使鼓形量誤差減少的示意圖；圖12、係使用本申請振動輔助線切割放電加工模組對加工件放電加工可減少電極線斷線機率的示意圖；圖13、係本申請振動輔助線切割放電加工模組的移動平均放電相對穩定度的示意圖；圖14，係一般振動輔助線切割放電加工模組的移動平均放電相對穩定度的示意圖；以及圖15至圖16，係使用本申請振動輔助線切割放電加工模組可提升對加工件線切割瞬時進給率與平均進給率的示意圖。

以下內容將搭配圖式，藉由特定的具體實施例說明本申請之技術內容，熟悉此技術之人士可由本說明書所揭示之內容輕易地了解本申請之其他優點與功效。本申請亦可藉由其他不同的具體實施例加以施行或應用。本說明書中的各項細節亦可基於不同觀點與應用，在不背離本申請之精神下，進行各種修飾與變更。尤其是，於圖式中各個元件的比例關係及相對位置僅具示範性用途，並非代表本申請實施的實際狀況。

針對本申請的技術思想，請一併參考圖1至圖16。

如圖1至圖10所示，本申請的振動輔助線切割放電加工模組1係用於對加工件2進行線切割的放電加工時提供振動輔助，所述振動輔助線切割放電加工模組1係包括：核心振動結構11、電極線12、第一軸震盪器13與第二軸震盪器14。可選擇性地，所述振動輔助線切割放電加工模組1還包括：加工主軸15、振動載具16與配重結構17。另應說明的是，第一軸震盪器13與第二軸震盪器14係可作為本申請的雙軸向振動源。

振動載具16係結合加工主軸15，以透過加工主軸15而對振動載具16提供支撐與定位。核心振動結構11、配重結構17、第一軸震盪器13與第二軸震盪器14均設置於振動載具16，令振動載具16分別對核心振動結構11、配重結構17、第一軸震盪器13與第二軸震盪器14提供承載。電極線12係自加工主軸15向下延伸且通過振動載具16，而延伸至加工件2以提供對加工件2進行放電加工。配重結構17係使振動載具16的重心位置與核心振動結構11上電極線12的中心位置實質相同，俾維持振動輔助線切割放電加工的穩定性。

優選地，如圖6所示，第一軸震盪器13與第二軸震盪器14兩者中心線的交角為90度，配重結構17與第一軸震盪器13兩者中心線的交角為135度，配重結構17與第二軸震盪器14兩者中心線的交角為135度，使振動載具16的重心位置與核心振動結構11上電極線12的中心位置實質相同。

如圖5所示，核心振動結構111係用於致動電極線12，例如為呈現中空塊狀體用於引導電極線12走向的眼模，或者為具拘束的引導件或夾具。核心振動結構111具有相交的第一軸向A1與第二軸向A2，優選地，第一軸向A1與第二軸向A2係垂直相交。電極線12係通過核心振動結構11中的穿孔延伸至加工件2，即核心振動結構111得引導電極線12延伸至加工件2，以對加工件2進行放電加工。第一軸震盪器13係結合於核心振動結構111的第一位置，並在核心振動結構111的第一軸向A1對電極線12提供第一弦波振動，以驅使電極線12於一作業時間沿第一軸向A1振動。第二軸震盪器14係結合於核心振動結構111的第二位置，並在核心振動結構111的第二軸A2對電極線12提供第二弦波振動，以驅使電極線12於該作業時間沿第二軸向A2振動。如圖10所示，係示意電極線12同步受到第一弦波振動與第二弦波振動的狀態示意圖。如圖5所示，核心振動結構111係具有第一軸引導桿191與第二軸引導桿192。第一軸引導桿191係沿第一軸向A1延伸，令第一軸震盪器13經由第一軸引導桿191對電極線12提供第一弦波振動波。第二軸引導桿192係沿第二軸向A2延伸，令第二軸震盪器14經由第二軸引導桿192對電極線12提供第二弦波振動波。於本申請中，第一軸震盪器13與第二軸震盪器14係例如由超音波振動器所構成，相應地，第一軸引導桿191與第二軸引導桿192係分別為超音波擴幅桿。

於本申請中，第一弦波振動與第二弦波振動的波形具有相同的振幅R且兩者振動波的波形的振動相位差維持90度，而避免電極線12在加工件2上的放電加工產生斷線問題與消除單軸向擴孔現象。更具體而言，如圖9所示，第一弦波振動具有第一位移X，第二弦波振動具有第二位移Y；例如其中，若第一位移X相當於振幅R乘以COS(ωt)時，則第二位移Y相當於振幅R乘以SIN(ωt)，讓第一位移X與第二位移Y同步驅使電極線以該振幅R為半徑的繞圓軌跡上運動，而避免電極線12因集中放電而造成斷線問題與消除單軸向擴孔現象，而提升本申請振動輔助線切割放電加工的幾何精度。於本申請中，ω=2πf、ω為振動角頻率、f為振動頻率、t為振動時間。優選地，f大於等於16KHz，以排除電極線12遭受連續集中的放電脈衝轟擊，而能藉振形的複數波腹將放電脈衝分散至其它工件位置，而振幅R的尺寸係小於對加工件2進行放電加工的放電間隙寬減去至少1微米後的尺寸。

如圖7至圖8所示，可選擇性地，本申請的振動載具16包含例如由上腔室161與下腔室162構成的腔室機構，電極線12可由上腔室161延伸至下腔室162。核心振動結構11係容置於上腔室161內，相應地，第一軸震盪器13與第二軸震盪器14係分別於上腔室161內結合核心振動結構11。如圖7所示，上腔室161內若存在液體，可能會影響第一軸震盪器13與第二軸震盪器14兩者的運作，甚至，上腔室161內若存在液體也可能會造成第一軸震盪器13與第二軸震盪器14 兩者的損壞，故上腔室161可選擇增設用於排除上腔室161內液體的排液口1611，以避免上腔室161內積存液體。

下腔室162具有加工液導入結構1621、加工液引導結構1622與加工液導出結構1623。加工液導入結構1621係將加工液由外導入下腔室162內。加工液引導結構1622係引導下腔室162內的加工液沿圓周切線方向流動，如圖4所示，優選地，加工液引導結構1622係具有引導弧面16221，俾引導下腔室162內的加工液3沿圓周切線方向以旋渦方式流動。加工液導出結構1623係將下腔室162內的加工液3導出，使加工液迅速流出下腔室162，如圖4所示，優選地，加工液導出結構1623係位於下腔室162內加工液流動範圍下方，並具有循圓周佈設的至少一通孔16231，俾接受並導出加工液，使加工液迅速流出下腔室162並包覆電極線12而後進入加工件2。

優選地，本申請的振動輔助放電加工模組還為加工液的流動增設導流管18，所述導流管18係結合振動載具16且鄰近下腔室162並連通加工液導出結構1623。如圖8所示，電極線12係通過導流管18，使加工液導出結構1623導出的加工液3可經由導流管18在一預定液體壓力下並按預定路徑包覆電極線12流動，俾於線切割的放電加工過程中對電極線12提供加工液3。

如圖11所示，係為使用本申請振動輔助放電加工模組放電加工高厚度加工件可使鼓形量誤差減少的示意圖，其中，Normal WEDM所指示的線段代表一般無振動輔助放電加工125mm厚度加工件的鼓形量誤差，UA-WEDM所指示的線段代表本申請振動輔助放電加工125mm厚度加工件的鼓形量誤差。由圖11可知，本申請振動輔助放電加工模組放電加工125mm厚度加工件的鼓形量誤差比一般振動輔助放電加工模組放電加工125mm厚度加工件的誤差減少10%。

如圖12所示，係為使用本申請振動輔助線切割放電加工模組對加工件放電加工可減少電極線斷線問題的示意圖，其中，係使用最佳材料移除率參數組合作為加工條件，Normal WEDM所指示的柱狀圖代表一般振動輔助放電加工模組於此加工條件下切割厚度150mm及路徑6x6mm正方形的沖頭經實驗發生電極線4次斷線，UA-WEDM所指示的柱狀圖代表本申請振動輔助放電加工模組於此加工條件下切割厚度150mm及路徑6x6mm正方形的沖頭經實驗發生電極線1次斷線，因此，本申請振動輔助放電加工模組可大幅減少斷線發生機率。

如圖13所示，係為本申請振動輔助放電加工模組的移動平均放電相對穩定度的示意圖。如圖15所示，係為一般振動輔助放電加工模組的移動放電加工的移動平均相對穩定度的示意圖。由圖13及圖14可知，本申請振動輔助放電加工模組的移動放電加工的移動平均相對穩定度明顯優於一般振動輔助放電加工模組的移動放電加工的移動平均相對穩定度。

另外，應說明的是，所述相對穩定度是指：單位時間內短路與電弧放電脈波數與總放電脈波數之比值，一般採即時監控常用的移動平均(moving average)作為簡易濾波手法，並以多數取樣周期之平均穩定度值代表瞬時相對穩定度，以預防因加工現場大幅變動的穩定度值，而造成加工控制器的誤動作或過於頻繁的切換。

如圖15至圖16所示，係為使用本申請振動輔助放電加工模組可提升對加工件線切割進給速率，其中，Normal WEDM所指示的線段或柱狀圖代表一般振動輔助放電加工模組對加工件線切割進給速率，UA-WEDM所指示的線段代表本申請振動輔助放電加工模組對加工件線切割進給速率。由圖14及圖15可知，本申請振動輔助放電加工模組對加工件線切割進給速率明顯優於一般振動輔助放電加工模組對加工件線切割進給速率。

綜上所述，本申請的振動輔助放電加工模組可在線切割的放電加工過程中提供振動輔助，令電極線受相交的雙軸向振動源的驅動，而雙軸向振動源係提供雙軸向的弦波振動，於本申請中，雙軸向的弦波振動的波形具有相同的振幅，且優選地，雙軸向的弦波振動的波形呈現同步且振動相位差維持90度，俾減少電極線斷線問題或單軸向擴孔現象，使由放電加工所形成的圓孔的真圓度符合需求，且提升移動放電加工的移動平均相對穩定度與高厚度加工件的放電加工移除率，也可減少高厚度加工件放電加工後的鼓形量誤差，因此，本申請的振動輔助放電加工模組能夠對加工件進行高效率與高精度的切割加工。

另言之，過去。雖有單軸向振動輔助線切割放電加工的研究文獻，但其單軸向振動必導致沿振動軸向的擴孔而不符合實務加工精度要求，相較之下，本申請旨在藉振動波形的複數波腹分散電極線承受放電脈衝的位置，尤其藉雙軸同步高頻的振動分散放電點，從而減少放電集中現象以消除電極線斷線問題與單軸向振動擴孔現象。故，本申請不只能提升線切割放電加工的相對穩定度與工件的放電加工移除率，且使放電加工所形成的幾何形狀符合精度需求(例如：圓孔的真圓度)，也減少工件經放電加工後的鼓形量誤差(尤以高厚度工件為甚)，使本申請的振動輔助線切割放電加工模組能對工件進行高效率與高精度的放電加工。

上述實施例僅例示性說明本申請之原理及功效，而非用於限制本申請。任何熟習此項技術之人士均可在不違背本申請之精神及範疇下，對上述實施例進行修飾與改變。因此，本申請之權利保護範圍，應如本申請申請專利範圍所列。

1 振動輔助放電加工模組 11 核心振動結構 12 電極線 13 第一軸震盪器 14 第二軸震盪器 16 振動載具 161 上腔室 1621 加工液導入結構 17 配重結構 191 第一軸引導桿 192 第一軸引導桿 2 加工件 A1 第一軸向 A2 第二軸向

Claims

一種振動輔助線切割放電加工模組，用於在對一加工件進行線切割的放電加工時提供振動輔助，該振動輔助放電加工模組係包括：一電極線，該電極線係用以對該加工件進行放電加工；一核心振動結構，該核心振動結構係引導該電極線延伸至該加工件，且具有相交的一第一軸向與一第二軸向；一第一軸震盪器，該第一軸震盪器係結合該核心振動結構，並在該核心振動結構的該第一軸向對該電極線提供一第一弦波振動波，以驅使該電極線沿該第一軸向振動；以及一第二軸震盪器，該第二軸震盪器係結合該核心振動結構，並在該核心振動結構的該第二軸向對該電極線提供一第二弦波振動波，以驅使該電極線沿該第二軸向振動；其中，該振動輔助線切割放電加工模組還包括一加工主軸與一振動載具，該電極線係自該加工主軸向下延伸且通過該振動載具，該振動載具係結合該加工主軸，且該振動載具係承載該核心振動結構、該第一軸震盪器與該第二軸震盪器，且該振動載具包含一腔室機構，該核心振動結構係容置於該腔室機構內，該第一軸震盪器與該第二軸震盪器係分別於該腔室機構結合該核心振動結構；該腔室機構具有一加工液導入結構、一加工液引導結構與一加工液導出結構，該加工液導入結構係將一加工液導入該腔室機構內，該加工液引導結構係引導該加工液於該腔室機構內流動，該加工液導出結構係令該加工液流出該腔室機構。
如請求項1所述的振動輔助線切割放電加工模組，其中，該核心振動結構係包括：一第一軸引導桿，該第一軸引導桿係沿該第一軸向延伸，令該第一軸震盪器經由該第一軸引導桿提供該第一弦波振動波；以及一第二軸引導桿，該第二軸引導桿係沿該第二軸向延伸，令該第二軸震盪器經由該第二軸引導桿提供該第二弦波振動波。
如請求項2所述的振動輔助線切割放電加工模組，其中，該第一軸震盪器與該第二軸震盪器係分別為超音波震盪器，而該第一軸引導桿與該第二軸引導桿係分別為超音波擴幅桿。
如請求項1所述的振動輔助線切割放電加工模組，其中，該第一弦波振動波的波形與該第二弦波振動波的波形具有相同的一振幅，且兩者的振動波形相位差維持90度，該第一弦波振動波具有一第一位移，該第二弦波振動波具有一第二位移；該第一軸向與該第二軸向係可選擇地互為垂直，因此，當該第一位移相當於該振幅乘以COS(ωt)時，則該第二位移相當於該振幅乘以SIN(ωt)，讓該第一位移與該第二位移同步驅使該電極線在以該振幅為半徑的繞圓軌跡上運動；其中，令ω=2πf、ω為一振動角頻率、f為一振動頻率、t為一振動時間。
如請求項4所述的振動輔助線切割放電加工模組，其中，該振動頻率大於等於16KHz，而該振幅的尺寸係小於對該加工件進行放電加工的放電間隙寬減去至少1微米後的尺寸。
如請求項1所述的振動輔助線切割放電加工模組，還包括一配重結構，該配重結構係結合該振動載具，使該振動載具的重心位置與該核心振動結構上該電極線的中心位置實質相同，俾維持振動輔助線切割放電加工的穩定性。
如請求項6所述的振動輔助線切割放電加工模組，其中，該核心振動結構係為用於引導該電極線走向的眼模，該配重結構與該第一軸震盪器兩者中心線的交角為135度，該配重結構與該第二軸震盪器兩者中心線的交角為135度。
如請求項1所述的振動輔助線切割放電加工模組，其中，該腔室機構包含一上腔室與一下腔室，該核心振動結構係容置於該上腔室內，該第一軸震盪器與該第二軸震盪器係分別於該上腔室結合該核心振動結構；該加工液導入結構係將該加工液導入該下腔室內，該加工液引導結構係引導該加工液沿圓周切線方向於該下腔室內流動，該加工液導出結構係令該加工液流出該下腔室。
如請求項8所述的振動輔助線切割放電加工模組，其中，該上腔室包含一排液口，該排液口係排除該上腔室內的液體，以避免該上腔室內積存液體而影響該第一軸震盪器與該第二軸震盪器兩者的運作。
如請求項8所述的振動輔助線切割放電加工模組，其中，該加工液引導結構係具有一引導弧面，俾引導該下腔室內的加工液沿圓周切線方向以渦旋方式流動；該加工液導出結構係位於該下腔室內加工液流動範圍下方，並具有循圓周佈設的至少一通孔，俾接受並導出該下腔室內的加工液。
如請求項10所述的振動輔助線切割放電加工模組，還包括一導流管，該導流管係結合該振動載具且鄰近該下腔室，並連通該加工液導出結構，其中，該電極線係通過該導流管，使該加工液導出結構導出的該加工液經由該導流管在一預定足夠的液體壓力下包覆該電極線。