JPS6223984A - 一方向性珪素鋼板の磁歪の圧縮応力特性を改善する極薄張力被膜 - Google Patents

一方向性珪素鋼板の磁歪の圧縮応力特性を改善する極薄張力被膜

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JPS6223984A
JPS6223984A JP16122385A JP16122385A JPS6223984A JP S6223984 A JPS6223984 A JP S6223984A JP 16122385 A JP16122385 A JP 16122385A JP 16122385 A JP16122385 A JP 16122385A JP S6223984 A JPS6223984 A JP S6223984A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 一方向性けい素鋼板の電気・磁気的特性の改善のうち、
鉄損の低減に係わる極限的な要請を満たそうとする近年
来の目覚ましい開発努力については、逐次その実を挙げ
つつある。
この明細書では、上記特性のうち、とくに一方向性けい
素鋼板における磁歪の圧縮応力特性について、上記要請
を有利に充足し得る新たな方途を拓くことについての開
発研究の成果に関連して以下に述べる。
さて一方向性珪素鋼板は、よく知られているとおり製品
の2次再結晶粒を(+10)  (001)、すなわち
ゴス方位に、高度に集積させたもので、主として変圧器
その他の電気機器の鉄心として使用され、電気・磁気的
特性として製品の磁束密度(B、。
で代表される)が高く、しかも鉄1員(W+wzso値
で代表される)の低いことに加えて、とくに磁歪特性が
優れていることも要求される。
この一方向性珪素鋼板は複雑多岐にわたる工程を経て製
造され、それにつきこれまでにもおびただしい改善が加
えられ、今日では板厚0.30mmの製品の磁気特性が
B、。1 、90T以上、讐、775゜1.05W/k
g以下、また板厚0 、23mmの製品の磁気特性が8
1゜1.89T以上、Wl’l/S。0.90−/kg
以下の超低鉄損一方向性珪素鋼板が製造されるようにな
って来ているが、このようにすぐれたBIGおよびw+
7z5oのレベルにおいて、一方向性けい素鋼板の磁歪
の圧縮特性をもあわせ向上するのに有用な極薄張力被膜
が順をおって説明するように、この発明により新たに究
明されたのである。
一般にけい素鋼板の磁歪は鋼板を磁化した際に鋼板が伸
縮振動する現象であり、変圧器騒音の最も大きな原因と
なっている。
この磁歪挙動はml板の磁化過程が90°磁壁移動およ
び回転磁化を含むことに起因し、鋼板にががる圧縮応力
に応じて磁歪は増大する。
変圧器の組立時には不可避的に鋼板に圧縮応力が加わる
ところ、あらかじめ、鋼板に張力を与えておけば、磁歪
の圧縮応力特性の面で有利である。
もちろん鋼板に張力が与えられることは、方向性けい素
鋼板の鉄損の改善にも有効でその効果も顕著である。
一般に方向性けい素鋼板ば、通常2次再結晶前の脱炭・
1次再結晶焼鈍時に鋼板表面に形成されるファイヤライ
ト(Fe2Si04)と呼ばれる鉄酸化物と、MgOを
主体とする焼鈍分離剤との仕上げ焼鈍の際における高温
反応によって生成させたフォルステライト質下地被膜と
さらにその−にのりん酸塩とコロイダルシリカを主成分
とする焼イ」り被膜とによって張力が加えられ、磁歪特
性の改善が行われてはいるが、このような在来法による
(〃歪の圧縮応力特性の改善は必ずしも充分とはいえな
い。
(従来の技術) 磁歪特性を改善するため鋼板表面に弾(11張力をかけ
ることのできる絶縁被膜の開発(例えば特公昭56−5
21117号あるいは特公昭53−28375号公報参
照)はもちろん行われたが、依然として、実効に乏しい
(発明が解決しようとする問題点) 一方向性けい素鋼板における磁歪の圧縮特性の一層有利
な向上を、鉄1員の有効な低減にあわせ実現することが
できる張力被膜を与えて、該鋼板の電気、磁気特性の充
実を実際的に可能にすることがこの発明の目的であり、
ここにTiN、TiCないしはTi (CN)の薄層が
、一方向性けい素鋼板の板面−ヒにおける強固な密着の
下での被覆によって、磁歪の圧縮特性の改善を鉄#Hの
低減にあわせ達成し得ることの新規知見に由来している
(問題点を解決するための手段) この発明はTiN、TiC及びTi (CN)のうち少
なくとも1種の極薄層よりなり、仕上焼鈍済み一方向性
けい素鋼板面をその中心線平均相さ0.4μm以下に仕
上げた鏡面と強固に密着して被覆することを特徴とする
、一方向性けい素鋼板における磁歪の圧縮応力特性を改
善する極薄張力被膜である。
この極薄張力被膜は、それに重ねて施すりん酸塩とコロ
イダルシリカを主成分とした焼付は被膜により電気絶縁
性を助成するのが実際的には必要である。
この発明の成功を由来した実験結果がら説明を進める。
C: 0.045重里%(以下単に%で示ず)、St 
 :3.38%、 Mn : 0.063 %、Se 
 : 0.021 %、 Sb : 0.025%、 
Mo : 0.025%を含有するけい素鋼連鋳スラブ
を、1340℃で4時間加熱後熱間圧延して2.0mm
厚の熱延板とした。
その後900℃で3分間の均一化焼鈍後、950 ’c
で3分間の中間焼鈍をはさむ2回の冷間圧延を施して0
.23mm厚の最終冷延板とした。
その後820℃湿水素中で脱炭・1次再結晶焼鈍を施し
た後、鋼板表面にA e 、03(70%)とMg0(
30%)を主成分とする焼鈍分離剤を塗布し、ついで8
50°Cで50時間の2次再結晶焼鈍と1200℃で軟
水素中で5時間の純化焼鈍を施した。
その後はまず50℃のHC7!液中で酸洗して鋼板表面
の酸化物を除去した後、3%IIFと1120□の溶液
中で化学研磨し鋼板表面を中心線平均*口さ0.05μ
mの鏡面状態に仕上げた。
その後CVD装置を用いてTiCβ4と11□とN2の
混合ガス雰囲気中で750 ’Cで20時間の、鋼板表
面上でのCVD反応により0.7 μm厚のTiN張力
薄膜を形成させた。
この後鋼板表面上にりん酸塩とコロイダルシリカを主成
分とする絶縁被膜を焼イ」けにより形成させた後、80
0°Cで2時間のひずみ取り焼鈍を行って製品とした。
この製品の磁歪の圧縮応力特性ならびに磁気特性を第1
図にて、通常工程+A(比較材)と仕較して示す。
なおこのときの比較材は、上記の0.23m+n厚の最
終冷延板の一部に、820℃の湿水素中で脱炭・1次再
結晶焼鈍を施した後、鋼板表面でとくにMgOを主成分
とする焼鈍分離剤を塗布したほかは、その後850℃で
50時間の2次再結晶焼鈍と1200℃での乾燥水素中
での5時間の純化焼鈍についても、またこのとき鋼板表
面上に形成されるフォルステライト下地被膜に重ねる、
りん酸塩と10イダルシリカを主成分とする絶縁被膜の
焼付けについても上掲供試+Aと同様な手順とした。
第1図から明らかなようにこの発明のTiN極薄張力被
膜を被成した製品の磁気特性はまずBIGが1.92T
、 W+7zsoが(1,69W/kgときわめて良好
で、しかも圧縮応力を0.6kg/mm2に至るまで増
加しても磁気ひずみλppの増加がきわめて少ない。
これに対して通常工程材(比較材)による製品の磁気特
性はLoが1.91’JT、 W+77soが0.87
W/kgで、しかも圧縮圧力を加えるほど磁気ひずみλ
ppが増加し、例えば圧縮応力σが0.4kg/mm”
で磁気ひずみλppが3.2 Xl0−6にも達する大
きな値を示す。
引続き発明者らは、製品板厚の異なる場合にも−F記の
磁歪の圧縮応力特性の優れた超低鉄損一方向性けい素鋼
板が得られるかどうかについて広範囲な実験を行った。
すなわちC0,042%、Si 3.38%、Mn 0
.062%。
Se O,021%、Sb O,025%、Mo 0.
025%を含有するけい素鋼連鋳スラブを1360℃で
5時間加熱後、熱間圧延して1.8〜3.0■厚の熱延
板とした。
その後厚さの異なる熱延板を通し900°Cで3分間の
均−化焼鈍後、950℃で3分間の中間焼鈍を挟む2回
の冷間圧延を施して、0.17,0.20,0.23゜
0.27,0.30及び0.35mm厚にグループ分け
した最終冷延板を得た。
その後820℃の湿水素中で脱炭・1次再結晶焼鈍を施
した後、鋼板表面上にA 1g(L+ (70%)とM
g0(30%)を主成分とする焼鈍分離材を塗布し、つ
いで850°Cで50時間の2次再結晶焼鈍と1200
°Cで軟水素中で5時間の純化焼鈍を施した。
その後はまず70℃のIC7!液中で酸洗して鋼板表面
の酸化物を除去した後、3%IIPと11□0□の溶液
中で化学研磨し鋼板表面を中心線平均粗さ0.05μm
の鏡面状態に仕1−げた。
その後PVD (イオンブレーティング)装置を用いて
これらの鋼板表面上に、0.005〜3μmの範囲で種
々の厚みの異なる極薄張力被膜を形成させた。
その後鋼板表面トにりん酸塩とコロイダルシリカを主成
分とする絶縁被膜を焼付けにより形成させだ後、800
°Cで2時間のひずみ取り焼鈍を行って製品とし、その
ときの磁歪の圧縮応力特性ならびに磁気特性の測定を行
なった結果を第2図にまとめて示した。
第2図には圧縮応力が0.4kg/+nm”での製品の
磁歪が0.5 Xl0−6λpp以下となる、製品板厚
−張力被膜厚の対応を各製品板厚における鉄損値ととも
に示した。
第2図から明らかなように磁歪特性が鉄損値と共に優れ
た一方向性けい素鋼板を得るためには、製品板厚とTi
Nの膜厚とは相関があり、製品板厚の薄い製品ではTi
Nの膜厚を薄く、製品板厚の厚い製品ではTiNの膜を
厚くする必要のあることがわかる。
(作 用) 上記のように仕上焼鈍済一方向性けい素鋼板の鏡面化後
におけるTiNの極薄張力被膜形成による磁歪の圧縮応
力特性及び磁気特性の改善が達成される理由は鏡面化に
より磁壁の移動を容易にした状態で、鋼板との密着性の
優れたTiN張力被膜を形成することによって鋼板に強
力な弾性張力が与えられたためであると考えられる。ご
のTiN張力被膜は製品板厚によって最適膜厚が存在し
、板厚の厚い製品ではTiNの膜厚を厚くして張力を大
きくする必要がある。
このようにけい素鋼板に与えられた引張応力は磁歪だけ
でなく、鉄損の改善にも有効であり、特にゴス方位に強
く集積した高磁束密度一方向性けい素鋼板の場合には効
果が顕著である。
次にこの発明による、一方向性けい素鋼板及びその製造
工程について説明する。
出発素材は従来公知の一方向性けい素鋼素材成分、例え
ば ■C: 0.03〜0.05%、  Si : 2.5
0〜4.5%Mn : 0.01〜0.2%、  Mo
 : 0.003〜0.1%Sb : 0.005〜0
.2%、   S又はSeの1種あるいは2種合計で、
0.005〜0.05%を含有する組成■C: 0.0
3〜0.08%、  Si : 2.0〜4.0%S 
:0.005〜0.05%、 N : 0.001〜0
.OI%^Il: 0.01〜0.06%、  Sn 
: 0.01〜0.5%、Cu : 0,01〜0.3
%、  Mn : 0,01〜0.2%を含有する組成 ■C,: 0.03〜0.06%、  Si:2tO〜
4.0%S : 0.’005〜0.05%、 B :
 O’、0003〜0.004%、N : 0.01〜
0.05%、  Mn : 0.01〜0.2%、を含
有する組成 ■C:0,03〜0.05%、  Si : 2.0〜
4.0%Ss i 0.005〜0.05%、 Sh 
j O,005〜0.2%を含有する組成 ■C:0.03〜0.05%、  Si : 2.0〜
4,0%、S : 0.005〜0.05%、 Mn 
: 0.01〜0.2%を含有する組成 の如きにおいて適用可能である 次に熱延板は800〜1100°Cの均一化焼鈍を経て
1回の冷間圧延で最終板厚とする1回冷延法か又は、通
常850℃から1050℃の中間焼鈍をはさんでさらに
冷却する2回冷延法にて、後者の場合最初の圧下率は5
0%から80%程度、最終の圧下率は50%から85%
程度で0.15mmから0.35mm厚の最終冷延板厚
とする。
最終冷延を終り製品板厚に仕上げた鋼板は、表面脱脂後
750℃から850℃の湿水素中で脱炭・1次再結晶焼
鈍処理を施す。
その後鋼板表面に” 203+ ZrO,あるいはTi
O2゜MgO等を主成分とする焼鈍分離剤を塗布する。
この発明の場合は、フォルステライトが形成される場合
であっても形成されない場合であっても適用可能である
。従来仕上げ焼鈍後の形成を不可欠としていたフォルス
テライトはとくに形成させない方が、その後の鋼板の鏡
面処理を簡便にするのに有効であるので、焼鈍分離剤と
して^βz(h+Zro□。
TiO□等を50%1ソ上MgOに混入して使用するの
が好ましい。
その後2次再結晶焼鈍を行うが、この工程は(110+
  <001 >方位の2次再結晶粒を充分発達させる
ために施されるもので、通常箱焼鈍によって直ちに1o
oo℃以上に昇温し、その温度に保持することによって
行われる。
この場合(110)り001〉方位に、高度に揃った2
次再結晶粒組成を発達させるためには820℃から90
0℃の低温で保定焼鈍する方が有利であり、その他例え
ば0.5〜b でもよい。
2次再結晶後の焼鈍は、軟水素中で1100℃以上で1
〜20時間焼鈍を行って、鋼板の純化を達成することが
必要である。
この純化焼鈍後に鋼板表面の酸化物被膜を公知の酸洗な
どの化学的除去法や切削、研磨などの機械的除去法又は
それらの組合わせにより除去する。
この酸化物除去処理の後、化学研磨、電解研磨などの化
学的研磨や、パフ研磨などの機械的研磨あるいはそれら
の組合せなど従来の手法により網板表面を鏡面状態つま
り中心線平均粗さ0.4 μm以下に仕上げる。
このような鏡面研磨後、CVD、イオンブレーティング
あるいはイオンインプランテーション等によりTiN、
TicあるいはTi(CN)のうちの1種以上からなる
極薄張力被膜を形成させる。このときの被膜の最適膜厚
は第2図から明らかなように製品板厚によって異なり、
板厚の厚い製品では膜厚を厚く、板厚の薄い製品では膜
厚を薄くする必要がある。
さらにこのように生成した張力被膜上にりん酸塩とコロ
イダルシリカを主成分とする絶縁被膜を焼付し、さらに
600〜9oo℃の温度範囲でひずみ取り焼鈍を施して
製品とする。
(実施例) (実施例1) (a) C:0.042%+S+:3.36%+Mn:
0.062 %+Mo:08024 %+Se:0.0
21%+Sb:0.025%。
(b) C:0.056%、Si:3.36%、Mn:
0.068 %、A7h0.026%。
S :0.029%、 N:o、0069%、Cu:0
.1%、Sn:0.05%。
をそれぞれ含有する熱延板を用意した。
まず(a)の熱延板は900℃で3分間の均一化焼鈍後
950℃の中間焼鈍をはさんで2回の冷間圧延を行って
0.20no++厚の最終冷延板とした。
一方(b)の熱延板は1080℃で3分間の均−化焼鈍
後急冷処理を行い、その後300℃の温間圧延を施して
0.20m’m厚の最終冷延板とした。
その後何れの冷延板についても830℃の湿水素中で脱
炭焼鈍後、鋼板表面にAρ203(75%)、Mg0(
20%)、Zr0z(5%)を主成分とする焼鈍分離剤
を塗布した後、(a)の素材による試ネ1は850°C
で50時間の2次再結晶焼鈍後、1200°Cで5時間
の軟水素中で純化焼鈍(b)の素材による試料は850
℃から5℃/hrで1050℃まで昇温して2次再結晶
させた後、1200’cで8時間軟水素中で純化焼鈍を
それぞれ行った。
その後酸洗により酸化物被膜を除去し、次いで3%ll
F、!:H20□液中で化学研磨して鏡面仕上げした。
その後CVD装置を用いて(i)TiCn4とN2とN
2の混合ガスによりTiNの薄膜、 (ii)TiC7
!4 とN2とN2とC114の混合ガスにより、Ti
(CN)の薄膜および(iii )TiCR4とN2と
N2とC114の混合ガスによりTiCの薄膜を、いず
れも0.7 μm厚で形成させた。
またイオンブレーティングおよびイオンインプランテー
ション装置を用いて(iv )Ti (CN)および(
v)TiCの0.7〜0.9μm厚の薄膜を形成させた
その後これらの処理をした試料は表面にりん酸塩とコロ
イダルシリカを主成分とする絶縁被膜の焼付処理をした
後、800℃で2時間のひずみ取り焼鈍を行った。
そのときの製品の磁気特性および磁歪の圧縮応力特性(
圧縮応力σが0.4および0.6kg/no++”下で
の磁気ひずみλρpの値)を表1に示す。
(実施例2) C:0.043%、Si:3.42%、Mn:0.06
9%、Se:0.021%。
Sb:0.025%、 Mo:0.025%を含有する
一方向性けい素鋼を1400℃で3時間加熱した後、熱
間圧延して1.8〜2.7mm厚の熱延板とした。その
後900℃で3分間の均一化焼鈍後、950℃で3分間
の中間焼鈍をはさんで2回の冷間圧延を施して0.20
,0.23゜0.27mmおよび0.30mm厚の最終
冷延板とした。
その後830℃の湿水素中で脱炭を兼ねる1次再結晶焼
鈍を施した後、MgO(20%>、 tu、o、(70
%)。
TiO□(5%)、Zr07(5%)の焼鈍分離剤を塗
布した後、850°Cで50時間の2次再結晶焼鈍後、
1200℃で5時間乾H2ガス中で純化焼鈍を行った。
その後軽酸洗により鋼板表面上の酸化物を除去した後、
電解研磨を行って鋼板表面を鏡面状態に仕−にげた。
その32PVD(イオンブレーティング装置)を用いて
TiNの)W膜を形成させた後、りん酸塩とコロイダル
シリカを主成分とする絶縁被膜の焼付処理をした後、8
00℃で3時間のひずみ取り焼鈍を行った。そのときの
製品の板厚別磁気特性、TiN薄膜の膜厚および磁歪の
圧縮応力特性(圧縮応力σが0.4 kg/mm”及び
0.6kg/mm2での磁気ひずみλppの値)を表2
に示す。
(発明の効果) この発明の極薄張力被膜は、一方向性けい素鋼板におけ
る磁歪の圧縮応力特性の磁気特性とともにする改善に著
しく寄与する。
【図面の簡単な説明】
第1図はTiN極薄張力被膜形成した番」い素鋼板と通
常の工程材(比較材)のけい素鋼板のffl気特性と磁
歪の圧縮応力特性を示すグラフ、第2図は鉄1員と磁歪
特性が共に良好な製品板厚とTih 薄膜厚の関係を示
す図表である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、TiN、TiC及びTi(CN)のうち少なくとも
    1種の極薄層よりなり、仕上焼鈍済み一方向性けい素鋼
    板面をその中心線平均粗さ0.4μm以下に仕上げた鏡
    面と強固に密着して被覆する、ことを特徴とする、一方
    向性けい素鋼板における磁歪の圧縮応力特性を改善する
    、極薄張力被膜。
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