JPH02136708A - 半導体装置におけるリードの曲り検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、半導体装置におけるリードの曲り検査方法
に関し、さらに詳しくは、搬送途上にある被検査半導体
装置のリードの曲り検査に際し、搬送方向に対する被検
査半導体装置の回転ずれに伴なう誤差を補正して、被検
査半導体装置の各リードの曲り検査をなし得るようにし
たリードの曲り検査方法の改良に係るものである。

〔従来の技術〕

一般的に使用されているこの種の半導体装置におけるリ
ードの曲り検査方法のための装置構成の概要を第１図（
ａ）　、　（ｂ）に示し、また、その被検査対象となる
半導体装置での各リードの曲り検査判定基準、および搬
送態様を第２図、第３図にそれぞれ示しである。

すなわち、まず、第１図（ａ）　、　（ｂ）に示す半導
体装置のリードの曲り検査装置の構成において、符号１
は被検査対象となる半導体装置であり、２はこの半導体
装置１の本体部、３はこの本体部２での長手方向の左右
両側面部の中央から、所定角度でそれぞれ下向きに列状
をなして折曲された複数のリード、３ａは同上各リード
３の延長された先端部である。

また、１１は前記半導体装置１の本体部２を受は入れる
と共に、各リード３列を両側に垂下させた状態て、図示
しない搬送機構によって矢印に示す方向に搬送させる搬
送レールであり、Ｉ２は首記搬送途上にある左右両列で
の各リード３の先端部３ａを下方両側部から照射する照
明装置、１３はこれらの左右両列での各リード３の照明
された先端部３ａを下方中央部から撮像して電気信号に
変換する光′准変換装置としてのヴイデオカメラ、１４
はこのヴイデオカメラ１３によって撮像された左右両列
での各リード３の先端部３ａの画像信号１６を処理する
画像処理検査装置、１５は同上画像信号１６をモニタす
るモニタＴＶである。

しかして、］）１記構成によるリードの曲り検査装置の
場合には、搬送レール１１−Ｆを搬送される被検査対象
半導体装置１の左右両列での各リード３のそれぞれ先端
部３ａを、照明装置１２により照射させておき、これら
の各リード３の照明された先端部３ａをヴイデオカメラ
１３により撮像して、その画像信号１６を画像処理検査
装置１４に入力し、画像処理検査装置１４では、モニタ
ＴＶ＋５のＣＲ７面に映像化された各リード３の先端部
３ａの画像信号１６を記憶し、これらの各リード３の先
端部３ａの画像の重心か求められる。

そして、従来の検査方法においては、同時に、第２図に
示されているように、各リート３の先端部３ａの画像相
互間でのＸ方向重心差を求め、このＸ方向重心差が各リ
ードの曲り検査判定基準よりも大きいものを不良品と判
断して検査するようにしている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、前記のようにしてなされる従来のリード
曲り検査方法による判定においては、搬送レールｌｌ上
を搬送される被検査対象の半導体装置１が、その搬送時
にあって、第３図に示されているように、搬送レール！
＋に対する傾斜角度θを有する場合があるために、各リ
ード３での本来の曲り量すに対し、リードピッチＪｉｊ
、ｃｏｓθ＝１とするとき、こ＼では、１１　ｓｉｎθ
の誤差を含むことになるもので、この結果、実際のリー
ドの曲りが判定基準内の良品であるのにも拘わらず、不
良品と判定されるものが多く、正確なリードの曲り検査
をなし得ないと云う問題点があった。

この発明は、従来のこのような問題点を解消するために
なされたもので、その目的とするところは、搬送方向に
対する被検査半導体装置の回転ずれに伴なう誤差を補正
して、この半導体装置における各リードの曲り検査を正
確かつ適確に、しかも精度よく行ない得るようにした。

この種の半導体装置におけるリードの曲り検査方法を提
供することである。

〔課題を解決するための手段〕

前記目的を達成するために、この発明に係る半導体装置
のリード曲り検査方法は、左右両側面部から所定角度で
下向きに列状をなして折曲された複数のリードを有する
半導体装置におけるリードの曲り検査方法であって、被
検査対象となる半導体装置を搬送レール上に跨らせて搬
送させる搬送手段と、搬送途上にある各リードの先端部
を照射する照明手段と、照射される各リードの先端部を
撮像して電気信号に変換する光電変換手段と、光電変換
手段によって得られる電気信号を、画像処理して各リー
ドの曲り検査を行なう画像処理検査手段とを備え、首記
画像処理検査手段においては、前記搬送手段の搬送レー
ル上での被検査半導体装置の搬送方向に対する回転ずれ
に伴なう誤差を、画像中の各リードの先端部相互間の間
隔を計測し、かつ計測値が特定の範囲内にあるもの＼平
均値を求めて補正すると共に、計測値から平均値を差し
引いた値を判定して、各リードの曲り検査をなすことを
特徴とするものである。

〔作　　　用〕

すなわち、この発明方法においては、左右両側面部から
所定角度で下向きに列状をなして折曲された複数のリー
ドを有する半導体装置を、搬送手段により搬送させてリ
ードの曲り検査を行なう場合、Ｗｊ送方向に対する被検
査半導体装置の回転ずれに伴なう誤差を、画像処理検査
手段によって、撮像された画像中の各リードの先端部相
互間の間隔を計測し、かつ計測値が特定の範囲内にある
もの鳥平均値を求めて補正し、かつ計測値から平均値を
差し引いた値を判定して、各リードの曲り検査をなすよ
うにしたから、搬送時点での被検査半導体装置の回転ず
れによる誤差を除外して、各リードの曲り量の有無を適
確に判定して検出し得るのである。

〔実　施　例〕

以下、この発明に係る半導体装置におけるリードの曲り
検査方法の一実施例につき、前記した第１図ないし第３
図を参照して詳細に説明する。

前記と同様に、第１図（ａ）　、　（ｂ）は−数的な半
導体装置におけるリードの曲り検査方法のための装置構
成の概要構成を模式的に示す被検査半導体装置の搬送手
段部分を横断した全体配置図、および同上搬送手段部分
の側面図であり、また、第２図、第３図は同上被検査半
導体装置での各リードの＋ｉｂり検査判定基準、および
搬送態様をそれぞれに示す平面図、および説明図である
。

まず、これらの第１図（ａ）　、　（ｂ）に示す半導体
装置のリードの曲り検査装置の構成においても、符号ｌ
は被検査対象となる半導体装置であり、２はこの半導体
装置１の本体部、３はこの本体部２での長手方向の左右
両側面部の中央から、所定角度でそれぞれ下向きに列状
をなして折曲された複数のリード、３ａは同上各リード
３の延長された先端部である。

また、ＩＩは前記半導体装置１の本体部２を受は入れる
と共に、各リード３列を両側に跨って垂下させた状態で
、図示しない搬送機構によって矢印に示す方向に搬送さ
せる搬送手段としての搬送レールであり、かつまた、１
２は首記搬送途上にある左右両列での各リード３の先端
部３ａを、下方両側部から照射する照明手段としての装
置、１３はこれらの左右両列での各リート３の照明され
た先端部３ａを、下方中央部から撮像して電気信号に変
換する光電変換手段としてのグイデオカメラであり、さ
らに、Ｉ４はこのヴイデオカメラ１３によって撮像され
、電気信号に変換、された左右両列での各リード３の先
端部３ａの画像信号１６を処理する画像処理検査手段と
しての装置、１５は同上画像信号１６をモニタするモニ
タＴＶである。

しかして、首記構成によるリードの曲り検査装置の場合
にあっても、搬送レールｌｌ上を搬送される被検査半導
体装置１の左右両列での各リード３のそれぞれ先端部３
ａを、照明装置１２により照射させておき、これらの各
リード３の照明された先端部３ａをグイデオカメラＩ３
により撮像して電気信号に変換すると共に、その画像信
号１６を画像処理検査装置Ｉ４に入力し、画像処理検査
装置１４においては、モニタＴＶ１５のＣＲ７面にも映
像化される各リード３の先端部３ａの画像信号１６を記
憶し、これらの各リード３の先端部３ａの画像の重心が
求められる。

そして、この実施例による検査方法では、画像処理検査
装置１４において、同時に、第２図に示されている各リ
ード３の先端部３ａの画像信号１６につき、搬送レール
１１に対する被検査半導体装置ｌの傾斜角度θに対応し
て生ずるＸ方向重心の誤差の補正を行なう。

前記補正は、第２図に示す曲り検査判定基準において、
その判定判定基準をＳとしておき、こ＼で、　ａｎ　（
ｎ＝　１〜６）がＳ−１−Ｚｓｉｎθ以上のものを除外
してその平均値をとり、これを適正な補正値としてａｎ
から差引くことにより、前記誤差の補正を行なう。

偽って、この補正後１次の２通りの結果が得られる。す
なわち。

■ａ、≧Ｓ＋ＪＬｓｉｎθの場合（ｂ＞ｓのとき）故に
、補正後のＸ方向爪心差をａｎ’（ｎ＝　１〜６）とす
ると、 ａ、＝　ｂ　ｃｏｓθ 通常ｃｏｓθζ１となるので１．ｌ〜ｂとなり、また、 ａ２＝　ａ３’＝　ａ４’＝　ａ５’＝　ａ６’＝　０
となる。

この８１′〜８６′は、真のＸ方向重心差を示している
。

■ａ、　＜　Ｓ＋ＩＬ　ｓｉｎθの場合（ｂｕｓのとき
）通常ｃｏｓθ′、１となるので、 補正値〜−十立ｓｉｎθ 故に、補正後のＸ方向重心差ａｎ’　（ｎ＝　　１〜６
）は、 ａ、＝　　ｂ　　ｃｏｓθ＋ｆｌ　ｓ１ｎθ−すなわち
、補正後のＸ方向重心差には、−の誤差が含まれること
になる。

以、に、■、■の場合を併せて考えると、こ〜では、最
大−の誤差をもつものとするのが至当である。

従来例方法に比較すると、この実施例による補す 正方法は、実質、　Ｒ，ｓｉｎθ〉−の場合に、精度よ
〈Ｘ方向重心差を補正しているものと言うことができる
。

なお、一般的に１１　＝　２．５４＋ｎｍ、θ＝２°、
ｂ＝０．２ｍｍ程度を考えると、 ＣＯＳθ：　０．９９９３９１！＋＝　１１１　　ｓｉ
ｎθＬ：０．０８８６［１１１１１イ乃って、ｆｌ　ｓ
ｉｎθ〉−が成り立つ。

なおまた、前記実施例においては、各リードの先端部並
びが７個である場合について述べたが、それ以上の場合
に適用しても、同様な作用、効果を得られることは勿論
である。

〔発明の効果〕

以上詳述したように、この発明方法によれば、左右両側
面部から所定角度で下向きに列状をなして折曲された複
数のリードを有する半導体装置を、搬送手段により搬送
させてリードの曲り検査を行なう方法において、搬送方
向に対する被検査半導体装置の回転ずれに伴なう誤差を
、画像処理検査手段によって、撮像された画像中の各リ
ードの先端部相互間の間隔を計測すると共に、計測値が
特定の範囲内にあるものき平均値を求めて補正するよう
にし、かつ計測値から平均値を差し引いた値を判定して
、各リードの曲り検査をなすようにしたから、従来例方
法の場合のように、搬送時点での被検査半導体装置の回
転ずれによる誤差のために、実際のり−トの曲りが判定
基準内の良品であるのにも拘わらず、不良品と判定する
ような惧れがなく、回転ずれによる誤差を除外して、各
リードの曲り量の有無、良否を適確に判定して検出でき
るものであり、しかもその手段自体も簡単で容易に実施
し得るなどの優れた特長を有するものである。

【図面の簡単な説明】

添付図面はこの発明に係る半導体装置におけるリードの
曲り検査方法の一実施例を説明するためのものであって
、第１図（ａ）　、　（ｂ）は一般的な半導体装置にお
けるリードの曲り検査方法のための装置構成の概要構成
を模式的に示す被検査半導体装置の搬送手段部分を横断
した全体配置図、および同上搬送手段部分の側面図であ
り、また、第２図、第３図は同上被検査半導体装置での
各リードの曲り検査判定基準、および搬送態様をそれぞ
れに示す平面図、および説明図である。 １・・・・被検査対象となる半導体装置、２・・・・半
導体装置の本体部、３・・・・本体部から延長形成され
たリード、３ａ・・・・リードの先端部。 １１・・・・搬送レール（搬送手段）、Ｉ２・・・・照
明装置（照明手段）、１３・・・・グイデオカメラ（光
電変換手段）、１４・・・・画像処理検査装置（画像処
理検査手段）、１５・・・・モニタＴｖ０ 第１図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 左右両側面部から所定角度で下向きに列状をなして折曲
   された複数のリードを有する半導体装置におけるリード
   の曲り検査方法であつて、被検査対象となる半導体装置
   を搬送レール上に跨らせて搬送させる搬送手段と、搬送
   途上にある各リードの先端部を照射する照明手段と、照
   射される各リードの先端部を撮像して電気信号に変換す
   る光電変換手段と、光電変換手段によつて得られる電気
   信号を、画像処理して各リードの曲り検査を行なう画像
   処理検査手段とを備え、前記画像処理検査手段において
   は、前記搬送手段の搬送レール上での被検査半導体装置
   の搬送方向に対する回転ずれに伴なう誤差を、画像中の
   各リードの先端部相互間の間隔を計測して、この計測値
   が特定の範囲内にあるものゝ平均値を求めて補正すると
   共に、計測値から平均値を差し引いた値を判定して、各
   リードの曲り検査をなすことを特徴とする半導体装置に
   おけるリードの曲り検査方法。