JPS6374635A - フレキシブルプリント基板の製造方法 - Google Patents
フレキシブルプリント基板の製造方法Info
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- JPS6374635A JPS6374635A JP22020986A JP22020986A JPS6374635A JP S6374635 A JPS6374635 A JP S6374635A JP 22020986 A JP22020986 A JP 22020986A JP 22020986 A JP22020986 A JP 22020986A JP S6374635 A JPS6374635 A JP S6374635A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0313—Organic insulating material
- H05K1/032—Organic insulating material consisting of one material
- H05K1/0346—Organic insulating material consisting of one material containing N
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/02—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
- H05K3/022—Processes for manufacturing precursors of printed circuits, i.e. copper-clad substrates
Landscapes
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は直接塗布法によるカールが極めて少いフレキシ
ブルプリント基板の製造方法に関する。
ブルプリント基板の製造方法に関する。
(従来の技術)
フレキシブルプリント基板に高分子絶縁フィルムの表面
に導体回路を形成した可撓性のある配線鈑であって、近
年電子機器の小型化、高密度を達成する手段として多用
されている。なかでも絶縁フィルムとし【は芳香族ポリ
イミド全屈いたものが主流を占めつつある。
に導体回路を形成した可撓性のある配線鈑であって、近
年電子機器の小型化、高密度を達成する手段として多用
されている。なかでも絶縁フィルムとし【は芳香族ポリ
イミド全屈いたものが主流を占めつつある。
従来の7レキシプルプリント基鈑ハポリイミドフイルム
と銅箔を接着剤により接着する方法で製造されているた
めに、この耐熱性、耐薬品性、難燃性、電気特性、ある
いは密着性といった特性は使用する接着剤に支配されて
しまいポリイミドの優れた緒特性を光分にいかすことが
出来ないものであった。
と銅箔を接着剤により接着する方法で製造されているた
めに、この耐熱性、耐薬品性、難燃性、電気特性、ある
いは密着性といった特性は使用する接着剤に支配されて
しまいポリイミドの優れた緒特性を光分にいかすことが
出来ないものであった。
この問題を解決する方法として@箔などの金属箔上に、
金属箔と同程度の熱膨張係数を有するポリアミド酸(ポ
リイミドの前駆体)又はポリイミドの溶液を金属導体箔
に直接流延塗布、溶媒除去、硬化によ・り製造する方法
(ダイレクトコート法)が提案されている。(特開昭6
0−206639号公報、特開昭58−190091〜
190093号公報、特開昭59−82783号公報) (問題点を屏決するための手段) 本発明者らは、上記ダイレクトコート法により得られる
フレキシブルプリント基鈑のカール発生要因を鋭意検討
した結果、カール発生は溶媒蒸発ならびにポリアミド酸
の閉m縮曾反応によるポリイミド層の体積収MK起因し
て生じた残留応力によることをつきとめ、本発明に至っ
た。
金属箔と同程度の熱膨張係数を有するポリアミド酸(ポ
リイミドの前駆体)又はポリイミドの溶液を金属導体箔
に直接流延塗布、溶媒除去、硬化によ・り製造する方法
(ダイレクトコート法)が提案されている。(特開昭6
0−206639号公報、特開昭58−190091〜
190093号公報、特開昭59−82783号公報) (問題点を屏決するための手段) 本発明者らは、上記ダイレクトコート法により得られる
フレキシブルプリント基鈑のカール発生要因を鋭意検討
した結果、カール発生は溶媒蒸発ならびにポリアミド酸
の閉m縮曾反応によるポリイミド層の体積収MK起因し
て生じた残留応力によることをつきとめ、本発明に至っ
た。
すなわち本発明は体積収縮がおこる溶媒を除去する乾燥
工程における金属箔−ポリイミド複合体をポリイミド層
面を外側にして連続的に湾曲保持し、ポリイミド層の応
力緩和を促進することによってカールを防止せんとする
ものである。
工程における金属箔−ポリイミド複合体をポリイミド層
面を外側にして連続的に湾曲保持し、ポリイミド層の応
力緩和を促進することによってカールを防止せんとする
ものである。
本発明に係るフレキシブルプリント基鈑は鋼などの金M
箔上に金I14箔と同程度の熱膨張係数をもつポリアミ
ド酸またはポリイミドフエスを塗布し、溶媒除去、硬化
することにより製造することができる。
箔上に金I14箔と同程度の熱膨張係数をもつポリアミ
ド酸またはポリイミドフエスを塗布し、溶媒除去、硬化
することにより製造することができる。
金属箔上に最終的に形成されるポリイミドは下記の一般
式で表わされる反復単位を有する重合体(ここでR1は
芳香族ジアミン、ジイソシアナートの7ミノ基、シアナ
ート基を除いた残基であり、R2は芳香族テトラカルボ
ン酸誘導体のカルボン酸誘導部欠除いた残基である。)
である。
式で表わされる反復単位を有する重合体(ここでR1は
芳香族ジアミン、ジイソシアナートの7ミノ基、シアナ
ート基を除いた残基であり、R2は芳香族テトラカルボ
ン酸誘導体のカルボン酸誘導部欠除いた残基である。)
である。
R1としてはP、m、0−フェニレンジアミン、2゜5
−ジアミノトルエン、ジアミノトエン、−5−ジアミノ
ナフタレン、乙6−ジアミツナフタレン、ベンジジン、
4.4’−ジアミノターフェニル、4.4’−ジアミノ
ジフェニルメタン、4.4’−ジアミノジフエニルエー
テル、ジアミノジフェニルスルホン、2.2−ヒス(P
−1ミノフエ二k)プロパン、43′−ジメチルベンジ
ジン八3′−ジメチル4.4′−ジアミノジフェニルメ
タン、4.4’−ヒス(P−アミノフェノキジンビフェ
ニル、2.2−ビス(4−(P−アミノフェノキシ)フ
ェニル)プロパン、4.4’−ビス(3−アミノフェノ
キクフェニル)ジフェニルスルホン、または、 (R4は一価の有機基、R4は二価の有機基2で示され
るジアミノトルエンなどのジアミン類、並びにこれらの
ジアミンとホスゲンなどの反応によって得られろジイソ
シアナート、例えばトリレンジイソシアナート、ジフェ
ニルメタンジイソシアナート、ナフタレンジイソシアナ
ート、ジフェニルエーテルジイソシアナート、フェニレ
ン1,3−ジインシアナートなどの芳香族ジイソシアナ
ート類がある。またテトラカルボン酸並びにその誘導体
としては次のようなものが挙げられる。ここではテトラ
カルボン酸として例示するが、これのエステル化物、酸
無水物、酸塩化物ももちろん使用できる。ピロメリット
酸、2.l’4’−テトラカルボキシジフェニル、5,
5:4,4’−テトラカルボキシジフェニル、3、 J
4.4’−テトラカルボキンベンゾフェノン2゜3、
¥4′−テトラカルボキンベンゾフェノン、45:4.
4′−テトラカルボキシジフェニルメタンなどがある。
−ジアミノトルエン、ジアミノトエン、−5−ジアミノ
ナフタレン、乙6−ジアミツナフタレン、ベンジジン、
4.4’−ジアミノターフェニル、4.4’−ジアミノ
ジフェニルメタン、4.4’−ジアミノジフエニルエー
テル、ジアミノジフェニルスルホン、2.2−ヒス(P
−1ミノフエ二k)プロパン、43′−ジメチルベンジ
ジン八3′−ジメチル4.4′−ジアミノジフェニルメ
タン、4.4’−ヒス(P−アミノフェノキジンビフェ
ニル、2.2−ビス(4−(P−アミノフェノキシ)フ
ェニル)プロパン、4.4’−ビス(3−アミノフェノ
キクフェニル)ジフェニルスルホン、または、 (R4は一価の有機基、R4は二価の有機基2で示され
るジアミノトルエンなどのジアミン類、並びにこれらの
ジアミンとホスゲンなどの反応によって得られろジイソ
シアナート、例えばトリレンジイソシアナート、ジフェ
ニルメタンジイソシアナート、ナフタレンジイソシアナ
ート、ジフェニルエーテルジイソシアナート、フェニレ
ン1,3−ジインシアナートなどの芳香族ジイソシアナ
ート類がある。またテトラカルボン酸並びにその誘導体
としては次のようなものが挙げられる。ここではテトラ
カルボン酸として例示するが、これのエステル化物、酸
無水物、酸塩化物ももちろん使用できる。ピロメリット
酸、2.l’4’−テトラカルボキシジフェニル、5,
5:4,4’−テトラカルボキシジフェニル、3、 J
4.4’−テトラカルボキンベンゾフェノン2゜3、
¥4′−テトラカルボキンベンゾフェノン、45:4.
4′−テトラカルボキシジフェニルメタンなどがある。
また金属箔に塗布するポリアミド酸又はポリイミドの溶
液は単一である必要はなく、2椋以上のものを混合、あ
るいは共縮合したものをもちいることもできる。むしろ
ポリマーの熱膨張係数全金属箔と合わせるために逼白V
c変性することが望ましい。例えば金属箔に銅箔を用い
る場合基板のカールを防ぐためにポリイミドの50〜2
50℃の平均熱膨張係数音2 X 10−’K”″1前
後に分子設計する必要がある。
液は単一である必要はなく、2椋以上のものを混合、あ
るいは共縮合したものをもちいることもできる。むしろ
ポリマーの熱膨張係数全金属箔と合わせるために逼白V
c変性することが望ましい。例えば金属箔に銅箔を用い
る場合基板のカールを防ぐためにポリイミドの50〜2
50℃の平均熱膨張係数音2 X 10−’K”″1前
後に分子設計する必要がある。
甘酸反応はN−メチ3−2−ピロリドン(NMP)、N
、N−ジメテhホルムアミド(DMF)、N、N−ジメ
チルアセトアミド(DMAc)、ジメチルスルホキサイ
ド(DMSO)、硫酸ジメチル、スルホラン、T−ブチ
ロラクトン、クレゾール、フェノール、ハロゲン化フェ
ノール、フクロヘキサノン、ジオキサンなどの溶液中で
、0〜200℃の範囲で行われる。
、N−ジメテhホルムアミド(DMF)、N、N−ジメ
チルアセトアミド(DMAc)、ジメチルスルホキサイ
ド(DMSO)、硫酸ジメチル、スルホラン、T−ブチ
ロラクトン、クレゾール、フェノール、ハロゲン化フェ
ノール、フクロヘキサノン、ジオキサンなどの溶液中で
、0〜200℃の範囲で行われる。
本発明における金属導体箔として用いられるものには、
鋼、アルミニウム、鉄、金、銀、ニッケルパラジウム、
クロム、モリブデンなどまた扛それらの合金が挙げられ
、ポリイミドとの接着力を高めろために化学的粗化コロ
ナ放電、サンディング、メッキ、アルミニウムアルコラ
ード、ア/L−ミニウムニレート、7ランカツプリング
剤などによって機械的、化学的処理上してもよい。
鋼、アルミニウム、鉄、金、銀、ニッケルパラジウム、
クロム、モリブデンなどまた扛それらの合金が挙げられ
、ポリイミドとの接着力を高めろために化学的粗化コロ
ナ放電、サンディング、メッキ、アルミニウムアルコラ
ード、ア/L−ミニウムニレート、7ランカツプリング
剤などによって機械的、化学的処理上してもよい。
本発明において金属箔上にポリイミドフィルム層を形成
させる方法としては金属箔の表面にポリアミド酸又はポ
リイミドを8〜40x量%含む溶液をM膜用スリットか
ら吐出させて均一に塗布する。この農工方法としてはロ
ールコータ、コンマコータ、ナイフコータ、ドクターブ
レードフローコータ、密閉コータなどによるものが挙げ
られる。
させる方法としては金属箔の表面にポリアミド酸又はポ
リイミドを8〜40x量%含む溶液をM膜用スリットか
ら吐出させて均一に塗布する。この農工方法としてはロ
ールコータ、コンマコータ、ナイフコータ、ドクターブ
レードフローコータ、密閉コータなどによるものが挙げ
られる。
次九上記の様にして金属箔に直接塗布したポリマー溶液
の溶媒を90へ260℃で加熱乾燥して除去し、同時に
溶媒の蒸発による体積収縮に起因する応力の緩和を行な
う。本発明においては、この乾燥工程が最も重要である
。体積収縮のほとんどはこの乾燥工程で発生し、且つ溶
媒が残留しているためにポリイミドの分子鎖は流れ易く
、応力緩和全行5には最も効果的だからである。
の溶媒を90へ260℃で加熱乾燥して除去し、同時に
溶媒の蒸発による体積収縮に起因する応力の緩和を行な
う。本発明においては、この乾燥工程が最も重要である
。体積収縮のほとんどはこの乾燥工程で発生し、且つ溶
媒が残留しているためにポリイミドの分子鎖は流れ易く
、応力緩和全行5には最も効果的だからである。
この乾燥工程では金JI!陥−ポリイミド複合体の保持
状態とその温度が大切である。即ち金属箔を内側、ポリ
イミドを外側にして、分子の最も流れ易い温度で湾曲保
持する。湾曲保持は1本あるいは同心円上に配置された
3〜8本のロールを用いて行なうが、シワ等の発生を防
ぐために、は、同心円上に配置された複数のロールを用
いた方がよく、これらのロー/L−t’!ラインスピー
ドに合せて駆動した方が望ましい。またその曲率中径は
50〜2000allであり、好ましくは?0[1−1
000馴である。複数のロールを用いろ際のロール直径
は50〜1001113が望ましいが、これ以外のもの
でも何ら支障はない。
状態とその温度が大切である。即ち金属箔を内側、ポリ
イミドを外側にして、分子の最も流れ易い温度で湾曲保
持する。湾曲保持は1本あるいは同心円上に配置された
3〜8本のロールを用いて行なうが、シワ等の発生を防
ぐために、は、同心円上に配置された複数のロールを用
いた方がよく、これらのロー/L−t’!ラインスピー
ドに合せて駆動した方が望ましい。またその曲率中径は
50〜2000allであり、好ましくは?0[1−1
000馴である。複数のロールを用いろ際のロール直径
は50〜1001113が望ましいが、これ以外のもの
でも何ら支障はない。
湾曲保持を行う温度はポリイミド分子鎖が最も流れ易い
範囲を選ぶべきである。この温Vは一般に90〜260
℃で、直接塗布を行うポリイミド特有のものである。こ
の温度は予め熱機械試験機(TMA)等を用いて測定す
ることができろ。
範囲を選ぶべきである。この温Vは一般に90〜260
℃で、直接塗布を行うポリイミド特有のものである。こ
の温度は予め熱機械試験機(TMA)等を用いて測定す
ることができろ。
最後に300〜400℃に加熱して閉環縮合反応の完結
、硬化及びポリイミドの残留応力除去を行う。この硬化
工程てもやはり複会体の保持状態と温度が重要である。
、硬化及びポリイミドの残留応力除去を行う。この硬化
工程てもやはり複会体の保持状態と温度が重要である。
この硬化工程では、前述の乾燥工程はど大きくないが、
閉環縮合反応に伴う縮付水生成により体積収縮が起こる
。
閉環縮合反応に伴う縮付水生成により体積収縮が起こる
。
この体積収縮九よるカー/L−を抑えるためには、金稿
箔−ポリイミド複合体に適切な張力を与え緊張状態を保
つことが必要である。この際の恨力に機械方向(MD)
と機械に対して直角方向(TD)のバランスが大切で、
例えば複せ体にMD力方向みの張力を加えて硬化させる
とTD方向に2〜3重のカールが発生してし筐う。また
加熱温度についてはポリイミド層の残留応力全完全に除
去するために直接塗布したポリイミドのもつガラス転移
点以上の加熱が必要不可欠である。この硬化工程で体積
収縮に伴い発生した残留応力を完全に除去しないと、金
#i箔と同程度の熱膨張係数をもつポリイミド全屈いて
も、得られるフレキシブルプリント基板にカールが発生
してしまう。
箔−ポリイミド複合体に適切な張力を与え緊張状態を保
つことが必要である。この際の恨力に機械方向(MD)
と機械に対して直角方向(TD)のバランスが大切で、
例えば複せ体にMD力方向みの張力を加えて硬化させる
とTD方向に2〜3重のカールが発生してし筐う。また
加熱温度についてはポリイミド層の残留応力全完全に除
去するために直接塗布したポリイミドのもつガラス転移
点以上の加熱が必要不可欠である。この硬化工程で体積
収縮に伴い発生した残留応力を完全に除去しないと、金
#i箔と同程度の熱膨張係数をもつポリイミド全屈いて
も、得られるフレキシブルプリント基板にカールが発生
してしまう。
乾燥または硬化工程の250℃から550℃に於ける高
温に於ける鋼イオンとポリイミドの反応を防止するため
、酸素のない不活性気体とこれに1体積%から10体積
%の環元性気体を含む気体中で乾燥または硬化を行なっ
た方が好ましい。
温に於ける鋼イオンとポリイミドの反応を防止するため
、酸素のない不活性気体とこれに1体積%から10体積
%の環元性気体を含む気体中で乾燥または硬化を行なっ
た方が好ましい。
酸素を遮断する不活性ガスとしてはヘリウム、アルゴン
、ネオン、窒素、金属光輝焼鈍用気体が挙げられる。
、ネオン、窒素、金属光輝焼鈍用気体が挙げられる。
(実施例)
次に本発明を実施例に基き更に底切する。
合成例
熱電対、攪拌機、窒素吹込口を堆付けた301のフラス
コに毎分的3001111の乾燥窒素を流シナがら、P
7zニレンジアミン(以下P−PDAと略記する)80
6.4gとN−メチル−2−ピロリドン(以下NMPと
略記する)全17kg入れ攪拌し、P−PDAt−溶解
した。この溶液をウォータージャケットで20℃に冷却
しながら3.X4,4′−ビフェニルテトラカルボン酸
(以下BPDAと略記する)219五6gを徐々に加え
重置反応させ、粘稠なポリアミド酸ワニスを得た。以後
の塗膜作業性を良くするために、このフェスの回転粘度
が200ボイズになるまで80℃でクツキングを行なっ
た。
コに毎分的3001111の乾燥窒素を流シナがら、P
7zニレンジアミン(以下P−PDAと略記する)80
6.4gとN−メチル−2−ピロリドン(以下NMPと
略記する)全17kg入れ攪拌し、P−PDAt−溶解
した。この溶液をウォータージャケットで20℃に冷却
しながら3.X4,4′−ビフェニルテトラカルボン酸
(以下BPDAと略記する)219五6gを徐々に加え
重置反応させ、粘稠なポリアミド酸ワニスを得た。以後
の塗膜作業性を良くするために、このフェスの回転粘度
が200ボイズになるまで80℃でクツキングを行なっ
た。
実施例1゜
合成例で合成したポリアミド酸を、巾540mrnの電
解鋼箔粗化面に、塗工機を用いて流延塗布し、予備乾燥
した。次にこれを、直径40朋のロール5本を、半径1
.0mの半円周上に配置した硬化炉を用いて、応力緩和
させながら連続的にわん曲保持し、250〜260℃で
20分間加熱して沼媒除去し、次いでこれを平面保持し
て390〜400℃で20分間加熱してフレキ7プル銅
張M板を得た。このフレキシブル鋼張基板からMD力方
向TD方回に50X250關を切り取り、鉛直に立てた
定盤に、5011+f1幅の一端全固定して吊り下げ、
他端が定盤から離れた距111カーh量として測定した
。その結果MD方向に22.5Il!IITD方向VC
A a 7 samのカールが見られたが、フレキシブ
ルプリント基板としての使用には何ら支障のないもので
ある。
解鋼箔粗化面に、塗工機を用いて流延塗布し、予備乾燥
した。次にこれを、直径40朋のロール5本を、半径1
.0mの半円周上に配置した硬化炉を用いて、応力緩和
させながら連続的にわん曲保持し、250〜260℃で
20分間加熱して沼媒除去し、次いでこれを平面保持し
て390〜400℃で20分間加熱してフレキ7プル銅
張M板を得た。このフレキシブル鋼張基板からMD力方
向TD方回に50X250關を切り取り、鉛直に立てた
定盤に、5011+f1幅の一端全固定して吊り下げ、
他端が定盤から離れた距111カーh量として測定した
。その結果MD方向に22.5Il!IITD方向VC
A a 7 samのカールが見られたが、フレキシブ
ルプリント基板としての使用には何ら支障のないもので
ある。
実施例2゜
乾燥及び硬化工程における加熱温度及び時間を250〜
270℃20分、350へ370℃20分とした他は実
施例1と同様にして7レキシプル銅張基板を得た。この
得らnたフレキシブル鋼張基板のカールjIkはMD力
方向6α2−1TD方向#C35,3auiであった。
270℃20分、350へ370℃20分とした他は実
施例1と同様にして7レキシプル銅張基板を得た。この
得らnたフレキシブル鋼張基板のカールjIkはMD力
方向6α2−1TD方向#C35,3auiであった。
このカールに実用上何ら支障のないものであった。
実施例5
湾曲保持に直径200IIL!1のロール1本のみを用
いた他は実施例2と同様にしてフレキシブル鋼張基板t
−得た。このフレキシブル鋼張基板のカール量はMD力
方向36.8all、TD力方向3a2ffijlであ
った。このカールは実用上何ら支障のないものである。
いた他は実施例2と同様にしてフレキシブル鋼張基板t
−得た。このフレキシブル鋼張基板のカール量はMD力
方向36.8all、TD力方向3a2ffijlであ
った。このカールは実用上何ら支障のないものである。
比較例
合成例で合成したポリアミド酸ワニスを54Qmm幅の
電解銅箔粗化面に塗工機を用い【流延塗布し乾燥した。
電解銅箔粗化面に塗工機を用い【流延塗布し乾燥した。
次にこれをピンテンタ一式硬化炉を用いて連続的にTD
力方向両端を固定して平面状に保持し、250〜270
℃20分、390〜400℃20分の熱履歴を与え2レ
キ7ブル鋼張基鈑を得た。この得られたフレキシブル銅
張基鈑のカール量はMD力方向71.8ffifll、
TD力方向59.4 mrrrであツrs。
力方向両端を固定して平面状に保持し、250〜270
℃20分、390〜400℃20分の熱履歴を与え2レ
キ7ブル鋼張基鈑を得た。この得られたフレキシブル銅
張基鈑のカール量はMD力方向71.8ffifll、
TD力方向59.4 mrrrであツrs。
(発明の効果)
以上詳細に説明した如く、本発明によれば、ダイレクト
コート法によるカールの少ないフレキシブルプリント基
板の製造が可能になった。
コート法によるカールの少ないフレキシブルプリント基
板の製造が可能になった。
Claims (1)
- 1、ポリアミド酸またはポリイミドワニスを金属箔に直
接塗布する工程、溶媒を除去・乾燥する工程、および硬
化工程からなるフレキシブルプリント基板の製造方法に
おいて、溶媒の除去・乾燥工程または硬化工程を金属箔
を内側、ポリイミド層面を外側にして連続的に湾曲保持
しながらおこなうことを特徴とするフレキシブルプリン
ト基板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22020986A JPS6374635A (ja) | 1986-09-18 | 1986-09-18 | フレキシブルプリント基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22020986A JPS6374635A (ja) | 1986-09-18 | 1986-09-18 | フレキシブルプリント基板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6374635A true JPS6374635A (ja) | 1988-04-05 |
Family
ID=16747596
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22020986A Pending JPS6374635A (ja) | 1986-09-18 | 1986-09-18 | フレキシブルプリント基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6374635A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02217241A (ja) * | 1989-02-17 | 1990-08-30 | Chisso Corp | フレキシブルプリント基板の製造法 |
| JPH03104185A (ja) * | 1989-09-19 | 1991-05-01 | Nippon Steel Chem Co Ltd | 両面導体ポリイミド積層体の製造方法 |
| DE3936488A1 (de) * | 1989-11-02 | 1991-05-08 | Beck & Co Ag Dr | Verfahren zur herstellung von flexiblen basismaterialien |
| US5300364A (en) * | 1990-09-04 | 1994-04-05 | Chisso Corporation | Metal-clad laminates and method for producing same |
| JP2001105530A (ja) * | 1999-08-04 | 2001-04-17 | Toyobo Co Ltd | フレキシブル金属積層体及びその製造方法 |
| JP2004306597A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-11-04 | Nippon Steel Chem Co Ltd | フレキシブル積層板の製造方法 |
| JP2006035087A (ja) * | 2004-07-27 | 2006-02-09 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 有機材料薄膜の形成方法および形成装置 |
| JP2010234810A (ja) * | 1999-08-04 | 2010-10-21 | Toyobo Co Ltd | フレキシブル金属積層体 |
-
1986
- 1986-09-18 JP JP22020986A patent/JPS6374635A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02217241A (ja) * | 1989-02-17 | 1990-08-30 | Chisso Corp | フレキシブルプリント基板の製造法 |
| JPH03104185A (ja) * | 1989-09-19 | 1991-05-01 | Nippon Steel Chem Co Ltd | 両面導体ポリイミド積層体の製造方法 |
| DE3936488A1 (de) * | 1989-11-02 | 1991-05-08 | Beck & Co Ag Dr | Verfahren zur herstellung von flexiblen basismaterialien |
| US5300364A (en) * | 1990-09-04 | 1994-04-05 | Chisso Corporation | Metal-clad laminates and method for producing same |
| JP2001105530A (ja) * | 1999-08-04 | 2001-04-17 | Toyobo Co Ltd | フレキシブル金属積層体及びその製造方法 |
| JP2010234810A (ja) * | 1999-08-04 | 2010-10-21 | Toyobo Co Ltd | フレキシブル金属積層体 |
| JP2004306597A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-11-04 | Nippon Steel Chem Co Ltd | フレキシブル積層板の製造方法 |
| JP2006035087A (ja) * | 2004-07-27 | 2006-02-09 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 有機材料薄膜の形成方法および形成装置 |
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