JPS6362242A - ワイヤボンディング装置 - Google Patents

ワイヤボンディング装置

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JPS6362242A
JPS6362242A JP61206555A JP20655586A JPS6362242A JP S6362242 A JPS6362242 A JP S6362242A JP 61206555 A JP61206555 A JP 61206555A JP 20655586 A JP20655586 A JP 20655586A JP S6362242 A JPS6362242 A JP S6362242A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明はワイヤボンディング装置、特にモニタートの画
像を見ながらボンディングすべき位置の指定を行うワイ
ヤボンディング装置に関する。
（従来の技術） 半導体装置の製造方法において、半導体ペレット上のボ
ンディングパッドとインナリードとをボンディングワイ
ヤにより電気的に接続するワイヤボンディング工程は極
めて重要な工程である。この工程には専用のワイヤボン
ディング装置が用いられるが、ワイヤボンディングを行
うためには、このワイヤボンディング装置に対してボン
ディング位置座標の入力を行わねばならない。この座標
の入力方法として、最も一般的なのはティーチング作業
を行う方法である。この方法は、ワイヤボンディングの
対象物をＴＶカメラによって局部的に拡大してモニタ上
に映し出し、このモニタ上の画像を見ながらオペレータ
がボンディングすべき位置座標を指示するという作業を
行うもので、次のような手順で行われる。
■　第１番ワイヤの始点となるべき対象物上の点が、モ
ニタ画像の中心位置に映し出されるように、ボンディン
グ装置のＸＹステージを移動調整し、調整終了時に所定
の入力スイッチを操作することにより、始点の座標値を
ボンディング装置内のＲＡＭに記憶させる。これがいわ
ゆるティーチング作業である。
■　続いて第１番ワイヤの終点となるべき点の座標値に
ついても、同様のティーチング作業を行い、ＲＡＭに記
憶させる。
■　上述の手順■、■を全ワイヤについて順次行ってゆ
く。
■　最後に修正、変更を行うべきワイヤについて、再び
手順■、■を行い修正、変更を行う。また、ボンディン
グ位置を全体的に平行移動して修正する場合には、手順
■に示したティーチング作業と同様の作業により平行移
動量を設定すればよい。
（発明が解決しようとする問題点） 上述のように、ティーチング作業ではモニタ上の画像を
見ながらオペレータがボンディング位置の指示を行うが
、この位置合わせを行う補助として照準マークが用いら
れる。例えば第３図は、モニタ上に表示された照準マー
クの一例を示すもので、十字形に配された照準線１と矩
形パターン２によって照準マークが構成されている。オ
ペレータはこの照準マークを指標として対象物中の目標
パターンをモニタ上の中心位置に位置合わせする。
しかしながら、従来装置には種々の目標パターンに対し
て常に最適な照準マークを表示させるのが困難であり、
位置合わせ精度が低いという問題があった。例えば半導
体ペレット上のボンディングパッドと、インナリードの
先端部とをボンディングする場合、ボンディングパッド
およびインナリード先端部をモニタ上に交互に表示させ
て位置指定を行うことになるが、ボンディングパッドと
インナリードとでは形状、大きさが異なるため、同一の
照準マークを用いると精確な位置合わせができないので
ある。
このような問題点を解決するため、所望の大きさ、縦横
比をもった矩形パターン２を設定しうる装置も考案され
ているが、ボンディングパッドがらインナリードへと目
標パターンが異なるごとに矩形パターンの大きさ、縦横
比を変える必要があるため、作業は頻雑で多大な労力が
必要となる。
そこで本発明は種々の目標パターンに対して常に最適な
照準マークを表示させることができ、容易にかつ精確な
ティーチング作業を行うことができるワイヤボンディン
グ装置を提供することを目的とする。
〔発明の構成〕
（問題点を解決するための手段） 本発明は、ワイヤボンディング装置において、ワイヤボ
ンディングすべき対象物を局部的に拡大した画像を生成
するモニタ装置と、このモニタ装置の入力手段として用
いるカメラと対象物との相対位置を変化させてモニタ装
置で生成される画像の視野を変える変位手段と、互いに
形状、大きさの異なる少なくとも２種類以上の照準マー
クを記憶し、これらのうちのいずれか１つをモニタ装置
上の画像にオーバラップさせて表示する照準表示装置と
、モニタ装置上に画像として表示させる対象物中の目標
パターンに応じて、最適の照準マークを選択し、照準表
示装置にこの選択した照準マークを表示させる表示選択
手段とを設け、容易にかつ精確なティーチング作業を行
うことができるようにしたものである。
（作　用） 本装置によれば、あらかじめ目標パターンに最適な照準
マークを各目標パターンごとに設定しておくことができ
る。しかも各目標パターンをモニタ装置に表示したとき
に、設定した最適な照準マークをオーバラップさせて表
示させることができる。従って常に精確なティーチング
作業を容易に行うことができる。
（実施例） 以下、本発明を図示する実施例に基づいて説明する。こ
こでは、ボンディングパッドとインナリード先端部とを
相互にボンディングする場合を考える。はじめにオペレ
ータはボンディングパッドおよびインナリード先端部そ
れぞれについて位置合わせに最適な照準マークを設定す
る。例えばボンディングパッドについては第２図（ａ）
に示すような正方形状パターン２ａを、インナリード先
端部については第２図（ｂ）に示すような円形パターン
２ｂを、それぞれ設定すればよい。このとき、照準マー
クを表示する装置に、縦横が任意の寸法を有する四角形
および半径が任意の寸法を有する円形のパターンを自由
に表示できる機能をもたせておけば、オペレータは容易
に最適なパターン設定を行うことができる。このように
して各目標パターン（ここではボンディングパッドとイ
ンナリード先端部）について設定された各照準マークは
、装置内に記憶される。
装置内には、この照準マークの他に、ティーチング作業
の順序を示す情報も記憶される。この実施例では、第１
番目のボンディングパッドから始まって、第１番目のイ
ンナリード、第２番目のボンディングパッド、第２番目
のインナリード、・・・と順次ティーチング作業が行わ
れてゆく。従ってモニタ上には、ボンディングパッドと
インナリードとを交互に表示しながらティーチング作業
を行ってゆくことになる。゛そこで本装置では、記憶さ
れたティーチング作業の順序を示す情報に基づいて照準
マークも交互に変えて表示を行う。例えばボンディング
パッド３についての位置指定を行う際には、第１図（ａ
）に示すように正方形状パターン２ａを選択して表示さ
せ、インナリード４ａまたは４ｂについての位置指定を
行う際には、第１図（ｂ）に示すように円形パターン２
ｂを選択して表示させる。このようにして、位置指定の
ための人力操作に同期させて２つの照準マークを交互に
切換えて表示させるようにすれば、ボンディングパッド
３の位置指定時には、これに最適の正方形状パターン２
ａを用いた位置合わせができ、インナリード４ａ、４ｂ
の位置指定時には、これに最適の円形パターン２ｂを用
いた位置合わせができることになる。しかも照準マーク
の切換えは、ティーチング作業の順序を示す情報に基づ
いて自動的に行われるため、煩雑な操作は一切必要ない
。
以上、本発明をボンディングパッドとインナリードとに
ついての位置指定を行う例について説明したか−１本発
明はこのような実施例だけに限定されるわけではなく、
例えば位置合わせ用の特殊なパターンについての位置指
定にも利用できる。あらかじめ設定する照準マークの数
も、上述の実施例のように２つに限定されるわけではな
く、目標パターンの種類に応じて３以上記憶させること
も可能である。
〔発明の効果〕
以上のとおり本発明によれば、ワイヤボンディング装置
において、少なくとも２種類以上の照準マークを記憶さ
せておき、モニタ上に表示された目標パターンに応じて
最適の照準マークを選択して表示させるようにしたため
、種々の目標パターンに対して常に最適な照準マークを
表示させることができ、容易にかつ精確なティーチング
作業が可能になる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に係るワイヤボンディング装置によるテ
ィーチング作業の説明図、第２図は本発明に係るワイヤ
ボンディング装置における照準マークの設定状態を示す
説明図、第３図は従来のワイヤボンディング装置におけ
る照準マークの設定状態を示す説明図である。 １・・・照準線、２・・・矩形パターン、２ａ・・・正
方形状パターン、２ｂ・・・円形パターン、３・・・ボ
ンディングパッド、４ａ、４ｂ・・・インナリード。 出願人代理人　　佐　　藤　　−雄 図面の５−８で内容に安定なし１ （０）　　　　　　　　　　　　　　　　　　（ｂ）お
　１　図 Ｆ：）２　図 ３３　凶 手続補正書 昭和６１年１０月１３日

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、ワイヤボンディングすべき対象物を局部的に拡大し
    た画像を生成するモニタ装置と、前記モニタ装置の入力
    手段として用いるカメラと前記対象物との相対位置を変
    化させて前記モニタ装置で生成される画像の視野を変え
    る変位手段と、互いに形状および／または大きさの異な
    る少なくとも２種類以上の照準マークを記憶し、これら
    のうちのいずれか１つを前記モニタ装置上の画像にオー
    バラップさせて表示する照準表示装置と、前記モニタ装
    置上に画像として表示させる前記対象物中の目標パター
    ンに応じて、最適の照準マークを選択し、前記照準表示
    装置にこの選択した照準マークを表示させる表示選択手
    段と、を備えることを特徴とするワイヤボンディング装
    置。 ２、照準表示装置が縦横の所望の寸法値である四角形の
    照準マークを表示できることを特徴とする特許請求の範
    囲第１項記載のワイヤボンディング装置。 ３、目標パターンが、半導体ペレット上の第１のパター
    ンと、リードフレーム側の第２のパターンとから構成さ
    れ、照準表示装置が前記第１のパターンの位置決めに適
    した第１の照準マークと前記第２のパターンの位置決め
    に適した第２の照準マークとを記憶していることを特徴
    とする特許請求の範囲第１項または第２項記載のワイヤ
    ボンディング装置。 ４、第１のパターンがボンディングパッド、第２のパタ
    ーンがインナリードであることを特徴とする特許請求の
    範囲第３項記載のワイヤボンディング装置。 ５、選択手段が第１の照準マークと第２の照準マークと
    を交互に選択して表示させることを特徴とする特許請求
    の範囲第４項記載のワイヤボンディング装置。
JP61206555A 1986-09-02 1986-09-02 ワイヤボンディング装置 Granted JPS6362242A (ja)

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