JPS62195140A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はウェーハをキャリアからカートリッジｌこ、ま
たはカートリッジからキャリアに移し替えを行うための
ウェーハトランスファー装置に関す＝　１− る。

〔従来の技術〕

ウェーハの処理は、第８図１こ示すように不純物拡散、
成膜及びパターン形成の各工程を繰り返して行われる。

前記不紳物拡散工程及びパターン形成工程におけるホト
レジスト・アッシャ除去工程は、ガス雰囲気沖で行われ
るので、ガスの回りを良くしてウェーハの処理能力を向
上させるためｌこ、かかる工程前にウェーハをキャリア
からカートリッジの溝に１枚間隔ｌこ移し替えることが
必要となる。

従来のウェーハ移し替えのためのウェーハトランスファ
ー治具は、一度ｌこ全てのウェーハを移し替えるように
なっているので、前記したよう【こ１、　　枚間隔Ｅこ
移し替えるには、作業者がビンセットで１枚ずつ行わな
ければならなかった。

なお、ウェーハ移し替え装置は例えば特開昭５７−５９
３４５号公報で知られている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来例では、手作業で１枚ずつ移し替えるので、多
大の時間を要し、ウェーハが外気ｌこ露出されている時
間が長くなり、異物付着や人為的ミスによるウェーハの
破損のおそれがあった。

本発明の目的は、作業時間の短縮及び異物付着の減少並
び−こ人為的ミスｌこよるウェーハの破損ヲ防止するこ
とができるウェーハトランスファー治具を提供すること
にある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記問題点は、キャリア内のウェーハを１枚間隔に押し
出すくし歯型のプッシャと、このプッシャに並設して設
けられ、前面がストリート状のアームとを設けることｌ
こより解決される。

〔作用〕

くし歯型のプッシャを作動させることにより、キャリア
内のウェーハはカートリッジｌこ１枚間隔　　に移し替
えられる。その後新しい空のカートリッジを前記キャリ
アの後方ｌこセットし、今度ストリート状のアームを作
動させると、キャリア内に１枚間隔【こ残っていたウェ
ーハはカートリッジシこ１枚間隔に移し替えられる。

〔実施例〕

以下、図面を参照して本発明の一実施例について説明す
る。第１図及び第２図番こ示すよう船こ、スライドベー
ス１上には、キャリア２を保持するキャリアホルダ３と
、カートリッジ４及びウェーハガイド５を保持するカー
トリッジホルダ６とカ装置される。キャリア２には等間
１ｉｔＣウェーハ７をセットするための溝２ａが形成さ
れている。

前記カートリッジ４及びウェーハガイド５にも、第５図
及び第６図に示すよう番こ、前記キャリア２の溝２ａと
同じピッチで溝４ａ、５ａが形成されている。カートリ
ッジホルダ６には、カートリッジ４を位置決めするカー
トリッジ位置決め部６ａと、ウェーハガイド５を保持す
るガイド保持部６ｂとが設けられ、ガイド保持部６ｂｉ
こウェーハガイド５の突起部５ｂが挿入される。

再び第１図及び第２図に戻って、スライドベース１上に
は前記キャリアホルダ３及びカートリッジホルダ６を位
置決めする位置決めピン８．９が植設されている。また
スライドベース１の左側ｌこは、プッシャ１０が固定さ
れたプッシャホルダ１１と、アーム１２が固定されたア
ームホルダ１３とがそれぞれ摺動自在に設けられている
。プッシャ１０は、第７図番こ示すように、前記キャリ
ア２の溝ピッチの２倍のピッチで配列されたウェーハ押
圧ピン１０ａを有したくし歯型１こ形成されている。

前記アーム１２は前面がストリート状よりなり、この前
面にクッション１４が固定されている。

次ｌこ作用Ｉこついて説明する。ウェーハ７の入ったキ
ャリア２をキャリアホルダ３上に置く。またカートリッ
ジ４をカートリッジホルダ６上ｔこ乗せて位置決め部６
ａｆ［よって位置決めし、次にウェーハガイド５の突起
部５ｂをガイド保持部６ｂｔこ挿入してウェーハガイド
５をカートリッジホルダ６＃こ取付ける。

そして、スライドベース１の左側にキャリアホルダ３を
、右側ｌこカー）　＋１ツジホルダ６をのせ、第２図１
こ矢印で示すようＩこホルダ３．６同志を互いｔこ向い
合うようｔこスライドベース１上に寝かし、位置決めピ
ン８＃こキャリアホルダ３を、位置決めピン９１こカー
トリッジホルダ６をそれぞれ当接させる。

次ｌこ第３図１こ示すように、プッシャホルダー１を矢
印方向へスライドさせる。これｌこより、プッシャ１０
のウェーハ押圧ピン１０８≦こよってキャ　４リア２内
のウェーハ７が１枚間隔でウェーハカイト５の溝ｌこ沿
ってカー）　＋１ツジ４へ移って行く。

次にプッシャホルダー１を元の位置ｌこ後退させる。

そこで、カートリッジホルダ６のみを引き起し、ウェー
ハガイド５を引き抜き、続いてウェーハ１の入っている
カートリッジ４を取出す。

次に空のカートリッジ４をカートリッジホルダ６上に位
置決め載置し、再びウェーハガイド５をカートリッジホ
ルダ６を取付けた後、カートリッジホルダ６をスライド
ベース１１こ寝かせる。そして、今度は第４図に示すよ
うｌこアームホルダー３を矢印方向ｌこスライドさせる
。これにまり、アーム１２の前面のクッション１４１こ
よってキャリア２内に残っている１枚おきの全てのウェ
ーハ７は、ウェーハガイド５の溝ｌこ沿ってカートリッ
ジ４へに 移って行く。次をこアームホルダ１３を元の位置に後退
させる。これｌこより移し替えは完了する。

次に前記と逆にウェーハ７が１枚間隔に入っている２個
のカートリッジ４よりキャリア２１こ戻す場合について
説明する。まずウェーハ７の入った一方のカートリッジ
４をカートリッジホルダ６Ｅこ乗せ、ウェーハガイド５
を取付けた後、今度は前記と逆ｔこスライドベース１の
左側へカートリッジホルダ６を、空のキャリア２を乗せ
たキャリアホルダ３を右側船こそれぞれ寝かせて位置決
めする。

そして、アーム１２を右方向に移動させる。これにより
、カートリッジ４内のウェーハ７はキャリア２に戻され
る。次Ｅこアーム１２を元の位ｉに戻した後、他方のカ
ートリッジ４についても同じように作業を行えば、ウェ
ーハｌはキャリア２へ全て移し替えされる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、ウェーハはキャリアからカートリッジ
ｌこ一度ｌこ移し替えられるので、作業時間が著しく短
縮される。また作業者がピンセットで１枚ずつウェーハ
の入れ替えを行うことにより生ずるチッピングなどの破
損の解消及び異物付着の減少、更ニヒンセットの取扱い
Ｅこはウェーハの大口径化に伴ない熟練度が必要となる
などの作業性の問題も解決され、歩留りの向上が図れる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明になるトランスファー治具の一実施例を
示す平面図、第２図は第１図の正面図、第３図はプッシ
ャ動作状態を示す正面図、第４図はアーム動作状態を示
す正面図、第５図はカートリッジ、ウェーハガイド及び
カートリッジホルダの組合せを示す斜視図、第６図はカ
ートリッジを示し、ｌａｌは正面図、（１））は側面図
、第７図はプッシャを示し、＋ａ）は正面図、（１））
は側面図、第８図はウェーハ処理工程の説明図である。 ■・・・スライドベース、　　　２・・・キャリア、４
・・・カートリッジ、　　　　７・・・ウェーハ、１０
・・・プッシャ、　　　１０ａ・・・ウェーハ押圧ピン
、１２・・・アーム。　　　　　　　　　　　　　　７
−５代理人　弁理士　小　川　勝　男、、２ゝ、−ノ 第５図 ｂｏ ４：カートリッジ゛ 第６図 （ａ　）　　　　　　（ｂ） ４：　カートリ・・ノジ°。 ７：　り一−ハ 第７図 （ａ）　　　　　　（ｂ） １ｏ：プッシャ Ｉｏｎ：”；エーハ岬汗ピン

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、ウェーハをキャリアとカートリッジ相互に移し替え
   るためのウェーハトランスファー治具において、前記キ
   ャリア及びカートリッジを載置するスライドベースと、
   このスライドベース上に摺動自在に載置され、前記キャ
   リアの溝ピッチの整数倍のピッチでウェーハ押圧ピンが
   配列されたくし歯型のプッシャと、このくし歯型のプッ
   シャに並設して前記スライドベース上に摺動自在に載置
   され、前面がストリート状のアームとからなることを特
   徴とするウェーハトランスファー装置。