JPS62216243A - ウエ−ハ押し出し装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 く利用分野〉 本発明は、半導体ウェーハ検査装置に於けるウェーハの
取り出し装置に関するもので、より詳しくは該検査装置
に於いて、多数のウェーハが収納されたカセットより任
意のウェーハを取り出せるようにした装置に関する。

〈従来技術〉 従来、半導体ウェーハ検査装置、例えば外観検査装置、
プローブ検査ｖ装置等に於いては、検査を効率よく行な
う為に多数のウェーハを適宜間隔で段積みしだウェーハ
収納カセットを利用し、該カセットよりウェーハを順次
取り出してベルトにて検査部に搬送し、又検査終了後の
ウェーハを所定のカセットに搬送収納するようにしてい
る。

ところで、」１記ウェーハの取り出し、収納手段として
は、一般的には、所定位置に配設されるカセット内部本
で延設した搬送ベルトにより、取り出し時はカセットを
上下移動できるようにして最下段のウェーハから順次ベ
ルトに載せ、収納時は空力セットの上段から順次カセッ
ト内へ挿し込むようにしている。

また、他の手段としては、上面にバキュームチャッキン
グ用の溝を形成したアームを利用し、このアームをカセ
ット内の所定ウェーハ裏面に進退させて該ウェーハを吸
着し、もって取り出し、収納を行なわせるようにしたも
のも存する。

−２＝ ところで、前者の手段に於いでは、ウェーハの取り出し
、収納を常にカセット内の配列順序に従って検査する場
合には何ら不都合の生じることはないが、抜ト取り検査
の如く無作為に取り出すことは全く不可能（収納効率を
上げる為ウェーハ開隔が非常に狭く、搬送ベルトをウェ
ーハ間に延設させることができない）であり、又後者の
手段に於いては反りのあるウェーハの吸着把持には困難
が伴なう等の欠点があり、改善が望まれているものであ
った。

そこで上記問題を解決するものとして、例えば特開昭５
０−１６３９号公報あるいは特開昭５９−１３９６４２
号公報等に開示されている如く、カセットを介して搬送
部と対向するように、かつカセットを通して搬送部に対
し進退するようにした押し出しバーを利用した押し出し
装置が提案されている。

」１記によれば、押し出しバーはウェーハ１枚を押し出
すだけの厚み寸法である為、カセットの上下移動により
任意のウェーハを押し出すことかでき、前述従来の問題
点を解決し得てその点に於いて非常に便なる効果を奏す
ることができる。

しかしながら、−に記押し出しバ一方式に於いては、押
し出しウェーハに対する位置決め精度からは水平方向に
進退させるのが望ましく、また確実な押し出しをはかる
為少なくともカセットの奥行き寸法分子若干の余裕分（
カセット上下動を阻害しないことと取り付は誤差等）の
長さ方向寸法を要することになる。しかして近年のウェ
ーハは次第に大径化しており、これに対応する為には押
し出しバーも長尺化するのを免れ得ないものであって、
そうすると該押し出しバー槻構部のスペース占有部が大
きくなり、不必要な空間の増大を招外、結局検査装置全
体の寸法を不必要に大きくしてしまうことが考えられ、
甚だ不具合な問題が新たに生じる欠点を有していた。

く本発明の目的〉 本発明は押し出し方式に於ける上記の如き欠点に鑑み提
供されたもので、ウェーハ押し出し部材に曲折自在で且
つ姿勢復帰習性を付与した長尺部材を利用することで、
ウェーハ押し出し８！構部の寸法増大を招くことが殆ど
なく、換言すれば検査装置全体の寸法をウェーハ押し出
し装置によって増大せしめることなく、又、ウェーハの
大径化にも対応容易でかつ位置決め精度の確保も極めて
容易なウェーハ検査装置のウェーハ押し出し装置を提供
しようとするものである。

〈実施例〉 図は本発明に係る好適な一実施例を示す要部の構成図で
あり、図に於いて１は半導体ウェーハ２を適宜間隔で多
数段積み収納する既知の収納カセットであり、搬送ベル
ト３（第２図参照）に対向する正面側と後述するウェー
ハ押し出し装置の押し出し部材と対向する背面側を開口
している。１０は本発明実施例に係るウェーハ押し出し
装置を示すもので、１１は長さ方向に直交する方向の断
面を弧状にして湾曲習性を付与した、所謂コンベックス
形状の曲折自在な長尺帯板でなるウェーハ押し出し部材
であり、１２は該押し出し部材１１の進退を直角方向に
ガイドするがイドローラ、１３は該ガイドローラに沿っ
た進退を円滑に規制する押さえローラであってガイドロ
ーラ１２に対し相互に直角位置に配置している。１４は
最終的に所望の押し出しウェーハ２への進退方向を規制
するピンチローラ、１５はウェーハ押し出し部材１１の
基端部を固定支持する支持杆、１６は支持杆１５を介し
てウェーハ押し出し部材１１の基端側を上下方向に進退
せしめる駆動装置であり、例えば昇降シリンダ、無端往
復ベルト、ラックピニオン等ウェーハ押し出し部材１１
を直線運動させ得るものであれば何れの方式であっても
よい。（図はエアシリンダ方式を略示している。） しかしてガイドローラ１２及び押さえローラ１３並びに
ピンチローラ１４等のガイド装置は、検査装置本体（図
示せず）の適宜位置に固定される部品基台１７にて回転
自在に支持されており、また駆動装置１６もその送り側
（ベルト式であれば駆動ローラ、シリンダ式であればロ
ッド又はハウジング等）を検査装置本体に取り付けられ
ている。

１８はウェーハ押し出し部材１１のウェーハ押し出し先
端部に取り付けられた当接ピースであり、薄いウェーハ
の押し出しが上下位置誤差を吸収して確実に実行できる
ように適宜厚みで形成されている。この場合、押し出し
部材１１の該先端部を祈り曲げて舌片状に形成しておけ
ば、当接ピース１８を不要とすることもできる。

以」二の如き構成に於いて、所望のウェーハをカセット
１より取り出す場合、昇降テーブル（図示せず）に載設
されたカセット１が上下動して取り出しウェーハ２を所
定位置に臨ませた後、所定の制御信号により駆動装置１
６が駆動し、支持杆１５を介してウェーハ押し出し部材
１１の基端部を押し上げるように作用する。そうすると
、該押し出し部材１１は曲折自在であり、かつ上方に於
いて直角方向（水平方向）に方向転換せしめられるよう
にガイドローラ１２等のガイド装置にて規制されている
ので、通常ならば方向転換の抵抗力により該ローラ部と
部材基端部との中間にて座屈することが考えられるが、
本実施例部材１１はコンベックス形状に形成しているの
で座屈することなく、押さえローラ１３部ではその断面
弧状が平坦化されるので核部で容易に連続して方向転換
せしめられ、ピンチローラ１４でガイドされて水平方向
に進出することになる。しかしてウェーハ押し出し部材
の該ローラ１２．１３部より押し出された部分は湾曲習
性により直ちにその姿勢を直線状態に復帰し、即ちその
座屈抵抗により水平状態を維持するのでそのまま水平方
向に進出する。これにより押し出し部材１１の先端の当
接ピース１８が収納カセット１内に進入し、対向する取
り出しウェーハ２を押し出して搬送ベルト３に移送する
。この押し出しは、搬送ベルト３がウェーハ２を引き取
れる位置まで押せばよいものであって、必ずしも完全に
押し出すことを要しない。

上記手順で所定位置まで進出した押し出し部材１１は、
その後の制御信号による駆動装置１６の下降駆動により
後退し、元位置に復帰せしめられる。

このようにウェーハ押し出し部材１１は駆動源側（基端
側）にては上下方向に進退し、ウェーハ押し出し側（先
端側）にては方向転換により水平方向に進退するので、
例えばウェーハが大径化してもその上下方向の引き込み
寸法を考慮するのみで、押し出し装置としての水平方向
の装置寸法を考える必要はない。即ちスペース寸法的に
影響することがない。また、押し出し部材１１はコンベ
ックス形状により姿勢復帰習性を付与しである為、その
先端部が最長位置まで進出しても自重で座屈したり該先
端が垂れることはなく、軽量なウェーハの押し出しを確
実に行なうことができる。

尚、所定位置で検査を終了したウェーハは、搬送ベルト
で収納カセット部まで搬送されるので、該ベルト側に装
置された既知の押し入れ機構（押し入れ棒ｆｉ　ＩＩＩ
　）等でカセット内に押し入れるようにすればよい。

ところで、本発明は上記実施例に限ることなく種々変更
可能である。即ち、押し出し部材の進退作用装置として
駆動装置１６を別個に装備し利用しているが、ガイドロ
ーフ１２等側に回転駆動機摘を設ければ、該駆動装置１
６を不要としてダイレクトドライブが可能となる。又、
押し出し部材１１の先端水平側はピンチローラ１４でそ
の進出方向の確実な規制を行なうようにしているが、ガ
イドローラ１２と対になる押さえローラ１３によりその
位置決めができるようにすればピンチローラ１４を不要
とすることも可能である。しかしながら、ピンチローラ
を利用した方が方向規制は極めて容易で便利である。

更に又、押し出し部材としては、曲折自在で姿勢復帰習
性を備えているものであれば、例えば弾性ワイヤをガイ
ドチューブで被覆したワイヤチューブ部材の如きも利用
することがで終る。この場合は、ガイドチューブが前述
ローラ部材のガイド装置機能を兼ね、またワイヤの座Ｊ
１防止機能、進出方向位置決め等、姿勢復帰習性を併せ
持たせることが可能であり、そうすると、前述ローラガ
イド部は単なる方向転換部材としての適宜な押さえ部材
を利用するだけでよく、これによっても所期目的を充分
に達成することがで終る。

＝１０− く効果〉 以上述べてきたように本発明は、ウェーハ押し出し装置
に於いてウェーハ押し出し部材を曲折自在で且つ姿勢復
帰習性を付与した部材で形成し、ウェーハ収納カセット
側へ進退する先端側は水平方向に、基端側は上下方向に
進退可能なようにガイド装置により該押し出し部材を中
間部で方向転換せしめるように構成したので、該押し出
し装置装備の為のスペースを大きくすることなく各種径
のウェーハに対応することがで終、検査装置本体の寸法
も殆ど影響することなく構成することができる。又、装
置としての構成も簡単にできるなど、従来の欠点を一挙
に解消し得て実用性に極めて優れたウェーハ押し出し装
置を提供することがでトる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の実施例を示すもので、第１図はその要部構
成を示す斜視図、第２図は側面図である。 １：ウェーハ収納カセット　　２：ウエーハ１０：ウエ
ーハ押し出し機構 １１：ウエーハ押し出し部材

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体ウェーハを収納したカセットの任意の位置のウェ
   ーハを押し出すウェーハ押し出し装置を設けた半導体ウ
   ェーハ検査装置に於いて、ウェーハ押し出し部材を曲折
   自在で且つ姿勢復帰習性を付与した長尺部材で形成し、
   ウェーハ収納カセット側へ進退する先端側は水平方向に
   、基端側は上下方向に進退可能にガイド装置により前記
   押し出し部材を中間部で方向転換せしめるように構成し
   たことを特徴とするウェーハ押し出し装置。