JPS6236883A - オプテイカルアイソレ−タの製造方法 - Google Patents

オプテイカルアイソレ−タの製造方法

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JPS6236883A
JPS6236883A JP61149299A JP14929986A JPS6236883A JP S6236883 A JPS6236883 A JP S6236883A JP 61149299 A JP61149299 A JP 61149299A JP 14929986 A JP14929986 A JP 14929986A JP S6236883 A JPS6236883 A JP S6236883A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、オプティカルアイソレータ(フォトカブラ)
の製造方法に係り、特に標準的なリードフレームを用い
て、オプティカルアイソレータを容易に製造することが
でき、量産に適したオプティカルアイソレータの製造方
法に関する。
〔従来技術及びその問題点〕
オプティカルアイソレータは、電子回路中において、入
出力間の電圧・電流分離を維持しながら、順方向の信号
の伝達を可能にするために使用される。このようなオプ
ティカルアイソレータは、入力側の発光ダイオード(L
ED)、出力側のフォトダイオード、及び該L E D
とフォトダイオードとを分離する光透過性の高耐圧絶縁
ギャップからなる。最適のアイソレータ性能を得るため
には、アイソレーションギャップ(絶縁ギャップ)の寸
法及びL E Dとフォトダイオードとの配列を製造の
間正確に維持する必要がある。
オプティカルアイソレータの製造を自動化しよう従来技
術の1つは、特開昭58−95879に記載され、また
第1A図乃至C図に図示したようにLEDリード及びそ
れと別個のLEDボンドリードを2箇所の90°折り曲
げ工程でフォトダイオード上の領域に折りたたむことに
よって、LBDとフォトダイオードとを対向させるもの
である。
このようなリードフレームの折り曲げ技術を使用するこ
とによって、アイソレータの組み立て時間は減少するが
、別々の軸にそった折り曲げを行う装置が要求され、ま
た折り曲げの配置の誤差力月。
EDとフォトダイオードとの整列の精度に影ビすること
があった。L E DリードとL E Dポンドリード
とが確実に固着されないため、またL E Dダイスと
フォトダイオードダイスとの間の絶縁シートが決まった
位置に固定されず、LEDボンドワイヤ、及びフォトダ
イオードボンドワイヤにもたれかかりそれらを損傷させ
るため、折りたたみ中ボンドワイヤの損傷がおこること
があった。また、米国特許第3925801号に記載さ
れ、第2図に示されているように、多くの従来例におけ
る絶縁ギヤ・ツブの寸法は、LEDとフォトダイオード
との間に配置された絶縁シートの厚さによって決定され
る。製造中このようなシートの挿入を行うと、しばしば
ボンドワイヤの損傷が生じた。
〔発明か解決しようとする問題点〕
本発明は、上記した従来技術の欠点を除くためになされ
るものであって、その目的とするところは、標準的な形
状のリードフレームを用いて、オプティカルアイソレー
タ (フォトカプラ)を容易に製造、量産することがで
きるようにすることである。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の好ましい実施例では、まず、次のようなリード
フレームを形成する。即ち、発光素子の一例たる発光ダ
イオードを取り付けるLED取付部、及び受光素子の一
例たるフォトダイオードを取り付けるフォトダイオード
取付部を設け、再取付部のいずれか一方を捻転可能なヒ
ンジピンによって回転可能に支持するような形状とする
。LEDグイ及びフォトダイオードダイの取り付は及び
ワイヤボンディングを行う前に、リードフレームのLE
D取付部及びフォトダイオード取付部の一部に′リード
フレームの他の部分の面に対して下段に位置する段違い
面を形成する。LEDダイ及びフォトダイオードダイの
の取り付は及びワイヤボンディングの終了後、リードフ
レームの発光素子取付部全体を、受光素子取付部と同一
平面となるまで、一対のヒンジピンを軸として180°
回転させ、反転させる。反転が終わった後、ヒンジピン
をスタンピング加工し、回転の済んだLED取付部が弾
性により逆回転するのを防ぐ。LEDリード及びフォト
ダイオードリードの外側の表面に取り付けられた2枚の
絶縁シートの間に透明な樹脂を注入し、L E Dとフ
ォトダイオードとの間の光路を形成する。オプティカル
アイソレータをカプセル封じし、出っ張ったリードを切
断して所望の最終パッケージ形状とする。本発明の別の
好適実施例では、絶縁シートをLEDリード、フォトダ
イオードリードのいずれかの外側の表面に取り付け、も
う一枚の絶縁シートをLEDダイとフォトダイオードダ
イとの間に配置する。該LEDダイとフォトダイオード
ダイとの間に配置されたシートは、外側の表面に取り付
けられたシートに載り、またダイ及びボンドワイヤに対
する損傷が避けられるような角度で2つのダイ間に延設
される。
〔実施例〕
以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて説明する。
第1図及び第2図は、従来技術により製造されるオプテ
ィカルアイソレータを示している。
第1A図〜第1C図は、2つの90°折り曲げ工程を示
す。これは米国特許第4446375号に記載され、L
EDとフォトダイオードとを配列させるために従来のオ
プティカルアイソレータの製造において用いられている
。第2図は米国特許第3925801号に記載されたオ
プティカルアイソレータを示し、L E Dとフォトダ
イオードとの間にはさまれた単一の絶縁シートの厚さに
よってアイソレーションギャップの寸法が決定される。
第3図は、本発明の好適実施例によるオプティカルアイ
ソレータの組み立てに用いるため形成するリードフレー
ム1を示している。リードフレーム1は、0.010イ
ンチ(0,0254cm)厚で、周知の方法によって合
金42(42χニツケル、58χ鉄)から作られる。斜
線で示した部分は金めつきを施し、後のダイ取付、ワイ
ヤボンド作業を容易にする。図面を見易くするために、
これらのめっきされた領域は他の図面には図示しない。
リードフレーム1は、長さが約8.4インチ(24,3
cm) 、幅が1インチ(2,54cm)で、縦方向に
延設されたサイドレール3及び5により縦方向の構造的
な支持がなされる。所定間隔毎に複数設けられたタイレ
ール23は、リードフレーム1の横方向の構造的な支持
を行う。
発光素子取付部の一例たるLED部11が10個、受光
素子取付部の一例たるフォトダイオード部13が10個
、それぞれ交互にリードフレーム1上に配列されており
、各部はアーム17、シート19をはさんで同一の左右
部に分割されている。LED部11は、捻転可能なレー
ルの一例たるヒンジピン31.33によってサイドレー
ル3,5に取り付けられており、該ヒンジピン31,3
3は、幅が0.14インチ (0,3556cm) と
なっている。フォトダイオード部13はダムバ一端35
.37によってサイドレール3,5に取り付けられてい
る。
製造中、L E D部とフォトダイオード部13との左
側の各部は、組み合わされて1個のオプティカルアイソ
レータを形成する。右側の各部も同様にして組み合わさ
れ、1個のオプティカルアイソレータとなる。1つのリ
ードフレームには、標準的な集積回路の8リードパツケ
ージ形状に形成されたオプティカルアイソレータが、2
0個形成される。
第4A図及び第4B図は、本発明によるオプティカルア
イソレータの製造において実施される多数の組立工程の
フローチャートである。次に、1個のオプティカルアイ
ソレータ103の組立工程を1工程毎に、第5図〜第1
1図に基づいて説明する。自動組立の間には、リードフ
レーム1上の全てのオプティカルアイソレータが連続的
に製造される。
第5図は、取付部81.83をサイドレール3゜5の面
から一段下げるダウンセット工程41の実施後のリード
フレーム1を示す。尚、互いに一体的に延設された段違
い面を形成する段付は加工を本明細書では、ダウンセッ
トと称する。ダウンセット作業は、周知のプレス技術を
用いて容易に行うことができ、またダウンセットの量は
、絶縁ギャップ(アイソレーションギャップ)の寸法を
設定するために前もって決定される。好適実施例におい
て。絶縁ギャップを0.010インチ(0、04826
cm )の寸法だけ段か付けられている。但し、ダウン
セントの寸法は、L E Dダイ及びフォトダイオード
ダイの厚さに応じて変わる。着座領域の一例たるシーI
・19は、アーム17の厚さに等しい量、即ち0.01
00インチ(0,0254crn)  だけダウンセッ
トし、L E D部11を回転(反転)させた後には、
アーム17がシート19の下段部分に載り、LED部1
1がフォトダイオード部13と同一平面」二に揃うよう
になっている。LED部11の回転が完了した後、2つ
の取付部81及び83は、サイドレール3,5の上下に
該号イドレール3,5の上面及び下面からそれぞれ等距
離に配置される。
第6図はダイ取付、ワイヤボンド作業がリードフレーム
1上に従来の方法で実施される工程43及び45を示す
。LEDダイ91及びオプションたるバッファダイ93
がLEDダイリード95に取り付けられ。フォトダイオ
ードダイ97がフォトダイオードリード99に取り付け
られる。種々のボンドワイヤが必要に応じて図示の他の
リードに取り付けられる。LED91は、たとえば米国
特許第3836793号に記載された形式の高速GaA
sPデバイスである。LED91は約0.006インチ
(0,01524cm) の厚さ、フ11−ダイオード
97は0.012インチ(0、03048cm )の厚
さを有している。
第7図は、第4B図のフローチャートにおいて詳細に示
されている組み合わせ工程47の一番始めの工程を示し
ている。よりわかり易くするため、第7図乃至第9図に
は、リードフレーム1の左側部だけを示している。組み
合わせ作業工程61では、LED部11のタイレール2
1がサイドレール3,5の両方から切断される。これに
よってLED部11は、横方向に位置するヒンジピン3
1゜33のみに取り付けられた状態となり、そのヒンジ
ピンを軸とする縦方向の回転が可能になる。フォトダイ
オード部13のダムバ一端35及び37は切断されない
ので、フォトダイオード部13はサイドレール3,5に
固定されたままとなる。
工程63では、第7図に示すように、LED部11が、
ヒンジピン3L33を軸として上方に約15°回転する
。工程64乃至69の回転運動は、使用される特定の組
み合わせ装置の必要に応じ単一の工程によっても、複数
の工程によっても実施することができる。リードフレー
ム1は、標準的な8リードパツケージ用に形成されるの
で、標準的な集積回路製造装置を用いることができる。
当業者か、L E D部11を回転させる代わりにフォ
トダイオード部13を回転させることができるようにリ
ードフレーム1を再構成することが可能であることは勿
論である。
第8図は、LED部11をサイドレール3.5の面に対
して約90°回転させる工程65を示している。工程6
7 (図示せず)では、LED部11は約165°回転
させられる。好適実施例において用いられている複数の
工程ではなく一回の工程で180  °全部を回転させ
ることができることは勿論である。
第9図は、組立装置の圧力パッドが、LED部11をサ
イドレール3,5及びフォトダイオード部13と同一面
の180°回転した位置に押し付ける工程69を示して
いる。この時点で、アーム17はシート19の下段領域
に着座し、リードフレーム1が偶然なにかに衝突するよ
うなことがあっても、2つのダイに対する損傷は避ける
ことができる。アーム17とシート19は、互いにスポ
ット溶接により固着され、これによりトランスファ成形
を行う際に、より構造的に安定となる。従来例のあるも
のとは異なって、アイソレーションギャップの寸法がダ
イ91と97との間の絶縁シートの圧縮によって設定さ
れるものではないから、ダイ91.97の損傷は起こら
ない。
LED部11が弾性により逆回転しないように、2つの
ヒンジピン3]、、33はスタンピングにより平らにさ
れる。各ヒンジピン31,33の幅は、スェージ加工を
なしうるようにサイドレール3゜5の厚さより大きくな
ければならない。しかし、ヒンジピン31.33の幅は
、スタンピング中に材料の冷間流動が過剰に起こり、リ
ードフレーム1の一部が歪んで変形が生じる程太き(で
はならない。好適実施例では、0.12インチ(0,3
048am)乃至0.16インチ(0,4064cm)
の範囲の幅を用い、サイドレールの厚さの160%とし
ている。
第10図は、工程47の終了後のオプティカルアイソレ
ータ103の拡大断面図である。LED91はアイソレ
ーションギャップ101をはさんでフォトダイオード9
7の上に正確に配置される。
アイソレーションギャップ101の寸法は、取付部81
.83及びシート19のダウンセット量並びにダイス9
1.97の厚さによって工程41で決定される。リード
95.99は同一面上にあるので、工程53において標
準的なトランスファ成形装置を用いることができ、成形
中におけるボンドリード上のフラッシングが除去される
次に第11図を参照しながら、オプティカルアイソレー
タ103の最終パッケージが行われる工程49乃至55
を説明する。工程49では、2つの絶縁性シート111
,113がリード95及び99の外表面に取り付けられ
る。シート111゜113は、0.0028インチ(0
,007112cm)厚の市販のデュポン社カプトンテ
ープ(0,1インチ(0,254Cm)四方に切断され
、片面に接着剤が塗布されている。
)のような任意の非導電材料からつくることができる。
工程51では、ダウコーニング社ハイペックQ1493
9半導体保護コーティングのような、光透過性シリコン
樹脂がシーi−111と113との間のアイソレーショ
ンギャップ101に注入され、光路(光ガイド)が形成
される。表面張力を用いて、シー1−111,113は
、樹脂の流れを所定の位置に限定し、樹脂が流れ過ぎて
しまうことによって、オプティカルアイソレータ103
が構造的に弱くなるのを防いでいる。樹脂は、ダイス9
1,93.97の光路115内へのカプセル封じを効果
的にし、それにより、熱ショック又は温度サイクルによ
ってオプティカルアイソレータ103が劣化する危険を
減少させる。
工程53では、標準的なトランスファ成形技術を用いて
、不透明なパッケージ117 (例えば、日東電気工業
社MP−101,3)ランスファ成形混合物)にオプテ
ィカルアイソレータ103をカプセル封じする。最後に
、ステップ55で、シード95及び99を含むすべての
リードをサイドレール3,5から切断し、タイレール2
1.23をよびリードは所望のパッケージ形状に曲げら
れる。
第12図は本発明の別実施例を示す。これでは、絶縁シ
ート131がダイス9’l、97間のアイソレーション
ギャップ101内に配置されている。
第13図は、第4A図のフローチャー1・と共通するい
くつかの工程を含む、第12図に示すオプティカルアイ
ソレータ121の組み立てのフローチャートである。工
程151では、第11図に示したシー1−113または
他の剛体材料シートをシー1−113の上表面上の接着
層を用いてリード99に取り付ける。工程153では第
2の絶縁シート131をダイ97の上に配置し、シート
113の端部に接触させ、その上の接着層に接着させて
シート131がボンドワイヤからはなれるように折り曲
げてボンドワイヤの損傷をさけるようにする。
シート131の傾斜をつけた折り曲げによりシート13
1とダイ97との間にくさび形の隙間を形成し、その中
に樹脂133を光をフォトダイオ−ドダイ97に伝播さ
せるのに所望の位置に注入する。シート131は、0.
125インチ四方の寸法で、デュポン社FEP No、
200G2材料の一片でつくられる。
工程155、で、第11図を参照しながら説明した樹脂
133をシート131とダイ97との間に注入し、工程
157で、樹脂を簡単に硬化させ、ゲル濃度とする。工
程47の組み合わせ作業によってダイス91.97が損
傷することはない。これは、アイソレーションギャップ
101の寸法を決めるのはダウンセントの量であり、従
来技術によってしばしば行われていたようなダイス91
゜97間のシート131の圧縮によって決まるものでは
ないからである。シート131がシート113及びダイ
ス97の端部に接触し、それによって一定角度傾斜して
ボンドワイヤに接触しないようになっているので、ボン
ドワイヤの損傷が避けられる。工程161では、追加の
樹脂133がシー1−1.31及びダイ91の間に注入
される。その樹脂は工程163で所定のゲル濃度まで硬
化させ、工程165において最後の工程53.55を実
施する前に完全に硬化させる。
シート131は、樹脂133より大きな耐圧を有してい
るので、オプティカルアイソレータ121の耐圧を増大
させる効果を有する。それはまた、樹脂133と成形混
合物117との間の界面に存在する空隙の長さを増大さ
せるように作用し、樹脂133内の空気泡の効果を最小
にする。シート131は曲げられているので、樹脂が充
填され、グイ91.97間の光伝播を行う隙間の配置が
正確となる。また、該隙間の形状により、使用する樹脂
131の量を少なくすることが可能となり、これにより
リード95.97を湿らす樹脂量を減少させることがで
きる。リードの水分量の減少よって、オプティカルアイ
ソレータ121の水分の浸透による抵抗特性が良好とな
る。
〔効 果〕
本発明は、上記のように構成され、作用するものである
から、捻転可能なヒンジピンにより回転可能に支持され
た発光素子取付部又は受光素子取付部を、該ヒンジピン
を軸として180°回転させることにより発光素子と受
光素子とを対向させているので、1個のリードフレーム
上に発光素子及び受光素子を容易に載置することができ
、素子やボンドワイヤの損傷を減少させながら、容易に
発光素子及び受光素子を対向させることができ、これに
より対向型オプティカルアイソレータの生産性を向上さ
せることができるという効果が得られる。また、リード
フレームの概形の寸法は標準的なものを用いているので
、製造装置も標準的なものを用いることができると言う
効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1A図乃至第2図は従来例に係り、第1A図及び第1
B図及び第1C図は折り曲げリードフレーム構造を有す
るオプティカルアイソレータを示す図、第2図はL E
 D及びフォトダイオードの間に絶縁シートを挿んだオ
プティカルアイソレータを示す図、第3図乃至第12図
は本発明の実施例に係り、第3図はオプティカルアイソ
レータのリードフレームの斜視図、第4A図及び第4B
図はオプティカルアイソレータの製造工程を示す図、第
5図及び第6図及び第7図及び第8図及び第9図は第4
A図及び第4B図に示す工程に従って装造される過程に
おけるオプティカルアイソレータの斜視図、第10図及
び第11図は第4A図及び第4B図に示す工程に従って
□製造されるオプティカルアイソレータの側面図、第1
2図は別実施例にかかるオプティカルアイソレータの一
部断面側面図である。 1:リードフレーム、 3.5:リードフレームを構造的に支持するレールの一
例たるサイドレール、 11:発光素子取付部の一例たるLED部、13:受光
素子取付部の一例たるフォトダイオード部、 17:アーム、 19:着座領域たるシート、 31.33  :捻転可能なレールの一例たるヒンジピ
ン、 81:ダウンセント (段付は加工)により形成された
発光素子取付部の下段、 83:ダウンセット (段付は加工)により形成された
受光素子取付部の下段、 91:発光素子の一例たる発光ダイオード(I、ED)
のグイ、 95:発光素子リードの一例たる■、EDダイリード、 97:受光素子の一例たるフォトダイオードのグイ、 99:受光素子リードの一例たるフォトグイオードダイ
リード、 101:絶縁ギャップ(アイソレーションギャップ)、
115:光路、 111:第1のシート、 113:第2のシート、 133:絶縁シート。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 リードフレーム上に形成されるオプティカルアイソ
    レータの製造方法において、 発光素子取付部と受光素子取付部とを設け、該発光素子
    取付部及び受光素子取付部のうち少なくとも一方の取付
    部の両脇を、捻転可能なレールにより、前記リードフレ
    ームを構造的に支持するレールに接続せしめたような形
    状にリードフレームを形成し、 前記発光素子取付部と前記受光素子取付部とに前記リー
    ドフレームを構造的に支持するレールの面に対して段違
    いの面を形成し、 前記発光素子を前記発光素子取付部の下段の発光素子リ
    ードに取り付け、 前記受光素子を前記受光素子取付部の下段の受光素子リ
    ードに取り付け、 前記発光素子取付部及び前記受光素子取付部のうち一方
    を前記捻転可能なレールを軸として回転させ、前記発光
    素子と前記受光素子とを絶縁ギャップを挿んで対向させ
    、 さらにこれをカプセル封じする工程を含むことを特徴と
    するオプティカルアイソレータの製造方法。 2 前記回転させる取付部は、前記発光素子取付部であ
    ることを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載のオプ
    ティカルアイソレータの製造方法。 3 前記回転させる取付部は、前記受光素子取付部であ
    ることを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載のオプ
    ティカルアイソレータの製造方法。 4 前記リードフレームを構造的に支持するレールは、
    前記リードフレームの縦方向に延設されたサイドレール
    であることを特徴とする特許請求の範囲第1項又は第2
    項又は第3項に記載のオプティカルアイソレータの製造
    方法。 5 前記段違いの面は、前記サイドレールの面とほぼ平
    行に且つ該サイドレールの面から予め決められた距離に
    位置せしめ、該距離は、絶縁ギャップの厚さと、発光素
    子の厚さと、受光素子の厚さとリードフレームの厚さと
    の和の2分の1にほぼ等しくすることを特徴とする特許
    請求の範囲第4項に記載のオプティカルアイソレータの
    製造方法。 6 前記取付部の回転は、ほぼ180°であることを特
    徴とする特許請求の範囲第1項又は第2項又は第3項又
    は第4項又は第5項に記載のオプティカルアイソレータ
    の製造方法。 7 前記捻転可能なレールは、前記サイドレールと面を
    共通し該サイドレールからほぼ直角方向に延設されたヒ
    ンジピンであることを特徴とする特許請求の範囲第4項
    又は第5項又は第6項に記載のオプティカルアイソレー
    タの製造方法。 8 前記取付部を回転させる工程には、前記ヒンジピン
    をスエージ加工する工程を含むことを特徴とする特徴と
    する特許請求の範囲第1項又は第2項又は第3項又は第
    4項又は第5項又は第6項又は第7項に記載のオプティ
    カルアイソレータの製造方法。 9 前記ヒンジピンの幅は、前記サイドレールの厚さよ
    りも広くし、且つ前記サイドレールの厚さの160%以
    下とすることを特徴とする特許請求の範囲第7項又は第
    8項に記載のオプティカルアイソレータの製造方法。 10 前記カプセル封じの工程は、前記発光素子と前記
    受光素子との間の絶縁ギャップに光路を形成する工程を
    含むことを特徴とする特許請求の範囲第1項又は第2項
    又は第3項又は第4項又は第5項又は第6項又は第7項
    又は第8項又は第9項に記載のオプティカルアイソレー
    タの製造方法。 11 前記光路を形成する工程は、前記発光素子の前記
    絶縁ギャップに対向する面に対して反対側の面に第1の
    シートを貼着し、前記受光素子の前記絶縁ギャップに対
    向する面に対して反対側の面に第2のシートを貼着し、
    該第1のシートと第2のシートとの間の隙間に光透過性
    物質を注入して絶縁ギャップを該物質で満たす工程を含
    むことを特徴とする特許請求の範囲第10項に記載のオ
    プティカルアイソレータの製造方法。 12 前記第1のシート及び前記第2のシートは絶縁物
    質からなり、前記光透過性物質は樹脂であることを特徴
    とする特徴とする特許請求の範囲第11項に記載のオプ
    ティカルアイソレータの製造方法。 13 前記取付部の一方には、前記サイドレールと同一
    面にアームを延設形成し、前記取付部の他の一方には着
    座領域を延設形成し且つ前記アームの厚さとほぼ等しい
    厚さだけ前記着座領域に段付けを行い、前記取付部を回
    転させる工程が完了したときに前記アームを前記着座領
    域の下段部に着座せしめることを特徴とする特許請求の
    範囲第1項又は第2項又は第3項又は第4項又は第5項
    又は第6項又は第7項又は第8項又は第9項又は第10
    項又は第11項又は第12項に記載のオプティカルアイ
    ソレータの製造方法。 14 前記アームと前記着座領域とは、互いに固着せし
    めることを特徴とする特許請求の範囲第13項に記載の
    オプティカルアイソレータの製造方法。 15 前記発光素子は、発光ダイオードであり、前記受
    光素子は、フォトダイオードであることを特徴とする特
    許請求の範囲第1項又は第2項又は第3項又は第4項又
    は第5項又は第6項又は第7項又は第8項又は第9項又
    は第10項又は第11項又は第12項又は第13項又は
    第14項に記載のオプティカルアイソレータの製造方法
    。 16 前記受光素子を取り付ける工程と、前記取付部を
    回転させる工程との間には、 第2のシートを、前記受光素子リードの裏側に該発光素
    子リードの端部から外側に広がるように貼着し、 絶縁シートを、前記第2のシートの端部と前記受光素子
    の縁部とに接触させ、該受光素子に対して一定の角度を
    もって被さるように取り付け、 前記絶縁シートの曲がった部分を前記絶縁ギャップ中に
    設ける工程を備えたことを特徴とする特許請求の範囲第
    1項又は第2項又は第3項又は第4項又は第5項又は第
    6項又は第7項又は第8項又は第9項に記載のオプティ
    カルアイソレータの製造方法。 17 前記絶縁シートを取り付ける工程の後には、前記
    絶縁シートと前記受光素子との間の絶縁ギャップに光透
    過性物質を注入する工程を備えたことを特徴とする特許
    請求の範囲第16項に記載のオプティカルアイソレータ
    の製造方法。
JP61149299A 1985-06-25 1986-06-25 オプテイカルアイソレ−タの製造方法 Expired - Lifetime JPH084148B2 (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009071253A (ja) * 2007-09-18 2009-04-02 Fuji Electric Device Technology Co Ltd アイソレータ
US20130175679A1 (en) * 2007-12-13 2013-07-11 Cheng-Hong Su Optoisolator leadframe assembly

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3713067A1 (de) * 1986-09-30 1988-03-31 Siemens Ag Optoelektronisches koppelelement und verfahren zu dessen herstellung
EP0276749A1 (de) * 1987-01-26 1988-08-03 Siemens Aktiengesellschaft Optoelektronisches Koppelelement
US4980568A (en) * 1989-05-22 1990-12-25 Hewlett-Packard Company Optical isolator having high voltage isolation and high light flux light guide
SG52794A1 (en) * 1990-04-26 1998-09-28 Hitachi Ltd Semiconductor device and method for manufacturing same
JPH0749815Y2 (ja) * 1990-07-23 1995-11-13 シャープ株式会社 表面実装型光結合装置
US5329131A (en) * 1991-05-17 1994-07-12 U.S. Philips Corporation Opto-electronic coupler having improved moisture protective housing
JPH0621293A (ja) * 1992-06-29 1994-01-28 Rohm Co Ltd アキシャルリードフレーム
JP4801243B2 (ja) 2000-08-08 2011-10-26 ルネサスエレクトロニクス株式会社 リードフレームおよびそれを用いて製造した半導体装置並びにその製造方法
JP2004087802A (ja) * 2002-08-27 2004-03-18 Fujitsu Ltd 光通信装置
JP4897530B2 (ja) * 2007-03-23 2012-03-14 ルネサスエレクトロニクス株式会社 フォトカプラおよびその組立方法
TWI416684B (zh) * 2010-02-02 2013-11-21 Everlight Electronics Co Ltd 雙邊導線架結構
US20130168553A1 (en) * 2012-01-03 2013-07-04 Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte. Ltd. Thermally-Sensitive Optocoupler
US9029818B2 (en) * 2012-06-21 2015-05-12 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Optoelectronic device and method of manufacture
CN103021892B (zh) * 2012-12-28 2016-05-11 日月光半导体(昆山)有限公司 无外引脚半导体封装构造及其制造方法与导线架条
US10283699B2 (en) * 2016-01-29 2019-05-07 Avago Technologies International Sales Pte. Limited Hall-effect sensor isolator
TWI630430B (zh) * 2017-07-26 2018-07-21 茂達電子股份有限公司 光耦合裝置及其支架模組

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57143889A (en) * 1981-03-02 1982-09-06 Toshiba Corp Photo-coupling semiconductor device
JPS57197880A (en) * 1981-05-29 1982-12-04 Toshiba Corp Photo coupling semiconductor device

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3660669A (en) * 1970-04-15 1972-05-02 Motorola Inc Optical coupler made by juxtaposition of lead frame mounted sensor and light emitter
GB1423779A (en) * 1972-02-14 1976-02-04 Hewlett Packard Co Photon isolators
US3893158A (en) * 1972-03-15 1975-07-01 Motorola Inc Lead frame for the manufacture of electric devices having semiconductor chips placed in a face to face relation
GB1417802A (en) * 1972-03-15 1975-12-17 Motorola Inc Lead frame and process facilitating the manufacture of electric devices having semiconductor chips placed in a face-to-face relation
US3839782A (en) * 1972-03-15 1974-10-08 M Lincoln Method for using a lead frame for the manufacture of electric devices having semiconductor chips placed in a face-to-face relation
DE2304148A1 (de) * 1973-01-29 1974-08-01 Siemens Ag Optoelektronisches bauelement
US4047045A (en) * 1975-03-03 1977-09-06 Paxton Jr Grady W Optical coupler
GB1557685A (en) * 1976-02-02 1979-12-12 Fairchild Camera Instr Co Optically coupled isolator device
US4446375A (en) * 1981-10-14 1984-05-01 General Electric Company Optocoupler having folded lead frame construction

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57143889A (en) * 1981-03-02 1982-09-06 Toshiba Corp Photo-coupling semiconductor device
JPS57197880A (en) * 1981-05-29 1982-12-04 Toshiba Corp Photo coupling semiconductor device

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009071253A (ja) * 2007-09-18 2009-04-02 Fuji Electric Device Technology Co Ltd アイソレータ
US20130175679A1 (en) * 2007-12-13 2013-07-11 Cheng-Hong Su Optoisolator leadframe assembly
US8853837B2 (en) * 2007-12-13 2014-10-07 Lite-On Electronics (Guangzhou) Limited Optoisolator leadframe assembly

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Publication number Publication date
JPH084148B2 (ja) 1996-01-17
EP0206325B1 (en) 1992-03-25
DE3684519D1 (de) 1992-04-30
EP0206325A3 (en) 1989-03-15
US4694183A (en) 1987-09-15
EP0206325A2 (en) 1986-12-30

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