CN105290548B - 多轴联动超声调制微细电解加工系统 - Google Patents

多轴联动超声调制微细电解加工系统 Download PDF

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Abstract

多轴联动超声调制微细电解加工系统，包括超声振动系统、超声同步系统、电解加工供电系统、多轴机床控制系统、工作液循环系统、加工定位与间隙检测系统、在线参数观测与控制系统。通过在变幅杆节点处增设横纵向激励装置，机床可加工出复杂三维曲面或异型孔槽；机床工作台为多轴联动控制进给机构，实现工作台多维空间的微细进给移动，保证了加工过程的稳定；通过在机床进给机构上增设编码器与微位移传感器，有利于加工间隙的控制以及工件精确的定位进给移动；加工过程参数变化可实时在线观测，通过控制工作液配送装置完成所需工作液的配置与输送，通过控制电磁阀开关与多轴机床控制系统，实现加工区碰撞或短路时对工件与工具电极的保护。

Description

多轴联动超声调制微细电解加工系统
技术领域
本发明涉及一种多轴联动超声调制微细电解加工系统，属于复合精密、微细特种加工技术领域。
背景技术
随着工业的飞速发展，要求产品在有限空间内具有多种功能，因而对难加工材料、小型化、微型化的超精加工要求越来越高。精密微细与复杂曲面加工技术结合交叉了多学科的内容，是一个融前沿高技术和工程应用于一体的科学技术体系，成为现代制造科学的研究热点，也是各类工艺竞相发展的重要手段。
复合精密、微细特种加工技术领域，出现了微细超声加工与微细电火花加工、微细电解加工等微细复合加工方法，这些加工方法解决了普通切削难以实现的微细加工难题，在零部件的微细加工中发挥了重要作用，然而，此种加工方法亦有其局限性。
中国发明专利申请“CN200610037902.8”公开了一种超声电解复合微细加工方法及装置，该发明的微压力调节与Z向自动进给测量装置通过增加砝码使工作台在液压力作用下自动向上进给，随着加工深度的增加，工具电极与微加工器件很难继续保持恒定的微压力，而且增加砝码的手工方式增加了人力，不利于微细加工的自动化发展；加工中，必须在电解液中混入粒度较大的超声磨粒，进行超声加工同时阻止阴极的直接接触造成的电解短路，但是超声磨粒在消除钝化、去除材料的同时，也会对工具电极产生磨损，减少了工具电极的使用寿命，较难达到微精加工的精度要求。
中国发明授权专利“CN102513622B”公开了一种难加工材料的微精加工方法，在加工中工件与电极保持一定恒压力接触，利用磁性调节机构，进行微压力连续无极调节，此加工方法没有精密稳速的工作台进给系统，所以只能进行轴向加工，可加工零件有限，不能进行工件的三维加工，更不能用于加工复杂曲面或者异形孔槽，同时，当加工中出现短路情况时，因没有保护应急措施，工件与工具电极将直接烧毁，不利于工件的可持续加工。
发明内容
为了克服现有技术的不足，本发明的目的是提供了一种多轴联动超声调制微细电解加工系统，不仅能够实现对难加工材料(如电子陶瓷、高温合金、硬质合金等)的加工，而且可以加工复杂曲面或者异形孔槽，加工过程中，加工速度、加工间隙等参数可实时检测调节，有效减少工具电极损耗以及加工区的碰撞短路，提高工件的加工质量和加工效率。
本发明的目的是通过以下技术方案实现的：多轴联动超声调制微细电解加工系统，其特征是，包括超声振动系统、超声同步系统、电解加工供电系统、多轴机床控制系统、工作液循环系统、加工定位与间隙检测系统、在线参数观测与控制系统；
所述超声振动系统包括超声电源、超声波发生器、超声调节电路、横纵向激励装置、换能器、变幅杆、工具电极；所述超声同步系统中设有振动测量片；
所述电解加工供电系统包括限流电阻、脉冲电源、电磁阀开关、同步斩波器、电流传感器；
所述多轴机床控制系统包括伺服驱动器组、伺服电机组、Y轴进给机构、X轴进给机构、Z轴进给机构、C向旋转机构、A向旋转机构(C向旋转机构的旋转中心轴平行于Z轴，A向旋转机构的旋转中心轴平行于X轴)；
所述工作液循环系统包括工作液槽、工作液配送装置、温度传感器、电导率传感器；
所述加工定位与间隙检测系统包括X轴向激光微位移传感器、Y轴向激光微位移传感器、Z轴向激光微位移传感器、A向旋转编码器、C向旋转编码器、Z轴向位移传感器、X轴向位移传感器、Y轴向位移传感器；
所述在线参数观测与控制系统包括控制计算机以及与控制计算机连接的输出功放电路、可编程逻辑控制器、数据采集卡；
所述超声振动系统中，工具电极装于变幅杆底端，横纵向激励装置装于变幅杆振动节点处，并与超声调节电路的一端连接；
所述超声电源连接换能器，换能器亦与变幅杆连接，换能器转换超声电源产生的超声交变信号，经过变幅杆放大，使工具电极产生Z轴向超声频机械振动，并作用于工件；超声波发生器与超声调节电路的另一端连接，产生两种超声波电信号，经过横纵向激励装置转换放大后，使工具电极在X轴向和Y轴向发生超声频机械振动，并作用于工件；所述C向旋转机构内设有工作液，工件置于C向旋转机构的加工区内；
所述超声同步系统中，振动测量片装于变幅杆底端，Z轴向激光微位移传感器与同步斩波器连接，并对振动测量片实时测量，将其转换为所述工具电极振动的幅值、频率、相位的电信号，输送给所述同步斩波器；
所述电解加工供电系统中，限流电阻、脉冲电源、电磁阀开关、同步斩波器、电流传感器串联在一起，该电路两端分别连接变幅杆与工件，所述同步斩波器接收所述Z轴向激光微位移传感器传送的电信号，产生关闭与开通的斩波信号，控制电解加工供电系统的通与断，使电解加工供电与所述工具电极的超声频振动实现同频、同步；
所述限流电阻可调节电解加工供电系统在加工区的单个脉冲放电能量；所述电流传感器通过数据采集卡连接到控制计算机，用于实时记录电解加工供电系统的电流情况；
所述电磁阀开关处于常闭状态，其还连接于可编程逻辑控制器，当所述电流传感器检测到加工区发生碰撞短路产生的大电流时，电磁阀开关立刻切换到断开状态，停止加工区的继续供电，同时多轴机床控制系统控制工作台后退，并保持工具电极与工件之间的间隙达到最佳放电间隙；
所述多轴机床控制系统中，A向旋转机构设置于C向旋转机构内，C向旋转机构装于Z轴进给机构正上方，Z轴进给机构固定于X轴进给机构内，作升降运动，X轴进给机构基于下方的Y轴进给机构移动，Y轴进给机构设置于该加工系统的底座上方；
所述可编程逻辑控制器与伺服驱动器组输入端连接，接收并执行运行指令，与伺服驱动器组输出端连接的是五个分别驱动Y轴进给机构、X轴进给机构、Z轴进给机构、C向旋转机构、A向旋转机构加工进给移动或转动的伺服电机组，其中，X、Y、Z轴进给机构中都设有滚珠丝杠，伺服驱动器组驱动伺服电机组进行机构的轴向或者旋转微细进给运动；
所述工作液循环系统中，温度传感器与电导率传感器的探测头置于C向进给机构的工作液中，工作液配送装置下端连接到其下方的工作液槽，另一端为两个输送管道，分别通向C向进给机构的加工区与工作液底端；所述工作液配送装置还与可编程逻辑控制器连接，在可编程逻辑控制器的控制下，根据需要调节工作液成分比例，以及增加或者减少工作液输送流量或流速；
所述加工定位与间隙检测系统中，X轴向激光微位移传感器、Y轴向激光微位移传感器、Z轴向激光微位移传感器用于检测工具电极分别在X轴向、Y轴向和Z轴向的振幅、频率、相位的大小情况，并分别与数据采集卡连接，将位置信号经数据采集卡传输给控制计算机；所述A向旋转编码器、C向旋转编码器、Z轴向位移传感器、X轴向位移传感器、Y轴向位移传感器用于工件空间位置的实时检测与定位，并分别通过数据采集卡连接到控制计算机，经过控制计算机整合运算可获得工件与工具电极之间加工间隙的实时变化情况；
所述在线参数观测与控制系统中，输出功放电路分别与超声振动系统中超声电源、超声波发生器以及所述电解加工供电系统中的脉冲电源连接；所述数据采集卡连接有电压传感器，电压传感器分别连接加工区工件与工具电极，用于测量加工区的极间电压，利于所述多轴机床控制系统进给速度的调整与所述加工定位与间隙检测系统加工间隙的保持；所述数据采集卡与电流传感器、工作液配送装置以及所述加工定位与间隙检测系统，控制计算机读取数据采集卡可显示工件加工的实时参数数据，有利于对加工动态的实时掌握。
所述A向旋转编码器、C向旋转编码器优选双路输出的光电式旋转编码器，分别安装于A向旋转机构、C向旋转机构上，用于测量A向、C向旋转角位移、角速度以及判断机构旋转方向。
所述Z轴向位移传感器、X轴向位移传感器、Y轴向位移传感器优选数字激光位移传感器，分别设定于Z轴进给机构、X轴进给机构、Y轴进给机构处。
所述超声波发生器频率可调，加工时，输出频率不低于所述超声电源发出的频率。
所述横纵向激励装置包括4个振动辐射头以及4个换能器，4个换能器分别与4个振动辐射头对应连接，4个振动辐射头呈对称分布，每2个对称方向设置的换能器接收所述超声调节电路发送的2个相差半波长的超声频电信号。
Y轴进给机构、X轴进给机构、Z轴进给机构中设有滚珠丝杠。
本发明的有益效果如下：通过在变幅杆节点处增设横纵向激励装置，使得工具电极同时具有X、Y、Z轴向的超声频振动，促进了电解加工的横纵向加工，机床可加工出复杂三维曲面或异型孔槽；本发明的机床工作台为多轴联动控制进给机构，通过伺服驱动器驱动伺服电机，实现工作台多维空间的微细进给移动，保证了加工过程的稳定；通过在机床进给机构上增设编码器与微位移传感器，可实时监测反馈加工工件的空间位置信息，有利于加工间隙的控制以及工件精确的的定位进给移动，有效减少碰撞或电解加工供电系统的短路；本发明的加工参数可实时在线观测，通过控制工作液配送装置完成所需工作液的配置与输送，通过控制电磁阀开关与多轴机床控制系统，实现加工区碰撞或短路时对工件与工具电极的保护。
本发明克服现有技术的不足，解决了难加工材料、复杂异形面难以加工的问题，有效提高工件的加工质量和加工效率，具有强大的市场应用价值。
附图说明
图1为多轴联动超声调制微细电解加工系统的结构示意图；
图中：1、控制计算机，2、输出功放电路，3、脉冲电源，4、电磁阀开关，5、可编程逻辑控制器，6、伺服驱动器组，7、伺服电机组，8、同步斩波器，9、超声波发生器，10、超声电源，11、超声调节电路，12，限流电阻，13、电流传感器，14、底座，15、Y轴进给机构，16、X轴进给机构，17、Z轴进给机构，18、C向旋转机构，19、A向旋转机构，20、工件，21、工具电极，22、振动测量片，23、X轴向激光微位移传感器，24、Y轴向激光微位移传感器，25、Z轴向激光微位移传感器，26、横纵向激励装置，27、变幅杆，28、换能器，29、A向旋转编码器，30、C向旋转编码器，31、Z轴向位移传感器，32、X轴向位移传感器，33、Y轴向位移传感器，34、数据采集卡，35、工作液槽，36、工作液配送装置，37、温度传感器，38、电导率传感器，39、电压传感器。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进行详细的描述。
如图1所示，本发明的多轴联动超声调制微细电解加工系统包括：
超声振动系统，包括超声电源10、超声波发生器9、超声调节电路11、横纵向激励装置26、换能器28、变幅杆27、工具电极21；
超声同步系统中设有振动测量片22；
电解加工供电系统，包括限流电阻12、脉冲电源3、电磁阀开关4、同步斩波器8、电流传感器13；
多轴机床控制系统，包括伺服驱动器组6、伺服电机组7、Y轴进给机构15、X轴进给机构16、Z轴进给机构17、C向旋转机构18、A向旋转机构19，C向旋转机构的旋转中心轴平行于Z轴，A向旋转机构的旋转中心轴平行于X轴；
工作液循环系统，包括工作液槽35、工作液配送装置36、温度传感器37、电导率传感器38；加工定位与间隙检测系统，包括X轴向激光微位移传感器23、Y轴向激光微位移传感器24、Z轴向激光微位移传感器25、A向旋转编码器29、C向旋转编码器30、Z轴向位移传感器31、X轴向位移传感器32、Y轴向位移传感器33；
在线参数观测与控制系统，包括控制计算机1以及与控制计算机1连接的输出功放电路2、可编程逻辑控制器5、数据采集卡34。
超声振动系统中，工具电极21装于变幅杆27底端，横纵向激励装置26装于变幅杆27振动节点处，并与超声调节电路11的一端连接。
横纵向激励装置26包括4个振动辐射头以及与其对应连接的4个换能器，振动辐射头呈对称分布，每2个对称方向设置的换能器接收超声调节电路发送的2个相差半波长的超声频电信号。
超声电源10连接换能器28，换能器亦与变幅杆27连接，转换超声电源10产生的超声交变信号，经过变幅杆27放大，工具电极21将产生Z轴向超声频机械振动；超声波发生器6与超声调节电路11的另一端连接，产生两种超声波电信号，经过横纵向激励装置26转换放大后，工具电极21可在X轴向和Y轴向发生超声频机械振动。工具电极振动作用于位于工件20，C向旋转机构18内设有工作液，工件置于C向旋转机构18内的加工区。超声波发生器11频率可调，加工时，输出频率不低于超声电源10发出的频率。
超声同步系统中，振动测量片22装于变幅杆27底端，Z轴向激光微位移传感器25与同步斩波器连接，并对振动测量片22实时测量，将其转换为所述工具电极21振动的幅值、频率、相位的电信号，输送给同步斩波器8。
电解加工供电系统中，包括串联在一起的限流电阻12、脉冲电源3、电磁阀开关4、同步斩波器8、电流传感器13，该电路两端分别连接变幅杆27与工件20；脉冲电源3作为整个电解加工过程的供电能源，同步斩波器8接收Z轴向激光微位移传感器25传送的电信号，产生关闭与开通的斩波信号，控制电解加工供电系统的通与断，使电解加工供电与所述工具电极21的超声频振动实现同频、同步。
限流电阻12可调节电解加工供电系统在加工区的单个脉冲放电能量，电流传感器13通过数据采集卡34连接到控制计算机1，用于实时记录电解加工供电系统的电流情况。
电磁阀开关4处于常闭状态，串联于电解加工供电系统中，当所述电流传感器13检测到加工区发生碰撞短路产生的大电流时，电磁阀开关4立刻切换到断开状态，停止加工区的继续供电，同时多轴机床控制系统控制工作台后退(即控制各旋转机构和进给机构后退)，并保持工具电极21与工件20之间的间隙达到最佳放电间隙。
多轴机床控制系统中，A向旋转机构19设置于C向旋转机构18内，C向旋转机构18装于Z轴进给机构17正上方，Z轴进给机构17被限制(固定)于X轴进给机构16内，作升降运动，X轴进给机构16基于下方的Y轴进给机构15移动，Y轴进给机构15设置于底座14上方。
可编程逻辑控制器5与伺服驱动器组6输入端连接，接收并执行运行指令，与伺服驱动器组6输出端连接的是五个分别驱动Y轴进给机构15、X轴进给机构16、Z轴进给机构17、C向旋转机构18、A向旋转机构19加工进给移动或转动的伺服电机组7，其中，X、Y、Z轴向进给机构15、16、17中都设有滚珠丝杠，伺服驱动器组6驱动伺服电机组7进行机构的轴向或者旋转微细进给运动。
工作液循环系统中，温度传感器37与电导率传感器38的探测头置于C向进给机构18的工作液中，另一端同时连接于数据采集卡，工作液配送装置36下端连接到其下方的工作液槽35，另一端为两个输送管道，分别通向C向进给机构18的加工区与工作液底端；工作液配送装置36还与可编程逻辑控制器5连接，在可编程逻辑控制器5的控制下，可根据需要调节工作液成分比例，以及增加或者减少工作液输送流量或流速。
加工定位与间隙检测系统中，三个轴向激光微位移传感器23、24、25用于检测工具电极21分别在X轴向、Y轴向和Z轴向的振幅、频率、相位的大小情况，并将位置信号经数据采集卡34传输给控制计算机1。A向旋转编码器29、C向旋转编码器30、Z轴向位移传感器31、X轴向位移传感器32、Y轴向位移传感器33用于工件20空间位置的实时检测与定位，旋转编码器29、30与位移传感器31、32、33均通过数据采集卡34连接到控制计算机1，经过控制计算机1整合运算可获得工件20与工具电极21之间加工间隙的实时变化情况。
旋转编码器29、30优选双路输出的光电式旋转编码器，分别安装于A向旋转机构19、C向旋转机构18上，用于测量A向、C向旋转角位移、角速度以及判断机构旋转方向。
位移传感器31、32、33优选数字激光位移传感器，测量准确、精度高，分别设定于Y轴进给机构15、X轴进给机构16、Z轴进给机构17的微细移动方向上不干涉的短距离处。
在线参数观测与控制系统中，输出功放电路2分别与超声振动系统中超声电源10、超声波发生器9以及所述电解加工供电系统中的脉冲电源3连接，调节控制方便，增加了整个系统的柔性；可编程逻辑控制器5用于执行所述控制计算机1编写的加工程序，通过所述多轴机床控制系统对工件20精确的空间移动进给以及加工定位与间隙检测系统的数据反馈，增加系统稳定性，提高加工的效率、精度，使得机床可以加工复杂空间异形面；与数据采集卡34连接的还有电压传感器39，电压传感器39分别连接加工区工件20与工具电极21，用于测量加工区的极间电压，利于所述多轴机床控制系统进给速度的调整与所述加工定位与间隙检测系统加工间隙的保持；与数据采集卡34连接的还有电流传感器13、工作液配送装置36以及加工定位与间隙检测系统，控制计算机1读取数据采集卡34可显示多轴联动超声调制微细电解加工系统工件20加工的实时参数数据，有利于对加工动态的实时掌握。
以上优选的实施例仅用对本发明技术方案的详细说明，并未限制本发明的具体实施方式，本领域的普通技术人员应当理解，在不脱离本发明构思的前提下，可以对本发明的技术方案的简单修改或替换，均属于本发明技术方案的保护范围。

Claims (6)

1.一种多轴联动超声调制微细电解加工系统，其特征是，包括超声振动系统、超声同步系统、电解加工供电系统、多轴机床控制系统、工作液循环系统、加工定位与间隙检测系统、在线参数观测与控制系统；
所述超声振动系统包括超声电源(10)、超声波发生器(9)、超声调节电路(11)、横纵向激励装置(26)、换能器(28)、变幅杆(27)、工具电极(21)；所述超声同步系统中设有振动测量片(22)；
所述电解加工供电系统包括限流电阻(12)、脉冲电源(3)、电磁阀开关(4)、同步斩波器(8)、电流传感器(13)；
所述多轴机床控制系统包括伺服驱动器组(6)、伺服电机组(7)、Y轴进给机构(15)、X轴进给机构(16)、Z轴进给机构(17)、C向旋转机构(18)、A向旋转机构(19)；
所述工作液循环系统包括工作液槽(35)、工作液配送装置(36)、温度传感器(37)、电导率传感器(38)；
所述加工定位与间隙检测系统包括X轴向激光微位移传感器(23)、Y轴向激光微位移传感器(24)、Z轴向激光微位移传感器(25)、A向旋转编码器(29)、C向旋转编码器(30)、Z轴向位移传感器(31)、X轴向位移传感器(32)、Y轴向位移传感器(33)；
所述在线参数观测与控制系统包括控制计算机(1)以及与控制计算机(1)连接的输出功放电路(2)、可编程逻辑控制器(5)、数据采集卡(34)；
所述超声振动系统中，工具电极(21)装于变幅杆(27)底端，横纵向激励装置(26)装于变幅杆(27)振动节点处，并与超声调节电路(11)的一端连接；
所述超声电源(10)连接换能器(28)，换能器亦与变幅杆(27)连接，换能器转换超声电源(10)产生的超声交变信号，经过变幅杆(27)放大，使工具电极(21)产生Z轴向超声频机械振动，并作用于工件(20)；超声波发生器(9)与超声调节电路(11)的另一端连接，产生两种超声波电信号，经过横纵向激励装置(26)转换放大后，使工具电极(21)在X轴向和Y轴向发生超声频机械振动，并作用于工件(20)；所述C向旋转机构(18)内设有工作液，工件置于C向旋转机构(18)的加工区内；
所述超声同步系统中，振动测量片(22)装于变幅杆(27)底端，Z轴向激光微位移传感器(25)与同步斩波器连接，并对振动测量片实时测量，将其转换为所述工具电极(21)振动的幅值、频率、相位的电信号，输送给所述同步斩波器(8)；
所述电解加工供电系统中，限流电阻(12)、脉冲电源(3)、电磁阀开关(4)、同步斩波器(8)、电流传感器(13)串联在一起，该电路两端分别连接变幅杆(27)与工件(20)；所述同步斩波器(8)接收所述Z轴向激光微位移传感器(25)传送的电信号，产生关闭与开通的斩波信号，控制电解加工供电系统的通与断，使电解加工供电与所述工具电极(21)的超声频振动实现同频、同步；
所述限流电阻(12)可调节电解加工供电系统在加工区的单个脉冲放电能量，所述电流传感器(13)通过数据采集卡(34)连接到控制计算机(1)，用于实时记录电解加工供电系统的电流情况；
所述电磁阀开关(4)处于常闭状态，其还连接于可编程逻辑控制器(5)，当所述电流传感器(13)检测到加工区发生碰撞短路产生的大电流时，电磁阀开关(4)立刻切换到断开状态，停止加工区的继续供电，同时多轴机床控制系统控制工作台后退，并保持工具电极(21)与工件(20)之间的间隙达到最佳放电间隙；
所述多轴机床控制系统中，A向旋转机构(19)设置于C向旋转机构(18)内，C向旋转机构(18)装于Z轴进给机构(17)正上方，Z轴进给机构(17)固定于X轴进给机构(16)内，作升降运动，X轴进给机构(16)基于下方的Y轴进给机构(15)移动，Y轴进给机构(15)设置于该加工系统的底座(14)上方；
所述可编程逻辑控制器(5)与伺服驱动器组(6)输入端连接，接收并执行运行指令，与伺服驱动器组(6)输出端连接的是五个分别驱动Y轴进给机构(15)、X轴进给机构(16)、Z轴进给机构(17)、C向旋转机构(18)、A向旋转机构(19)加工进给移动或转动的伺服电机组(7)，伺服驱动器组(6)驱动伺服电机组(7)进行机构的轴向或者旋转微细进给运动；
所述工作液循环系统中，温度传感器(37)与电导率传感器(38)的探测头置于C向进给机构(18)的工作液中，工作液配送装置(36)下端连接到其下方的工作液槽(35)，另一端为两个输送管道，分别通向C向进给机构(18)的加工区与工作液底端；所述工作液配送装置(36)还与可编程逻辑控制器(5)连接，在可编程逻辑控制器(5)的控制下，根据需要调节工作液成分比例，以及增加或者减少工作液输送流量或流速；
所述加工定位与间隙检测系统中，X轴向激光微位移传感器(23)、Y轴向激光微位移传感器(24)、Z轴向激光微位移传感器(25)用于检测工具电极(21)分别在X轴向、Y轴向和Z轴向的振幅、频率、相位的大小情况，并分别与数据采集卡(34)连接，将位置信号经数据采集卡(34)传输给控制计算机(1)；所述A向旋转编码器(29)、C向旋转编码器(30)、Z轴向位移传感器(31)、X轴向位移传感器(32)、Y轴向位移传感器(33)用于工件(20)空间位置的实时检测与定位，并分别通过数据采集卡(34)连接到控制计算机(1)，经过控制计算机(1)整合运算可获得工件(20)与工具电极(21)之间加工间隙的实时变化情况；
所述在线参数观测与控制系统中，输出功放电路(2)分别与超声振动系统中超声电源(10)、超声波发生器(9)以及所述电解加工供电系统中的脉冲电源(3)连接；所述数据采集卡(34)连接有电压传感器(39)，电压传感器(39)分别连接加工区工件(20)与工具电极(21)，用于测量加工区的极间电压，利于所述多轴机床控制系统进给速度的调整与所述加工定位与间隙检测系统加工间隙的保持；所述数据采集卡(34)与电流传感器(13)、工作液配送装置(36)以及所述加工定位与间隙检测系统，控制计算机(1)读取数据采集卡(34)可显示工件(20)加工的实时参数数据，有利于对加工动态的实时掌握。
2.根据权利要求1所述的多轴联动超声调制微细电解加工系统，其特征是，所述A向旋转编码器(29)、C向旋转编码器(30)为双路输出的光电式旋转编码器，分别安装于A向旋转机构(19)、C向旋转机构(18)上，用于测量A向、C向旋转角位移、角速度以及判断机构旋转方向。
3.根据权利要求1所述的多轴联动超声调制微细电解加工系统，其特征是，所述Z轴向位移传感器(31)、X轴向位移传感器(32)、Y轴向位移传感器(33)为数字激光位移传感器，分别设定于Z轴进给机构(17)、X轴进给机构(16)、Y轴进给机构(15)处。
4.根据权利要求1所述的多轴联动超声调制微细电解加工系统，其特征是，所述超声波发生器(9)频率可调，加工时，输出频率不低于所述超声电源(10)发出的频率。
5.根据权利要求1所述的多轴联动超声调制微细电解加工系统，其特征是，所述横纵向激励装置(26)包括4个振动辐射头以及4个换能器，4个换能器分别与4个振动辐射头对应连接，4个振动辐射头呈对称分布，每2个对称方向设置的换能器接收所述超声调节电路(11)发送的2个相差半波长的超声频电信号。
6.根据权利要求1所述的多轴联动超声调制微细电解加工系统，其特征是，Y轴进给机构(15)、X轴进给机构(16)、Z轴进给机构(17)中设有滚珠丝杠。
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