JPS63100998A - 超純水の製造方法 - Google Patents
超純水の製造方法Info
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Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はセルロース系誘導体からなる半透膜を利用した
超純水の製造方法に関する。
超純水の製造方法に関する。
[従来の技術]
近年、電子工業、製薬工業、バイオメディカル産業など
の先端産業においては、集積回路および関連品の洗浄水
、輸液、薬品製造用水、メディカル製品洗浄水、微生物
および細胞培益供給水などの用途のために高純度の精製
水、すなわち超純水が多足に必要となってきている。こ
のような目的のための超純水の製造法として、脱法を利
用するプロセスが次第に主流の方法になってぎている。
の先端産業においては、集積回路および関連品の洗浄水
、輸液、薬品製造用水、メディカル製品洗浄水、微生物
および細胞培益供給水などの用途のために高純度の精製
水、すなわち超純水が多足に必要となってきている。こ
のような目的のための超純水の製造法として、脱法を利
用するプロセスが次第に主流の方法になってぎている。
一般に脱法では、原水の濁質やコロイド物質を凝集、沈
澱、および;濾過等の前処理をした後、逆浸透膜、限外
;濾過膜、イオン交換膜などの半透膜を通すことにより
、残留する塩類、溶存有機物質、微粒子、および生菌等
を除去して超純水を得ている。また原水中の生菌を殺菌
し、プロセスの滅菌状態を維持する目的で前処理時おる
いは前処理復に滅菌剤を添加することが行なわれている
。
澱、および;濾過等の前処理をした後、逆浸透膜、限外
;濾過膜、イオン交換膜などの半透膜を通すことにより
、残留する塩類、溶存有機物質、微粒子、および生菌等
を除去して超純水を得ている。また原水中の生菌を殺菌
し、プロセスの滅菌状態を維持する目的で前処理時おる
いは前処理復に滅菌剤を添加することが行なわれている
。
滅菌剤としては通常、安価で滅菌効果の効率の高い次亜
塩素酸ナトリウムが最も用いられている。
塩素酸ナトリウムが最も用いられている。
[発明が解決しようとする問題点]
しかしながら、超純粋の純度に対する要求が厳しくなり
前処理技術が向上し、特に、イオン交換処理1多の情フ
2水などを次亜塩素酸ナトリウムなどで滅菌した場合、
水中の右は成分帛が少ないため、通常耐塩素性がおると
いわれているセルロース系半透膜においても膜が滅菌剤
によって酸化分解を受け、その結果、膜性能が急激に低
下するという問題を有する。そのため滅菌効果を多少犠
牲にしても間欠的添加法や滅菌剤)農度を低下させるな
ど滅菌剤の使用量を減少させるという以外に有効な対策
がないのが現状でおる。
前処理技術が向上し、特に、イオン交換処理1多の情フ
2水などを次亜塩素酸ナトリウムなどで滅菌した場合、
水中の右は成分帛が少ないため、通常耐塩素性がおると
いわれているセルロース系半透膜においても膜が滅菌剤
によって酸化分解を受け、その結果、膜性能が急激に低
下するという問題を有する。そのため滅菌効果を多少犠
牲にしても間欠的添加法や滅菌剤)農度を低下させるな
ど滅菌剤の使用量を減少させるという以外に有効な対策
がないのが現状でおる。
[問題点を解決するための手段]
本発明は、かかる従来技術の欠点を解消するために下記
の描成を右する。
の描成を右する。
「原水に下記イ、口の処理を施した後、半透膜に供給す
ることを特徴とする超純水の製造方法。
ることを特徴とする超純水の製造方法。
イ、イオン交換処理
口、窒素を含rgする滅菌剤の添加」
ここで、セルロース系誘導体からなる半透膜とは、セル
ロースおよびセルロースアセテ−1−、セルロースブチ
レート、メチルセルロース、エチルセルロースなどを主
要なポリマー成分として製膜される半透膜をいい、その
装膜法などは問わない。
ロースおよびセルロースアセテ−1−、セルロースブチ
レート、メチルセルロース、エチルセルロースなどを主
要なポリマー成分として製膜される半透膜をいい、その
装膜法などは問わない。
超純水製造プロセスに利用される半透膜としては、逆浸
透膜、限外シ濾過模、イオン交換膜などがおり、種々の
膜素材からなる半透膜が使用されている。
透膜、限外シ濾過模、イオン交換膜などがおり、種々の
膜素材からなる半透膜が使用されている。
本発明は、膜素材としてセルロース系誘導体からなる半
透膜に対して特に有効でおるが、ポリスルホン、ポリア
ミドなどの高分子からなる半透膜、およびポリスルホン
多孔膜性半透膜上に界面手合などによって超薄膜を形成
させて1qられる複合半透膜に対しても有効である。
透膜に対して特に有効でおるが、ポリスルホン、ポリア
ミドなどの高分子からなる半透膜、およびポリスルホン
多孔膜性半透膜上に界面手合などによって超薄膜を形成
させて1qられる複合半透膜に対しても有効である。
膜の形態は、平膜、中空糸膜および環状膜などがあり、
それぞれの膜形態に対応する椙造体すなわち膜ニレメン
1〜に組み立てられ、圧力容器に挿入されて膜モジュー
ルとして超純水にプロセスで使用されるが、本発明ばい
かなる膜形態、膜エレメント形状および膜モジユール形
状のものにも適している。
それぞれの膜形態に対応する椙造体すなわち膜ニレメン
1〜に組み立てられ、圧力容器に挿入されて膜モジュー
ルとして超純水にプロセスで使用されるが、本発明ばい
かなる膜形態、膜エレメント形状および膜モジユール形
状のものにも適している。
イオン交換処理は、通常のイオン交換膜を通すことによ
って行なわれ、特に限定されない。
って行なわれ、特に限定されない。
窒素を含有する滅菌剤の使用について詳細に説明する。
窒素を含む滅菌剤としてはクロラミン、第4級アンモニ
ウム塩、両性界面活性剤などがある。
ウム塩、両性界面活性剤などがある。
ここで、クロラミンとは、アンモニア、アミン類、アミ
ノ酸などの窒素化合物と遊離塩素が結合して生成する物
質を総称していい、食品などの殺菌剤として古くから使
用されている。
ノ酸などの窒素化合物と遊離塩素が結合して生成する物
質を総称していい、食品などの殺菌剤として古くから使
用されている。
第4扱アンモニウム塩の例としては、アルキルジメチル
エチルアンモニウムクロライド(ブロマイド)、セチル
ジメチルエチルアンモニウムクロライド、アルキルトリ
メチルアンモニウムクロライド(ブロマイド)、セチル
トリメデルアンモニウムクロライドくブロマイド)、ア
ルキルジメチルベンジルアンモニウムクロライド、セチ
ルジメチルベンジルアンモニウムクロライドなどを上げ
ることができる。
エチルアンモニウムクロライド(ブロマイド)、セチル
ジメチルエチルアンモニウムクロライド、アルキルトリ
メチルアンモニウムクロライド(ブロマイド)、セチル
トリメデルアンモニウムクロライドくブロマイド)、ア
ルキルジメチルベンジルアンモニウムクロライド、セチ
ルジメチルベンジルアンモニウムクロライドなどを上げ
ることができる。
また、両性界面活性剤とは、1個の分子中に陰陽両イオ
ンに荷電し1nる界面活性剤をいい、その例としては、
ドデシルージ(アミノエチル)グリシン・塩醒を上げる
ことができる。
ンに荷電し1nる界面活性剤をいい、その例としては、
ドデシルージ(アミノエチル)グリシン・塩醒を上げる
ことができる。
さらに、股法による超純水製造プロセスにおいて滅菌剤
を用いろ場合、滅菌剤が膜を通過すると得られる超純水
の水71の低下につながる。従って、使用する滅菌剤の
分子量は高い方が好ましく、通常、逆浸透膜を用いる場
合は、分子量が200以上、好ましくは500以上、さ
らに好ましくは1000以上である。
を用いろ場合、滅菌剤が膜を通過すると得られる超純水
の水71の低下につながる。従って、使用する滅菌剤の
分子量は高い方が好ましく、通常、逆浸透膜を用いる場
合は、分子量が200以上、好ましくは500以上、さ
らに好ましくは1000以上である。
このJ:うな高分子量のクロラミンとしては、例えば、
分子量がh1oo以上のポリエチレングリコールの両末
端の水酸基をシアノエチル化し、さらに還元して1qら
れるジアミン、または、アリルアミンをラジカル車台し
て得られるポリアミンなどと遊¥!AfL塩素の反応に
よって)7ることができる。
分子量がh1oo以上のポリエチレングリコールの両末
端の水酸基をシアノエチル化し、さらに還元して1qら
れるジアミン、または、アリルアミンをラジカル車台し
て得られるポリアミンなどと遊¥!AfL塩素の反応に
よって)7ることができる。
次に、これらの滅菌剤を用いた場合の滅菌糸作について
述べる。
述べる。
添加方法は、滅菌状態を維持するのtこ必要な最低濃度
以上であればよいが、これは滅菌剤の強さによっても異
なる。通常、これらの窒素含有滅菌剤の滅菌力は、次亜
塩素酸す1ヘリウムなどの遊離塩素系に比べて小さい。
以上であればよいが、これは滅菌剤の強さによっても異
なる。通常、これらの窒素含有滅菌剤の滅菌力は、次亜
塩素酸す1ヘリウムなどの遊離塩素系に比べて小さい。
例えば、クロラミンの2合、次亜塩素酸すl〜ツリウム
同等の滅菌力/!持たせるには4〜20倍の添加量か好
ましい。
同等の滅菌力/!持たせるには4〜20倍の添加量か好
ましい。
添加方法は、連続注入、間欠注入いずれの方法でもよい
。
。
またクロラミンの場合、添加口、1に、滅菌剤として調
整したクロラミンを添加する方法と、遊離塩素系滅菌剤
を添haし、その前、同時、あるいは後にアンモニア、
アミン類、アミノ酸などの窒素化合物を添加してクロラ
ミンを精製させる方法のどちらも可能である。
整したクロラミンを添加する方法と、遊離塩素系滅菌剤
を添haし、その前、同時、あるいは後にアンモニア、
アミン類、アミノ酸などの窒素化合物を添加してクロラ
ミンを精製させる方法のどちらも可能である。
[実施例]
本発明を以下の実施例および比較例で説明する。
なお、遊離塩素足の測定は白金電極上での遊離塩素の還
元反応を利用する測定方法を用いたく使用機器:携帯用
残留塩素計「肋dcl RC−3T (バイオニクス
別器株式会礼装)」。また膜性能は150o ppmの
食塩を含む食塩水を30 Kg/ +Jで加圧し、流速
8m/分で膜面に流して測定した。
元反応を利用する測定方法を用いたく使用機器:携帯用
残留塩素計「肋dcl RC−3T (バイオニクス
別器株式会礼装)」。また膜性能は150o ppmの
食塩を含む食塩水を30 Kg/ +Jで加圧し、流速
8m/分で膜面に流して測定した。
実施例1
酢酸セルロース系逆浸透膜(塩排除率 97.0%)を
評価装置にセットし、以下の実験を行なった。
評価装置にセットし、以下の実験を行なった。
イオン交換処理した水をタンクに入れ、さらにクロラミ
ンT(ソジウム p−トルエンスルフォンクロルアミド
)をiooppm添加した(遊離塩素深度:”+opp
m>、この水を20 k(]/ ciで加圧し、5fl
/分の流速で膜面に供給した。
ンT(ソジウム p−トルエンスルフォンクロルアミド
)をiooppm添加した(遊離塩素深度:”+opp
m>、この水を20 k(]/ ciで加圧し、5fl
/分の流速で膜面に供給した。
このように滅菌条件を保ち、200 時間運転を行なっ
た後の塩排除率は96.9%であり、はとんど初期性能
を維持していた。
た後の塩排除率は96.9%であり、はとんど初期性能
を維持していた。
比較例1
実施例1において、クロラミンTのかわりに次亜塩素酸
すトリウムを遊離塩素が1oppmとなるように添加し
た以外の条件は実施例1と同様にして滅菌条件下で20
0時間運転を行なった後の塩排除率は73.9%となり
大幅に低下した。
すトリウムを遊離塩素が1oppmとなるように添加し
た以外の条件は実施例1と同様にして滅菌条件下で20
0時間運転を行なった後の塩排除率は73.9%となり
大幅に低下した。
実施例2
実施例1においてクロラミン下のかわりにセチルジメチ
ルエチルアンモニウムクロライドを10o ppm添加
し、その他の条件は実施例1と同様にして滅菌条件下で
200時間運転を行なった後の塩排除率は97.0%と
初期性能を維持していた。
ルエチルアンモニウムクロライドを10o ppm添加
し、その他の条件は実施例1と同様にして滅菌条件下で
200時間運転を行なった後の塩排除率は97.0%と
初期性能を維持していた。
実施例3
ポリスルフォンL[上にポリエチレンイミンとトルエン
ジイソシアネートとの界面重合によって形成さけた複合
膜について実施例1と同じ条件で運転を行なった結果、
初期の膜性能は維持されていた。
ジイソシアネートとの界面重合によって形成さけた複合
膜について実施例1と同じ条件で運転を行なった結果、
初期の膜性能は維持されていた。
[発明の効果]
本発明は、半透膜を用いた超純水製造プロセスにおいて
、原水にイオン交換処理を行なうとともに、滅菌剤とし
て窒素分有滅菌剤を使用することによって、膜性能の低
下を押え、それに伴うトラブルをなくし、プロセスの長
期安定運転を可能にするものである。
、原水にイオン交換処理を行なうとともに、滅菌剤とし
て窒素分有滅菌剤を使用することによって、膜性能の低
下を押え、それに伴うトラブルをなくし、プロセスの長
期安定運転を可能にするものである。
Claims (3)
- (1)原水に下記イ、ロの処理を施した後、半透膜に供
給することを特徴とする超純水の製造方法。 イ、イオン交換処理 ロ、窒素を含有する滅菌剤の添加 - (2)半透膜がセルロース系誘導体からなる半透膜であ
ることを特徴とする特許請求の範囲第(1)項記載の超
純水の製造方法。 - (3)滅菌剤がクロラミンであることを特徴とする特許
請求の範囲第(1)項記載の超純水の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61245384A JPS63100998A (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | 超純水の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61245384A JPS63100998A (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | 超純水の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63100998A true JPS63100998A (ja) | 1988-05-06 |
JPH0432713B2 JPH0432713B2 (ja) | 1992-06-01 |
Family
ID=17132856
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61245384A Granted JPS63100998A (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | 超純水の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63100998A (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2012057188A1 (ja) * | 2010-10-29 | 2012-05-03 | 東レ株式会社 | 造水方法および造水装置 |
KR20180008502A (ko) | 2015-05-20 | 2018-01-24 | 쿠리타 고교 가부시키가이샤 | 역침투막의 세정제, 세정액, 및 세정 방법 |
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-
1986
- 1986-10-17 JP JP61245384A patent/JPS63100998A/ja active Granted
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KR20180008502A (ko) | 2015-05-20 | 2018-01-24 | 쿠리타 고교 가부시키가이샤 | 역침투막의 세정제, 세정액, 및 세정 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0432713B2 (ja) | 1992-06-01 |
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