JPS63260835A - 光学繊維の製造方法 - Google Patents

光学繊維の製造方法

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JPS63260835A
JPS63260835A JP63087040A JP8704088A JPS63260835A JP S63260835 A JPS63260835 A JP S63260835A JP 63087040 A JP63087040 A JP 63087040A JP 8704088 A JP8704088 A JP 8704088A JP S63260835 A JPS63260835 A JP S63260835A
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vapor
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dimethyl
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ロバート　ジェイ．マンスフィールド
ビル　シー．マッコラム
リチャード　ピー．タムミネリ
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の技術分野 本発明は光学繊維の製造方法に関するもので、そして特
に、高い稀土類含１の芯を有する光学繊維の製造方法に
関する。
Ｎｄ”＋のような種々の稀土類イオンを含有する芯を有
する光学ｍ維を製造することがこの技術における長年の
関心事であった。多数の先行技術の方法が試みられたが
それらは稀土類の高含有量を有する繊維の製造に限られ
た成功が得られ、その結果これら繊維の性能は限定され
た。軟質ガラスによる「菅−内一棒（ｒｏｄ−ｉｎ−ｔ
ｕｂｅ　）　Ｊ法と称される先行技術の一方法では、稀
土類化合物を含む棒が妥当なガラス管の内側に置かれる
。次いでこの組合せ物を延伸して芯が稀土類イオンを含
有する繊維とする。
さらに先行技術の方法では多孔質ガラスを稀土類化合物
の溶液中に浸し、乾燥し、そして次に引張ってｍＭをつ
くる。この方法は芯の中に稀土類含量およそ１０００ｐ
ｐ−を与えたにすぎない。
さらに一つの先行技術の方法においては、化学的蒸着法
における稀土類イオン源として蒸気相中に稀土類塩化物
を使用する。この方法は光学繊維芯中にかなりの稀土類
含量がなお達成されないと云う事実に加えて、稀土類塩
化物をガス相に維持するために要求されるｉ　ｏｏｏ℃
程度の高温度調節をする付加的問題に苦しむ。さらに、
１７００°に一２１００°にの筒器の有用な反応温度に
おける稀土類塩化物（そして多分臭化物）から稀土類酸
化物の形成には熱力学的限界があるように思われる。こ
の方法は芯の中におよそ２０００　叶−の稀土類含量を
生じた。
その結果として、高稀土類含量の芯を有する光学繊維を
製造する方法について当業界における必要性がある。
発明の概要 本発明の具体化は高稀土類含量を伴なった高シリカ含有
ガラス芯を有するＳ　ｉ　Ｏ２ガラス被覆光学繊維を製
造するための化学的蒸着を使用する方法を提供する。
本発明の方法では揮発性金属キレートが稀土類イオンの
供給源として役立つ。そのような金属有機キレートには
： １．１，１，２，２，３．３−ヘプタフルオロ−７，７
−ジメチル−４，６−オクタンジオン；２゜２．６．６
−テトラメチル−３．５−ヘプタンジオン；１．１．１
−トリフルオロ−５，５−ジメチル−２，４−ヘキサン
ジオン：アセチルアセトン；トリフルオａアセチルアセ
トン；ヘキサフルオロアセチルアセトン；およびジビバ
ロイルメタンのようなＹ　３　’キレートおよびＭ３＋
ＩＮ位子を含む。
これらのうち、最も揮発性でそして最も熱的に安定な蒸
気種は：１，１．１．２．２，３．３−ヘプタフルオロ
−７，７−ジメチル−４．６−オクタンジオンおよび２
．２．６．６−テトラメチル−３，５−ヘプタンジオン
（以後（ｔｉｌｄ＞３と称する）のＭ　”ｆ１体である
。ネオジミウムの場合前の配位子に対しては適切な蒸気
圧力を与えるための適切な温度において化合物の著しい
分解を生じることが判明した。その結果、固体および蒸
気種の良好な揮発性および良好な熱的安定性のため我々
はＭ（ｔｈｄ）３と称される化合物を使用することが望
ましい。揮発性は妥当な低温において蒸気相中に化合物
を与えるので重要でありそして安定性は化学的蒸着装置
中の反応帯域に化合物を移送するために重要である。本
発明の方法に従ってこれらの種は調節した基準で慣用の
化学的蒸着（ＣＶＤ）反応器中に支持ガス、好ましくは
ヘリウムによって、大最流れ調節器の手段で送付される
。
本発明の方法を実施するために使用する装置中にカラム
を備えて蒸気の形態でスペシーズ（種）の源泉を与える
。カラムにはスペシーズ（種）を充填しまたはスペシー
ズと高純度の５ｉｎ２またはＡｌ２Ｏ３のような不活性
、不揮発性粒状固体との混合物を充填する。カラムは一
定温度に保ち、支持体ガスが通過するときにスペシーズ
の制御した蒸気圧を生じさせ、温度の値は典型的には使
用した個々の稀土類によって決まる。その結果、ガス状
スペシーズの蒸気圧が形成されこれは与えられる温度に
おける個々の種の特性である。
カラムから下流にある反応体送給系及びＣｖＤ反応器の
全表面は蒸気′スペシーズの凝縮を妨げるだけ充分高く
しかし早すぎるそれらの分解を生じる程高くはない温度
に保たれる。
光学繊維の芯は石英ガラス表面の壁土への成分酸化物の
化学的蒸着によって形成され、この場合は石英管の内側
の壁である。５ＩＣ１４、Ａ１２Ｃ１６、およびＭ（ｔ
ｈｄ＞３のような成分の酸素中の反応は、総て例えばヘ
リウムの支持体中で、加熱した回転する石英管内で起こ
り、加熱は横所する酸−水素トーチランプによって与え
られる。芯層が沈積した後に、管を崩壊させて稀土類イ
オンを含有する芯を有する棒ができる。反応帯域中に蒸
気として到達する稀土類キレートは酸素およびその他の
構成材料と反応して稀土類酸化物およびＡ１□０３およ
びＳ　ｉ　Ｏ２のようなその他の不揮発性ガラス構成成
分およびその他の揮発性化合物を形成する。これらの揮
発性化合物は・それ自身ガラス中に配合されないが、シ
ステムから完全に排出される。不揮発性成分酸化物混合
物ハ次いで溶融して１つまたは１つ以上の稀土類元素を
含有するガラス層を形成する・ 本発明の方法の特殊な利点の１つは多数の異なる稀土類
キレート錯体が良好な構成的制御によってＣＶＤ装置の
反応帯域に移送することができる点で同時に光学繊維の
芯の中に配合できる点である。例えば、これは数個の個
別源泉カラムを利用し、それぞれが移送する流れ中に運
ぶために蒸気状稀土類キレートを生じる個々のコラム源
のいくつかを利用することによって達成することができ
る。従って、本発明の方法に従って３個はどの異なる稀
土類イオンを含有する芯を有する光学繊維を我々は組み
立てた。
本発明の方法のさらに別の利点はＣＶＤ反応器内に移送
するために蒸気相中に稀土類キレートの適切な温度を保
つために比較的低温度、即ち高くてもおよそ２００℃の
第四の温度を使用できることである。この事は稀土類塩
化物を利用する先行技術の方法に関連する調節問題を実
質的に減小させる。
本発明の方法のさらに別の具体化では繊維の８中へのア
ルミニウムイオンの導入である。アルミニウムイオンは
塩化アルミニウム蒸気、即ちＡｌＣｌ３またはＡ１２Ｃ
１６、の手段によってＣＶＤ反応帯域中に導入される。
アルミニウムはいくつかの目的に役立つ：（１）それは
ガラス８中への稀土類イオンの溶解度を増加させる；（
２）それは芯の屈折率を高めて導波管を与える；および
３＋ （３）Ｎｄ　　と共に使う場合には、それはＮｄ３＋が
およそ１．０６４ミクロンにおいてレーザー光を発しこ
の波長はＹ　Ａ　Ｇ　−Ｎ　ｄ　”！晶し−ザーの波長
と調和する。
ガラス８中の材料の好ましい濃度は：２−２０重置％の
Ａオ、０３．０．１−４重１％のＮｄ２Ｏ３であり：そ
して芯の残余は主としてＳ　ｉ　０２ガラスである。本
発明者等はまたＹｂ３＋およびＥｒ３＋イオンを持ち、
全稀土類酸化物濃度が５重層％以上である芯を有する繊
維をつくった。
これらの加工中に我々は固体稀土類化合物をＣＶＤ反応
Ｉｌｌの源泉カラム中の源泉として使用酸化物も芯に加
えてその性質を調整できるこトニ留意されるべきである
。本発明の方法の使用の結果として、本発明者等は固体
源カラムによっておよそ０．１から１０重量％までの日
の範囲、またはそれより多い稀土類含量を有する光学繊
維が溶解度を考慮して決定される限度をもって達成でき
ると信する。
本発明の完全な理解は以下の詳細な記述を添付図面と共
に考慮することによって得られる。添付の第１図は本発
明の実施に使用される例示的な化学蒸着装置の図解を示
す。
第１図は高稀土類含偕の芯を有する光学ｍ維を形成する
ための本発明の方法の具体化の１つを実施するために用
いられる化学的蒸着装置を図解して示す。第１図の装置
はまた数種の異なる稀土類化合物を含む芯を有するｌＩ
Ｎを製造することができる。
第１図中に示されるようにここに記載される具体的態様
中の支持ガスヘリウムは源泉（示されていないが）から
流ｍ　（ｍａｓｓ　ｆｌｏｗ　）￥Ｊ４節器（ＭＦＣ）
１０．ＭＦＣ２０，ＭＦＣ３０、およびＭＦＣ４０を通
ってカラム５０．６０．７０および８０内にそれぞれ注
入する。ＭＦＣ１１節器は電子装置であってこの技術で
は周知のものである。
カラム５０．６０，７０および８０は種の蒸気の源泉と
してはたらく。ここに記載する具体的態様ではカラム５
０はＡ１２Ｃ１６蒸気の源泉であり：カラム６０は稀土
類キレート蒸気、例えば、Ｎｄ（ｔｈｄ）３の源泉１あ
って、これは特殊実施例中ではＲ，Ｅ、　　　（ｔｈｄ
）３と称され：そしてかラム７０および８０は別の稀土
類キレートの源泉であって、これらは特殊実施例中でそ
れぞれＲ，Ｅ、　　　（ｔｈｄ）３および Ｒ，Ｅ、　　　（ｔｈｄ）３と称される。
本発明の方法を特にキレート配位子 （ｔｈｄ）３によって形成される稀土類化合物の表現で
我々は記載するけれども、本発明の方法は一般に稀土類
有機キレートの使用そして、特に下記の配位子の使用を
含む： １．１．１．２．２．３．３−ヘプタフルオ〇−７，７
−ジメチル−４．６−オクタンジオン：２゜２．６．６
−テトラメチル−３，５−ヘプタンジオン：１．１．１
−トリフルオロ−５，５−ジメチル−２，４−ヘキサン
ジオン：アセチルアセトン；トリフルオロアセチルアセ
トン；ヘキサフルオロアセチルアセトン：およびジビバ
０イルメタン。
Ａ１２Ｃ１６蒸気を与える方法はこの技術ではよく知ら
れている。カラムからの産出量として稀土類キレート蒸
気を与えるための一方法は次のことを必要とする：粗砕
した固体形状の稀土類キレートを高純度ＳｉＯまたはＡ
ｌ２Ｏ３のような不活性、不揮発性粒状化固体と共に混
合し、混合物を一定湿度で加熱しそして調節した量の支
持ガス、例えばヘリウムを混合物に通して稀土類キレー
トの予定した蒸気圧を生じさせる。蒸気の形態で生じた
稀土類キレートの量は活性粒子状固体の表面積および温
度によって決まり一一我々は粒状化した不活性粒状固体
を好む、なぜなら、それは稀土類キレートに対し支持マ
トリックスを与え、流路をつける努力を減じ、露出した
表面積を最高にして蒸気の飽和を与え、そして稀土類キ
レート粒子の融合を妨げそれによってその表面積を最大
にできるからであ−る。使用する温度の個々の値は使用
する個々の稀土類キレートによって決まることに注意し
たい。特殊な１実施例において、稀土類キレート蒸気の
源泉として我々が使用したカラムはおよそ１．５インチ
の直径を有するガラスカラムを含みこれは加熱電線を巻
きつけたシリコーンゴムの相手を有するアルミニウム管
で取り巻かれている。アルミニウム管の高い熱伝導性（
およそ　／１６−１／８インチ壁）はカラムに沿った熱
傾斜を最小にするのに役立つ。白金ＲＴＤ検出素子の使
用によって検出素子におけるカラムの温度を確実に±０
．１℃以内に調節できる。望ましい具体化において我々
は高純度５ｉ０２で稀釈したＮｄ　（ｔｈｄ）３粉末を
使用した。
カラム６０，７０および８０は好ましくは２００℃の範
囲の最高温度に加熱される。もらろん、前に検討したよ
うに、それぞれの異なる化合物に対する蒸気圧の差異の
結果として異なる稀土類キレートに対しては異なる温度
が使われる。
第１図に示されるように蒸気材料はそれぞれカラム５０
．６０，７０および８０を出てそれぞれ三方ストップ　
コック１００，１１０．１２０および１３０を通る。キ
レート蒸気流がＣＶＤ反応器に通じる輸送ラインに転じ
る前にカラムが希望する平行ガス流および温度状態にも
たらされるときに稀土類キレート蒸気を排気するために
これらコックはＨｅおよびＲ，Ｅ、　　キレート蒸気流
れを反応器システム中に稀土類含有ガラス層の沈積が始
まる時にだけ方向を転換し、そして所望の沈積の終りに
おいてＲ，Ｅ、キレート蒸気の供給を停止するのに役立
つ。第１図中に示されるように、カラムのそれぞれが稀
土類キレート蒸気の源泉として働くカラム６０．７０お
よび８０からの出口は同じ輸送ライン、即ち輸送ライン
１５０に接続するのに対して、カラム５０から出る Ａ１２Ｃ１，蒸気は輸送ライン１６０に入る。輸送ライ
ン１５０および１６０に入る蒸気材料は支持体ガス、例
えばヘリウムによって運ばれ、これらはそれぞれＭＦＣ
ｌ　７０およびＭＦＣＩ　８０を通って輸送ラインに入
る（ヘリウム支持体源泉は示されていない）。そのよう
な輸送ラインはこの技術では周知である。例えば、輸送
ライン１５０および１６０はテフロン１／４インチ直径
ラインであってこれは１および１／２インチ鋼管によっ
て取り巻かれる。輸送ライン１５ｏおよび１６０の温度
は輸送中の蒸気材料がライン中で結晶化しないだけ充分
高いａａｔ＊に保たれる。例えば、Ｎｄ　（ｔｈｄ）３
のような化合物では２１０℃から２２５℃までの範囲の
温度を我々は使用した。
特殊の一具体化において、この技術では周知の熱雷対温
度感知器を使って輸送ライン１５０および１６０中の温
度を２から３℃までの範囲内に我々は調節した。この事
はその中に含まれる蒸気材料の温度および蒸気圧を調節
して安定性を確保するための充分な精度を有する。この
時点ではアルミニウムおよび稀土類化合物は接触してい
ないことに注意する。
輸送ライン１５０および１６０は反応装置！２２０の同
心室１９０１１５よび２００中にそれぞれ入り、そして
これらの室１９０および２００は相互に分離されている
。源泉（これは示されていない）からの未加熱ガスの混
合物は２１０の室に入りこの２１０室は室１９０および
２００と同心であるが分離されている。例えば、本発明
の方法の１つの具体化において、ガスの混合物はＨｅ１
０２、ＣＩ　、５ＩＣ１、ＧｅＣ１、ＰＯＣｌ３および
ＢＢｒ３を含む。これらのガス類は混合物として室２１
０中に挿入することができる、なぜならばそれらはその
温度においては反応しないであろうから。加熱素子２３
０は反応装置２２０内で軸方向に配置される。第１図中
に示されるように加熱素子２３０は小さい中空アルミニ
ウム管上に巻きつけたニクロム線を含む。室１９０，２
００および２１０の配置のため最も内側の室１９０内の
温度は最も高くそして最外部の室２１０内の温度は１９
０．２００および２１０の室の中で最も低いことに注意
する。
１９０．２００および２１０の室は２部分、即ち不回転
部分２４０と回転部分２５０から成る密封材料中に取り
付けられ、回転部分２５０はガスを通さない密封材料を
含む。第１図中に示されるように１９０，２００および
２１０の室は石英管２６０中に配置された室中にさらに
出て行き、石英！’２６０は心出し要素２８０内に保持
されそして旋ａｉｉみ（１ａｔｈｅ　ｃｈｕｃｋ　）　
２７０および２７１中に強くつかまれる。その結果、旋
盤間゛み２７０および２７１を取りつけた旋盤（示され
ていない）は反応器Ｍ２２０の一部を回転させこれは第
１図中に不回転部分２４０の右にあるように示される。
清澄化の主要点として封印の非回転２４０および回転２
５０部分は室２１０の外側の石英壁および回転する３８
ｍｇ＋Ｏ，Ｄ、石英管２６０の外側石英壁それぞれにＯ
−リング封止の配列によって添付される。ＣＶＤ反応管
として役立つ石英管２９０はテフロン心出し要素２８０
の丁度上の個所であることに注意する。管部分２６０お
よび２９０は旋盤によって回転する。反応管２９０の他
端に結合する旋盤ヂャツクは示されていない。最後に、
総ての蒸気が石英管２６０中に含まれる室を出てそして
石英管２９０中の反応帯域に入ると、それらは加熱ラン
プ３００を通りすぎる。
石英管２９０内の反応帯域はリボン　バーナー３１０に
よって加熱される。リボン　バーブ°−３１０はスリッ
トを右する石英管を含有する。Ｈ２がその中に注入され
そして燃やされて炎を与えこれは石英管２９０を３２０
℃から数百度までの範囲に熱する。本発明の方法の特殊
な具体化の１つにおいて我々は反応帯域中２０ａｌ＋の
外径および１６ＩｎＩＲの内径を有する石英管２９０を
使った。横送りＨ２１０２バーナー３４０を矢印３５０
によって示される方向に石英管２９０の反応帯域に沿っ
て、第１図中に示される位置から左方遠くおよそ２イン
チの加熱素子２３０の右端まで軸方向に進めた。総ての
蒸気は加熱要素２３０の末端個所で石英管２９０中で混
合することに注意する。稀土類キレート蒸気は、石英室
１９０の末端で加熱要素２３０の先端の前方約１１４イ
ンチの個所で反応成分に加えられるものの最後である。
さらに、矢印３４０および３５０によって示されるよう
にバーナー３４０は石英管２９０の反応帯域に沿って軸
方向に移動し、一方石英管２９０それ自身はその軸のあ
たりを矢印３３０で示される方向で回転する。
本発明の方法に従って稀土類キレートを我々は使用した
ために、我々はおよそ２５０℃の温度においてガス成分
を反応帯域に送出する温度を限定することが可能であっ
た。その結果、回転する封を組み立てることが可能であ
った。このように、稀土類キレートの使用はガス状形態
を保つために実質的により高い温度を必要とする稀土類
イオン源としてその他の材料の使用に勝る主要利点を与
える。例えば、稀土類塩化物はｉ　ｏｏｏ℃から１５０
０℃までの範囲の移送温度を必要とした。
一度ガス状種が石英管２９０の反応帯域中で一緒に混合
されると、反応体蒸気が横に移動するＨ２１０２バーナ
ーによって与えられる熱帯域を通過するときに化学反応
が起こる。生成物のうちの稀土類酸化物は、他の不揮発
性酸化物と共に横送りバーナーの下流に石英管２９０の
壁土に形成する油煙層中で混合するようになる。これら
の成分はバーナーがそこを通り過ぎるとき溶融して均質
なガラス層をつくる。キレート配位子は石英管２９０か
ら排出されるＣＯ２およびＨ２Ｏのようなガス状化合物
を都合よく形成する。
本発明の方法で記述した具体的態様におけるアルミニウ
ム化合物の使用はアルミニウムが２つの目的に役立つの
で好ましい具体化を提供する。第１に、それは生じた光
学繊維の芯および被覆の間に屈折率の差を与えて光波の
案内を与えるために使われる。例えば、珪酸塩ガラス中
の１重最％のアルミニウムはおよそ０．１の屈折率の差
を与える。第２に、アルミニウムはガラス中への稀土類
化合物の溶解率を相分離を伴なうことなく高める、即ち
、ガラスが冷却するときにその中に他の化合物の結晶は
生じない。
本発明の方法の上記化学的蒸着部分のその他の部分の特
に仔細は当業者がよく知るところである。
例えば下記のことは限定せずに含まれることはよく知ら
れている：どのようにして光学繊維が石英管２９０から
つくられるか：光学的繊維の芯の屈折率を被覆の屈折率
との関連において変えるためにアルミニウム以外のドー
パント（ｄｏｐａｎｔ　）が使えること；蒸気を移送す
るためにヘリウム以外の支持ガスが使えること：反応帯
域に対する適切な範囲の温度；酸素を有する化合物が反
応帯域中での使用において全面的にまたは部分的に酸素
を取り替えるであろうこと；その他。
明らかに、その教示から逸脱することなくそれ以上の具
体化を行ない得ることを業者らは認めるであろう。従っ
て上の記述中に含まれまたは添付した図面中に示される
総ての事柄は説明のためでありそして限定するものでな
いと解すべきことが意図される。
【図面の簡単な説明】
添付した図面は本発明完全な理解に資するためのもので
あって、本発明の実施に際して使用する化学的蒸着装置
の一例を図解して示したものである。なお図面中に記入
した数字はそれぞれ下記のものを表わす： １０．２０．３０．４０：ＭＦＣ ５０，６０，７０，８０：カラム １００．１１０，１２０．１３０ 一三方ストップコック １０１．１１１，１２１．１３１　：排出口１５０．１
６０：移送ライン １９０：Ｗ ２Ｏ０；室 ２１ｏ：室 ２２ｏ：反応装置 ２３０：加熱素子 ２４０：非回転部分 ２５０：回転部分 ２６０：石英管 ２７０．２７１　：レースチュツク ２８０：中心部分 ２９０：石英管 ３１０：バーナー ３２０：石英管 ３１ｏ：矢印 ３３ｏ：矢印 ３４０：バーナー

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）少なくとも１つの稀土類有機キレート・スペシー
    ズを含む蒸気をつくり；そして 少なくとも１つの稀土類イオンを沈積させるために化学
    的蒸着装置の反応帯域に前記蒸気を移送する工程を含む
    稀土類イオンを含有する芯を有する光学繊維の製造方法
    。
  2. （２）キレート配位子が下記： １，１，１，２，２，３，３−ヘプタフルオロ−７，７
    −ジメチル−４，６−オクタンジオン；２，２，６，６
    −テトラメチル−３，５−ヘプタンジオン；１，１，１
    −トリフルオロ−５，５−ジメチル−２，４−ヘキサン
    ジオン；アセチルアセトン；トリフルオロアセチルアセ
    トン；ヘキサフルオロアセチルアセトン；およびジビバ
    ロイルメタン； から選ばれる特許請求の範囲第（１）項に記載する方法
    。
  3. （３）その方法が： アルミニウム化合物を含有する蒸気をさらに形成し；そ
    して さらに形成した蒸気をアルミニウムイオンの沈積のため
    反応帯域に移送する 段階をさらに含む特許請求の範囲第（２）項に記載する
    方法。
  4. （４）蒸気を形成する工程が少なくとも一つの稀土類キ
    レートの固体とＳｉＯ＿２との混合物を加熱し、そして
    加熱した混合物をキャリヤーガスにさらす工程を含む特
    許請求の範囲第（２）項に記載する方法。
  5. （５）キャリヤーガスがヘリウムである特許請求の範囲
    第（４）項に記載する方法。
  6. （６）反応帯域が石英管の内壁によつて区画され、そし
    て方法がＯ＿２と、ＳｉＯ＿２と、Ｃｌ＿２、ＧｅＣｌ
    ＿４、ＰＯＣｌ＿３、ＳＦ＿６およびＳｉＦ＿４から成
    る群から選ばれる少なくとも一つの他の化合物とを含む
    蒸気を、芯の沈積のための反応帯域に移送する工程をさ
    らに含む特許請求の範囲第（１）項に記載する方法。
  7. （７）キレート配位子が下記： １，１，１，２，２，３，３−ヘプタフルオロ−７，７
    −ジメチル−４，６−オクタンジオン；２，２，６，６
    −テトラメチル−３，５−ヘプタンジオン；１，１，１
    −トリフルオロ−５，５−ジメチル−２，４−ヘキサン
    ジオン；アセチルアセトン；トリフルオロアセチルアセ
    トン；ヘキサフルオロアセチルアセトン；およびジビバ
    ロイルメタン から選ばれる特許請求の範囲第（６）項に記載する方法
    。
  8. （８）方法が： アルミニウム化合物を含む蒸気をさらに形成し；そして アルミニウムイオンの沈積のためにさらに付加された蒸
    気を反応帯域に移送する工程をさらに含む特許請求の範
    囲第（７）項に記載する方法。
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