JPS63168788A - パタ−ン比較検査装置 - Google Patents
パタ−ン比較検査装置Info
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- JPS63168788A JPS63168788A JP62001298A JP129887A JPS63168788A JP S63168788 A JPS63168788 A JP S63168788A JP 62001298 A JP62001298 A JP 62001298A JP 129887 A JP129887 A JP 129887A JP S63168788 A JPS63168788 A JP S63168788A
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Links
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Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はパターン比較検査装置、竹に、同一パターンの
くり返しからなる例えば、半導体ウェハのパターンやパ
ターン形成用のマスク、例えばプリント基板を撮像し、
その画像を取り込み比較検査を行うパターン比較検査装
置に関する。
くり返しからなる例えば、半導体ウェハのパターンやパ
ターン形成用のマスク、例えばプリント基板を撮像し、
その画像を取り込み比較検査を行うパターン比較検査装
置に関する。
〔従来の技術〕
便米の技術としては特開昭５８−１４５１３９号公報に
示されているように半導体回路等のパターンの比較検査
方法がある。従来のパターンの比較検査方法では２つの
画像検出器を同一パターンをもつチップの幅のｌｉ数倍
の間隔に固定する部分と、２つの検出器から得られる画
像を比較する部分と、比較した画像より欠陥を検出する
ステップを含んで構成される。
示されているように半導体回路等のパターンの比較検査
方法がある。従来のパターンの比較検査方法では２つの
画像検出器を同一パターンをもつチップの幅のｌｉ数倍
の間隔に固定する部分と、２つの検出器から得られる画
像を比較する部分と、比較した画像より欠陥を検出する
ステップを含んで構成される。
次に従来の半導体回ｗｌｒ等のパターンの比較検査方法
について図面を参照して詳細に説明する。
について図面を参照して詳細に説明する。
第３図は従来の半導体回路等のパターンの比較検査方法
を説明するブロック図である。
を説明するブロック図である。
検食力法はまずウェハ１０１をウェハ回転装置１１０に
固定し、次に画像検出器１０２ａおよび１０２ｂの間隔
をアップの画像検出器並び方向の幅の整数倍にする。以
下、画像検出器並び方向をＸ方向、Ｘ７５向と直角方向
をＹ方向とする。次にウェハ回転装置１１０でウェハ１
０１を微小回転させ、画像検出器］０２ａおよび】０２
ｂでそれぞれ異なるチップの同一か所のパターン像を拡
大して検出できるように画像表示装置１０９ａおよび】
０９ｂ用いて調整する。次にウェハ】０】をＸおよびＹ
方向に微動ステージ１０６で送りながらＹ方向に短資し
て画像検出器１０２ａおよび１０２ｂの出力を比較回路
１０３で比較し、欠陥検出回路１０４で画像の不一致部
分から欠陥を検出し、制岬装置１０７から出力される微
動ステージ１０６の位置情報にもとづいて欠陥位置を欠
陥記憶装置１０５ａに記ｔ＃させる。次に前ステップで
比較できなかったチップを補うためにウェハ回転装置１
１０によシクエハ１０１を９０ 回転させ同様に欠陥を
１０５ｂに記憶させる。各欠陥はマイコン１１１によっ
て欠陥判定処理を行いメモリ１１２に記憶され、また画
像出力装置１】３によって表示される。
固定し、次に画像検出器１０２ａおよび１０２ｂの間隔
をアップの画像検出器並び方向の幅の整数倍にする。以
下、画像検出器並び方向をＸ方向、Ｘ７５向と直角方向
をＹ方向とする。次にウェハ回転装置１１０でウェハ１
０１を微小回転させ、画像検出器］０２ａおよび】０２
ｂでそれぞれ異なるチップの同一か所のパターン像を拡
大して検出できるように画像表示装置１０９ａおよび】
０９ｂ用いて調整する。次にウェハ】０】をＸおよびＹ
方向に微動ステージ１０６で送りながらＹ方向に短資し
て画像検出器１０２ａおよび１０２ｂの出力を比較回路
１０３で比較し、欠陥検出回路１０４で画像の不一致部
分から欠陥を検出し、制岬装置１０７から出力される微
動ステージ１０６の位置情報にもとづいて欠陥位置を欠
陥記憶装置１０５ａに記ｔ＃させる。次に前ステップで
比較できなかったチップを補うためにウェハ回転装置１
１０によシクエハ１０１を９０ 回転させ同様に欠陥を
１０５ｂに記憶させる。各欠陥はマイコン１１１によっ
て欠陥判定処理を行いメモリ１１２に記憶され、また画
像出力装置１】３によって表示される。
上述した従来の半導体回路等のパターンの比較慎資力法
では比較する２つの同一部分の画像を得るために、２台
の画像検出器の間隔が９エノ・のチ、グーの整数倍にな
るよう検出器微動装置を用いて移動させていた。このた
め画像間の位置決めは検出器微動装置の微調整が必要で
ありまた、位置決め精度は機械的精度に依存しており位
置決め精度以下の欠陥を比較検査する場合、画像間位置
ずれが生じ、目的とする比較検査が出来ないという欠点
があった。
では比較する２つの同一部分の画像を得るために、２台
の画像検出器の間隔が９エノ・のチ、グーの整数倍にな
るよう検出器微動装置を用いて移動させていた。このた
め画像間の位置決めは検出器微動装置の微調整が必要で
ありまた、位置決め精度は機械的精度に依存しており位
置決め精度以下の欠陥を比較検査する場合、画像間位置
ずれが生じ、目的とする比較検査が出来ないという欠点
があった。
本考案のパターン比較検査装置は、
光電変換スキャナで走査して読み出したパターンの画像
信号を多値レベルのディジタル画像に変換するためのＡ
／Ｄ変換回路と、 前記ディジタル画像を標準パターンまたは被恢査パター
ンに分類する画像分岐回路と、 前記画像分岐回路において標準パターンとして出力され
た該ディジタル画像を記憶するための標準画像メモリ回
路と、前記標準パターンの垂直方向の平均濃度分布を求
める標準パターン垂直＃、匿分布）朱出回路と、 前記算出された濃度分布を記憶しておくための標準パタ
ーン垂直製置分布記憶回路と、該標準パタ−ンの水平方
向の平均濃度分布を求める標準パターン水平！１度分布
算出回路と、前記算出された濃度分布を記憶しておくた
めの標準パターン水平濃度分布記憶回路と、 該入力画像切換回路において被検前パターンとして出力
された該ディジタル画像を記憶するための被検査画像メ
モリ回路と、該被検査パターンの垂直方向の平均ｓ贋分
布を求める被検査バターｙ垂直濃度分布算出回路と、前
記算出された濃度分布を記憶しておくための被検査パタ
ーン垂直濃度分布記憶回路と、該被恢査パターンの水平
方向の平均ｒｉｉ分布を求める被検前パターン水平濃度
分布算出回路と、 前記算出された濃度分布を記憶しておく被検査パターン
水平濃度分布算出回路と。
信号を多値レベルのディジタル画像に変換するためのＡ
／Ｄ変換回路と、 前記ディジタル画像を標準パターンまたは被恢査パター
ンに分類する画像分岐回路と、 前記画像分岐回路において標準パターンとして出力され
た該ディジタル画像を記憶するための標準画像メモリ回
路と、前記標準パターンの垂直方向の平均濃度分布を求
める標準パターン垂直＃、匿分布）朱出回路と、 前記算出された濃度分布を記憶しておくための標準パタ
ーン垂直製置分布記憶回路と、該標準パタ−ンの水平方
向の平均濃度分布を求める標準パターン水平！１度分布
算出回路と、前記算出された濃度分布を記憶しておくた
めの標準パターン水平濃度分布記憶回路と、 該入力画像切換回路において被検前パターンとして出力
された該ディジタル画像を記憶するための被検査画像メ
モリ回路と、該被検査パターンの垂直方向の平均ｓ贋分
布を求める被検査バターｙ垂直濃度分布算出回路と、前
記算出された濃度分布を記憶しておくための被検査パタ
ーン垂直濃度分布記憶回路と、該被恢査パターンの水平
方向の平均ｒｉｉ分布を求める被検前パターン水平濃度
分布算出回路と、 前記算出された濃度分布を記憶しておく被検査パターン
水平濃度分布算出回路と。
該標準パターン垂直濃度分布記憶回路内の濃度分布を基
準とした該被検査パターン垂直濃度分布記憶回路内の濃
度分布の位相ずれを相関関数を用いて求める垂直ずれ量
算出回路と、 該標準パターン水平濃度分布記憶回路内の濃度分布を基
準とした該扱検査パターン水平＃度分布記ｔｉ回路内の
張度分布の位相ずれを相関関数を用いて求める水平ずれ
量算出回路と、 該被検青画像メモリ回路に記憶された被検査パターンを
前記水平ずれ量算出回路によって求めたずれ量だけ水平
にン７トさせる画像水平７７ト回路と、前記水平にシフ
トされた画像を該垂直ずれ量算出回路で求めたずれ量だ
け垂直に７７トする画像垂直７７ト回路と、前記垂直及
び水平にシフトされた画像と該標準画像メモリ回路に記
憶された標準パターンとの差画像を求める画１家比較回
路と、前記差画像から欠陥を検出する欠陥検出回路とを
含んで構成される。
準とした該被検査パターン垂直濃度分布記憶回路内の濃
度分布の位相ずれを相関関数を用いて求める垂直ずれ量
算出回路と、 該標準パターン水平濃度分布記憶回路内の濃度分布を基
準とした該扱検査パターン水平＃度分布記ｔｉ回路内の
張度分布の位相ずれを相関関数を用いて求める水平ずれ
量算出回路と、 該被検青画像メモリ回路に記憶された被検査パターンを
前記水平ずれ量算出回路によって求めたずれ量だけ水平
にン７トさせる画像水平７７ト回路と、前記水平にシフ
トされた画像を該垂直ずれ量算出回路で求めたずれ量だ
け垂直に７７トする画像垂直７７ト回路と、前記垂直及
び水平にシフトされた画像と該標準画像メモリ回路に記
憶された標準パターンとの差画像を求める画１家比較回
路と、前記差画像から欠陥を検出する欠陥検出回路とを
含んで構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
本発明のパターン比較検査装置は、比較する２つの画像
を入力する部分と入力した画像の位置合せを行う部分と
位置合せ後、比較検査を行う部分とを含んで構成される
。
を入力する部分と入力した画像の位置合せを行う部分と
位置合せ後、比較検査を行う部分とを含んで構成される
。
第１図は、本発明の一実施例を示すブロック図である。
光ｉｆｆｆｆ中ャナ１で走査して読み出したパターンの
画像信号ａはＡ／Ｄ変換回ｊ１２！ｒ２によシ、多値レ
ベルのディジタル画像すに変換される。以下ディジタル
画像において主走ｆ線方向を水平方向水平方向と直角方
向を垂直方向とする。
画像信号ａはＡ／Ｄ変換回ｊ１２！ｒ２によシ、多値レ
ベルのディジタル画像すに変換される。以下ディジタル
画像において主走ｆ線方向を水平方向水平方向と直角方
向を垂直方向とする。
前記ディジタル画像すは画像分岐回路３に入力され、標
準パターンＣまたは被検査パターンｄに分類され出力さ
れる。
準パターンＣまたは被検査パターンｄに分類され出力さ
れる。
標準パターンＣは、比較検査を行う場合に基準となるパ
ターンを撮像した場合に出力される画像信号であり、被
検前パターンｄは、実際に検査を行うパターンを撮像し
た場合に出力される画像信号である。
ターンを撮像した場合に出力される画像信号であり、被
検前パターンｄは、実際に検査を行うパターンを撮像し
た場合に出力される画像信号である。
前記標準パターンＣは標準画像メモリ回路４ａに記憶さ
れる。また標準パターンＣは、標準パターン用の垂直濃
度分布算出回路５ａに入力され、水平方向について濃度
の平均値を算出し、垂直方向の濃度分布信号ｅとして垂
直濃度分布記憶回路６ａに記憶される。同様に標準パタ
ーンＣは水平ａ度分布算出回路７ａに入力され垂直力同
圧ついて濃度の平均値を算出し、水平方向の濃度分布信
号ｆとして水平濃度分布記憶回路８ａに記憶される。−
万、前記画像分岐回路３で出力された被検査パターンｄ
は、被検青画像メモリ回路９に記憶される。また前記被
検前パターンｄは被検査パターン用の垂直濃度分布算出
回路５ｂに入力され、水平方向について濃度の平均値を
算出し、垂直方向の濃度分布信号ｅ′として垂直濃度分
布記憶回路６ｂｌＣ記憶される。同様に被検前パターン
用の水平鎖酸分布算出回路７ｂにも入力され、垂直方向
についてａ度の平均値を算出し、水平方向の濃度分布信
号ｆ′として、水平８％反分布記憶回路８ｂに記憶され
る。
れる。また標準パターンＣは、標準パターン用の垂直濃
度分布算出回路５ａに入力され、水平方向について濃度
の平均値を算出し、垂直方向の濃度分布信号ｅとして垂
直濃度分布記憶回路６ａに記憶される。同様に標準パタ
ーンＣは水平ａ度分布算出回路７ａに入力され垂直力同
圧ついて濃度の平均値を算出し、水平方向の濃度分布信
号ｆとして水平濃度分布記憶回路８ａに記憶される。−
万、前記画像分岐回路３で出力された被検査パターンｄ
は、被検青画像メモリ回路９に記憶される。また前記被
検前パターンｄは被検査パターン用の垂直濃度分布算出
回路５ｂに入力され、水平方向について濃度の平均値を
算出し、垂直方向の濃度分布信号ｅ′として垂直濃度分
布記憶回路６ｂｌＣ記憶される。同様に被検前パターン
用の水平鎖酸分布算出回路７ｂにも入力され、垂直方向
についてａ度の平均値を算出し、水平方向の濃度分布信
号ｆ′として、水平８％反分布記憶回路８ｂに記憶され
る。
垂直ずれ墓算出ｌｏｌ路９では前記標準パターンによる
垂直濃度分布記憶回路ｇを基準とし、前記被検査パター
ンによる垂直濃度分布記憶信号ｇ′の位置を順次ずらし
て相互相関係数を算出し、最大となった時の位置のずれ
量を垂直ずれ量ｉとして算出する。相互相関係数に関し
ては後に詳細に述べる。また水平ずれ電昇出回路】０で
は前述と同様に、前記標準パターンによる水平α度分布
記１；ば信号りを基準とし、被検査パターンの水平濃度
分布記憶信号ｈ′の位置のずれ量を相互相関関数を用い
て求め、水平ずれｊｔｊとして出力する。
垂直濃度分布記憶回路ｇを基準とし、前記被検査パター
ンによる垂直濃度分布記憶信号ｇ′の位置を順次ずらし
て相互相関係数を算出し、最大となった時の位置のずれ
量を垂直ずれ量ｉとして算出する。相互相関係数に関し
ては後に詳細に述べる。また水平ずれ電昇出回路】０で
は前述と同様に、前記標準パターンによる水平α度分布
記１；ば信号りを基準とし、被検査パターンの水平濃度
分布記憶信号ｈ′の位置のずれ量を相互相関関数を用い
て求め、水平ずれｊｔｊとして出力する。
画像水平シフト回路１１では、該被検査画像メモリ回ｇ
４ｂに記ｔｌ！された記憶被検前パターンｋを前記水平
ずれｆｆｊＯ値だけ水平力向に７７トさせ、水平７７ト
画像ｌとして出力する。前記水平ン７ト画像ｌは、画像
垂直７７ト回路１２において、前記垂直ずれ′Ｉｔｉの
値だけ垂直方向に７７トされ、位置袖正済検査パターン
ｍとして出力される。前記出力された位置補正所検食パ
ターンｍと該標準画像メモリ回路４ａに記憶された記憶
標準バター／ｎは、比較回路１３において比較され差画
像０が算出される。ｓｉｊ記差両差画像０陥検出回路１
４によって画像の不一致部分として欠陥信号ｐが検出さ
れる。
４ｂに記ｔｌ！された記憶被検前パターンｋを前記水平
ずれｆｆｊＯ値だけ水平力向に７７トさせ、水平７７ト
画像ｌとして出力する。前記水平ン７ト画像ｌは、画像
垂直７７ト回路１２において、前記垂直ずれ′Ｉｔｉの
値だけ垂直方向に７７トされ、位置袖正済検査パターン
ｍとして出力される。前記出力された位置補正所検食パ
ターンｍと該標準画像メモリ回路４ａに記憶された記憶
標準バター／ｎは、比較回路１３において比較され差画
像０が算出される。ｓｉｊ記差両差画像０陥検出回路１
４によって画像の不一致部分として欠陥信号ｐが検出さ
れる。
第２図（ａ）〜（Ｃ）は該水平濃度分布よ＃）該水平ず
れ量を求める方法について詳細に説明するための動作説
明図である。
れ量を求める方法について詳細に説明するための動作説
明図である。
第２図（ａ）は該Ａ／Ｄ変換回路２よシ該画像分岐回路
３を通して得られた標準パターン１５及び被検肴パター
ン１６と、これらのパターンから前述した濃度分布算出
回路８ａ、８ｂによりて垂直方向について濃度の平均値
を求め水平方向の濃度分布１７ａ、１７ｂを示した図で
ある。
３を通して得られた標準パターン１５及び被検肴パター
ン１６と、これらのパターンから前述した濃度分布算出
回路８ａ、８ｂによりて垂直方向について濃度の平均値
を求め水平方向の濃度分布１７ａ、１７ｂを示した図で
ある。
第２図（ｂ）は同図（ａ）の酸度分布１７ａ、１７ｂを
重ねて表わしたものである。両刀とも同一パターンから
得られた前記平均値による濃度分布であるから波形とし
てはほぼ同一の形をしている。位置すれとして、ずれ重
τａ１８が２つの分布波形の間にあり、これが、比較す
るパターンを重ね合わせた場合の位置ずれの量として現
われる。
重ねて表わしたものである。両刀とも同一パターンから
得られた前記平均値による濃度分布であるから波形とし
てはほぼ同一の形をしている。位置すれとして、ずれ重
τａ１８が２つの分布波形の間にあり、これが、比較す
るパターンを重ね合わせた場合の位置ずれの量として現
われる。
第２図（Ｃ）は標準パターン１５による濃度分布１７ａ
を基準として、濃度分布１７ｂとの相互相関関数を示し
たものである。
を基準として、濃度分布１７ｂとの相互相関関数を示し
たものである。
但し ｆＳ：標準パターン温度分布の平均値ｆｉ：被
検査パターン濃度分布の平均値ｆｓ：標準パターン濃度
分布信号 ｆｉ：被検前パターン濃度分布信号 この相互相関関数Ｃｓ１（τ）において、τの値を変化
させて最大となる位置τｍ１９は、２つのパターンのず
れ量τａと等しいものとして算出される。垂直方向に対
しても同様に行い、垂直方向及び水平方向の画像のずれ
量を求めることができる。
検査パターン濃度分布の平均値ｆｓ：標準パターン濃度
分布信号 ｆｉ：被検前パターン濃度分布信号 この相互相関関数Ｃｓ１（τ）において、τの値を変化
させて最大となる位置τｍ１９は、２つのパターンのず
れ量τａと等しいものとして算出される。垂直方向に対
しても同様に行い、垂直方向及び水平方向の画像のずれ
量を求めることができる。
〔発明の効果Ｊ
本発明のパターン比較検査装置では、比較する２つのパ
ターンの位置ずれの補正を取シ込んだ２つの画像間で行
っているため、比較するパターンを読み込む装置のパタ
ーンに対する位置がずれた場合や、前記装置の位置決め
機構の機械的梢就以下の細かなパターンの場合でも、比
較パターンの重み合せの位置ずれを補正して、定位置で
の比較検査が可能であるという効果がある。
ターンの位置ずれの補正を取シ込んだ２つの画像間で行
っているため、比較するパターンを読み込む装置のパタ
ーンに対する位置がずれた場合や、前記装置の位置決め
機構の機械的梢就以下の細かなパターンの場合でも、比
較パターンの重み合せの位置ずれを補正して、定位置で
の比較検査が可能であるという効果がある。
第１図は本発明の一笑雄側を示すブロック図、第２図（
尋〜（Ｃ）は＠１図に示すパターン比較検査装置のずれ
量算出回路でのずれ量を求める方法の動作説明図、第３
図は従来の一例を示すブロック図である。 １・・・・・・光電変換スキャナー、２・・・・・Ａ／
Ｄ変換回路、３・・・・・画像分岐回路、４ａ・・・・
・・標準画像メモリ回路、４ｂ・・・・・・被検査画像
メモリ回路、５ａ。 ５ｂ・・・・・・垂直濃度分布算出回路、６ａ、６ｂ・
・・・・・垂直濃度分布記憶回路、７ａ、７ｂ・・・・
・・水平濃度分布算出回路、ｇａ、ｇｂ・・・・・・水
平！１度分布記憶回路、９・・・・・・垂直ずれ電算出
回路、１０・・・・・・水平ずれ量算出回路、１１・・
・・・・画像水平シフト回路、１２・・・・・・画像垂
直７７ト回路、１３・・・・・・比較回路、１４・・・
・・・欠陥検出回路、 ａ・・・・・・パターンの画像信号、ｂ・・・・・・多
値のディジタル画像、Ｃ・・・・・・標準パターン、ｄ
・・・・・・被検査パターン、ｅ、ｅ’・・・・・・垂
直方向の濃度分布信号、ｆ、ｆ’・・・・・・水平方向
の濃度分布信号、ｇ、ｇ’・・・・・・垂直濃度分布記
憶信号、ｈ、ｈ’・・・・・・水平濃要分布記憶信号、
ｉ・・・・・・垂直ずれ量、ｊ・・・・・・水平ずれ量
、ｋ・・・・・・記憶被検査パターン、ｌ・・・・・・
水平ンフト画像、Ｉｎ・・・・・・位置補正済検食パタ
ーン、ｎ・・・・・・記憶標準パターン、０・・・・・
・差画像、ｐ・・・・・・欠陥信号、１５・・・・・・
標準パターン、１６・・・・・・被検査パグーノ、１７
ａ、１７ｂ・・・・・・水平ａ度分布、１８・・・・・
ずれ量τａ１１９・・・・・・最大位置τｍ１０１ ・
・・・・クエーハ、］０２ａ、１０２ｂ・・・・・・画
像検出器、１０３・・・・・・比較回路、１０４・・・
・・・欠陥検出回路、１０５ａ、１０５ｂ・・・・・・
欠陥記憶装置、１０６・・・・・・微動ステージ、】０
７・・・・・・制御装置、１０８・・・・・・微動ステ
ージ駆動装置、１０９ａ。 】０９ｂ・・・・・・画像表示装置、１１０・・・・・
・クエーノ・回転装置、】】１・・・・・・マイコン、
】１２・・・・・・メモ１５＃ΔＩＹグーン
μ籾ダ〔）Ｖブ′ン粟 ２ 阿
尋〜（Ｃ）は＠１図に示すパターン比較検査装置のずれ
量算出回路でのずれ量を求める方法の動作説明図、第３
図は従来の一例を示すブロック図である。 １・・・・・・光電変換スキャナー、２・・・・・Ａ／
Ｄ変換回路、３・・・・・画像分岐回路、４ａ・・・・
・・標準画像メモリ回路、４ｂ・・・・・・被検査画像
メモリ回路、５ａ。 ５ｂ・・・・・・垂直濃度分布算出回路、６ａ、６ｂ・
・・・・・垂直濃度分布記憶回路、７ａ、７ｂ・・・・
・・水平濃度分布算出回路、ｇａ、ｇｂ・・・・・・水
平！１度分布記憶回路、９・・・・・・垂直ずれ電算出
回路、１０・・・・・・水平ずれ量算出回路、１１・・
・・・・画像水平シフト回路、１２・・・・・・画像垂
直７７ト回路、１３・・・・・・比較回路、１４・・・
・・・欠陥検出回路、 ａ・・・・・・パターンの画像信号、ｂ・・・・・・多
値のディジタル画像、Ｃ・・・・・・標準パターン、ｄ
・・・・・・被検査パターン、ｅ、ｅ’・・・・・・垂
直方向の濃度分布信号、ｆ、ｆ’・・・・・・水平方向
の濃度分布信号、ｇ、ｇ’・・・・・・垂直濃度分布記
憶信号、ｈ、ｈ’・・・・・・水平濃要分布記憶信号、
ｉ・・・・・・垂直ずれ量、ｊ・・・・・・水平ずれ量
、ｋ・・・・・・記憶被検査パターン、ｌ・・・・・・
水平ンフト画像、Ｉｎ・・・・・・位置補正済検食パタ
ーン、ｎ・・・・・・記憶標準パターン、０・・・・・
・差画像、ｐ・・・・・・欠陥信号、１５・・・・・・
標準パターン、１６・・・・・・被検査パグーノ、１７
ａ、１７ｂ・・・・・・水平ａ度分布、１８・・・・・
ずれ量τａ１１９・・・・・・最大位置τｍ１０１ ・
・・・・クエーハ、］０２ａ、１０２ｂ・・・・・・画
像検出器、１０３・・・・・・比較回路、１０４・・・
・・・欠陥検出回路、１０５ａ、１０５ｂ・・・・・・
欠陥記憶装置、１０６・・・・・・微動ステージ、】０
７・・・・・・制御装置、１０８・・・・・・微動ステ
ージ駆動装置、１０９ａ。 】０９ｂ・・・・・・画像表示装置、１１０・・・・・
・クエーノ・回転装置、】】１・・・・・・マイコン、
】１２・・・・・・メモ１５＃ΔＩＹグーン
μ籾ダ〔）Ｖブ′ン粟 ２ 阿
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 光電変換スキャナで走査して読み出したパターンの画像
信号を多値レベルのディジタル画像に変換するためのＡ
／Ｄ変換回路と、 前記ディジタル画像を標準パターンまたは被検査パター
ンに分類する画像分岐回路と、 前記画像分岐回路において標準パターンとして出力され
た該ディジタル画像を記憶するための標準画像メモリ回
路と、前記標準パターンの垂直方向の平均濃度分布を求
める標準パターン垂直濃度分布算出回路と、 前記算出された濃度分布を記憶しておくための標準パタ
ーン垂直濃度分布記憶回路と、該標準パターンの水平方
向の平均濃度分布を求める標準パターン水平濃度分布算
出回路と、前記算出された濃度分布を記憶しておくため
の標準パターン水平濃度分布記憶回路と、 該入力画像切換回路において被検査パターンとして出力
された該ディジタル画像を記憶するための被検査画像メ
モリ回路と、該被検査パターンの垂直方向の平均濃度分
布を求める被検査パターン垂直濃度分布算出回路と、前
記算出された濃度分布を記憶しておくための被検査パタ
ーン垂直濃度分布記憶回路と、該被検査パターンの水平
方向の平均濃度分布を求める被検査パターン水平濃度分
布算出回路と、 前記算出された濃度分布を記憶しておく被検査パターン
水平濃度分布算出回路と、 該標準パターン垂直濃度分布記憶回路内の濃度分布を基
準とした該被検査パターン垂直濃度分布記憶回路内の濃
度分布の位相ずれを相関関数を用いて求める垂直ずれ量
算出回路と、 該標準パターン水平濃度分布記憶回路内の濃度分布を基
準とした該被検査パターン水平濃度分布記憶回路内の濃
度分布の位相ずれを相関関数を用いて求める水平ずれ量
算出回路と、 該被検査画像メモリ回路に記憶された被検査パターンを
前記水平ずれ量算出回路によって求めたずれ量だけ水平
にシフトさせる画像水平シフト回路と、前記水平にシフ
トされた画像を該垂直ずれ量算出回路で求めたずれ量だ
け垂直にシフトする画像垂直シフト回路と、前記垂直及
び水平にシフトされた画像と該標準画像メモリ回路に記
憶された標準パターンとの差画像を求める画像比較回路
と、前記差画像から欠陥を検出する欠陥検出回路とを含
むことを特徴とするパターン比較検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62001298A JPS63168788A (ja) | 1987-01-06 | 1987-01-06 | パタ−ン比較検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62001298A JPS63168788A (ja) | 1987-01-06 | 1987-01-06 | パタ−ン比較検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63168788A true JPS63168788A (ja) | 1988-07-12 |
Family
ID=11497563
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62001298A Pending JPS63168788A (ja) | 1987-01-06 | 1987-01-06 | パタ−ン比較検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63168788A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03195955A (ja) * | 1989-12-25 | 1991-08-27 | Komu Syst:Kk | 画像検査装置 |
| JPH0443468A (ja) * | 1990-06-08 | 1992-02-13 | Intaadetsuku:Kk | 文字の印刷検査方法 |
| JPH05143739A (ja) * | 1991-11-26 | 1993-06-11 | Juki Corp | 画像処理装置 |
| JPH05165970A (ja) * | 1991-12-17 | 1993-07-02 | Juki Corp | 画像処理装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5856429A (ja) * | 1981-09-30 | 1983-04-04 | Fujitsu Ltd | パタ−ン位置検出装置 |
| JPS61153768A (ja) * | 1984-12-27 | 1986-07-12 | Canon Inc | 高速位置合せ装置 |
| JPS61212708A (ja) * | 1985-03-18 | 1986-09-20 | Hitachi Ltd | 多層パターン欠陥検出方法及びその装置 |
-
1987
- 1987-01-06 JP JP62001298A patent/JPS63168788A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5856429A (ja) * | 1981-09-30 | 1983-04-04 | Fujitsu Ltd | パタ−ン位置検出装置 |
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| JPH05143739A (ja) * | 1991-11-26 | 1993-06-11 | Juki Corp | 画像処理装置 |
| JPH05165970A (ja) * | 1991-12-17 | 1993-07-02 | Juki Corp | 画像処理装置 |
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