JPS6311611B2 - - Google Patents

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JPS6311611B2
JPS6311611B2 JP13985086A JP13985086A JPS6311611B2 JP S6311611 B2 JPS6311611 B2 JP S6311611B2 JP 13985086 A JP13985086 A JP 13985086A JP 13985086 A JP13985086 A JP 13985086A JP S6311611 B2 JPS6311611 B2 JP S6311611B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
diaphragm
rings
tension
metal diaphragm
protrusion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP13985086A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS61280538A (ja
Inventor
Tsunehiko Nakao
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
YOKOKAWA DENKI KK
Original Assignee
YOKOKAWA DENKI KK
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Publication date
Application filed by YOKOKAWA DENKI KK filed Critical YOKOKAWA DENKI KK
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は圧力計、差圧計等の計器において使用
されるテンシヨン・ダイヤフラムの製造方法に関
する。
一般にこの種のダイヤフラムは、金属ダイヤフ
ラムの端縁を一対のリング間に挾持固定した構造
となつている。そしてこのダイヤフラムは、微小
な圧力変化に対して直線性が優れ、かつヒステリ
シスのないセンサとするために、金属ダイヤフラ
ムをたるみのない状態にしておくことが必要であ
つて、同金属ダイヤフラムに当初から所定の張力
を与えておく必要がある。ところで、従来のテン
シヨン・ダイヤフラムの製造方法として、例えば
第1図に示すように、金属ダイヤフラム1をリン
グ2a,2b間に挾持固定し、そしてリング2
a,2b内にこれらリング2a,2bの径よりや
や大径の円盤状の部材3a,3bを圧入し、これ
によりリング2a,2bを拡径して金属ダイヤフ
ラム1に張力を付与する方法が知られている。し
かしながらこの方法においては、張力を付与する
ための部材3a,3bを必要とするため計器のコ
スト高となると共に計器の構造によつては同部材
3a,3bが計器を構成する他の部材の配置の障
害となる等の欠点かある。また、別の方法とし
て、第2図に示すような金属ダイヤフラム1をリ
ング2a,2bにより挾持固定する構成におい
て、金属ダイヤフラム1とリング2a,2bとを
溶接等により固定する際に、これら各部材を熱処
理することによつて金属ダイヤフラム1に張力を
付与するテンシヨン・ダイヤフラムの製造方法も
提案されている。しかしながらこの方法において
は、金属ダイヤフラム1に付与する張力の大きさ
に限界があると共に計器の量産に際してその生産
性が極めて低いという欠点がある。
更に他の方法として、実公昭39−33474号公報
に示される方法がある。この方法では、一対のフ
ランジ面に山形の環状突起と環状凹溝を設けて、
一方のフランジの突起と他方のフランジの凹溝と
を対向せしめ、各フランジ間に感圧用の金属薄膜
を挾持させ該金属薄膜を両フランジで圧着するこ
とにより形成し、該薄膜外周縁を両フランジの外
周縁部と共に溶接したものである。
しかしながら、この方法では、突起と凹溝とを
合致させて前記薄膜を展張した後、薄膜外周縁を
両フランジと共に溶接するものであり、前記薄膜
は何等拘束されない状態で展張されるため、前記
突起と凹溝とを合致させたとき、前記薄膜の外縁
部が内側に引きずり込まれ、前記薄膜を充分展張
させることが出来ない。
本発明は上記した事情に鑑み、安価に製造が出
来、必要とされる張力を付与することが出来、且
つ製造が容易で量産性に優れたダイヤフラムの製
造方法を提供するもので、一対のリングに互いに
雄雌嵌合しうる突出部と切欠部とを形成し、両リ
ングの嵌合に先立つてこれらリングのいずれか一
方の前記突出部または切欠部の外側部分に金属ダ
イヤフラムの縁部を固定し、これらリングの前記
突出部と切欠部の間に前記金属ダイヤフラムの端
縁部を介在させて嵌合して、前記金属ダイヤフラ
ムを前記一対のリング間に挾持固定したことにあ
る。
以下、本発明の実施例を第3図ないし第6図を
参照して説明する。
第3図は本発明の製造方法を実施したテンシヨ
ン・ダイヤフラムAの縦断面図であつて、この図
において符号11は金属ダイアフラム、12,1
3は金属ダイアフラム11の端縁を挾持固定する
リングである。金属ダイアフラム11は、洋銀、
銀、エルジロイ、黄銅、りん青銅等からなる金属
薄板を円形に切截してなるものであつて、後述す
るようにリング12,13間に固定されたもので
ある。リング12,13は、互いにその内外径が
同一寸法に形成された金属製のリングである。そ
してこの場合リング12には、その下端部の内面
12a側に環状の突出部14が形成されている。
またリング12bには、その内面13aの上端部
に切欠部15が形成されている。この構成におい
て突出部14の突出寸法l1と切欠部15の深さl2
とは等しく設定されており、突出部14の外径l3
と切欠部15の内径l4とはl3よりl4が僅か大きめ
の寸法に設定されている。
上記のダイヤフラムAを組立てる場合には、第
4図に示すように、まずリング12bの上面に金
属ダイヤフラム11を載置し、そして金属ダイヤ
フラム11の端縁をリング12bの上面、すなわ
ち切欠部15の外側に位置する上面にスポツト溶
接、アーク溶接、レーザー溶接、電子ビーム溶接
等によつて溶接し固定する。この場合ダイヤフラ
ムAの使用目的によつては、金属ダイヤフラム1
1の端縁全周部をリング11bに固定すること自
体で金属ダイヤフラム11の上側、下側間の気密
状態を確保することができる。次いでリング12
aの突出部14を、金属ダイヤフラム11を中に
挾んで同金属ダイヤフラム11の縁部を塑性変形
させつつリング13の切欠部15内に嵌入させ
る。この場合金属ダイヤフラム11、リング12
a,12bの各部材は、突出部14を中にダイヤ
フラム11を介在させて切欠部15に圧入するだ
けで互いに固定されるが、更にこれらを組立てた
後に溶接すればより強固な固定状態を得ることが
できる。このようにして製造されたダイヤフラム
Aは、外周縁部が塑性変形されることによつてリ
ング12a,12bの内部に位置する部分に充分
な張力が付与されることになる。この場合金属ダ
イヤフラム11に付与される張力の大きさは、こ
の金属ダイヤフラム11の材料の性質と塑性変形
量で決定される。したがつて上記のダイヤフラム
Aにおいては、金属ダイヤフラム11の材料を適
宜選択したり寸法l1〜l4(特にl1、l2)の大きさを
適宜設定することにより計器の仕様に応じた張力
を得ることができる。
また、第5図は本発明の方法を実施した他の実
施例を示すテンシヨン・ダイヤフラムBの縦断面
図であり、第6図は同ダイヤフラムBの製造過程
を示す説明図である。この実施例において第3
図、第4図に示す実施例と異る点は、リング12
aの突出部14をリング12a下面の中央部に形
成し、リング12bの切欠部(この実施例におい
いては溝)15をリング12b上面の中央部に形
成したことである。この実施例においても上述し
た実施例と同様にしてダイヤフラムBを製造する
ことができ、金属ダイヤフラム11に所望の張力
を付与することができる。
以上の説明から明らかなように、この発明によ
れば、金属ダイヤフラムの端縁を一対のリング間
に挾持固定してなるテンシヨン・ダイヤフラムの
製造方法において、金属ダイヤフラムに必要とさ
れる張力を容易に付与することができ、構成が簡
単で安価に得られ、しかも製造が容易で量産性に
優れる等の効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図、第2図はいずれも従来方法の説明図、
第3図ないし第6図はこの発明の実施例を示し、
第3図はこの発明の方法を実施したテンシヨン・
ダイヤフラムAの縦断面図、第4図は同テンシヨ
ン・ダイヤフラムAの製造方法の説明図、第5図
はこの発明の方法を実施した他の実施例であるテ
ンシヨン・ダイヤフラムBの縦断面図、第6図は
同テンシヨン・ダイヤフラムBの製造方法の説明
図である。 A,B……テンシヨン・ダイヤフラム、11…
…金属ダイヤフラム、12,13……リング、1
4……突出部、15……切欠部。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 一対のリングに互いに雄雌嵌合しうる突出部
    と切欠部とを形成し、両リングの嵌合に先立つて
    これらリングのいずれか一方の前記突出部または
    切欠部の外側部分に金属ダイヤフラムの縁部を固
    定し、これらリングの前記突出部と切欠部の間に
    前記金属ダイヤフラムの端縁部を介在させて嵌合
    し、前記金属ダイヤフラムを前記一対のリング間
    に挾持固定したことを特徴とするテンシヨン・ダ
    イヤフラムの製造方法。
JP13985086A 1986-06-16 1986-06-16 テンシヨン・ダイヤフラムの製造方法 Granted JPS61280538A (ja)

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JPS61280538A JPS61280538A (ja) 1986-12-11
JPS6311611B2 true JPS6311611B2 (ja) 1988-03-15

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005524081A (ja) * 2002-04-30 2005-08-11 バクスター インターナショナル インコーポレイテッド 圧力センサ膜を密封するための装置および方法

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