JPS62241137A - 磁気記録媒体の製造方法および製造装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法および製造装置Info
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- JPS62241137A JPS62241137A JP8451986A JP8451986A JPS62241137A JP S62241137 A JPS62241137 A JP S62241137A JP 8451986 A JP8451986 A JP 8451986A JP 8451986 A JP8451986 A JP 8451986A JP S62241137 A JPS62241137 A JP S62241137A
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Landscapes
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は摩耗、損傷等による記録再生特性劣化が極めて
少なく耐久性に優れた磁気記録媒体の製造方法および製
造装置に関するものである。
少なく耐久性に優れた磁気記録媒体の製造方法および製
造装置に関するものである。
従来の技術
近年、磁気記録媒体は高密度記録のため、Ｇｏ。
Ｃｒ、Ｎｉ、Ｆｅ等の強磁性体金属の薄膜を磁性層とし
たもの（以下、金属磁気記録媒体と称す）が注目され、
実用化が検討されている。金属磁気記録媒体では、従来
の塗布式磁気記録媒体に比べ高い周波数領域で記録再生
されるので、入出力損失を極力少なめるためにも、磁気
記録媒体の保護層は薄くする必要がある。ところが、従
来試みられた様な有機系潤滑材料では、金属磁性媒体の
特性を損なわない程に保護層を薄くした場合、耐久性に
問題があり、実用化には至っていない０これに対し１例
えば、ダイヤモンド膜、あるいはダイヤモンド状炭素膜
を保護層とすることが考えられる。
たもの（以下、金属磁気記録媒体と称す）が注目され、
実用化が検討されている。金属磁気記録媒体では、従来
の塗布式磁気記録媒体に比べ高い周波数領域で記録再生
されるので、入出力損失を極力少なめるためにも、磁気
記録媒体の保護層は薄くする必要がある。ところが、従
来試みられた様な有機系潤滑材料では、金属磁性媒体の
特性を損なわない程に保護層を薄くした場合、耐久性に
問題があり、実用化には至っていない０これに対し１例
えば、ダイヤモンド膜、あるいはダイヤモンド状炭素膜
を保護層とすることが考えられる。
ダイヤモンド膜、および、ダイヤモンド状炭素膜は極め
て硬く、かつ、すべり性も良好であるので耐摩耗性、耐
傷性に優れ、前記の様な金属磁気記録媒体の保護膜とし
て適している０ダイヤモンド膜、あるいは、ダイヤモン
ド状炭素膜の合成方法に関し多数の報告があるが、中で
も黒用らのプラズマインジエクションＣｖＤ法（以下、
ＰＩ−ＣＶＤ法と称す）は、基板を加熱せずとも優れた
特性のダイヤモンド状炭素膜を、他の方法に比べ１０倍
以上もの成膜速度で合成できるため、基板に有機フィル
ムを用いている理由上、基板を加熱できず、かつ、量産
性が必要とされる金属磁気記録媒体の保護膜形成方法と
して適している。実際金属磁気記録媒体上に、ＰＩ−Ｃ
ＶＤ法で僅か１００人の膜厚のダイヤモンド状炭素膜を
形成したものでさえも、大幅な耐久性向上があったとし
ている。（黒用他：ダイヤモンド状炭素膜による金属磁
性膜の耐久性向上、電子通信学会磁気記録研究会講演集
、１９８６年３月） 第２図を用いて、以下にＰ Ｉ−ＧＶ Ｄ法で金属磁気
記録媒体に、ダイヤモンド状炭素膜を形成する概略を記
す。成膜に先立ち、ダイヤモンド状炭素膜が形成される
金属磁気記録媒体２３は、巻出しローラー２２．中間ロ
ーラー２４１回転ローラー２６．中間ローラー２６１巻
取ローラー２７にセツティングした後、プラズマ管２１
．真空容器１６は真空ポンプ２８で、１０ Ｐａ程度に
排気される。その後、プラズマ管２１にメタンガス。
て硬く、かつ、すべり性も良好であるので耐摩耗性、耐
傷性に優れ、前記の様な金属磁気記録媒体の保護膜とし
て適している０ダイヤモンド膜、あるいは、ダイヤモン
ド状炭素膜の合成方法に関し多数の報告があるが、中で
も黒用らのプラズマインジエクションＣｖＤ法（以下、
ＰＩ−ＣＶＤ法と称す）は、基板を加熱せずとも優れた
特性のダイヤモンド状炭素膜を、他の方法に比べ１０倍
以上もの成膜速度で合成できるため、基板に有機フィル
ムを用いている理由上、基板を加熱できず、かつ、量産
性が必要とされる金属磁気記録媒体の保護膜形成方法と
して適している。実際金属磁気記録媒体上に、ＰＩ−Ｃ
ＶＤ法で僅か１００人の膜厚のダイヤモンド状炭素膜を
形成したものでさえも、大幅な耐久性向上があったとし
ている。（黒用他：ダイヤモンド状炭素膜による金属磁
性膜の耐久性向上、電子通信学会磁気記録研究会講演集
、１９８６年３月） 第２図を用いて、以下にＰ Ｉ−ＧＶ Ｄ法で金属磁気
記録媒体に、ダイヤモンド状炭素膜を形成する概略を記
す。成膜に先立ち、ダイヤモンド状炭素膜が形成される
金属磁気記録媒体２３は、巻出しローラー２２．中間ロ
ーラー２４１回転ローラー２６．中間ローラー２６１巻
取ローラー２７にセツティングした後、プラズマ管２１
．真空容器１６は真空ポンプ２８で、１０ Ｐａ程度に
排気される。その後、プラズマ管２１にメタンガス。
アルゴンガス１８を例えば各々１Ｑ〜２ｏＰａ導入し、
高周波電源１６と励起コイル１７でプラズマ化する。金
属磁気記録媒体２３の磁性層側は中間ローラー２４にて
接地しであるため、直流電源１９の高電位側をメツシュ
状電極２０に接続し、低電位側を接地して、直流電圧を
印加すれば、プラズマ中のイオンは金属磁気記録媒体方
向に加速され、金属磁気記録媒体に照射され、ダイヤモ
ンド状炭素膜が形成される。例えばメタンガス、アルゴ
ンガス１８の圧力が各々２ｏｐａ 、高周波電源１６の
出力が０．２ＫＷ、直流電源１９の電圧が１、ＯＫｖで
は２０００八／ｗｉｎ（７）成膜速度で、金属磁気記録
媒体に熱によるシワ等を生じることなくダイヤモンド状
炭素膜を形成できる。
高周波電源１６と励起コイル１７でプラズマ化する。金
属磁気記録媒体２３の磁性層側は中間ローラー２４にて
接地しであるため、直流電源１９の高電位側をメツシュ
状電極２０に接続し、低電位側を接地して、直流電圧を
印加すれば、プラズマ中のイオンは金属磁気記録媒体方
向に加速され、金属磁気記録媒体に照射され、ダイヤモ
ンド状炭素膜が形成される。例えばメタンガス、アルゴ
ンガス１８の圧力が各々２ｏｐａ 、高周波電源１６の
出力が０．２ＫＷ、直流電源１９の電圧が１、ＯＫｖで
は２０００八／ｗｉｎ（７）成膜速度で、金属磁気記録
媒体に熱によるシワ等を生じることなくダイヤモンド状
炭素膜を形成できる。
ＰＩ−ＣＶＤ法によって形成した炭素膜は、ｓｐ３電子
配置を含むダイヤモンドに近い結合状態の非晶質構造を
しており、ビッカース硬度は２０００ｋｙ／−以上であ
り耐摩耗性に優れる。また、鋼球を使用した摩擦係数の
測定ではＯｊ以下の値が得られ、潤滑剤を含んだ磁気テ
ープ等の摩擦係数と同等以下である。従って、金属磁気
記録媒体の保護膜として申し分ない。
配置を含むダイヤモンドに近い結合状態の非晶質構造を
しており、ビッカース硬度は２０００ｋｙ／−以上であ
り耐摩耗性に優れる。また、鋼球を使用した摩擦係数の
測定ではＯｊ以下の値が得られ、潤滑剤を含んだ磁気テ
ープ等の摩擦係数と同等以下である。従って、金属磁気
記録媒体の保護膜として申し分ない。
発明が解決しようとする問題点
ｐニーｃｖｎ法では、例えば第２図を用いて先述した様
に金属磁気記録媒体上にも、ダイヤモンドに近い優れた
特性を有するダイヤモンド状炭素膜を、金属磁気記録媒
体をあえて加熱せずとも、他の方法に比べ１０倍以上も
の成膜速度で形成できる。
に金属磁気記録媒体上にも、ダイヤモンドに近い優れた
特性を有するダイヤモンド状炭素膜を、金属磁気記録媒
体をあえて加熱せずとも、他の方法に比べ１０倍以上も
の成膜速度で形成できる。
ところが、金属磁気記録媒体の磁性層形成工程では、例
えば５０ ｍ ／ ｌ１ｌｉｎもの高速度で金属磁気記
録媒体が移送されるため、ＰＸ−ＣＶＤ法でダイヤモン
ド炭素膜を形成する場合でさえも、更に大きい成膜速度
が望まれる。その場合、例えば第２図に示すメタンガス
、アルゴンガスの圧力、高周波電力、直流電圧を増加し
成膜速度を増加できるが、同時にイオンの照射量が増加
するため、金属磁気記録媒体の温度も上昇してしまい、
シワが発生したり、あるいは磁性層がなくなり、良好に
ダイヤモンド状炭素膜を形成できない。この問題の対策
としてメタンガス、アルゴンガス圧力、高周波電力のみ
を増加させ、直流電圧を減少させてイオン照射量を抑え
ることは操作上可能であるが、直流電圧が、例えば０．
５ＫＴ以下となると、金属磁気記録媒体保護膜として満
足できる膜質のダイヤモンド状炭素膜を形成できなくな
るので好ましくない。
えば５０ ｍ ／ ｌ１ｌｉｎもの高速度で金属磁気記
録媒体が移送されるため、ＰＸ−ＣＶＤ法でダイヤモン
ド炭素膜を形成する場合でさえも、更に大きい成膜速度
が望まれる。その場合、例えば第２図に示すメタンガス
、アルゴンガスの圧力、高周波電力、直流電圧を増加し
成膜速度を増加できるが、同時にイオンの照射量が増加
するため、金属磁気記録媒体の温度も上昇してしまい、
シワが発生したり、あるいは磁性層がなくなり、良好に
ダイヤモンド状炭素膜を形成できない。この問題の対策
としてメタンガス、アルゴンガス圧力、高周波電力のみ
を増加させ、直流電圧を減少させてイオン照射量を抑え
ることは操作上可能であるが、直流電圧が、例えば０．
５ＫＴ以下となると、金属磁気記録媒体保護膜として満
足できる膜質のダイヤモンド状炭素膜を形成できなくな
るので好ましくない。
これらシワ発生等の対策として、第２図に示す中間ロー
ラー２４．２６で金属磁気記録媒体２３に張力をかけ、
回転ローラー２６に張付け、熱を回転ローラー２６から
発散させる手段があるが、金属磁気記録媒体２３の引張
強度上、熱を十分に発散させる程の張力はかけられない
。更には、張力をかけるための付加機構を必要とするた
め、装置コストが余分にかかる。
ラー２４．２６で金属磁気記録媒体２３に張力をかけ、
回転ローラー２６に張付け、熱を回転ローラー２６から
発散させる手段があるが、金属磁気記録媒体２３の引張
強度上、熱を十分に発散させる程の張力はかけられない
。更には、張力をかけるための付加機構を必要とするた
め、装置コストが余分にかかる。
従って、従来の技術では、優れた特性のダイヤモンド状
炭素膜を金属磁気記録媒体の生産速度を損うことない程
の大きい成膜速度で金属磁気記録媒体上に形成する場合
、この熱による金属磁気記録媒体のシワ発生等の諸問題
全解決するのは極めて難しい。
炭素膜を金属磁気記録媒体の生産速度を損うことない程
の大きい成膜速度で金属磁気記録媒体上に形成する場合
、この熱による金属磁気記録媒体のシワ発生等の諸問題
全解決するのは極めて難しい。
問題点全解決するための手段
そこで、本発明は回転ローラーにて回転移送される磁気
記録媒体を、前記回転ローラーにクーロン力で張付けつ
つ、前記磁気記録媒体の保護膜を構成する元素を含むプ
ラズマ中の少なくともイオンを、クーロン力で加速し前
記記録媒体に照射する磁気記録媒体の製造方法であり、
また、磁気記録媒体の磁性層が、この磁気記録媒体を巻
付けて回転移送する回転ローラおよび前記磁気記録媒体
の保護膜を構成する元素を含むプラズマに対して低電位
であるよう構成した磁気記録媒体の製造装置である。
記録媒体を、前記回転ローラーにクーロン力で張付けつ
つ、前記磁気記録媒体の保護膜を構成する元素を含むプ
ラズマ中の少なくともイオンを、クーロン力で加速し前
記記録媒体に照射する磁気記録媒体の製造方法であり、
また、磁気記録媒体の磁性層が、この磁気記録媒体を巻
付けて回転移送する回転ローラおよび前記磁気記録媒体
の保護膜を構成する元素を含むプラズマに対して低電位
であるよう構成した磁気記録媒体の製造装置である。
作用
すなわち、本発明のようにクーロン力で磁気記録媒体を
回転ローラーに密着させる方法においては、磁気記録媒
体の基板が優れた絶縁性の有機フィルムで構成されてい
るため、回転ローラーと磁性層間に高電圧を印加しても
前記有機フィルムが破壊されることはないので、従来の
様に例えば中間ローラーで張力を磁気記録媒体にかけて
密着力を得ていた場合より、極めて大きい密着力が得れ
、熱を回転ローラーへ速やかに発散できる。
回転ローラーに密着させる方法においては、磁気記録媒
体の基板が優れた絶縁性の有機フィルムで構成されてい
るため、回転ローラーと磁性層間に高電圧を印加しても
前記有機フィルムが破壊されることはないので、従来の
様に例えば中間ローラーで張力を磁気記録媒体にかけて
密着力を得ていた場合より、極めて大きい密着力が得れ
、熱を回転ローラーへ速やかに発散できる。
このように、本発明では磁気記録媒体と回転ローラーと
の密着力が極めて大きいため、例えばメタンガス、アル
ゴンガス圧力、高周波電力、および、直流電圧の各成膜
パラメータを増加させ、成膜速度を増加させると同時に
、イオン照射量も増加しても、シワ等が発生しない。
の密着力が極めて大きいため、例えばメタンガス、アル
ゴンガス圧力、高周波電力、および、直流電圧の各成膜
パラメータを増加させ、成膜速度を増加させると同時に
、イオン照射量も増加しても、シワ等が発生しない。
また、特筆すべきことは、直流電圧を減少させることな
くダイヤモンド状炭素膜を形成できることである。例え
ば前記のＰＩ−Ｃ”／Ｄ法のようにイオンを利用してダ
イヤモンド状炭素膜を形成する場合、イオンの加速電圧
が例えば０．５にマ以下では、膜中に水素が多量に取込
まれ有機膜となるだめ、金属磁気記録媒体の保護膜とし
ては好ましくない。本発明は金属磁気記録媒体などの磁
性層を、回転ローラーおよび、イオン金倉むプラズマに
対し低電位とするため、金属磁気記録媒体を回転ローラ
ーに強固に張付ける作用とイオンを金属磁気記録媒体に
加速し照射する作用とを兼ねる。
くダイヤモンド状炭素膜を形成できることである。例え
ば前記のＰＩ−Ｃ”／Ｄ法のようにイオンを利用してダ
イヤモンド状炭素膜を形成する場合、イオンの加速電圧
が例えば０．５にマ以下では、膜中に水素が多量に取込
まれ有機膜となるだめ、金属磁気記録媒体の保護膜とし
ては好ましくない。本発明は金属磁気記録媒体などの磁
性層を、回転ローラーおよび、イオン金倉むプラズマに
対し低電位とするため、金属磁気記録媒体を回転ローラ
ーに強固に張付ける作用とイオンを金属磁気記録媒体に
加速し照射する作用とを兼ねる。
すなわち、従来技術のような金属磁気記録媒体に張力を
かけるための複雑な機構全一切要せずとも、優れた特性
のダイヤモンド状炭素膜を形成するために高い直流電圧
を印加しても、金属磁気記録媒体にシワを発生すること
がない。
かけるための複雑な機構全一切要せずとも、優れた特性
のダイヤモンド状炭素膜を形成するために高い直流電圧
を印加しても、金属磁気記録媒体にシワを発生すること
がない。
従って、磁気記録媒体にシワ等を発生させることなく、
磁気記録媒体の保護膜として十分な膜質のダイヤモンド
状炭素膜を、磁気記録媒体の生産速度を損うことない程
の大きい成膜速度で形成できる。
磁気記録媒体の保護膜として十分な膜質のダイヤモンド
状炭素膜を、磁気記録媒体の生産速度を損うことない程
の大きい成膜速度で形成できる。
実施例
第１図に本発明による磁気記録媒体の製造方法および製
造装置の実施例を示す。
造装置の実施例を示す。
成膜に先立ち、ダイヤモンド状炭素膜が形成される金属
磁気記録媒体８は、巻出しローラー７゜中間ローラー１
０９回転ローラー１１．中間ローラー１２１巻取ローラ
ー１４にセツティングした後、プラズマ管６．真空容器
１は真空ポンプ１３で１０ＰＩＬ程度に排気される。そ
の後、プラズマ管６にメタンガス、アルゴンガス４全例
えば１Ｑ〜２０ Ｐａ導入し、高周波電源２と励起コイ
ル３でプラズマ化する０金属磁気記録媒体８の磁性層側
は中間ローラー１０にて、直流電源９の低電位側と接続
されているので、直流電源９の高電位側を接地し、かつ
、メツシュ状電極も接地して、直流電圧を印加すれば、
プラズマ中のイオンは金属磁気記録媒体８方向へクーロ
ン力で加速され、金属磁気記録媒体に照射される。と同
時に、回転ローラー１１も接地することによって、金属
磁気記録媒体８はクーロン力によって強固に回転ローラ
ー１１に密着されているので、多量のイオン照射による
金属磁気記録媒体の熱を速やかに回転ローラーへ発散で
き、シワが発生することがなく、ダイヤモンド状炭素膜
を良好に形成できる。
磁気記録媒体８は、巻出しローラー７゜中間ローラー１
０９回転ローラー１１．中間ローラー１２１巻取ローラ
ー１４にセツティングした後、プラズマ管６．真空容器
１は真空ポンプ１３で１０ＰＩＬ程度に排気される。そ
の後、プラズマ管６にメタンガス、アルゴンガス４全例
えば１Ｑ〜２０ Ｐａ導入し、高周波電源２と励起コイ
ル３でプラズマ化する０金属磁気記録媒体８の磁性層側
は中間ローラー１０にて、直流電源９の低電位側と接続
されているので、直流電源９の高電位側を接地し、かつ
、メツシュ状電極も接地して、直流電圧を印加すれば、
プラズマ中のイオンは金属磁気記録媒体８方向へクーロ
ン力で加速され、金属磁気記録媒体に照射される。と同
時に、回転ローラー１１も接地することによって、金属
磁気記録媒体８はクーロン力によって強固に回転ローラ
ー１１に密着されているので、多量のイオン照射による
金属磁気記録媒体の熱を速やかに回転ローラーへ発散で
き、シワが発生することがなく、ダイヤモンド状炭素膜
を良好に形成できる。
発明の効果
以上述べた様に、本発明によれば、極めて優れた耐久性
を有する磁気記録媒体を、簡単な装置溝、成で大量生産
できるため、長期間使用しても記録再生特性劣化が生じ
ない磁気記録媒体を安価に提供できる。
を有する磁気記録媒体を、簡単な装置溝、成で大量生産
できるため、長期間使用しても記録再生特性劣化が生じ
ない磁気記録媒体を安価に提供できる。
第１図は本発明による磁気記録媒体の製造装置の概略図
、第２図は従来例における磁気記録媒体の製造装置の概
略図である。 １・・・・・・真空容器、２・・・・・・高周波電源、
３・・・・・・励起コイル、４・・・・・・メタンガス
、アルゴンガス、６・・・・・・メツシュ状電極、６・
・・・・・プラズマ管、Ｔ・・・・・・巻出しローラー
、８・・・・・・金属磁気記録媒体、９・・−・・・直
流電源、１０．１２・・・・・・中間ローラー、１１・
・・・・・回転ローラー、１３・・・・・・真空ポンプ
。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図
、第２図は従来例における磁気記録媒体の製造装置の概
略図である。 １・・・・・・真空容器、２・・・・・・高周波電源、
３・・・・・・励起コイル、４・・・・・・メタンガス
、アルゴンガス、６・・・・・・メツシュ状電極、６・
・・・・・プラズマ管、Ｔ・・・・・・巻出しローラー
、８・・・・・・金属磁気記録媒体、９・・−・・・直
流電源、１０．１２・・・・・・中間ローラー、１１・
・・・・・回転ローラー、１３・・・・・・真空ポンプ
。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図
Claims (2)
- （１）回転ローラーにて回転移送される磁気記録媒体を
、前記回転ローラーにクーロン力で張付けつつ、前記磁
気記録媒体の保護膜を構成する元素を含むプラズマ中の
少なくともイオンを、クーロン力で加速し前記磁気記録
媒体に照射する磁気記録媒体の製造方法。 - （２）磁気記録媒体の磁性層が、この磁気記録媒体を巻
付けて回転移送する回転ローラー、および前記磁気記録
媒体の保護膜を構成する元素を含むプラズマに対して低
電位であるよう構成した磁気記録媒体の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8451986A JPH077504B2 (ja) | 1986-04-11 | 1986-04-11 | 磁気記録媒体の製造方法および製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8451986A JPH077504B2 (ja) | 1986-04-11 | 1986-04-11 | 磁気記録媒体の製造方法および製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62241137A true JPS62241137A (ja) | 1987-10-21 |
| JPH077504B2 JPH077504B2 (ja) | 1995-01-30 |
Family
ID=13832879
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8451986A Expired - Lifetime JPH077504B2 (ja) | 1986-04-11 | 1986-04-11 | 磁気記録媒体の製造方法および製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH077504B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01166329A (ja) * | 1987-12-22 | 1989-06-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
| JPH02126422A (ja) * | 1988-11-04 | 1990-05-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
| JPH03183782A (ja) * | 1989-12-13 | 1991-08-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜製造装置 |
-
1986
- 1986-04-11 JP JP8451986A patent/JPH077504B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01166329A (ja) * | 1987-12-22 | 1989-06-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
| JPH0551967B2 (ja) * | 1987-12-22 | 1993-08-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | |
| JPH02126422A (ja) * | 1988-11-04 | 1990-05-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
| JPH03183782A (ja) * | 1989-12-13 | 1991-08-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄膜製造装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH077504B2 (ja) | 1995-01-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |