JPS6222409A - 超低鉄損一方向性珪素鋼板の製造方法 - Google Patents

超低鉄損一方向性珪素鋼板の製造方法

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JPS6222409A
JPS6222409A JP16123285A JP16123285A JPS6222409A JP S6222409 A JPS6222409 A JP S6222409A JP 16123285 A JP16123285 A JP 16123285A JP 16123285 A JP16123285 A JP 16123285A JP S6222409 A JPS6222409 A JP S6222409A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 一方向性珪素鋼板の電気・磁気的特性の改善、なかでも
、鉄損の低減に係わる極限的な要請を満たそうとする近
年来の目覚ましい開発努力は、逐次その実を挙げつつあ
るが、その実施に伴う重大な弊害として、一方向性珪素
鋼板の使用に当たちでの加工、組立てを経たのち、いわ
ゆるひずみ取り焼鈍がほどこされた場合に、特性劣化の
随伴を不可避に生じて、使途についての制限を受ける不
利が指摘される。
この明細書では、ひずみ取り焼鈍のような高温の熱履歴
を経ると否とに拘わらず、上記要請を有利に充足し得る
新たな方途を拓くことについての開発研究の成果に関連
して以下に述べる。
さて一方向性珪素鋼板は、よく知られているとおり製品
の2次再結晶粒を(110) (001) 、すなわち
ゴス方位に、高度に集積させたもので、主として変圧器
その他の電気機器の鉄心として使用され電気・磁気的特
性として製品の磁束密度(Bto値で代表される)が高
く、鉄損(WIT/S。値で代表される)の低いことが
要求される。
この一方向性珪素鋼板は複雑多岐にわたる工程を経て製
造されるが、今までにおびただしい発明・改善が加えら
れ、今日では板厚0.30mmの製品の磁気特性がBt
o 1.90T以上、Lt/so 1.05W/kg以
下、また板厚0.23mmの製品の磁気特性がBto 
1.89T以上、W+vzso O,90W/kg以下
の超低鉄損一方向性珪素鋼板が製造されるようになって
来ている。
特に最近では省エネの見地から電力損失の低減を特徴と
する請が著しく強まり、欧米では損失の少ない変圧器を
作る場合に鉄損の減少分を金額に換算して変圧器価格に
上積みする「ロス・エバリユエーション」 (鉄損評価
)制度が普及している。
(従来の技術) このような状況下において最近、一方向性珪素鋼板の仕
上焼鈍後の鋼板表面に圧延方向にほぼ直角方向でのレー
ザ照射により局部微小ひずみを導入して磁区を細分化し
、もって鉄損を低下させることが提案された(特公昭5
7−2252号、特公昭57−53419号、特公昭5
8−26405号及び特公昭58−26406号各公報
参照)。
この磁区細分化技術はひずみ取り焼鈍を施さない、積鉄
心向はトランス材料として効果的であるが、ひずみ取り
焼鈍を施す、主として巻鉄心トランス材料にあっては、
レーザー照射によって折角に導入された局部微小ひずみ
が焼鈍処理により解放されて磁区幅が広くなるため、レ
ーザー照射効果が失われるという欠点がある。
一方これより先に特公昭52−24499号公報におい
ては、一方向性珪素鋼板の仕上げ焼鈍後の鋼板表面を鏡
面仕上げするか又はその鏡面仕上げ面上に金属薄めっき
やさらにその上に絶縁被膜を塗布焼付けすることによる
、超低鉄損一方向性珪素鋼板の製造方法が提案されてい
る。
しかしながらこの鏡面仕上げによる鉄損向上手    
   1法は、工程的に採用するには、著しいコストア
ップになる割りに鉄損低減への寄与が充分でない上、と
くに鏡面仕上後に不可欠な絶縁被膜を塗布焼付した後の
密着性に問題があるため、現在の製造工程に右いて採用
されるに至ってはいない。また特公昭56−4150号
公報においても鋼板表面を鏡面仕上げした後、酸化物系
セラミックス薄膜を蒸着する方法が提案されている。し
かしながらこの方法も600℃以上の高温焼鈍を施すと
鋼板とセラミック層とが剥離するため、実際の製造工程
では採用できない。
(発明が解決しようとする問題点) 発明者らは上記した鏡面仕上による鉄損向上の実効をよ
り有利に引き出すことにより、特に今日の省エネ材料開
発の観点では上記のごときコストアップの不利を凌駕す
る特性、とくに高温処理でも特性劣化を伴うことなくし
て絶縁層の密着性、耐久性の問題の克服こそが肝要と考
え、この基本認識に立脚し、鏡面仕上後鋼板処理方法に
根本的な再検討を加えてこの発明に到達した。
(問題点を解決するための手段) ここに、中心線平均粗さ0.4μm以下の鏡面状態に仕
上げた一方向性珪素鋼板を600〜1000℃の加熱下
にTiを含む化合物(例えばTiC1□、 TiC1,
又はTiCl4など)を含むガスに加えてH2とN2お
よび/又はCH,ガスとの混合ガス雰囲気中で鋼板表面
上でCVD反応を行なわせることによってTiN、 T
iCないしTi(CN)の極薄張力被膜を形成させたあ
と、600〜1000℃の温度範囲でH2雰囲気焼鈍を
施すか又はさらにその後この張力被膜上に、りん酸塩と
コロイダルシリカを主成分とする絶縁被膜を形成させる
ことから成る超低鉄損一方向珪素鋼板の製造方法である
この発明の成功が導かれた実験例について述べる。
C:0.045重量%(以下単に%で示す) 、Si 
:3.38%、Mn : 0.063%、Se : 0
.021%、Sb : 0.025%、Mo : 0.
025%を含有する珪素鋼連鋳スラブを1340℃で4
時間加熱後熱間圧延して2.0mm厚の熱延板とした。
その後900℃で3分間の均一化焼鈍後、950℃で3
分間の中間焼鈍をはさむ2回の冷間圧延を施して0.2
3mm厚の最終冷延板とした。
その後820℃の湿水素中で脱炭・1次再結晶焼鈍を施
した後、鋼板表面にAl2O3(70%)とMgO(3
0%)を主成分とする焼鈍分離剤を塗布し、ついで85
0℃で50時間の2次再結晶焼鈍と1200℃で飽水素
中で5時間の純化焼鈍を施した。
その後はまず50℃のHCl1液中で酸洗して鋼板表面
の酸化物を除去した後、3%HPとH2O2の溶液中で
化学研磨し鋼板表面を中心線平均粗さ0.05μmの鏡
面状態に仕上げた2種類の試料に次の処理を施した。
(1)CVD装置を用イテTlC1,とH2およびN2
0)混合ガス雰囲気中で750℃、20時間にわたり鋼
板表面上でCVD反応させ、鋼板表面上にTiN(0,
6μm厚)を形成(a) させた。このCVD処理後1
部の試料はさらに750℃で10時間H2ガス雰囲気中
で焼鈍(b)を施した。
(2)同様にしてTiCl4 とH2およびCHaの混
合ガス雰囲気中で850℃、5時間の鋼板表面上でCV
D反応させ鋼板表面上にTic(0,5μm厚)を形成
(C)  させた。このCVD処理後1部の試料はさら
に700℃で15時間H2ガス雰囲気中で焼鈍(d)を
施した。
このようにして得られた製品の磁気特性を、表面状況及
び鋼中のC,Nの分析値を通常の手順による一方向性珪
素鋼板(e)  と比較して表1に示す。
1□ 表1から明らかなように一方向性珪素鋼板の鏡面化後口
vD処理により鋼板表面上にTiNあるいはTiCの極
薄張力被膜を形成させた(a)〜((])の条件ではま
ず鉄損が0.64〜0.70W/kgで(e)の鏡面仕
上及び極薄張力被膜を形成させない(通常工程処理の比
較材)条件の鉄損0.88W/kgと比較して極端に良
好な鉄損を示すことが注目される。しかしながら(a)
〜(d)の処理条件の中で(a)および(C)の製品の
鋼板表面状況はTiC1gの若干の残留によると見られ
るべとつきが認められ表面酸化等鋼板への悪影響が懸念
されぬでもない。これに対して(b)および(d)の処
理条件では、H2雰囲気焼鈍の付加により鋼板表面状況
は良好で、しかも鉄損は0.64〜0.65W/kgと
超低鉄損を示すことが注目される。
(作 用) この発明に従い上記のような超低鉄損化が導かれる理由
は、完全に解明されたわけではないが、鋼板表面上にT
iN、 TicないしはT I(CN)の極薄張力被膜
を形成させた後のH2雰囲気焼鈍により表1に示す鋼中
のC,Nの分析値から明らかなように純化がさらに促進
されたことと、■2焼鈍によりより完全なTiN、 T
icの被膜となったため一層の弾性張力が鋼板に加えら
るようになったためと考えられる。
このようにCVD処理により鋼板表面上にTiN。
TiC,Ti(CN)の極薄張力被膜を形成させた後、
さらにH2雰囲気中で焼鈍を施すことにより鉄損の一層
の向上と鋼板の表面状況の改善を図ることができる。
この発明による特性の向上は、鏡面鋼板とCVD処理に
より形成させたTiN、 TiC,Ti(C,N)の極
薄膜との間に強い密着性を保った状態で強い張力が珪素
鋼板の面上に働いて従来比類のない超低鉄損が実現され
るが、さらにその後H2焼鈍を施すことにより鋼板の一
層の純化が達成されるのである。
ここに塑性的な微小ひずみの働きを利用するわけではな
いので、熱安定性に何らの問題なく、ひずみ取り焼鈍の
如き高温の熱履歴の下に電気・磁気的特性に影響される
ところがない。
ここに仕上表面の中心平均粗さは、Ra≦0.4μmの
鏡面状態とすることが必要で、Ra>0.4μmのとき
、表面が粗いため、十分な鉄損低減が期待できない。
次に張力絶縁被膜の膜厚は、0.05〜1μmの範囲で
適合し、0.05μmに満たないときは、必要な張力付
与に寄与し得ない一方、1μmをこえると、占積率およ
び密着性の不利が生じる。
次にこの発明による、一方向性珪素鋼板の製造工程につ
いて説明する。
出発素材は従来公知の一方向性珪素鋼板素材成分、例え
ば ■C:0.03〜0.05%、 Si:2.50〜4.
5%、Mn : 0.01〜0.2%、 Mo : 0
.003〜0.1%、Sb : 0.05〜0.2%、
S又はSeの1種あるいは2種合計で、o、 oj5〜
0.05%を含有する組成■C:0.03〜0.08%
、 Si:2.0〜4.0%、S:0.005〜0.0
5%、N:0.001〜0.01%、A1:0.01〜
0.06%、  Sn:0.01〜0.5  %、Cu
 : 0.01〜0.3%、 Mn : 0.01〜0.2%を含有する組成■C:0
.03〜0.06%、 Si:2,0〜4.0%、S:
0.005〜0.05%、B : 0.0003〜0.
0040%、N :0.001〜0.01%、Mn :
 0.01〜0.2%を含有する組成 の如きにおいて適用可能である 次に熱延板は必要に応じて800〜1100℃の均一化
焼鈍を経て1回の冷間圧延で最終板厚とする1回冷延法
か又は、通常850℃から1050℃の中間焼鈍をはさ
んでさらに冷延する2回冷延法にて、後者の場合最初の
圧下率は50%から80%程度、最終の圧下率は50%
から85%程度で0.15mmから0.35mm厚の最
終冷延板厚とする。
最、終冷延を終わり製品板厚に仕上げた鋼板は・表面脱
脂後750℃から850℃の湿水素中で脱炭・1次再結
晶焼鈍処理を施す。
その後鋼板表面にAl2O3,h02あるいはTin2
゜MgO等を主成分とする焼鈍分離剤を塗布する。この
発明の場合は、フォルステライトが形成される場合であ
っても形成されない場合であっても適用可能である。仕
上げ焼鈍後のフォルステライト被膜を形成させないため
にはA I! 203等の不活性焼鈍分離剤の含有率を
高めることが必要である。
その後2次再結晶焼鈍を行うが、この工程は(110)
 <001>方位の2次再結晶粒を充分発達させるため
に施されるもので、通常箱焼鈍によって直ちに1000
℃以上に昇温し、その温度に保持することによって行わ
れる。
この場合(110) <001>方位に、高度に揃った
2次再結晶粒組織を発達させるためには820℃から9
00℃の低温で保定焼鈍する方が有利であり、そのほか
例えば0.5〜b 鈍でもよい。
2次再結晶焼鈍後の純化焼鈍は、水氷素中で1100℃
以上で1〜20時間焼鈍を行って、鋼板の純化を達成す
ることが必要である。
次にこの発明では、純化焼鈍後に鋼板表面の酸化物被膜
を硫酸、硝酸または弗酸などの強酸により除去する。ま
たこの酸化物除去は機械研削により行ってもよい。
この酸化物除去処理の後化学研磨あるいは電解研磨等従
来の手法により鋼板表面を鏡面状態つまり中心線平均粗
さ0.4μm以下に仕上げる。
その後鋼板表面をTiCl2. TiCl3又はTlC
14などのTi化合物のガスに加えてH2とN2および
/又はCH4との混合ガス中でCVD処理することによ
り、TiN。
TiCあるいはTi(CN)の極薄張力被膜を板面に形
成させた後、600℃から1000℃の温度範囲でH2
雰囲気焼鈍することが必須条件である。
このH2雰囲気中での焼鈍温度は600℃より低いとT
iCl4等の反応が遅くなるため、また1000℃をこ
えると鋼板の曲りが多くなり磁気特性が劣化するように
なるため、600℃〜1000℃範囲にする必要がある
またH22中焼鈍間は焼鈍温度によるが、通常10分間
〜50時間程度が適切である。
以上の処理を施した鋼板はさらにその上にりん酸塩とコ
ロイダルシリカを主成分とする絶縁コーティングを施す
とさらに磁気特性が向上する。        ′上記
のように処理された珪素鋼板は平たん化熱処理を行うこ
とができる。
(実施例) 実施例I C:0.043%、Si:3,42%、Mn : 0.
063%、Mo : 0.025%、Se : 0.0
22%、sb : 0.025%を含有する熱延板を、
900℃で3分間の均一化焼鈍後、950℃の中間焼鈍
をはさんで2回の冷間圧延を行って0.23mm厚の最
終冷延板とした。
その後820℃の湿水素中で脱炭焼鈍機鋼板表面に八n
 2[13(70%>、 Mg[l (30%)を主成
分とする焼鈍分離剤を塗布した後850℃で50時間、
2次再結晶焼鈍し、120℃で8時間乾水素中で純化焼
鈍を行った。
その後酸洗により酸化被膜を除去後、3%)IPとH2
O2液中で化学研磨して鏡面仕上げした。
その後CVD装置を用いてTlC14とH2とN2ガス
雰囲気中で780℃で15時間のCVD反応により鋼板
表面上にTiN(0,65μm)の極薄張力被膜を形成
させた後、700℃で15時間の水素焼鈍を行なった。
そのときの製品の磁気特性は次のようであった。
B+o : 1.92 T、   W+t/so : 
0.62W/kg実施例2 C:0.058%、Si:3.36%、Mn : 0.
080%、A10.025%、S:0.028%、N:
0.0068%、Cu : 0.1%、Sn:0.05
%を含有する熱延板を、1150℃で3分間の均−化焼
鈍後急冷処理を行い、その後300℃の温間圧延を施し
て0.20mm厚の最終冷延板とした。
その後850℃の湿水素中で脱炭焼鈍後、表面にA j
2203 (80%)、 MgO(20%)を主成分と
する焼鈍分離剤を塗布した後850℃から1150℃ま
で8℃/hrで昇温しで2次再結晶させた後、1200
℃で8時間乾水素中で純化焼鈍を行った。
その後酸洗により酸化物被膜を除去し、ついで3%HF
と82D□液中で化学研磨して鏡面仕上げした。
ソノ後CVD装置を用イテTiCl4 とH2とN2と
CH。
混合ガス中で800℃で17時間のCVD反応により鋼
板表面上にTi (C,N)の極薄張力被膜を形成させ
た後、800℃で10時間のH2中焼鈍を施した。その
後この表面上にさらにりん酸塩とコロイダルシリカを主
成分とする絶縁コーティング処理した。そのときの製品
の磁気特性は次のようであった。
B10:1・92 T、  l1tt/so : 0.
59W/kg(発明の効果) 上掲各発明とも、CVD法の適用にょるTiC,TiN
又はTi (C,N)からなる極薄張力被膜の特性を最
大限度に発現させることにあわせて鋼板の純化促進にも
寄与して、一方向性珪素鋼板の超低鉄損化に有用である

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、仕上焼鈍済みの一方向性珪素鋼板の表面上の酸化物
    を除去し、中心性平均粗さ0.4μm以下の鏡面状態に
    仕上げた後、CVD処理により、鋼板表面上にTiN、
    TiCないしはTi(CN)の極薄張力被膜を形成させ
    、その後、600〜1000℃の温度範囲でH_2雰囲
    気中における焼鈍を加えることを特徴とする超低鉄損一
    方向性珪素鋼板の製造方法。 2、仕上焼鈍済みの一方向性珪素鋼板の表面上の酸化物
    を除去し、中心性平均粗さ0.4μm以下の鏡面状態に
    仕上げた後、CVD処理により、鋼板表面上にTiN、
    TiCないしはTi(CN)の極薄張力被膜を形成させ
    、その後、600〜1000℃の温度範囲でH_2雰囲
    気中における焼鈍を加え、さらに該張力被膜上にりん酸
    塩とコロイダルシリカを主成分とする絶縁被膜を被成す
    ることを特徴とする超低鉄損一方向性珪素鋼板の製造方
    法。
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DE8686904726T DE3673290D1 (de) 1985-02-22 1986-02-21 Herstellungsverfahren fuer unidirektionale siliziumstahlplatte mit aussergewoehnlichem eisenverlust.
US06/907,734 US4713123A (en) 1985-02-22 1986-02-21 Method of producing extra-low iron loss grain oriented silicon steel sheets
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