JPS62240903A - 多層膜反射鏡 - Google Patents
多層膜反射鏡Info
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- JPS62240903A JPS62240903A JP61085661A JP8566186A JPS62240903A JP S62240903 A JPS62240903 A JP S62240903A JP 61085661 A JP61085661 A JP 61085661A JP 8566186 A JP8566186 A JP 8566186A JP S62240903 A JPS62240903 A JP S62240903A
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Landscapes
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- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Projection Apparatus (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は投光照明等に使用される多層膜反射鏡、特に冷
光鏡を基体とし耐熱性、耐湿性にすぐれた多層膜反射鏡
に関する。
光鏡を基体とし耐熱性、耐湿性にすぐれた多層膜反射鏡
に関する。
（従来の技術）
冷光鏡を基体とする多層膜反射鏡は、投映器、店舗用照
明、医療用照明等の光源に多く使用されているが、可視
光をできるだけ反射し、長波長の赤外域を透過させて、
照明された物体を熱からの熱線が多層膜を通過する際に
は、吸収によって基板が加熱されない特長をもっている
。この多層膜反射鏡は、反射基板上に高屈折率材料の薄
膜と低屈折率材料の薄膜とを交互に積層して多層膜が形
成され、積層される物質の屈折率の比が大きければそれ
だけ高い反射率と広い反射帯を有するものである。一般
にＺｎＳとＭｇＦ２との薄膜を交互に積層させたＺｎＳ
−ＭｇＦ２交互層、またはＺｎＳトＳｉＯ２との薄膜を
交互に積層させたＺｎＳ −Ｓ ｉｏ２交互層が反射鏡
の多層膜として採用されている。
明、医療用照明等の光源に多く使用されているが、可視
光をできるだけ反射し、長波長の赤外域を透過させて、
照明された物体を熱からの熱線が多層膜を通過する際に
は、吸収によって基板が加熱されない特長をもっている
。この多層膜反射鏡は、反射基板上に高屈折率材料の薄
膜と低屈折率材料の薄膜とを交互に積層して多層膜が形
成され、積層される物質の屈折率の比が大きければそれ
だけ高い反射率と広い反射帯を有するものである。一般
にＺｎＳとＭｇＦ２との薄膜を交互に積層させたＺｎＳ
−ＭｇＦ２交互層、またはＺｎＳトＳｉＯ２との薄膜を
交互に積層させたＺｎＳ −Ｓ ｉｏ２交互層が反射鏡
の多層膜として採用されている。
ＺｎＳ −ＭｇＦｔ交互層またはＺｎＳ −５ｉＯ−交
互層を被着した多層膜反射鏡について、ランプ点灯時お
よび高温多湿の雰囲気に放置した時の膜の剥離発生時間
を第１表に示す。ランプ点灯による熱負荷は３００℃お
よび３５０℃であり、高温多湿の雰囲気は温度５０℃、
湿度９０％の雰囲気に反射鏡を放置した場合である。
互層を被着した多層膜反射鏡について、ランプ点灯時お
よび高温多湿の雰囲気に放置した時の膜の剥離発生時間
を第１表に示す。ランプ点灯による熱負荷は３００℃お
よび３５０℃であり、高温多湿の雰囲気は温度５０℃、
湿度９０％の雰囲気に反射鏡を放置した場合である。
（以 下 余 白）
第 １ 表
ＺｎＳ−ＭｇＦ２系の多層膜は、耐湿性はすぐれている
が耐熱性に劣るため、比較的熱負荷が低（、長寿命であ
る光源たとえば低出力・長寿命型）１０ゲンランプに適
用されている。またＺｎＳ−３ｉｎ２系の多層膜は、耐
熱性はすぐれているが耐湿性に劣るため、熱負荷が高く
、短寿命である光源たとえば高出力・短寿命型ハロゲン
ランプに適用されている。
が耐熱性に劣るため、比較的熱負荷が低（、長寿命であ
る光源たとえば低出力・長寿命型）１０ゲンランプに適
用されている。またＺｎＳ−３ｉｎ２系の多層膜は、耐
熱性はすぐれているが耐湿性に劣るため、熱負荷が高く
、短寿命である光源たとえば高出力・短寿命型ハロゲン
ランプに適用されている。
（発明が解決しようとする問題点）
従来の多層膜反射鏡は、その多層膜が耐熱性、耐湿性の
いずれかの特性で欠点を有するため、光源の性能に応じ
て適当するものを選択して使用しなければならなかった
。しかるに、光源の高出力化、長寿命化が進むにつれて
、ＺｎＳ −ＭｇＦ ２系およびＺｎＳ −Ｓ ｉ○２
系の多層膜について、その耐熱性、耐湿性を強化するこ
とが要望されるようになった。
いずれかの特性で欠点を有するため、光源の性能に応じ
て適当するものを選択して使用しなければならなかった
。しかるに、光源の高出力化、長寿命化が進むにつれて
、ＺｎＳ −ＭｇＦ ２系およびＺｎＳ −Ｓ ｉ○２
系の多層膜について、その耐熱性、耐湿性を強化するこ
とが要望されるようになった。
本発明は、上記事情を考慮してなされたもので、反射面
にＺｎＳ−５ｉ○２系の多層膜を積層し、その上面に保
護膜を被着した後焼成処理することにより、耐熱性およ
び耐湿性にすぐれた多層膜反射鏡を提供することを１」
的とする。
にＺｎＳ−５ｉ○２系の多層膜を積層し、その上面に保
護膜を被着した後焼成処理することにより、耐熱性およ
び耐湿性にすぐれた多層膜反射鏡を提供することを１」
的とする。
（問題点を解決するための手段と作用）本発明は、反射
基板上にＺｎＳとＳ ｉｏ２との薄膜を交互に積層させ
、このＺｎＳ −Ｓ ｉＯ２交互層の上面に保護膜を被
着させた後、４５０〜５２０℃の温度で焼成処理した多
層膜反射鏡である。この多層膜反射鏡について、焼成温
度が多層膜の耐熱性および耐湿性におよぼす影響を第２
表に示す。表中、耐熱性は温度３５０℃の電気炉中に放
置した場合、また耐湿性は温度５０℃、湿度９０％の雰
囲気中に放置した場合の膜の剥離発生時間で示しである
。
基板上にＺｎＳとＳ ｉｏ２との薄膜を交互に積層させ
、このＺｎＳ −Ｓ ｉＯ２交互層の上面に保護膜を被
着させた後、４５０〜５２０℃の温度で焼成処理した多
層膜反射鏡である。この多層膜反射鏡について、焼成温
度が多層膜の耐熱性および耐湿性におよぼす影響を第２
表に示す。表中、耐熱性は温度３５０℃の電気炉中に放
置した場合、また耐湿性は温度５０℃、湿度９０％の雰
囲気中に放置した場合の膜の剥離発生時間で示しである
。
（以 下 余 白）
第 ２ 表
第２表から明らかなように、５３０℃以上で焼成処理し
たものは、加熱によって膜が劣化し、膜と基板との適正
な付着応力がくずれて早期に剥離が発生した。４５０℃
以上の焼成温度ではＳｉＯ２層がち密に構成され耐湿性
が向上しているが、４４０℃以下で焼成処理したものは
、ＺｎＳ −ＭｇＦ’２系の多層膜に比べ耐湿性が劣っ
ている。４５０〜５２０℃の温度域で焼成処理したもの
は、耐熱性、耐湿性ともに要件を満している。すなわち
、適当な温度で焼成処理することにより、耐熱性を損う
ことなく耐湿性を改善することができるものである。
たものは、加熱によって膜が劣化し、膜と基板との適正
な付着応力がくずれて早期に剥離が発生した。４５０℃
以上の焼成温度ではＳｉＯ２層がち密に構成され耐湿性
が向上しているが、４４０℃以下で焼成処理したものは
、ＺｎＳ −ＭｇＦ’２系の多層膜に比べ耐湿性が劣っ
ている。４５０〜５２０℃の温度域で焼成処理したもの
は、耐熱性、耐湿性ともに要件を満している。すなわち
、適当な温度で焼成処理することにより、耐熱性を損う
ことなく耐湿性を改善することができるものである。
（実施例）
本発明の詳細を図示の実施例により説明する。
ゲンランプ用反射鏡であり、その−面を拡開させた回転
放物状の凹面（２）を形成している。（３）は凹面（２
）の中心に位置するように装着された光源、たとえばハ
ロゲンランプである。（４）は凹面（２）に被着された
多層膜で、ＺｎＳ−３ｉα構成の２２層からなる光学膜
厚１／４人の交互層（△１〜１３＝６００ｎｍ、入１４
〜２゜＝４５０ｎｍ）である。すなわち、ＺｎＳからな
る高屈折率材料を■とし、Ｓｉｎ、からなる低屈折率材
料を（Ｌ）とした場合、この（田と（Ｌ）とを交互に６
回計１２層被着し、さらに（Ｗを１層付加して計１３層
とし、さらに（Ｌ）と（Ｈ）とを交互に４回計８層を積
層被着し、その最上層に保護膜として（Ｌ）を２周波着
させたものである。そして、これら被膜の形成はすべて
真空蒸着によって行なわれる。
放物状の凹面（２）を形成している。（３）は凹面（２
）の中心に位置するように装着された光源、たとえばハ
ロゲンランプである。（４）は凹面（２）に被着された
多層膜で、ＺｎＳ−３ｉα構成の２２層からなる光学膜
厚１／４人の交互層（△１〜１３＝６００ｎｍ、入１４
〜２゜＝４５０ｎｍ）である。すなわち、ＺｎＳからな
る高屈折率材料を■とし、Ｓｉｎ、からなる低屈折率材
料を（Ｌ）とした場合、この（田と（Ｌ）とを交互に６
回計１２層被着し、さらに（Ｗを１層付加して計１３層
とし、さらに（Ｌ）と（Ｈ）とを交互に４回計８層を積
層被着し、その最上層に保護膜として（Ｌ）を２周波着
させたものである。そして、これら被膜の形成はすべて
真空蒸着によって行なわれる。
蒸着条件は真空度５×１０〜１ｘｌＯＴｏｒｒ、基板温
度１５０〜２００℃、蒸発源エレクトロビームである。
度１５０〜２００℃、蒸発源エレクトロビームである。
このように構成された多層膜反射鏡において、３５０℃
から６００℃まで１０℃毎の温度でそれぞれ１時間の焼
成処理を行なったものについて、耐熱４Ｉト七 ト ｒ
Ｋ需）９リゼト箇証イ託メ−７〒Ｒ−ナー ｒ の
駆狂価ｌどけ次の方式を採用し、評価結果を第３表に示
す。
から６００℃まで１０℃毎の温度でそれぞれ１時間の焼
成処理を行なったものについて、耐熱４Ｉト七 ト ｒ
Ｋ需）９リゼト箇証イ託メ−７〒Ｒ−ナー ｒ の
駆狂価ｌどけ次の方式を採用し、評価結果を第３表に示
す。
耐熱性・・・・・・温度３５０℃の電気炉中に放置し、
膜の剥離発生時間を調査する。
膜の剥離発生時間を調査する。
耐湿性・・・・・・温度５０°Ｃ１湿度９０％の雰囲気
中に放置し、膜の剥離発生時間を調査す る。
中に放置し、膜の剥離発生時間を調査す る。
（以 下 余 白）
第 ３ 表
第３表において、４５０〜５２０℃の温度で焼成処理し
たものは、耐熱性および耐湿性ともにすぐれていること
が認められる。
たものは、耐熱性および耐湿性ともにすぐれていること
が認められる。
次に、焼成時間による多層膜の耐熱性および耐湿性の評
価結果を第４表に示す。評価方法は第３表の場合と同様
である。
価結果を第４表に示す。評価方法は第３表の場合と同様
である。
（以 下 余 白）
第 ４ 表
第４表から多層膜の耐熱性および耐湿性は、その焼成時
間の長短によって影響されないことが確認された。
間の長短によって影響されないことが確認された。
以上のように本発明は、反射基板上にＺｎＳと５ｉｎ２
との薄膜を交互に積層させ、このＺｎＳ −８１０２交
互層の上面に保護膜を被着させた後、４５０５２０℃の
温度で焼成処理した多層膜反射鏡であり、ＺｎＳ−５ｉ
ｎ２系の多層膜の耐熱性を損うことなく耐湿性を向上さ
せることができたもので、高出力、長寿命の光源に十分
適合し得るものである。また、高温多湿の悪条件におけ
る長期間の保管も可能となった。
との薄膜を交互に積層させ、このＺｎＳ −８１０２交
互層の上面に保護膜を被着させた後、４５０５２０℃の
温度で焼成処理した多層膜反射鏡であり、ＺｎＳ−５ｉ
ｎ２系の多層膜の耐熱性を損うことなく耐湿性を向上さ
せることができたもので、高出力、長寿命の光源に十分
適合し得るものである。また、高温多湿の悪条件におけ
る長期間の保管も可能となった。
図面は本 の実施例を示す断面図である。
１・・・・・・反射体、２・・・・・・凹面、３・・・
・・・光源、４・・・・・・多層１換。 特許出願人 東芝硝子株式会社 ３元諒
・・・光源、４・・・・・・多層１換。 特許出願人 東芝硝子株式会社 ３元諒
Claims (1)
- 反射基板上にＺｎＳとＳｉＯ＿２との薄膜を交互に積層
させ、このＺｎＳ−ＳｉＯ＿２交互層の上面に保護膜を
被着させた後、４５０〜５２０℃の温度で焼成処理した
多層膜反射鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61085661A JPH0629882B2 (ja) | 1986-04-14 | 1986-04-14 | 多層膜反射鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61085661A JPH0629882B2 (ja) | 1986-04-14 | 1986-04-14 | 多層膜反射鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62240903A true JPS62240903A (ja) | 1987-10-21 |
| JPH0629882B2 JPH0629882B2 (ja) | 1994-04-20 |
Family
ID=13865008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61085661A Expired - Lifetime JPH0629882B2 (ja) | 1986-04-14 | 1986-04-14 | 多層膜反射鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0629882B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03210503A (ja) * | 1990-01-14 | 1991-09-13 | Horiba Ltd | 多層膜干渉フィルタ |
| JPH0434503A (ja) * | 1990-05-31 | 1992-02-05 | Toshiba Glass Co Ltd | 多層膜反射鏡 |
| JPH04253001A (ja) * | 1991-01-30 | 1992-09-08 | Seikosha Co Ltd | 赤外線反射ミラー |
| JPH04267202A (ja) * | 1991-02-21 | 1992-09-22 | Horiba Ltd | 多層膜干渉フィルタ |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5453549A (en) * | 1977-10-05 | 1979-04-26 | Canon Inc | Multilayer thin film optical system |
| JPS5689703A (en) * | 1979-12-24 | 1981-07-21 | Agency Of Ind Science & Technol | Manufacture of reflecting mirror for high output laser |
| JPS57161809A (en) * | 1981-03-31 | 1982-10-05 | Nippon Soda Co Ltd | Manufacture of multilayered film |
| JPS6066202A (ja) * | 1983-09-20 | 1985-04-16 | Agency Of Ind Science & Technol | レ−ザ用反射鏡 |
-
1986
- 1986-04-14 JP JP61085661A patent/JPH0629882B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5453549A (en) * | 1977-10-05 | 1979-04-26 | Canon Inc | Multilayer thin film optical system |
| JPS5689703A (en) * | 1979-12-24 | 1981-07-21 | Agency Of Ind Science & Technol | Manufacture of reflecting mirror for high output laser |
| JPS57161809A (en) * | 1981-03-31 | 1982-10-05 | Nippon Soda Co Ltd | Manufacture of multilayered film |
| JPS6066202A (ja) * | 1983-09-20 | 1985-04-16 | Agency Of Ind Science & Technol | レ−ザ用反射鏡 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03210503A (ja) * | 1990-01-14 | 1991-09-13 | Horiba Ltd | 多層膜干渉フィルタ |
| JPH0434503A (ja) * | 1990-05-31 | 1992-02-05 | Toshiba Glass Co Ltd | 多層膜反射鏡 |
| JPH04253001A (ja) * | 1991-01-30 | 1992-09-08 | Seikosha Co Ltd | 赤外線反射ミラー |
| JPH04267202A (ja) * | 1991-02-21 | 1992-09-22 | Horiba Ltd | 多層膜干渉フィルタ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0629882B2 (ja) | 1994-04-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |