KR940002760B1 - 와이어 본딩방법 - Google Patents

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Abstract

내용없음.

Description

와이어 본딩방법
제1도는 본 발명의 방법을 적용한 시료반송방법의 일예를 도시한 구성도.
제2도 내지 제5도는 본 발명의 제1 내지 제4실시예를 도시한 설명도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 라인 2A,2B,2C : 와이어본더
5 : 시료 8 : 와이어
9a1∼9a3,9b1,9b2: 본딩점 10a1,10a2,10b1: 마킹본드
본 발명은 복수대의 와이어 본더로 처리된 시료를 동일한 라인으로 반송하는 와이어 본딩 방법에 관한 것이다.
종래의 복수대의 와이어 본더에서 처리된 시료를 동일한 라인으로 반송하는 것으로서 예컨대 특공평 1-31688호 공보가 알려져 있다.
상기의 종래의 기술은 각 와이어 본더와 처리된 시료와의 관계에 대해서는 어떤 고려된 것이 없으므로 와이어 본딩 불량등이 다음 공정에서 검출(발견) 되었을 때, 어느 와이어 본더에서 처리된 시료인가 식별할 수 없다는 문제가 있었다. 이 때문에 불량 대책처리가 지연되고 제품의 생산율이 저하한다.
본 발명의 목적은 특별한 장치를 필요로 하지 않고, 어떤 와이어 본더에서 처리된 것인가를 용이하게 식별할 수 있는 와이어 본딩방법을 제공함에 있다.
상기 목적은 복수대의 와이어 본더를 가지고, 이들의 와이어 본더에서 처리된 시료를 동일 라인으로 반송하는 와이어 본딩방법에 있어서, 상기 각 와이어 본더에서 와이어 본딩할때, 특정개소의 본딩위치를 바꾸어서 와이어 본딩을 하든가 또는 다른 위치에 마킹 본드를 함으로써 달성할 수 있다.
또 상기 목적은 복수대의 와이어 본더를 가지고 이들 와이어 본더에서 처리된 시료를 동일 라인으로 반송하는 와이어 본딩방법에 있어서, 상기 각 와이어 본더로 와이어 본딩할때, 특정개소의 본딩위치를 바꾸어서 와이어 본딩한 것과, 다른 위치에 마킹 본드한 것으로서 달성된다.
각 와이어 본더에 있어서 특정개소의 본딩위치가 다르거나 또는 다른 위치에 마킹 본드되어 있으므로 그 위치를 조사함으로써 어떤 와이어 본더에서 와이어 본딩된 것인가를 용이하게 판명할 수 있다.
다음은 본 발명의 한 실시예를 제1도 및 제2도에 의하여 설명한다. 제1도에 도시한 바와 같이 라인(1)의 옆쪽에는 복수대의 와이어 본더(2A,2B,2C)가 병렬설치되어 있고, 앞 공정이 종료된 시료 또는 도시하지 않은 공급매거진으로부터 공급된 시료는 화살표 D방향으로부터 라인(1)에 공급된다. 이 시료는 각 와이어 본더(2A∼2C)에 설치된 공급·배출장치(3)에 의해 요구된 와이어 본더(2A∼2C)에 공급된다. 각 와이어 본더(2A∼2C)에서 와이어 본딩이 종료된 시료는 상기 공급·배출장치(3)에 의해 재차 라인(1)에 되돌려지고, 라인(1)에 의해 반송되어 매거진 등의 수납부(4)에 수납된다.
이상의 구조 및 동작은 종래기술과 동일하므로 이상의 설명은 생략한다. 그래서 본 실시예에 있어서는, 상기 각 와이어 본더(2A∼2C)에서의 와이어 본딩을 제2도에 도시한 것이 같이 행한다.
상기 각 와이어 본더(2A∼2C)에 공급되는 시료(5)는 제2도에 도시한 바와 같이, 기판 또는 리이드 프레임(이하 리이드 프레임으로 총칭함)(6)에 칩(7)이 붙여져 있고, 칩(7)의 전극(7a)(7a1,7a2,7a3…)과 리이드프레임(6)의 리이드(6a)(6a1,6a2,6a3…)에 와이어 본더(2A∼2C)에 의해서 와이어(8)가 결합된다.
이때, 전극(7a1)과 리이드(6a1)에 와이어(8)를 접속할 경우 리이드(6a1)측의 본딩을 와이어 본더(2A)에 있어서는 점(9a1)에, 와이어 본더(2B)에 있어서는 상기 점(9a1)과 다른 점(9a2)에, 와이어 본더(2C)에 있어서는 상기 점(9a1,9a2)과 다른 점(9a3)에 각각 본딩한다. 도면중 점선은 와이어 본더(2B)에 의한 와이어(8)를 2점쇄선은 와이어 본더(2C)에 의한 와이어(8)를 도시하고 있다. 기타의 전극(7a2,7a3…)과 리이드(6a2,6a3…)는 전부 같은 점에서 본딩한다.
이와 같이 어느 특정 개소의 본딩위치(점 9a1,9a2,9a3)를 바꾸어서 본딩함으로써 다음 공정에서 와이어 본딩의 불량이 검출된 경우, 또는 수납부(4)에 수납된 시료(5)의 발취검사에서 와이어 본딩 불량이 검출되었을 경우에는 리이드(6a1)의 점(9a1,9a2,9a3)의 위치를 조사하면 어떤 와이어 본더(2A∼2C)에서 본딩된 것인가가 용이하게 판명된다. 이 때문에 와이어 본딩의 불량대책을 즉석에서 행할 수 있다. 또 특별한 장치를 사용해서 식별 마아크등을 붙일 필요가 없으므로 설비비가 높아지는 일도 없다.
제3도는 본 발명의 제2실시예를 도시한다. 본 실시예는 상기 실시예의 변형예이다. 즉 와이어 본더(2B)는 전극(7a1)과 리이드(6a1)의 본딩에 있어서, 다른 와이어 본더(2A,2B)에 의한 점(9b1)과 다른 점(9a2)에 본딩한다. 이와 같이 하여도 상기 실시예와 같은 효과를 얻을 수 있다.
제4 도는 본 발명의 제3 실시예를 도시한다.
본 실시예는 전극7a(7a1,7a2,7a3…)과 리이드6a(6a1,6a2,6a3…)와의 와이어(8)의 접속은 전적으로 동일하게 행한다. 그러나 와이어 본더(2B)에 있어서는, 전극(7a1)과 리이드(6a1)에 와이어(8)를 접속한후, 리이드(6a1)에 마킹 본드를 행한다. 또 와이어 본더(2C)에 있어서는 똑같이 마킹 본드(10a1)과 다른점에 마킹 본드(10a2)을 행한다. 이와같이 하여도 마킹 본드(10a1,10a2)의 유무 및 그 위치에 따라서 어떤 와이어 본더(2A∼2C)에서 와이어 본딩된 것인가 판명하므로 상기 실시예와 같은 효과가 얻어진다.
제5도는 본 발명의 제4실시예를 도시한다. 본 실시예는 상기 제3실시예의 변형예이다. 즉 와이어 본더(2A)는 상기 실시예와 같이 마킹 본드를 행하지 않고, 또 와이어 본더(2B)는 상기 실시예와 같이 리이드(6a1)에 마킹 본드(10a1)을 행한다. 또 와이어 본더(2C)는 리이드(6a2)에 마이킹 본드(10b1)를 행한다. 이와 같이 하여도 상기 실시예와 같은 효과를 얻을 수 있다.
또 다른 실시예로서 도시하지 않았지만 상기 각 실시예를 조합한 방법에 의해서 행하여도 되는것은 물론이다.
그리고, 상기 실시예는 시료(5)의 라인(1)이 공급과 배출을 공유하는 것에 대해서 설명했지만, 공급라인과 배출라인이 별개로 설치된 것으로 적용됨은 말할 필요가 없다. 이상의 설명에서 명백한 바와 같이 본 발명에 의하면 특별한 장치를 필요로 하지 않고, 어떤 와이어 본더로 처리된 것인가를 용이하게 식별할 수 있어서, 설비비가 높아지는 일이 없고, 또 불량대책이 즉석에서 행해진다.

Claims (2)

  1. 복수대의 와이어 본더를 가지고, 이들 와이어 본더에서 처리된 시료를 동일라인으로 반송하는 와이어 본딩방법에 있어서, 상기 각 와이어 본더로 와이어 본딩을 할 때, 특정개소의 본딩위치를 바꾸어서 와이어 본딩을 하든가, 또는 다른 위치에 마킹본드하는 것을 특징으로 하는 와이어 본딩방법.
  2. 복수대의 와이어 본더를 가지고, 이들 와이어 본더에서 처리된 시료를 동일라인에 반송하는 와이어 본딩 방법에 있어서, 상기 각 와이어 본더로 와이어 본딩할때, 특정개소의 본딩위치를 바꾸어서 와이어 본딩한 것과, 다른 위치에 마킹 본드를 하는 것을 특징으로 하는 와이어 본딩방법.
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