JPS6398782A - 微小ワ−ク片の認識方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 主１上皇と里立■ 本発明は微小ワーク片の認識方法に関し、詳しくは半導
体装置の製造におけるペレットマウント工程等で、半導
体ウェーハを分割した多数の半導体ペレットをパターン
認識する方法に関するものである。

従来少肢玉 例えば、半導体装置の製造におけるペレットマウント工
程では、半導体ウェーハを分割した多数の半導体ペレッ
ト〔以下単にペレットと称す〕を順次ピックアンプし、
所定のポジションまで移送してリードフレーム上のペレ
ットマウント位置に位置決め載置する。

上記ペレットのビックアンプ作業に際しては、半導体ウ
ェーハを各ペレット単位で格子状に分割し、これらの分
割した半導体ペレ７）をＸＹテーブル上でＸ、Ｙ方向に
定ピツチ移動させて所望のペレットをピックアップポジ
ションに配置し、更に上記ペレットをＸＹ及びθ方向に
位置補正した上でピックアップする。

このピックアップ時、上記ペレットを位置補正するため
にそのペレットを画像処理してパターン認識する必要が
ある。以下、上記ペレットの認識方法の従来例を第２図
及び第３図を参照しながら説明する。第２図に示すよう
に半導体ウェーハを分割した多数のペレット（１）（１
）・・・をＸＹテーブル（２）上に配置し、これをＴＶ
用カメラ（３）で画像処理する。従来、上記ＴＶ用カメ
ラ（３）で１個のペレット（１）を拡大して撮像し、そ
の映像信号を二値化回路（４）でデジタル信号に変換す
る。このデジタル信号により得られたデータを、フレー
ムメモリ　（５）に記憶させて、該フレームメモリ　（
５）のデータに基づいてＣＰＵ　（中央演算処理回路）
　（６）で画像処理を行う、これにより上記ＣＰＵ　（
６）からＸＹテーブル駆動回路（７）に出力信号を送出
して前記ＸＹテーブル（２）を駆動させ、ＴＶ用カメラ
（３）で？量像された１個のペレット（１）を位置補正
する。

このペレット（１）の位置補正が完了すると、第３図に
示すようにＣＰＵ　（６）からピックアンプ駆動回路（
８）に出力信号を送出し、マウンタ（９）〔第２図参照
〕を駆動させてピックアップ動作を開始する。このマウ
ンタ（９）によるペレット（１）のピックアップ動作が
完了すると、上記マウンタ（９）からの出力信号に基づ
いてＸＹテーブル（２）を駆動させて定ピツチ移動させ
、次のｖｇ識すべきペレット（１）をＴＶ用カメラ（３
）のカメラ視野内に設定して撮像する。以下、前記動作
を繰返すことによりＸＹテーブル（２）上のペレット（
１）（１）・・・を順次パターン認識してピックアップ
する。

（°シ゛と　る、占 ところで、前記従来のペレット認識方法では、１個のペ
レット（１）をカメラ視野内に設定して画像処理し、こ
の画像処理に基づいて上記ペレット（１）を位置補正し
た後、マウンタ（９）によりそのペレット（１）をピッ
クアップしている。このピックアップ時、カメラ視野内
をマウンタ（９）が遮り、且つ、ＸＹテーブル（２）を
駆動させることも不可能であるため、次のペレット認識
動作は停止している。そこで、上記ペレット（１）のピ
ックアップが完了した後、ＸＹテーブル（２）を定ピツ
チ移動させて次の認識すべき１個のペレット（１）をカ
メラ視野内に設定し、更に上記ペレット（１）を位置補
正してピックアップしていた。このように従来方法では
ペレット（１）のピックアップが完了するまで次のペレ
ット（１）を認識することが実現困難でインデックスの
高速化を龍しいものにしていた。

”るた　の 本発明は前記問題点に鑑みて提案されたもので、この問
題点を解決するための技術的手段は、整列配置された多
数の微小ワーク片をカメラ視野内での画像処理によりパ
ターン認識して順次ピックアップする方法であって、複
数の微小ワーク片をカメラ視野内に設定して画像処理し
、一つの微小ワーク片のビックアンプ動作中、次の微小
ワーク片をカメラ視野からの画像データに基づいてパタ
ーン認識する微小ワークの認識方法である。

■ 本発明方法によれば、一つの微小ワーク片のピックアッ
プ動作中に、カメラ視野からの画像データに基づいて、
次のＵ！識すべき微小ワーク片をパターン認識するため
、上記微小ワーク片のピックアップ完了後、次の微小ワ
ーク片を定ピツチ移動させることなく、直接的に位置補
正してビックアップボジシッンに配置し、上記微小ワー
ク片の位置補正完了までの駆動によるタイムロスを最小
限に設定することができる。

皇胤皿 本発明方法を半導体装置製造のペレットマウント工程で
適用した一実施例を第１図を参照しながら説明する。第
１図は本発明方法におけるペレット認識と制御シーケン
スを示すフローチャートである。尚、本発明方法におけ
る構成回路ブロック図は、従来方法による第２図に示し
たものと同一であり、これについては第２図を参照しな
がら説明する。

まず、第２図に示すように半導体ウェー八を分割した多
数の微小ワーク片であるペレット（１）（１）−・・を
ＸＹテーブル（２）上に配置し、これをＴＶ用カメラ（
３）で画像処理する、本発明方法では、上記ＴＶ用カメ
ラ（３）を所望の倍率に設定して該カメラ（３）で複数
個〔例えば３個〕のベレット（１）（１）（１）を拡大
して撮像し、その映像信号を二値化回路（４）でデジタ
ル信号に変換する。このデジタル信号により得られたデ
ータをフレームメモリ（５）に記憶させて該フレームメ
モリ（５）のデータに基づいてＣＰＵ　（６）で画像処
理を行う。これによりＣＰｔＪ　（６）からの出力信号
でＸＹテーブル（２）を駆動させ、ＴＶ用カメラ（３）
で撮像されたベレット（１）（１）（１）のうち、第１
番目のベレット（１）を位置補正する。

この第１番目のベレット（１）の位置補正が完了すると
、第１図に示すようにＣＰＵ　（６）からピックアップ
駆動回路（８）に出力信号を送出し、マウンタ（９）を
駆動させてピックアップ動作を開始する。この第１番目
のベレット（１）のピックアップ動作中に、カメラ視野
内に設定されてフレームメモリ（５）に記憶されたデー
タに基づいて、上記第１番目のベレット（１）と隣接す
る第２番目のベレット（１）をパターン認識すると共に
、この第２番目のベレット（１）の良・不良を判別する
。

そして上記第２番目のベレット（１）が良品であれば、
前記第１番目のベレット（１）のピックアップ動作が完
了すると、マウンタ（９）からのピックアップ完了信号
を受けてＸＹテーブル（２）を駆動させてｉ接的に位置
補正し、第２番目のベレット（１）をビックアンプポジ
ションに配置する。また、第２番目のベレット（１）が
不良品であれば、第２番目のベレット（１）と隣接する
第３番目のベレット（１）まで−気に駆動しパターン認
識すると共に、酸第３番目のベレット（１）の良・不良
を判別し、第３番目のベレット（１）が良品であれば、
第１番目のベレット（１）のビックアンプ動作が完了す
ると、マウンタ（９）からのピックアップ完了信号を受
けてｘｙ子テーブル２）を駆動させ、第２番目のベレッ
ト（１）を無視して第３番目のベレット（１）まで行き
、パターン認識後位置補正してビックアンプポジション
に配置する。更に、上記第３番目のベレット（１）が不
良であれば、初期状態に復帰して次の複数個のベレット
（１）（１）・・・をカメラ視野内に設定する。以上、
上記動作を繰返すことにより、ベレット（１）のビック
アンプ動作中に次のベレット（１）をパターン認識しな
からＸＹテーブル（１）上のベレット（１）（１）・・
・を順次ビックアンプする。

尚、上記実施例では半導体装置製造におけるベレットマ
ウント工程でのベレット認識に適用した場合について説
明したが、本発明はこれに限定されることなく、上記ベ
レット以外の微小ワーク片が多数個配置された場合のパ
ターン認識にも適用可能であるのは勿論である。

血ユ立立玉 本発明方法によれば、微小ワーク片のピックアップ動作
中に、次の微小ワーク片をパターン認識するから、従来
のようにそのピックアップ動作完了後、次の微小ワーク
片を定ピツチ移動させる必要がない、そのため上記微小
ワーク片の移動によるタイムロスを最小限にすることが
可能となり、インデックスの高速化が実現容易となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る微小ワーク片の認識方法の一実施
例を説明するためのフローチャートである。 第２図は半導体装Ｗ、！！造におけるペレットマウント
工程でのベレット認識を説明するための構成回路ブロッ
ク図、第３図はベレット認識方法の従来例を説明するた
めのフローチャートである。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）整列配置された多数の微小ワーク片をカメラ視野
   内での画像処理によりパターン認識して順次ピックアッ
   プする方法であって、 複数の微小ワーク片をカメラ視野内に設定して画像処理
   し、一つの微小ワーク片のピックアップ動作中、次の微
   小ワーク片をカメラ視野からの画像データに基づいてパ
   ターン認識することを特徴とする微小ワーク片の認識方
   法。