JPS63214663A - 電気化学的装置 - Google Patents
電気化学的装置Info
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- JPS63214663A JPS63214663A JP62048245A JP4824587A JPS63214663A JP S63214663 A JPS63214663 A JP S63214663A JP 62048245 A JP62048245 A JP 62048245A JP 4824587 A JP4824587 A JP 4824587A JP S63214663 A JPS63214663 A JP S63214663A
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- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 claims abstract description 100
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 61
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 27
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 19
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 21
- 230000005518 electrochemistry Effects 0.000 claims 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 34
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 32
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 32
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 26
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 10
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 9
- -1 oxygen ion Chemical class 0.000 description 8
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 2
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011195 cermet Substances 0.000 description 2
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052878 cordierite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N dimagnesium dioxido-bis[(1-oxido-3-oxo-2,4,6,8,9-pentaoxa-1,3-disila-5,7-dialuminabicyclo[3.3.1]nonan-7-yl)oxy]silane Chemical compound [Mg++].[Mg++].[O-][Si]([O-])(O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2)O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2 JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003411 electrode reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 description 1
- SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N osmium atom Chemical compound [Os] SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 229910001404 rare earth metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910052845 zircon Inorganic materials 0.000 description 1
- GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N zirconium(iv) silicate Chemical compound [Zr+4].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(技術分野)
本発明は、電気化学的装置に係り、特に電気化学的セル
を加熱するための加熱部を一体的に設けてなる電気化学
的装置に関するものである。
を加熱するための加熱部を一体的に設けてなる電気化学
的装置に関するものである。
(背景技術)
従来より、固体電解質を用いた電気化学的セルを含む電
気化学的装置、例えば自動車用内燃機関や燃焼加熱炉、
ボイラ等の排気ガス中の酸素濃度を検出する酸素センサ
として、ジルコニア磁器等の酸素イオン伝導性の固体電
解質を用いた、酸素濃淡電池の原理を利用して酸素濃度
を求めるセンサ等が知られている。また、かかる酸素セ
ンサと同様な濃淡電池の原理を利用した、水素、窒素、
炭酸ガス等の検出器や、ポンプ等の電気化学的装置も知
られている。
気化学的装置、例えば自動車用内燃機関や燃焼加熱炉、
ボイラ等の排気ガス中の酸素濃度を検出する酸素センサ
として、ジルコニア磁器等の酸素イオン伝導性の固体電
解質を用いた、酸素濃淡電池の原理を利用して酸素濃度
を求めるセンサ等が知られている。また、かかる酸素セ
ンサと同様な濃淡電池の原理を利用した、水素、窒素、
炭酸ガス等の検出器や、ポンプ等の電気化学的装置も知
られている。
ところで、このような電気化学的装置における電気化学
的セルは、よく知られているように、所定の固体電解質
とそれに接して設けられた少な(とも一対の電極とから
構成されているものであるが、従来から、そのような電
気化学的セルを測定されるべき被測定ガスの温度が比較
的低い場合においても有効に作動させるために、かかる
電気化学的セルにおける検出部、即ちその一対の電極が
設けられた部位を所定の高温度に加熱せしめるために、
かかる電気化学的セルに対して適当なヒータ手段(加熱
体)を一体的に設けた構造の電気化学的装置が種々提案
されている。
的セルは、よく知られているように、所定の固体電解質
とそれに接して設けられた少な(とも一対の電極とから
構成されているものであるが、従来から、そのような電
気化学的セルを測定されるべき被測定ガスの温度が比較
的低い場合においても有効に作動させるために、かかる
電気化学的セルにおける検出部、即ちその一対の電極が
設けられた部位を所定の高温度に加熱せしめるために、
かかる電気化学的セルに対して適当なヒータ手段(加熱
体)を一体的に設けた構造の電気化学的装置が種々提案
されている。
しかしながら、かかる一体的に設けた加熱手段にて、電
気化学的セルを加熱せしめる場合にあっては、かかる加
熱手段に供給されるヒータ電流が電気化学的セル側に漏
れ、そしてそのようなヒータリーク電流によって電気化
学的セルの出力が悪影響を受けることとなるが、それは
、単に、電気化学的セルと加熱手段との間に適当な電気
絶縁層を介在せしめるだけでは、充分解決され得るもの
ではなかったのである。
気化学的セルを加熱せしめる場合にあっては、かかる加
熱手段に供給されるヒータ電流が電気化学的セル側に漏
れ、そしてそのようなヒータリーク電流によって電気化
学的セルの出力が悪影響を受けることとなるが、それは
、単に、電気化学的セルと加熱手段との間に適当な電気
絶縁層を介在せしめるだけでは、充分解決され得るもの
ではなかったのである。
このため、特開昭57−19.6148号公報や特開昭
59−197851号公報においては、電気化学的セル
と加熱手段との間に保護電極乃至はシールド電極を設け
た構造のものが明らかにされている。そこでは、保護電
極が、電気化学的セルの固体電解質から延びる固体電解
質部分内に埋設されていたり、かかる固体電解質に接し
て保護電極が設けられ、そしてその上に電気絶縁層を介
して加熱手段としてのヒータが設けられていたり、或い
は測定電極を兼ねる保護電極の両側にそれぞれ電気絶縁
層を設け、そして一方の絶縁層の上にヒータを、他方の
絶縁層の上に電気化学的セルの固体電解質を配してなる
構造が採用されており、ヒータからのリーク電流が、そ
のような保護電極に流れ込むようになっている。
59−197851号公報においては、電気化学的セル
と加熱手段との間に保護電極乃至はシールド電極を設け
た構造のものが明らかにされている。そこでは、保護電
極が、電気化学的セルの固体電解質から延びる固体電解
質部分内に埋設されていたり、かかる固体電解質に接し
て保護電極が設けられ、そしてその上に電気絶縁層を介
して加熱手段としてのヒータが設けられていたり、或い
は測定電極を兼ねる保護電極の両側にそれぞれ電気絶縁
層を設け、そして一方の絶縁層の上にヒータを、他方の
絶縁層の上に電気化学的セルの固体電解質を配してなる
構造が採用されており、ヒータからのリーク電流が、そ
のような保護電極に流れ込むようになっている。
しかしながら、このような従来の保護電極の配置構成に
あっても、未だ解決されるべき種々なる問題が内在して
いるのである。例えば、保護電極が電気化学的セルの固
体電解質に接して設けられている場合にあっては、電気
化学的セルの何れかの電極と保護電極とが電気的に接続
された場合、そのような保護電極と電気化学的セルの電
極との間に酸素分圧の差に基づく起電力が生ずるように
なるのであり、それ故に、かかる酸素分圧の差に基づ(
起電力によって電気化学的セルの出力が変化して、測定
誤差が惹起されることとなるのである。
あっても、未だ解決されるべき種々なる問題が内在して
いるのである。例えば、保護電極が電気化学的セルの固
体電解質に接して設けられている場合にあっては、電気
化学的セルの何れかの電極と保護電極とが電気的に接続
された場合、そのような保護電極と電気化学的セルの電
極との間に酸素分圧の差に基づく起電力が生ずるように
なるのであり、それ故に、かかる酸素分圧の差に基づ(
起電力によって電気化学的セルの出力が変化して、測定
誤差が惹起されることとなるのである。
また、かかる固体電解質に接する保護電極が、そのよう
な固体電解質内に埋設されていたり、ガス拡散抵抗の高
い層で被覆されていた場合にあっては、ヒータリーク電
流によって保護電極周りの固体電解質部分からイオンが
奪われ、かかる固体電解質部分を劣化せしめる問題も内
在しているのである。
な固体電解質内に埋設されていたり、ガス拡散抵抗の高
い層で被覆されていた場合にあっては、ヒータリーク電
流によって保護電極周りの固体電解質部分からイオンが
奪われ、かかる固体電解質部分を劣化せしめる問題も内
在しているのである。
さらに、保護電極の両側にそれぞれ絶縁層を設けて、そ
れを電気化学的セルの固体電解質とヒータとの間に配す
る場合にあっては、それら電気化学的セルやヒータ、保
護電極、絶縁層等を含んで一体的に構成されてなる電気
化学的素子において、それを充分な高温度にまで加熱す
るためにヒータを大きくすると、そのようなヒータから
のリーク電流を充分にシールドするためには、大面積の
保護電極を、かかるヒータの下側に設けることが必要と
なり、このため、必然的にコストの上昇が惹起されると
共に、実質的に金属層からなる異質な保護電極層が電気
化学的素子の一体的なセラミック層内に存在することと
なるために、かかる電気化学的素子の強度が低下し、そ
の耐久性を悪化せしめる等の問題が惹起されるのである
。そして、そのような問題の発生を避けるためには、ヒ
ータの発熱面積を減じ、その発熱効率を下げなければな
らなかったのである。
れを電気化学的セルの固体電解質とヒータとの間に配す
る場合にあっては、それら電気化学的セルやヒータ、保
護電極、絶縁層等を含んで一体的に構成されてなる電気
化学的素子において、それを充分な高温度にまで加熱す
るためにヒータを大きくすると、そのようなヒータから
のリーク電流を充分にシールドするためには、大面積の
保護電極を、かかるヒータの下側に設けることが必要と
なり、このため、必然的にコストの上昇が惹起されると
共に、実質的に金属層からなる異質な保護電極層が電気
化学的素子の一体的なセラミック層内に存在することと
なるために、かかる電気化学的素子の強度が低下し、そ
の耐久性を悪化せしめる等の問題が惹起されるのである
。そして、そのような問題の発生を避けるためには、ヒ
ータの発熱面積を減じ、その発熱効率を下げなければな
らなかったのである。
(解決課題)
ここにおいて、本発明は、かかる事情を背景にして為さ
れたものであって、その主たる目的とするところは、ヒ
ータからのリーク電流の電気化学的セル側への流れ込み
を阻止乃至は可及的に抑制せしめて、測定精度を有利に
高めた電気化学的装置を提供することにあり、また他の
目的とするところは、固体電解質内に埋設する必要がな
く、且つヒータと電気化学的セルとの間の全面に亘って
設ける必要もなく、更にたとえヒータの発熱面積を大き
くしても、保護電極の面積を大きくする必要がなく、従
って素子強度を低下させたり、コストを上昇させたりす
ることがない電気化学的装置を提供することにある。
れたものであって、その主たる目的とするところは、ヒ
ータからのリーク電流の電気化学的セル側への流れ込み
を阻止乃至は可及的に抑制せしめて、測定精度を有利に
高めた電気化学的装置を提供することにあり、また他の
目的とするところは、固体電解質内に埋設する必要がな
く、且つヒータと電気化学的セルとの間の全面に亘って
設ける必要もなく、更にたとえヒータの発熱面積を大き
くしても、保護電極の面積を大きくする必要がなく、従
って素子強度を低下させたり、コストを上昇させたりす
ることがない電気化学的装置を提供することにある。
(解決手段)
そして、本発明は、かくの如き目的を達成するために、
(a)第一の固体電解質と、該第一の固体電解質に接し
て設けられた少なくとも一対の電極とからなる、少なく
とも一つの電気化学的セルと、(b)第二の固体電解質
と、該第二の固体電解質に接して設けられた第一の電気
絶縁性セラミック層と、該第一の電気絶縁性セラミック
層により前記第二の固体電解質から電気的に絶縁された
ヒータとからなる、少なくとも−っの加熱部と、(c)
前記電気化学的セルの第一の固体電解質と前記加熱部の
第二の固体電解質との間に設けられて、両者を電気的に
絶縁する第二の電気絶縁性セラミック層と、(!1)前
記加熱部の第二の固体電解質に接して設けられた保護電
極とを含んで一体的に構成され、且つ前記電気化学的セ
ルの少なくとも一対の電極のうちの少なくとも一つの電
極と前記保護電極とが、電気的に接続せしめられている
ことを特徴とする電気化学的装置を、その要旨とするも
のである。
(a)第一の固体電解質と、該第一の固体電解質に接し
て設けられた少なくとも一対の電極とからなる、少なく
とも一つの電気化学的セルと、(b)第二の固体電解質
と、該第二の固体電解質に接して設けられた第一の電気
絶縁性セラミック層と、該第一の電気絶縁性セラミック
層により前記第二の固体電解質から電気的に絶縁された
ヒータとからなる、少なくとも−っの加熱部と、(c)
前記電気化学的セルの第一の固体電解質と前記加熱部の
第二の固体電解質との間に設けられて、両者を電気的に
絶縁する第二の電気絶縁性セラミック層と、(!1)前
記加熱部の第二の固体電解質に接して設けられた保護電
極とを含んで一体的に構成され、且つ前記電気化学的セ
ルの少なくとも一対の電極のうちの少なくとも一つの電
極と前記保護電極とが、電気的に接続せしめられている
ことを特徴とする電気化学的装置を、その要旨とするも
のである。
なお、かかる本発明において、有利には、前記保護電極
は、前記ヒータの負電圧端子に電気的に接続せしめられ
ていることが望ましく、これによって、第二の固体電解
質の電位レベルがヒータの負電圧端子と同レベルになる
ところから、ヒータリーク電流による該第二の固体電解
質の劣化が効果的に防止され得るのである。
は、前記ヒータの負電圧端子に電気的に接続せしめられ
ていることが望ましく、これによって、第二の固体電解
質の電位レベルがヒータの負電圧端子と同レベルになる
ところから、ヒータリーク電流による該第二の固体電解
質の劣化が効果的に防止され得るのである。
また、本発明の好ましい一つの態様によれば、保護電極
は、その少なくとも一部が、所定のガス雰囲気に実質的
に露呈せしめられるように配置され、これによって保護
電極周りの固体電解質(第二)から奪われるイオンを、
かかるガス雰囲気から供給するようにすることにより、
保護電極に接する固体電解質が劣化させられるようなこ
ともなくなるのである。
は、その少なくとも一部が、所定のガス雰囲気に実質的
に露呈せしめられるように配置され、これによって保護
電極周りの固体電解質(第二)から奪われるイオンを、
かかるガス雰囲気から供給するようにすることにより、
保護電極に接する固体電解質が劣化させられるようなこ
ともなくなるのである。
さらに、本発明にあっては、保護電極は、該保護電極と
電気的に接続されている電気化学的セルの電極と実質的
に同一のガス雰囲気に露呈せしめられていることが望ま
しく、これによって、かがる保護電極と電気化学的セル
の電極との間に酸素分圧の差に基づく起電力が生じるこ
とがないところから、そのような起電力により惹起され
る電気化学的セルの出力誤差を回避することが出来るの
である。
電気的に接続されている電気化学的セルの電極と実質的
に同一のガス雰囲気に露呈せしめられていることが望ま
しく、これによって、かがる保護電極と電気化学的セル
の電極との間に酸素分圧の差に基づく起電力が生じるこ
とがないところから、そのような起電力により惹起され
る電気化学的セルの出力誤差を回避することが出来るの
である。
そしてまた、本発明にあっては、前記第二の固体重解質
が実質的に気密質であるようにすると共に、そのような
気密質の固体電解質にて、少なくともヒータの発熱部位
が内包されているように構成することによって、ヒータ
を被測定ガス雰囲気から気密に保ち、以て高温使用時や
還元ガス雰囲気中での使用時におけるヒータ金属の揮散
や劣化を防止し、その耐久性を著しく向上することが出
来る。
が実質的に気密質であるようにすると共に、そのような
気密質の固体電解質にて、少なくともヒータの発熱部位
が内包されているように構成することによって、ヒータ
を被測定ガス雰囲気から気密に保ち、以て高温使用時や
還元ガス雰囲気中での使用時におけるヒータ金属の揮散
や劣化を防止し、その耐久性を著しく向上することが出
来る。
なお、本発明において、一つの電気化学的セルを用い、
それをセンサセル或いはポンプセルとして利用する方式
の他、二つの電気化学的セルを用い、一つを電気化学的
ポンプセルとし、他の一つを電気化学的センサセルとし
て利用する方式も、有利に採用され得るものであるが、
後者の二つの電気化学的セルを用いる場合にあっては、
保護電極は、実質的に同一のガス雰囲気に露呈される電
気化学的ポンプセルの内側ポンプ電極と電気化学的セン
サセルの測定電極に対して、それぞれ接続せしめられた
り、或いは基準ガス濃度の雰囲気に晒される電気化学的
センサセルの基準電極に対して、接続せしめられること
が好ましい。
それをセンサセル或いはポンプセルとして利用する方式
の他、二つの電気化学的セルを用い、一つを電気化学的
ポンプセルとし、他の一つを電気化学的センサセルとし
て利用する方式も、有利に採用され得るものであるが、
後者の二つの電気化学的セルを用いる場合にあっては、
保護電極は、実質的に同一のガス雰囲気に露呈される電
気化学的ポンプセルの内側ポンプ電極と電気化学的セン
サセルの測定電極に対して、それぞれ接続せしめられた
り、或いは基準ガス濃度の雰囲気に晒される電気化学的
センサセルの基準電極に対して、接続せしめられること
が好ましい。
(実施例)
以下、本発明に従う幾つかの実施例を図面に基づいて詳
細に説明すると共に、本発明の構成について更に具体的
に明らかにする。
細に説明すると共に、本発明の構成について更に具体的
に明らかにする。
先ず、第1図は、本発明に従う電気化学的装置の一つで
ある酸素センサの一例における電気化学的素子(酸素検
知素子)の先端部に設けられた検知部の横断面形態を示
している。この電気化学的素子2は、よく知られている
ように、積層構造において一体的に構成されたものであ
って、狭幅な板状の長手形状を為しており、その先端部
に濃淡電池の原理を利用した検知部が形成されている。
ある酸素センサの一例における電気化学的素子(酸素検
知素子)の先端部に設けられた検知部の横断面形態を示
している。この電気化学的素子2は、よく知られている
ように、積層構造において一体的に構成されたものであ
って、狭幅な板状の長手形状を為しており、その先端部
に濃淡電池の原理を利用した検知部が形成されている。
そして、かかる電気化学的素子2は、従来と同様な積層
方式によって形成されたものであって、高温において酸
素イオン伝導性を示すジルコニア磁器等からなる板状の
固体電解質体4内に、その長手方向に延びる空気通路6
が形成されて、かかる空気通路6が素子基部側において
大気に連通せしめられている一方、この固体電解質体4
の外側面には、白金とジルコニアのサーメット等からな
る多孔質な測定電極8が、また空気通路6に面する固体
電解質体4の内側面には、該空気通路6内の基準ガスと
しての大気に接触せしめられる同様な多孔質の基準電極
lOが、それぞれ密着状態において設けられている。ま
た、外側の測定電極8上には、それを被測定ガスから保
護するアルミナ等からなる多孔質な電極保護層12が設
けられており、この電極保護N12を通じて、被測定ガ
スが測定電極8に接触せしめられるようになっている。
方式によって形成されたものであって、高温において酸
素イオン伝導性を示すジルコニア磁器等からなる板状の
固体電解質体4内に、その長手方向に延びる空気通路6
が形成されて、かかる空気通路6が素子基部側において
大気に連通せしめられている一方、この固体電解質体4
の外側面には、白金とジルコニアのサーメット等からな
る多孔質な測定電極8が、また空気通路6に面する固体
電解質体4の内側面には、該空気通路6内の基準ガスと
しての大気に接触せしめられる同様な多孔質の基準電極
lOが、それぞれ密着状態において設けられている。ま
た、外側の測定電極8上には、それを被測定ガスから保
護するアルミナ等からなる多孔質な電極保護層12が設
けられており、この電極保護N12を通じて、被測定ガ
スが測定電極8に接触せしめられるようになっている。
要するに、ここでは、固体電解質体4とそれに接して設
けられた測定電極8及び基準電極10とから、濃淡電池
を構成する電気化学的セルが形成されているのであり、
そしてそれら測定電極8と基準電極10との間に発生す
る酸素分圧の差に基づく起電力が、よく知られているよ
うに、外部の電圧測定手段14にて検出されるようにな
っているのである。
けられた測定電極8及び基準電極10とから、濃淡電池
を構成する電気化学的セルが形成されているのであり、
そしてそれら測定電極8と基準電極10との間に発生す
る酸素分圧の差に基づく起電力が、よく知られているよ
うに、外部の電圧測定手段14にて検出されるようにな
っているのである。
一方、固体電解質体4の測定電極8が設けられた側とは
反対側の面には、アルミナ等からなる多孔質な内側電気
絶縁層16が形成され、更にこの電気絶縁層16上に、
上記固体電解質体4と同様なジルコニア磁器等からなる
固体電解質層18が設けられており、そしてこの固体電
解質層18の内側電気絶縁層16側の面に接するように
、保護電極20が設けられている。しかも、この保護電
極20は、前記電気化学的セルの測定電極8に対して電
気的に接続されているのである。
反対側の面には、アルミナ等からなる多孔質な内側電気
絶縁層16が形成され、更にこの電気絶縁層16上に、
上記固体電解質体4と同様なジルコニア磁器等からなる
固体電解質層18が設けられており、そしてこの固体電
解質層18の内側電気絶縁層16側の面に接するように
、保護電極20が設けられている。しかも、この保護電
極20は、前記電気化学的セルの測定電極8に対して電
気的に接続されているのである。
さらに、かかる固体電解質層18の外側の面には、アル
ミナ等からなる多孔質な外側電気絶縁層22が積層され
、更にその上に、ヒータ24が埋設された高抵抗ジルコ
ニア等からなる緻密な気密質の電気絶縁層が積層されて
、一体的な構造とされている。そして、ヒータ24は外
部の電圧源28に接続されて発熱せしめられ、以てかか
る電気化学的素子2の少なくとも先端部の検知部を所定
の温度に加熱せしめ得るようになっているのである。
ミナ等からなる多孔質な外側電気絶縁層22が積層され
、更にその上に、ヒータ24が埋設された高抵抗ジルコ
ニア等からなる緻密な気密質の電気絶縁層が積層されて
、一体的な構造とされている。そして、ヒータ24は外
部の電圧源28に接続されて発熱せしめられ、以てかか
る電気化学的素子2の少なくとも先端部の検知部を所定
の温度に加熱せしめ得るようになっているのである。
要するに、かくの如き構造の電気化学的素子にあっては
、電気化学的セルの固体電解質体4とヒ−タ24との間
に、第一の電気絶縁性セラミック層(22,26)と第
二の電気絶縁性セラミック層(16)とが介装せしめら
れると共に、それら第一、第二の電気絶縁性セラミック
層間に固体電解質層18が介在せしめられ、そしてこの
固体電解質層18に接して保護電極20が設けられた構
造とされていると共に、この保護電極20が、電気化学
的セルの測定電極8に対して電気的に接続せしめられて
いるのである。
、電気化学的セルの固体電解質体4とヒ−タ24との間
に、第一の電気絶縁性セラミック層(22,26)と第
二の電気絶縁性セラミック層(16)とが介装せしめら
れると共に、それら第一、第二の電気絶縁性セラミック
層間に固体電解質層18が介在せしめられ、そしてこの
固体電解質層18に接して保護電極20が設けられた構
造とされていると共に、この保護電極20が、電気化学
的セルの測定電極8に対して電気的に接続せしめられて
いるのである。
従って、かくの如き構造の電気化学的素子2にあっては
、ヒータ24からのリーク電流は導電性の固体電解質層
18を通じて保護電極20に効果的に導かれることとな
るのであり、またそのようなヒータリーク電流は、内側
電気絶縁層16の存在により、電気化学的セル側に流れ
込むようなことはないのである。それ故に、そのような
ヒータリーク電流によって電気化学的セル(4,8,1
0)の酸素分圧の差に基づく起電力(出力)が影響を受
けることが阻止され、以てそのような出力に基づくとこ
ろの被測定ガスの検出精度を効果的に高め得ることとな
ったのである。
、ヒータ24からのリーク電流は導電性の固体電解質層
18を通じて保護電極20に効果的に導かれることとな
るのであり、またそのようなヒータリーク電流は、内側
電気絶縁層16の存在により、電気化学的セル側に流れ
込むようなことはないのである。それ故に、そのような
ヒータリーク電流によって電気化学的セル(4,8,1
0)の酸素分圧の差に基づく起電力(出力)が影響を受
けることが阻止され、以てそのような出力に基づくとこ
ろの被測定ガスの検出精度を効果的に高め得ることとな
ったのである。
また、保護電極20は、多孔質の第二の電気絶縁性セラ
ミック層16を経て、被測定ガス雰囲気に晒されるよう
になっているところから、ヒータ24からのリーク電流
が固体電解質層18を通って保護電極20に流れ込んで
も、かかる保護電極20に接する固体電解質層18部分
は、被測定ガス雰囲気から酸素イオンが供給されること
となるために、そこが劣化せしめられるようなことはな
いのであり、第二の電気絶縁性セラミック層(16)は
、ヒータ24に直接接しておらず、局所的に高温度に上
げられることがないため、第一の電気絶縁性セラミック
層(22,26)より薄い層でも充分な絶縁効果を得る
ことが出来る。
ミック層16を経て、被測定ガス雰囲気に晒されるよう
になっているところから、ヒータ24からのリーク電流
が固体電解質層18を通って保護電極20に流れ込んで
も、かかる保護電極20に接する固体電解質層18部分
は、被測定ガス雰囲気から酸素イオンが供給されること
となるために、そこが劣化せしめられるようなことはな
いのであり、第二の電気絶縁性セラミック層(16)は
、ヒータ24に直接接しておらず、局所的に高温度に上
げられることがないため、第一の電気絶縁性セラミック
層(22,26)より薄い層でも充分な絶縁効果を得る
ことが出来る。
しかも、保護電極20が固体電解質層18に接して設け
られているところから、ヒータリーク電流は該固体電解
質層18を通じて保護電極20に効果的に導かれ、それ
故にヒータ24を大面積のものにしても、保護電極20
は、それに対応した大きさの電極面積を有するものとす
る必要がなく、小面積の保護電極として固体電解質層1
8に接して設ければよいところから、素子強度及び耐久
性の低下やコストの上昇等の問題も惹起されることはな
いのである。
られているところから、ヒータリーク電流は該固体電解
質層18を通じて保護電極20に効果的に導かれ、それ
故にヒータ24を大面積のものにしても、保護電極20
は、それに対応した大きさの電極面積を有するものとす
る必要がなく、小面積の保護電極として固体電解質層1
8に接して設ければよいところから、素子強度及び耐久
性の低下やコストの上昇等の問題も惹起されることはな
いのである。
また、第2図に示される電気化学的素子は、第1図のも
のと類似の濃淡電池方式の電気化学的セルを有するもの
であるが、保護電極20が空気通路6内に露呈せしめら
れるように固体電解質N18に接して設けられ、そして
そのような保護電極20が、かかる空気通路に露呈せし
められている基準電極10に対して電気的に接続されて
いること、またヒータ24が外側電気絶縁層22内に埋
設され、そしてヒータ電源として交流電源(例えば、1
0KHzの正弦波)30が用いられていることにおいて
、第1図のものとは異なっている。
のと類似の濃淡電池方式の電気化学的セルを有するもの
であるが、保護電極20が空気通路6内に露呈せしめら
れるように固体電解質N18に接して設けられ、そして
そのような保護電極20が、かかる空気通路に露呈せし
められている基準電極10に対して電気的に接続されて
いること、またヒータ24が外側電気絶縁層22内に埋
設され、そしてヒータ電源として交流電源(例えば、1
0KHzの正弦波)30が用いられていることにおいて
、第1図のものとは異なっている。
なお、その他の部分については、第1図に示される電気
化学的素子と同様であるので、同一の符号を付して説明
を省略することとする。
化学的素子と同様であるので、同一の符号を付して説明
を省略することとする。
この第2図に示される如き構造の電気化学的素子2にあ
っては、電気化学的セルの基準電極10と保護電極20
とが空気通路6内に露呈されて、同一の雰囲気、即ち基
準ガスとしての空気に晒されるようになっているところ
から、両電極間に酸素分圧に基づく起電力を生ずること
がなく、測定精度を更に向上することが出来る。また、
ヒータ24からのリーク電流も、内側電気絶縁層16の
存在によって電気化学的セル(4,8,10)側への流
れ込みが阻止されつつ、固体電解質層18によって保護
電極20に効果的に導かれるのであり、これによって、
そのようなリーク電流による電気化学的セルの出力誤差
が効果的に緩和され、或いはその発生が阻止されること
となるのである。
っては、電気化学的セルの基準電極10と保護電極20
とが空気通路6内に露呈されて、同一の雰囲気、即ち基
準ガスとしての空気に晒されるようになっているところ
から、両電極間に酸素分圧に基づく起電力を生ずること
がなく、測定精度を更に向上することが出来る。また、
ヒータ24からのリーク電流も、内側電気絶縁層16の
存在によって電気化学的セル(4,8,10)側への流
れ込みが阻止されつつ、固体電解質層18によって保護
電極20に効果的に導かれるのであり、これによって、
そのようなリーク電流による電気化学的セルの出力誤差
が効果的に緩和され、或いはその発生が阻止されること
となるのである。
しかも、このような電気化学的素子構造においては、保
護電極20が空気通路6内に配置されて、電気化学的セ
ルの固体電解質体4とヒータ24との間に異質の金属層
が介在することなく、セラミック層(内側電気絶縁層1
6、固体電解質層18、外側電気絶縁層22)の積層に
よる有効な一体化が可能となるところから、素子強度も
より一層高められ得ることとなるのである。
護電極20が空気通路6内に配置されて、電気化学的セ
ルの固体電解質体4とヒータ24との間に異質の金属層
が介在することなく、セラミック層(内側電気絶縁層1
6、固体電解質層18、外側電気絶縁層22)の積層に
よる有効な一体化が可能となるところから、素子強度も
より一層高められ得ることとなるのである。
さらに、第3図に示される電気化学的素子2は、固体電
解質体4とそれに接して設けられた外側ポンプ電極32
及び内側ポンプ電極34とからなる電気化学的ポンプセ
ルを、電気化学的セルとして有するものであって、内側
ポンプ電極34の露呈される内部空間36内に外部の被
測定ガス存在空間から被測定ガスが所定の拡散抵抗を有
するピンホール38を通じて導き入れられ、そして内側
ポンプ電極34に接触せしめられるようになっている。
解質体4とそれに接して設けられた外側ポンプ電極32
及び内側ポンプ電極34とからなる電気化学的ポンプセ
ルを、電気化学的セルとして有するものであって、内側
ポンプ電極34の露呈される内部空間36内に外部の被
測定ガス存在空間から被測定ガスが所定の拡散抵抗を有
するピンホール38を通じて導き入れられ、そして内側
ポンプ電極34に接触せしめられるようになっている。
そして、よく知られているように、かかる電気化学的ポ
ンプセルのポンプ電極32.34間に外部電源40から
所定のポンプ電圧が印加されて、内部空間36内の雰囲
気が変化し、公知の拡散限界電流の原理によって定まる
ポンプ電流の値によって被測定ガスの検出が行なわれる
ようになっている。
ンプセルのポンプ電極32.34間に外部電源40から
所定のポンプ電圧が印加されて、内部空間36内の雰囲
気が変化し、公知の拡散限界電流の原理によって定まる
ポンプ電流の値によって被測定ガスの検出が行なわれる
ようになっている。
このような電気化学的素子2を構成する電気化学的ポン
プセルの固体電解質体4の外側ポンプ電極32が設けら
れた側とは反対側の面に内側電気絶縁層16、その上に
固体電解質層18、そしてこの固体電解質層18の外側
面に保護電極20が一体的に積層されて形成されている
。また、この固体電解質jW18内には、ヒータ24が
埋設された外側電気絶縁層22が内包されており、かか
るヒータ24の少なくとも発熱部が、緻密な気密質の固
体電解質層18内に内包された形態となっている。そし
て保護電極20は、電気化学的ポンプセルの正電極(3
2)と電気的に接続されていると共に、ヒータ24の負
電極側端子(実際にはリード部)に電気的に接続されて
いる。また、かかる保護電極20は、電気化学的ポンプ
セルの測定電極32と同一のガス雰囲気(被測定ガス)
に露呈せしめられるようになっている。
プセルの固体電解質体4の外側ポンプ電極32が設けら
れた側とは反対側の面に内側電気絶縁層16、その上に
固体電解質層18、そしてこの固体電解質層18の外側
面に保護電極20が一体的に積層されて形成されている
。また、この固体電解質jW18内には、ヒータ24が
埋設された外側電気絶縁層22が内包されており、かか
るヒータ24の少なくとも発熱部が、緻密な気密質の固
体電解質層18内に内包された形態となっている。そし
て保護電極20は、電気化学的ポンプセルの正電極(3
2)と電気的に接続されていると共に、ヒータ24の負
電極側端子(実際にはリード部)に電気的に接続されて
いる。また、かかる保護電極20は、電気化学的ポンプ
セルの測定電極32と同一のガス雰囲気(被測定ガス)
に露呈せしめられるようになっている。
従って、このような構造の電気化学的素子にあっても、
ヒータ24からのリーク電流は内側電気絶縁1)6の存
在によって電気化学的ポンプセル側への流れ込みが効果
的に阻止される一方、固体電解質層18によって効果的
に保護電極20に導かれるようになるのであり、これに
よって、そのようなヒiタリーク電流による悪影響がを
利に回避され得ると共に、保護電極20が固体電解質層
18に接して、素子外面に位置する状態で設けられてい
るところから、素子強度の低下やコストアップ等の問題
も効果的に排除され得るのである。
ヒータ24からのリーク電流は内側電気絶縁1)6の存
在によって電気化学的ポンプセル側への流れ込みが効果
的に阻止される一方、固体電解質層18によって効果的
に保護電極20に導かれるようになるのであり、これに
よって、そのようなヒiタリーク電流による悪影響がを
利に回避され得ると共に、保護電極20が固体電解質層
18に接して、素子外面に位置する状態で設けられてい
るところから、素子強度の低下やコストアップ等の問題
も効果的に排除され得るのである。
加えて、本実施例の電気化学的素子にあっては、ヒータ
24の少なくとも発熱部が、気密質の固体電解質層18
内に内包されているところから、換言すれば固体電解質
層18にて取り囲まれているところから、高温時におけ
るヒータ金属の揮散や被測定ガスに晒されることによる
劣化作用を受けることがなく、これによってヒータの耐
久性が向上せしめられる利点がある。
24の少なくとも発熱部が、気密質の固体電解質層18
内に内包されているところから、換言すれば固体電解質
層18にて取り囲まれているところから、高温時におけ
るヒータ金属の揮散や被測定ガスに晒されることによる
劣化作用を受けることがなく、これによってヒータの耐
久性が向上せしめられる利点がある。
また、第4図及び第5図に示される電気化学的素子2は
、何れも前例とは異なり、二つの電気化学的セル、即ち
電気化学的ポンプセルと電気化学的センサセルにて構成
されているところに特徴がある。
、何れも前例とは異なり、二つの電気化学的セル、即ち
電気化学的ポンプセルと電気化学的センサセルにて構成
されているところに特徴がある。
例えば、第4図においては、固体電解質体4aとその両
側の面に接して設けられた外側ポンプ電極32及び内側
ポンプ電極34とから電気化学的ポンプセルが構成され
ており、また固体電解質体4bとその両側の面に接して
設けられた測定電極8及び基準電極10とから電気化学
的センサセルが構成されているのであり、そしてそれら
二つの電気化学的セルの間が、アルミナ等からなる電気
絶縁層42の介挿によって電気的に絶縁されていると共
に、それらセル間に、所定のガス拡散抵抗を有する拡散
律速手段としての細隙な平坦空間44が形成されており
、この平坦空間44の中央部に対してガス導入孔46が
連通されており、このガス導入孔46を通じて、外部の
被測定ガス存在空間から被測定ガスが平坦空間44内に
導き入れられ、そして所定の拡散抵抗の下に平坦空間4
4内を拡散せしめられて、その奥部に相対向して配置さ
れた内側ポンプ電極34と測定電極8に接触せしめられ
るようになっている。
側の面に接して設けられた外側ポンプ電極32及び内側
ポンプ電極34とから電気化学的ポンプセルが構成され
ており、また固体電解質体4bとその両側の面に接して
設けられた測定電極8及び基準電極10とから電気化学
的センサセルが構成されているのであり、そしてそれら
二つの電気化学的セルの間が、アルミナ等からなる電気
絶縁層42の介挿によって電気的に絶縁されていると共
に、それらセル間に、所定のガス拡散抵抗を有する拡散
律速手段としての細隙な平坦空間44が形成されており
、この平坦空間44の中央部に対してガス導入孔46が
連通されており、このガス導入孔46を通じて、外部の
被測定ガス存在空間から被測定ガスが平坦空間44内に
導き入れられ、そして所定の拡散抵抗の下に平坦空間4
4内を拡散せしめられて、その奥部に相対向して配置さ
れた内側ポンプ電極34と測定電極8に接触せしめられ
るようになっている。
また、第5図の例にあっては、固体電解質体4内に形成
された所定の拡散抵抗を有する平坦空間44が直接に外
部の被測定ガス存在空間に開口せし°められており、そ
してかかる平坦空間44を形成する一方の側の固体電解
質体4部分とそれに接して設けられた外側ポンプ電極3
2及び内側ポンプ34とから電気化学的ポンプセルが構
成されている一方、かかる平坦空間44を形成する他方
の固体電解質体4部分とそれに接して設けられた測定電
極8及び基準電極10とから電気化学的センサセルが構
成されているのであり、平坦空間44を所定の拡散抵抗
の下に拡散、導入せしめられる被測定ガスが、その奥部
に相対向して配置された電気化学的ポンプセルの内側ポ
ンプ電極34と電気化学的センサセルの測定電極8に、
それぞれ接触せしめられるようになっているのである。
された所定の拡散抵抗を有する平坦空間44が直接に外
部の被測定ガス存在空間に開口せし°められており、そ
してかかる平坦空間44を形成する一方の側の固体電解
質体4部分とそれに接して設けられた外側ポンプ電極3
2及び内側ポンプ34とから電気化学的ポンプセルが構
成されている一方、かかる平坦空間44を形成する他方
の固体電解質体4部分とそれに接して設けられた測定電
極8及び基準電極10とから電気化学的センサセルが構
成されているのであり、平坦空間44を所定の拡散抵抗
の下に拡散、導入せしめられる被測定ガスが、その奥部
に相対向して配置された電気化学的ポンプセルの内側ポ
ンプ電極34と電気化学的センサセルの測定電極8に、
それぞれ接触せしめられるようになっているのである。
従って、このような電気化学的ポンプセルと電気化学的
センサセルを有する構造の電気化学的素子2にあっては
、よく知られているように、酸素センサとして用いられ
る場合において、平坦空間44内において所定の拡散抵
抗の下に拡散せしめられる被測定ガス中の酸素濃度と空
気通路6内の基準ガス(空気)中の酸素濃度との間の酸
素濃度差に従って、酸素濃淡電池手段を構成する測定電
極8と基準電極IOとの間に発生する濃淡電池の原理に
基づく起電力が検出される一方、そのような起電力に基
づいて、ポンプセルを構成する外側ポンプ電極32と内
側ポンプ電極34との間に所定のポンプ電流が外部の電
流源48から通電せしめられることによって、所定の酸
素ポンプ作用が行なわれて、平坦空間44の内側ポンプ
電極34の配置された近傍の雰囲気、換言すれば酸素濃
淡電池手段であるセンサセルの測定電極8の配置された
近傍の雰囲気が所定雰囲気となるように制御され、そし
てその際、ポンプセルの二つの電極32.34間に流さ
れるポンプ電流を検出することによって、目的とする被
測定ガスの酸素濃度が測定されることとなるのである。
センサセルを有する構造の電気化学的素子2にあっては
、よく知られているように、酸素センサとして用いられ
る場合において、平坦空間44内において所定の拡散抵
抗の下に拡散せしめられる被測定ガス中の酸素濃度と空
気通路6内の基準ガス(空気)中の酸素濃度との間の酸
素濃度差に従って、酸素濃淡電池手段を構成する測定電
極8と基準電極IOとの間に発生する濃淡電池の原理に
基づく起電力が検出される一方、そのような起電力に基
づいて、ポンプセルを構成する外側ポンプ電極32と内
側ポンプ電極34との間に所定のポンプ電流が外部の電
流源48から通電せしめられることによって、所定の酸
素ポンプ作用が行なわれて、平坦空間44の内側ポンプ
電極34の配置された近傍の雰囲気、換言すれば酸素濃
淡電池手段であるセンサセルの測定電極8の配置された
近傍の雰囲気が所定雰囲気となるように制御され、そし
てその際、ポンプセルの二つの電極32.34間に流さ
れるポンプ電流を検出することによって、目的とする被
測定ガスの酸素濃度が測定されることとなるのである。
そして、これら実施例の電気化学的素子2においても、
前例と同様に、本発明に従うヒータリーク電流の有効な
シールド機構が構成されているのである。
前例と同様に、本発明に従うヒータリーク電流の有効な
シールド機構が構成されているのである。
すなわち、第4図においては、電気化学的センサセルの
固体電解質体4bに対して、内側電気絶縁層16を介し
て固体電解質層18が積層されることにより、空気通路
6が形成される一方、かかる固体電解質N18の空気通
路6に露呈される面に保護電極20が設けられており、
またかかる固体電解質層18に内包された状態において
、ヒータ24が埋設された外側電気絶縁層22が設けら
れている。そして、保護電極20が電気化学的ポンプセ
ルの内側ポンプ電極34と電気化学的センサセルの測定
電極8とヒータ24の負電圧端子とに対して、それぞれ
電気的に接続せしめられているのである。
固体電解質体4bに対して、内側電気絶縁層16を介し
て固体電解質層18が積層されることにより、空気通路
6が形成される一方、かかる固体電解質N18の空気通
路6に露呈される面に保護電極20が設けられており、
またかかる固体電解質層18に内包された状態において
、ヒータ24が埋設された外側電気絶縁層22が設けら
れている。そして、保護電極20が電気化学的ポンプセ
ルの内側ポンプ電極34と電気化学的センサセルの測定
電極8とヒータ24の負電圧端子とに対して、それぞれ
電気的に接続せしめられているのである。
また、第5図の例においては、第2図の素子と同様に、
内側電気絶縁層16、固体電解質1i18及びヒータ2
4の埋設された外側電気絶縁層22が順次積層せしめら
れて一体化され、また固体電解質層18の空気通路6に
露呈せしめられる面に対して保護電極20が設けられて
いると共に、かかる保護電極20が電気化学的センサセ
ルの基準電極10とヒータ24の負電圧端子とに、それ
ぞれ電気的に接続せしめられている。
内側電気絶縁層16、固体電解質1i18及びヒータ2
4の埋設された外側電気絶縁層22が順次積層せしめら
れて一体化され、また固体電解質層18の空気通路6に
露呈せしめられる面に対して保護電極20が設けられて
いると共に、かかる保護電極20が電気化学的センサセ
ルの基準電極10とヒータ24の負電圧端子とに、それ
ぞれ電気的に接続せしめられている。
従って、この第4図及び第5図に示される構造の電気化
学的素子にあっても、前例と同様な優れた効果、即ち出
力誤差の低減による測定精度の向上、素子強度の低下や
コスト上昇の回避、保護電極と電気化学的セル側の電極
との間の濃淡起電力の発生に基づく出力誤差の回避、更
にはヒータリーク電流による固体電解質店18の劣化の
防止等の優れた効果を奏するのである。
学的素子にあっても、前例と同様な優れた効果、即ち出
力誤差の低減による測定精度の向上、素子強度の低下や
コスト上昇の回避、保護電極と電気化学的セル側の電極
との間の濃淡起電力の発生に基づく出力誤差の回避、更
にはヒータリーク電流による固体電解質店18の劣化の
防止等の優れた効果を奏するのである。
ところで、保護電極を用いた本発明に従う構成と従来装
置との効果の差異は、また、第6図(a)〜(C)に示
される単純化した等価回路を用いて、以下のように説明
することが出来る。
置との効果の差異は、また、第6図(a)〜(C)に示
される単純化した等価回路を用いて、以下のように説明
することが出来る。
先ず、第6図(a)は、保護電極が固体電解質層内に埋
設された従来装置(特開昭59−197851号の第3
図)の等価回路であり、第6図(b)は、電気化学的セ
ルの固体電解質に接して保護電極を設け、そしてその上
に電気絶縁層を介してヒータを設けた構造の従来装置(
特開昭57−196148号公報の第2図;特開昭59
−197851号公報の第4図)の等価回路であり、第
6図(C)は、本発明に従う電気化学的装置に用いられ
る前例の如き電気化学的素子の等価回路である。
設された従来装置(特開昭59−197851号の第3
図)の等価回路であり、第6図(b)は、電気化学的セ
ルの固体電解質に接して保護電極を設け、そしてその上
に電気絶縁層を介してヒータを設けた構造の従来装置(
特開昭57−196148号公報の第2図;特開昭59
−197851号公報の第4図)の等価回路であり、第
6図(C)は、本発明に従う電気化学的装置に用いられ
る前例の如き電気化学的素子の等価回路である。
そして、これら第6図(a)〜(C)において、V、(
ヒータ電圧)を12Vとし、R,(固体電解質の抵抗)
を100Ωとし、R2(電極の抵抗)を5Ωとし、R3
(電気絶縁性セラミ・ツク層の抵抗)を200にΩとし
、更にR3′ (電気絶縁性セラミック層の抵抗) =
Rff /2、且つその値を100にΩとして、電気化
学的セルへのリーク電流:I、の値を計算すると、第6
図(a)では960μA1第6図(b)では0.98μ
A、第6図(c)では0.06μAとなり、第6図(b
)及び(c)におけるリーク電流は、共に、実用上、充
分な許容レベルであることが認められる。
ヒータ電圧)を12Vとし、R,(固体電解質の抵抗)
を100Ωとし、R2(電極の抵抗)を5Ωとし、R3
(電気絶縁性セラミ・ツク層の抵抗)を200にΩとし
、更にR3′ (電気絶縁性セラミック層の抵抗) =
Rff /2、且つその値を100にΩとして、電気化
学的セルへのリーク電流:I、の値を計算すると、第6
図(a)では960μA1第6図(b)では0.98μ
A、第6図(c)では0.06μAとなり、第6図(b
)及び(c)におけるリーク電流は、共に、実用上、充
分な許容レベルであることが認められる。
このように、第6図(a)の従来装置にあっては、ヒー
タリーク電流が大きく、保護電極のシールド効果だけで
は充分な効果を期待することは困難なのである。また、
第6図(b)に相当する従来装置にあっては、ヒータ電
流(I、)の低減には充分な効果が認められるが、保護
電極(従って、ヒータ電圧供給回路)と電気化学的セル
の測定回路とを絶縁しなければならず、技術的な困難を
伴う。なお、かかる絶縁をしない場合にあっては、保護
電極と電気化学的セルの何れかの電極との間に生ずる起
電力によりループ電流が流れてしまい、例えば起電カニ
0.5 V、固体電解質の抵抗(R9)100Ωとす
れば、5mAのループ電流が流れることとなり、測定精
度が低下する。
タリーク電流が大きく、保護電極のシールド効果だけで
は充分な効果を期待することは困難なのである。また、
第6図(b)に相当する従来装置にあっては、ヒータ電
流(I、)の低減には充分な効果が認められるが、保護
電極(従って、ヒータ電圧供給回路)と電気化学的セル
の測定回路とを絶縁しなければならず、技術的な困難を
伴う。なお、かかる絶縁をしない場合にあっては、保護
電極と電気化学的セルの何れかの電極との間に生ずる起
電力によりループ電流が流れてしまい、例えば起電カニ
0.5 V、固体電解質の抵抗(R9)100Ωとす
れば、5mAのループ電流が流れることとなり、測定精
度が低下する。
しかるに、第6図(c)に示される本発明の装置にあっ
ては、ヒータリーク電流の低減は充分であり、またルー
プ電流も充分小さなものとなる(電気絶縁性セラミック
層の抵抗、R,Lを100にΩとすれば、起電カニ0,
5Vに対してループ電流は5μAとなる。)のである。
ては、ヒータリーク電流の低減は充分であり、またルー
プ電流も充分小さなものとなる(電気絶縁性セラミック
層の抵抗、R,Lを100にΩとすれば、起電カニ0,
5Vに対してループ電流は5μAとなる。)のである。
なお、以上の実施例においては、酸素センサを得るべく
、電気化学的素子を構成する固体電解質体(4,4a、
4b、)や、加熱部の固体電解質層(18)として、ジ
ルコニア磁器の如き酸素イオン伝導性の固体電解質材料
が有利に用いられているが、またその他の酸素イオン伝
導性の固体電解質、例えば5rCeOa 、B i、o
、−希土類酸化物系固溶体等の材料も適宜に用いられ得
るものであり、更には酸素以外の測定成分の測定に際し
ては、それぞれの測定成分に対応した公知の固体電解質
材料が用いられることとなることは、言うまでもないと
ころである。
、電気化学的素子を構成する固体電解質体(4,4a、
4b、)や、加熱部の固体電解質層(18)として、ジ
ルコニア磁器の如き酸素イオン伝導性の固体電解質材料
が有利に用いられているが、またその他の酸素イオン伝
導性の固体電解質、例えば5rCeOa 、B i、o
、−希土類酸化物系固溶体等の材料も適宜に用いられ得
るものであり、更には酸素以外の測定成分の測定に際し
ては、それぞれの測定成分に対応した公知の固体電解質
材料が用いられることとなることは、言うまでもないと
ころである。
また、本発明において、ヒータ24のヒータ電流やヒー
タリーク電流を電気的に絶縁せしめる第一の電気絶縁性
セラミック層(22)や第二の電気絶縁性セラミック層
(16)、電気絶縁層42は、一般に、アルミナまたは
スピネルを主成分とするセラミック層であることが望ま
しいが、その他、硼珪酸ガラス、ムライト、ステアタイ
ト、ホルステライト、コーディエライト、ジルコン等を
主成分とするセラミック材料を用いても、何等差支えな
い。
タリーク電流を電気的に絶縁せしめる第一の電気絶縁性
セラミック層(22)や第二の電気絶縁性セラミック層
(16)、電気絶縁層42は、一般に、アルミナまたは
スピネルを主成分とするセラミック層であることが望ま
しいが、その他、硼珪酸ガラス、ムライト、ステアタイ
ト、ホルステライト、コーディエライト、ジルコン等を
主成分とするセラミック材料を用いても、何等差支えな
い。
さらに、本発明における保護電極(20)としては、測
定電極(8)、基準電極(10)、外側ポンプ電極(3
2)、内側ポンプ電極(34)、ヒータ(24)と同様
に、白金、パラジウム、ロジウム、イリジウム、ルテニ
ウム、オスミウムの如き白金族金属を主体とする材料を
用いて形成されることが望ましく、特にそのような金属
にジルコニア、アルミナ等の微粉末を混入せしめて、そ
れら電極の形成される固体電解質体乃至は固体電解質層
と同時に焼成せしめることによってサーメットと為して
、一体的に構成することが推奨される。
定電極(8)、基準電極(10)、外側ポンプ電極(3
2)、内側ポンプ電極(34)、ヒータ(24)と同様
に、白金、パラジウム、ロジウム、イリジウム、ルテニ
ウム、オスミウムの如き白金族金属を主体とする材料を
用いて形成されることが望ましく、特にそのような金属
にジルコニア、アルミナ等の微粉末を混入せしめて、そ
れら電極の形成される固体電解質体乃至は固体電解質層
と同時に焼成せしめることによってサーメットと為して
、一体的に構成することが推奨される。
以上、本発明の幾つかの実施例について説明してきたが
、本発明の電気化学的装置は、そのような例示の具体的
構造のみに限定して解釈されるものでは決してなく、本
発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に
基づいて種々なる変形、修正、改良等を加えた形態にお
いて実施され得るものであり、本発明が、そのような実
施形態のものをも含むものであることが、理解されるべ
きである。
、本発明の電気化学的装置は、そのような例示の具体的
構造のみに限定して解釈されるものでは決してなく、本
発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に
基づいて種々なる変形、修正、改良等を加えた形態にお
いて実施され得るものであり、本発明が、そのような実
施形態のものをも含むものであることが、理解されるべ
きである。
例えば、例示の電気化学的素子にあっては、一つの加熱
部が電気化学的セルの一方の側に設けられているが、ま
た、そのような電気化学的セルを挟むように、或いは電
気化学的セル間に位置するように、二つ或いはそれ以上
の加熱部が設けられていても、同等差支えない。
部が電気化学的セルの一方の側に設けられているが、ま
た、そのような電気化学的セルを挟むように、或いは電
気化学的セル間に位置するように、二つ或いはそれ以上
の加熱部が設けられていても、同等差支えない。
また、本発明に係る電気化学的装置は、例示の如き酸素
センサの他、他の構造の酸素センサにも適用され得るも
のであり、更には酸素以外の窒素、炭酸ガス、水素等の
流体中の電極反応に関与する成分の検出器或いは制御器
等にも適用され得るものである。
センサの他、他の構造の酸素センサにも適用され得るも
のであり、更には酸素以外の窒素、炭酸ガス、水素等の
流体中の電極反応に関与する成分の検出器或いは制御器
等にも適用され得るものである。
(発明の効果)
以上の説明から明らかなように、本発明に係る電気化学
的装置は、ヒータと電気化学的セルとの間に第一の電気
絶縁性セラミック層、固体電解質層及び第二の電気絶縁
性セラミック層を設けると共に、かかる固体電解質層に
接して保護電極を設け、そしてかかる保護電極を電気化
学的セルの電極に接続せしめることによって、ヒータか
らのリーク電流を効果的にシールドするようにしたもの
であって、これにより、電気化学的セルの出力誤差を低
減せしめ、以て測定精度を効果的に高め得たのであり、
またヒータの発熱面積を大きくしても保護電極を大きく
する必要がなく、また電気化学的素子の積層中に埋設す
る必要がないところから、素子強度を低下させたり、コ
ストの上昇を招く等の問題も効果的に解消され得たもの
であって、そこに、本発明の大きな技術的意義が存する
のである。
的装置は、ヒータと電気化学的セルとの間に第一の電気
絶縁性セラミック層、固体電解質層及び第二の電気絶縁
性セラミック層を設けると共に、かかる固体電解質層に
接して保護電極を設け、そしてかかる保護電極を電気化
学的セルの電極に接続せしめることによって、ヒータか
らのリーク電流を効果的にシールドするようにしたもの
であって、これにより、電気化学的セルの出力誤差を低
減せしめ、以て測定精度を効果的に高め得たのであり、
またヒータの発熱面積を大きくしても保護電極を大きく
する必要がなく、また電気化学的素子の積層中に埋設す
る必要がないところから、素子強度を低下させたり、コ
ストの上昇を招く等の問題も効果的に解消され得たもの
であって、そこに、本発明の大きな技術的意義が存する
のである。
第1図乃至第4図は、それぞれ、本発明に従う電気化学
的装置の一つである酸素センサの各側における電気化学
的素子の先端部に設けられた検知部の横断面形態を示す
断面説明図であり、第5図は、本発明の他の異なる例に
おける電気化学的素子の先端部に設けられた検知部の縦
断面形態を示す断面説明図である。第6図(a)〜(c
)は、それぞれ、従来装置と本発明装置に相当する単純
化された等価回路を示す図である。 2:電気化学的素子 4:固体電解質体6:空気通路
8:測定電極 10:基準電極 16:内側電気絶縁層18:固
体電解質層 20:保護電極22:外側電気絶縁層
24:ヒータ 26:気密質の電気絶縁層 32:外側ポンプ電極 34:内側ポンプ電極36:内
部空間 38:ビンホール42:電気絶縁層
44:平坦空間第4図 z4 第5図 第6図
的装置の一つである酸素センサの各側における電気化学
的素子の先端部に設けられた検知部の横断面形態を示す
断面説明図であり、第5図は、本発明の他の異なる例に
おける電気化学的素子の先端部に設けられた検知部の縦
断面形態を示す断面説明図である。第6図(a)〜(c
)は、それぞれ、従来装置と本発明装置に相当する単純
化された等価回路を示す図である。 2:電気化学的素子 4:固体電解質体6:空気通路
8:測定電極 10:基準電極 16:内側電気絶縁層18:固
体電解質層 20:保護電極22:外側電気絶縁層
24:ヒータ 26:気密質の電気絶縁層 32:外側ポンプ電極 34:内側ポンプ電極36:内
部空間 38:ビンホール42:電気絶縁層
44:平坦空間第4図 z4 第5図 第6図
Claims (7)
- (1)第一の固体電解質と、該第一の固体電解質に接し
て設けられた少なくとも一対の電極とからなる、少なく
とも一つの電気化学的セルと、第二の固体電解質と、該
第二の固体電解質に接して設けられた第一の電気絶縁性
セラミック層と、該第一の電気絶縁性セラミック層によ
り前記第二の固体電解質から電気的に絶縁されたヒータ
とからなる、少なくとも一つの加熱部と、前記電気化学
的セルの第一の固体電解質と前記加熱部の第二の固体電
解質との間に設けられて、両者を電気的に絶縁する第二
の電気絶縁性セラミック層と、 前記加熱部の第二の固体電解質に接して設けられた保護
電極とを、 含んで一体的に構成され、且つ前記電気化学的セルの少
なくとも一対の電極のうちの少なくとも一つの電極と前
記保護電極とが、電気的に接続せしめられていることを
特徴とする電気化学的装置。 - (2)前記保護電極が、前記ヒータの負電圧端子に電気
的に接続せしめられている特許請求の範囲第1項記載の
電気化学的装置。 - (3)前記保護電極の少なくとも一部が、所定のガス雰
囲気に実質的に露呈せしめられている特許請求の範囲第
1項または第2項記載の電気化学的装置。 - (4)前記保護電極が、該保護電極に電気的に接続され
ている前記電気化学的セルの電極と実質的に同一のガス
雰囲気に露呈せしめられている特許請求の範囲第1項乃
至第3項の何れかに記載の電気化学的装置。 - (5)前記第二の固体電解質が、実質的に気密質であり
、且つ少なくとも前記ヒータの発熱部位を内包している
特許請求の範囲第1項乃至第4項の何れかに記載の電気
化学的装置。 - (6)前記電気化学的セルとして、電気化学的ポンプセ
ル及び電気化学的センサセルを有し、且つ実質的に同一
のガス雰囲気に露呈される該電気化学的ポンプセルの一
方のポンプ電極と該電気化学的センサセルの測定電極に
対して、前記保護電極が接続されている特許請求の範囲
第1項乃至第5項の何れかに記載の電気化学的装置。 - (7)前記電気化学的セルとして、電気化学的ポンプセ
ル及び電気化学的センサセルを有し、且つ該電気化学的
センサセルの基準電極に対して、前記保護電極が接続さ
れている特許請求の範囲第1項乃至第5項の何れかに記
載の電気化学的装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62048245A JPH0684950B2 (ja) | 1987-03-03 | 1987-03-03 | 電気化学的装置 |
US07/162,489 US4814059A (en) | 1987-03-03 | 1988-03-01 | Electrochemical device having a heater and leak protection electrode |
DE88301817T DE3883562T2 (de) | 1987-03-03 | 1988-03-02 | Elektrochemische Einrichtung mit einem heizenden Körper. |
EP88301817A EP0281378B1 (en) | 1987-03-03 | 1988-03-02 | Electrochemical device having a heater |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62048245A JPH0684950B2 (ja) | 1987-03-03 | 1987-03-03 | 電気化学的装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63214663A true JPS63214663A (ja) | 1988-09-07 |
JPH0684950B2 JPH0684950B2 (ja) | 1994-10-26 |
Family
ID=12798057
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62048245A Expired - Lifetime JPH0684950B2 (ja) | 1987-03-03 | 1987-03-03 | 電気化学的装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4814059A (ja) |
EP (1) | EP0281378B1 (ja) |
JP (1) | JPH0684950B2 (ja) |
DE (1) | DE3883562T2 (ja) |
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DE19835766C2 (de) * | 1998-08-07 | 2003-07-03 | Bosch Gmbh Robert | Anordnung zum Beschalten eines elektrochemischen Sensors |
US6411110B1 (en) * | 1999-08-17 | 2002-06-25 | Micron Technology, Inc. | Apparatuses and methods for determining if protective coatings on semiconductor substrate holding devices have been compromised |
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US6837982B2 (en) | 2002-01-25 | 2005-01-04 | Northwest Aluminum Technologies | Maintaining molten salt electrolyte concentration in aluminum-producing electrolytic cell |
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JP4050593B2 (ja) * | 2002-11-01 | 2008-02-20 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ素子及びこれを用いたガスセンサ |
DE102008001223A1 (de) * | 2008-04-17 | 2009-10-22 | Robert Bosch Gmbh | Beheizte Sprungsonde mit vereinfachter elektrischer Kontaktierung |
CN102132153B (zh) * | 2008-08-25 | 2014-08-20 | Nxp股份有限公司 | 减小电子设备中的电容性充电 |
DE102013219531A1 (de) * | 2013-09-27 | 2015-04-02 | Continental Automotive Gmbh | Sensor zur Erfassung eines Gases in einer Umgebung des Sensors |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0281378A2 (en) | 1988-09-07 |
EP0281378A3 (en) | 1989-11-29 |
DE3883562D1 (de) | 1993-10-07 |
US4814059A (en) | 1989-03-21 |
JPH0684950B2 (ja) | 1994-10-26 |
DE3883562T2 (de) | 1994-03-17 |
EP0281378B1 (en) | 1993-09-01 |
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