JP4080143B2 - ワイヤボンダ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体のワイヤボンディングを行うボンディング手段と、前記ワイヤボンディングの良否を判別するボンディング検査手段とから構成されるワイヤボンダに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来のワイヤボンダは、半導体装置の組み立て工程においてICチップ上の接続電極(パッド)とパッケージの外部引出し用電極(リード)の間を金線などのボンディングワイヤによって接続する装置であるが、近年、ボンディングの安定化、不良品の早期発見、不良見落としの防止、検査基準の安定化などを目的として、ワイヤボンディング後にワイヤボンダに組み込まれた画像処理を利用したボンディング検査装置を用いてボンディングの良否の検査が行われている。
【0003】
従来のボンディングとボンディング検査は、図3のタイミングチャートに示すタイミングで行われる。即ち、半導体装置がワイヤボンダに搬送されてボンド点の位置合わせなどのための認識が行われた後、先ず全てのワイヤのボンディングが行われ、その次にワイヤボンダに組み込まれたボンディング検査装置のCCDカメラをボンド点に順次移動させて、複数個のボンド点を含むボンディング箇所を順次撮影し、前記各ボンディング箇所の出力画像を画像処理装置により処理し、そして処理された画像を用いてボンディングの良否の検査がボンディング検査装置により行われる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のボンディング検査装置が組み込まれたワイヤボンダにおいては、全てのボンディングの検査が完了するまで、ワイヤボンダにおけるヒートプレート上に、前記半導体装置は保持されている必要があり、多ピン品種の場合には、ボンディング検査に長時間を要するので、前記半導体装置が前記ヒートプレートの熱に長時間晒されることになり、前記半導体装置に悪影響が及ぶ恐れがあった。また、ボンディング検査に長時間を要することにより、生産能力が低下するという問題があった。
【0005】
本発明は前記問題点を解決するためになされたもので、ワイヤボンディングとボンディング検査に要する時間が、従来の場合よりも短時間となり、それにより生産能力が向上するボンディング手段とボンディング検査手段とを備えたワイヤボンダを提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、半導体装置のワイヤボンディングを行うボンディング手段と、該ワイヤボンディングによるボンディングの良否をボンディング箇所の撮影画像により検査するボンディング検査手段とを備えたワイヤボンダにおいて、前記ワイヤボンディング手段を、前記半導体装置のボンディング領域を複数のブロックに分割して順次ボンディングを行うように構成するとともに、前記ボンディング検査手段を、前記ボンディング終了したブロックについて、該ボンディング手段が次のブロックをボンディングするのと平行して検査するように構成し、更に、前記ボンディング検査手段は、前記ボンディング終了したブロックの検査に際して、当該ブロック内を複数の画像領域に分割し、指定画像領域へのXYステージ移動、指定画像領域確定のためのサーチディレイ、指定画像領域の画像蓄積、蓄積画像の転送、転送画像を用いた指定画像領域のボンディング検査を1つの検査処理単位として、前記複数に分割した各画像領域を順次検査していくとともに、この順次検査に際して、現在検査を行っている画像領域についての画像蓄積が終了した時点で、次の画像領域へのXYステージの移動を開始するようにしたものである。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、図面等を参照して、本発明の実施形態について説明する。図1は、本発明によるワイヤボンダの実施形態を説明するための概略図である。図2は、本発明の実施形態であるワイヤボンダを説明するためのタイミングチャートであり、(a)はボンディング領域全体におけるタイミングを示し、(b)は分割された領域におけるタイミングを示す。
【0008】
先ず、ワイヤボンダについて説明する。図1に示すように、ワイヤボンダ10は、ボンディング対象物である半導体装置11を保持加熱するためのヒータープレート12を有するボンディング手段と、ワイヤボンディング後にボンディングの良否を検査するためのボンディング検査手段20とを備えている。
【0009】
ボンディング検査手段20は、ボンディング箇所の撮影画像を得るためのカメラ21、そのカメラ21の位置合わせを行うためのXYステージ22、それを駆動、制御するための駆動部23と制御部24、カメラ21からの出力画像を処理するための画像処理部25、及びボンディング検査手段全体を制御するための主制御部26とを有する。
【0010】
次にワイヤボンディングについて説明する。前記ワイヤボンディングは従来の場合と異なり、図2(a)に示すように、ボンディング領域が、複数の領域(図中では、3分割されたブロック#1、#2、#3)に分割されて順次行われ、各領域毎に、ワイヤボンディングとボンディング検査が行われる。
【0011】
前記ボンディング領域全体においては、次に示すタイミングでワイヤボンディング等が進められる。先ず、搬送されてきた半導体装置11におけるボンド点の位置合わせなどのために、XYステージ22を制御部24で制御しながら駆動部23により移動し、カメラ21によりブロック#1におけるボンド点などの認識が行なわれる。次に、ブロック#1のワイヤボンディングが行われ、その終了時点から、ボンディング検査対象管理データにもとづきXYステージが移動(XYステージ移動M1)して、カメラ21によりボンディング箇所が撮影されてその画像の取り込みが行われ、画像取込と平行して画像処理部25で処理された画像を用いてボンディングの検査が行われる。ブロック#1の前記画像取込が完了した時点で、ブロック#2に進み、そしてブロック#3のボンディング検査終了時点でボンディング領域全体の作業が完了する。
【0012】
各ブロックにおける画像取込とボンディングの検査は、図2(b)に示すように行われ、先ず各ブロックにおいて画像は複数に分割(図中では、3分割)されて蓄積され、各画像蓄積C1、C2、C3に対して画像処理部25へ画像転送T1、T2、T3が行われ、そこで画像処理された各蓄積画像に対して、即座にボンディング検査(図中、検査1、検査2、検査3)が実行される。即ち、各々の蓄積画像に対して、ボンディング検査までが平行して進められる。
【0013】
図2(b)の処理動作を更に詳しく説明すると、ボンディング検査手段20は、ボンディングを終了した第1のブロック#1のボンディング検査を開始する。この検査に際して、当該ブロック#1内を3つの画像領域に分割し、まず最初に、第1の画像領域について、当該第1の画像領域へのXYステージの移動M1、当該第1の画像領域確定のためのサーチディレイD1、当該第1の画像領域の画像蓄積C1、蓄積画像の転送T1、転送画像を用いた当該第1の画像領域の検査1を1つの検査処理単位P1として、ボンディング検査を行う。
【0014】
そして、上記第1の画像領域のボンディング検査の途中において、第1の画像領域についての画像蓄積C1が終了した時点で、次の第2の画像領域へのXYステージの移動M2を開始し、第2の画像領域についてのボンディング検査を第1の画像領域と並行に開始する。すなわち、第2の画像領域について、当該第2の画像領域へのXYステージの移動M2、当該第2の画像領域確定のためのサーチディレイD2、当該第2の画像領域の画像蓄積C2、蓄積画像の転送T2、転送画像を用いた当該第2の画像領域の検査2を1つの検査処理単位P2として、ボンディング検査を行う。
【0015】
同様に、第3の画像領域についても、第2の画像領域についての画像蓄積C2が終了した時点で、次の第3の画像領域へのXYステージの移動M3を開始し、第3の画像領域についてのボンディング検査を、検査処理単位P3を単位として第2の画像領域と並行に開始する。
【0016】
以上示したように、各ブロックにおけるボンディング検査と平行して次のブロックのワイヤボンディングが行われ、更に、各ブロックにおいては、分割した複数の画像領域についての画像取込とボンディング検査が平行して行われるので、従来の場合に比べてワイヤボンディング開始からボンディング検査の全てが終了するまでに要する時間が短縮される。
【0017】
本発明によれば、各ブロックにおけるボンディング検査と平行して次のブロックのワイヤボンディングが行われ、更に、各ブロックにおいては、複数に分割された画像領域の画像取込とボンディング検査が平行して行われるので、従来の場合に比べてワイヤボンディング開始からボンディング検査の全てが終了するまでに要する時間が短縮される。この結果、ワイヤボンディング対象物をヒータープレート上に保持する時間が短縮され、前記対象物へのヒータープレートからの熱の影響を低減できるとともに、ワイヤボンディング工程を有する生産における生産能力を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明によるワイヤボンダの実施形態を説明するための概略図である。
【図2】 本発明の実施形態であるワイヤボンダを説明するためのタイミングチャートであり、(a)はボンディング領域全体におけるタイミングを示し、(b)は分割された領域におけるタイミングを示す。
【図3】 従来のワイヤボンディングとボンディング検査のタイミングを説明するためのタイミングチャートである。
【符号の説明】
10 ワイヤボンダ
11 半導体装置
12 ヒータープレート
20 ボンディング検査手段
21 カメラ
22 XYステージ
23 駆動部
24 制御部
25 画像処理部
26 主制御部
Claims (1)
- 半導体装置のワイヤボンディングを行うボンディング手段と、該ワイヤボンディングによるボンディングの良否をボンディング箇所の撮影画像により検査するボンディング検査手段とを備えたワイヤボンダにおいて、
前記ワイヤボンディング手段を、前記半導体装置のボンディング領域を複数のブロック(#1〜#3)に分割して順次ボンディングを行うように構成するとともに、前記ボンディング検査手段を、前記ボンディング終了したブロックについて、該ボンディング手段が次のブロックをボンディングするのと平行して検査するように構成し、
更に、前記ボンディング検査手段は、前記ボンディング終了したブロックの検査に際して、当該ブロック内を複数の画像領域に分割し、指定画像領域へのXYステージ移動(M)、指定画像領域確定のためのサーチディレイ(D)、指定画像領域の画像蓄積(C)、蓄積画像の転送(T)、転送画像を用いた指定画像領域のボンディング検査を1つの検査処理単位(P1〜P3)として、前記複数に分割した各画像領域を順次検査していくとともに、この順次検査に際して、現在検査を行っている画像領域についての画像蓄積(C)が終了した時点で、次の画像領域へのXYステージの移動(M)を開始するようにしたことを特徴とするワイヤボンダ。
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