JP2668734B2 - ワイヤボンデイング方法 - Google Patents

ワイヤボンデイング方法

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Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、複数台のワイヤボンダーで処理された試料
を同一のラインに搬送するワイヤボンデイング方法に関
する。
［従来の技術］ 従来、複数台のワイヤボンダーで処理された試料を同
一のラインに搬送するものとして、例えば特公平１−31
688号公報が知られている。
［発明が解決しようとする課題］ 上記従来技術は、各ワイヤボンダーと処理された試料
との関係については何ら考慮されていないので、ワイヤ
ボンデイング不良等が後工程で検出（発見）された場
合、どのワイヤボンダーで処理された試料であるのか、
識別できないという問題があつた。このため、不良対策
の処理が遅れ、歩溜りが低下する。
本発明の目的は、特別な装置を必要としないで、どの
ワイヤボンダーで処理されたかを容易に識別できるワイ
ヤボンデイング方法を提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 上記目的は、複数台のワイヤボンダーを有し、これら
のワイヤボンダーで処理された試料を同一のラインに搬
送するワイヤボンデイング方法において、前記各ワイヤ
ボンダーでワイヤボンデイングする際、特定箇所のボン
デイング位置を変えてワイヤボンデイングするか、又は
異なる位置にマーキングボンドすることにより達成され
る。
また上記目的は、複数台のワイヤボンダーを有し、こ
れらのワイヤボンダーで処理された試料を同一のライン
に搬送するワイヤボンデイング方法において、前記各ワ
イヤボンダーでワイヤボンデイングする際、特定箇所の
ボンデイング位置を変えてワイヤボンデイングしたもの
と、異なる位置にマーキングボンドしたものとよりなる
ことにより達成される。
［作用］ 各ワイヤボンダーにおいて、特定箇所のボンデイング
位置が異なるか、又は異なる位置にマーキングボンドさ
れているので、その位置を調べることにより、どのワイ
ヤボンダーでワイヤボンデイングされたものであるか容
易に判明できる。
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図及び第２図により説
明する。第１図に示すように、ライン１の側方には複数
台のワイヤボンダー2A、2B、2Cが並設されており、前工
程が終了した試料又は図示しない供給マガジンより供給
された試料は、矢印Ｄ方向よりライン１に供給される。
この試料は、各ワイアボンダー2A〜2Cに設けれらた供給
・排出装置３によって要求があったワイヤボンダー2A〜
2Cに供給される。各ワイヤボンダー2A〜2Cでワイヤボン
デイングが終了した試料は、前記供給・排出装置３によ
って再びライン１に戻され、ライン１によって搬送され
てマガジン等の収納部４に収納される。
以上の構造及び動作は従来技術と同じであるので、こ
れ以上の説明は省略する。
ところで、本実施例においては、前記各ワイヤボンダ
ー2A〜2Cでのワイヤボンデイングを第２図に示すように
行う。前記各ワイヤボンデイング2A〜2Cに供給される試
料５は、第２図に示すように、基板又はリードフレーム
（以下、リードフレームで総称する）６にチップ７が貼
付けられており、チップ７の電極7a（7a1、7a2、7a
3…）とリードフレーム６のリード6a（6a1、6a2、6a
3…）にワイヤボンダー2A〜2Cによってワイヤ８がボン
デイングされる。
この場合、電極7a1とリード6a1とにワイヤ８を接続す
る場合、リード6a1側のボンデイングを、ワイヤボンダ
ー2Aにおいては点9a1に、ワイヤボンダー2Bにおいては
前記点9a1と異なる点9a2に、ワイヤボンダー2Cにおいて
は前記点9a1、9a2と異なる点9a3にそれぞれボンデイン
グする。図中、点線はワイヤボンダー2Bによるワイヤ８
を、２点鎖線はワイヤボンダー2Cによるワイヤ８を示
す。その他の電極7a2、7a3…とリード6a2、6a3…は全て
同じ点にボンデイングする。
このように、ある特定箇所のボンデイング位置（点9a
1、9a2、9a3）を変えてボンデイングするので、後工程
でワイヤボンデイング不良が検出された場合、又は収納
部４に収納された試料５の抜取り検査でワイヤボンデイ
ング不良が検出された場合には、リード6a1の点9a1、9a
2、9a3の位置を調べればどのワイヤボンダー2A〜ACでボ
ンデイングされたものかが容易に判明する。このため、
ワイヤボンデイングの不良対策を即座に行うことができ
る。また特別な装置を用いて識別マーク等を付す必要が
ないので、設備費がアップすることもない。
第３図は本発明の第２実施例を示す。本実施例は前記
実施例の変形例である。即ち、ワイヤボンダー2Bは、電
極7a1とリード6a1のボンデイングにおいて、他のワイヤ
ボンダー2A、2Cの点9a1と異なる点9a2にボンデイングす
る。ワイヤボンダー2Cは、電極7a2とリード6a2のボンデ
イングにおいて、他のワイヤボンダー2A、2Bの点9b1と
異なる点9b2にボンデイングする。このようにしても前
記実施例と同様の効果が得られる。
第４図は本発明の第３実施例を示す。本実施例は、電
極7a（7a1、7a2、7a3…）とリード6a（6a1、6a2、6a
3…）とのワイヤ８に接続は全て同じに行う。しかし、
ワイヤボンダー2Bにおいては、電極7a1とリード6a1にワ
イヤ８を接続した後、リード6a1にマーキングボンド10a
1を行う。またワイヤボンダー2Cにおいては、同様に前
記マーキングボンド10a1と異なる点にマーキングボンド
10a2を行う。このようにしても、マーキングボンド10
a1、10a2の有無及びその位置により、どのワイヤボンダ
ー2A〜2Cでワイヤボンデイグされたか判明するので、前
記実施例と同様の効果が得られる。マーキングボンドは
ボールのみをボンデイングするものであり、ボールのみ
をボンデイングする方法として、例えば特開昭49−5297
3号があげられる。
第５図は本発明の第４実施例を示す。本実施例は前記
第３実施例の変形例である。即ち、ワイヤボンダー2Aは
前記実施例と同様に捨てボンドを行わなく、またワイヤ
ボンダー2Bは前記実施例と同様にリード6a1にマーキン
グボンド10a1を行う。またワイヤボンダー2Cはリード6a
2にマーキングボンド10b1を行う。このようにしても前
記実施例と同様の効果が得られる。
また他の実施例としては、図示しないが、前記各実施
例を組合せた方法によって行ってもよいことは勿論であ
る。
なお、上記実施例は、試料５のライン１が供給と排出
を共有させたものについて説明したが、供給ラインと排
出ラインが別個に設けられたものにも適用できることは
言うまでもない。
［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、特
別な装置を必要としないので、どのワイヤボンダーで処
理されたかを容易に識別できるので、設備費がアップす
ることもなく、また不良対策が即座に行える。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の方法を適用する試料搬送方法の１例を
示す構成図、第２図乃至第５図は本発明の第１乃至第４
実施例を示す説明図である。 1:ライン、 2A、2B、2C:ワイヤボンダー、 5:試料、8:ワイヤ、 9a1〜9a3、9b1、9b2:ボンデイング点、 10a1、10a2、10b1:マーキングボンド。

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】複数台のワイヤボンダーを有し、これらの
    ワイヤボンダーで処理された試料を同一のラインに搬送
    するワイヤボンデイング方法において、前記各ワイヤボ
    ンダーでワイヤボンデイングする際、特定箇所のボンデ
    イング位置を変えてワイヤボンデイングするか、又は異
    なる位置にマーキングボンドすることを特徴とするワイ
    ヤボンデイング方法。
  2. 【請求項２】複数台のワイヤボンダーを有し、これらの
    ワイヤボンダーで処理された試料を同一のラインに搬送
    するワイヤボンデイング方法において、前記各ワイヤボ
    ンダーでワイヤボンデイングする際、特定箇所のボンデ
    イング位置を変えてワイヤボンデイングしたものと、異
    なる位置にマーキングボンドしたものとよりなることを
    特徴とするワイヤボンデイング方法。
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