JPS62149151A - ウエ−ハ移替方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、ウェーハを例えば拡散炉内に移送するためカ
セットからボートにウェーハを移し替えたり、拡散工程
を終了したウェーハを後工程に搬送１゛るためボートか
らカセットに移し替えるウェーハ移替方法に関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

半導体装置を製造する拡散工程においては、ウェーハを
石英等からなるボート上に載置した状態で炉内に移送し
ている。一方、この拡散工程の前処理を終了したウェー
ハはカセット内に収納された状態で送られてくる。さら
に拡散工程を終了したウェーハはカセット内に収納され
た状態で後工程に搬送される。従って、ウェーハをカセ
ットおよびボート間で自動的に移し替えるため、第３図
に示すようなウェーハ移替装置が使用されている。

このウェーハ移替装置は、カセット１が１列に並べられ
るカセット載置台５と横長のボートが載置されるボート
載置台６とが隣り合うように設けられ、これらの間を移
８手段３が往復移動づるようになっている。移替手段３
はスライド孔８から上方に延びるアーム７に２枚のクラ
ンプ板９が取り何Ｇノられていると共に、各載置台５．
６に形成された開口１０．１１から昇降機構（図示せず
）が上下動Ｊるようになっている。

そして、カセット１内に収納されたウェーハ４又はボー
ト２上に載置されたウェーハは昇降機構によってカセッ
ト１又はボート２から取り出され、クランプ板９に挟持
された状態で移替される。

第４図はこのウェーハ移替装置を使用してウェーハ４を
移し替える従来の方法を示している。ウェーハ４をカセ
ット１からボー１−２上に移替する場合には、同図の符
号順で示ずように、ボート２に最も遠い位置のカセット
１（カセット列の右端側のカセット）からウェーハ４を
取り出して移替手段３が挟持し、カセット１に最も近い
ボートの載置領域に移送してボート２上に載置する。次
に移替手段３は右端から２番目のカセットの位置に戻り
、内部に収納されたウェーハを取り出して前記載置領域
の左側のボートの載置領域に移し替え、以下、同様にウ
ェーハをカセット単位ごとに移し替える。一方、ボート
２上のつ了−ハをノＪセット１に移し替える場合には、
符号と反対類に行なう。

すなわら、カセット１から最も離れたボートの載置領域
（ボート２の左端側の載置領域）からつ工−ハを取り出
してボート２に最も近い位置のカセット１（カセット列
左端側のカセツ１〜）に移送してカセット１内に収納し
、以下、順次カセット単位ごとにウェーハを移し替える
。

しかしながら、このような従来の方法においては、移替
手段３がウェーハ４を保持した状態で、ボート２又はカ
セット１に収納されたウェーハ上を往復移動する。この
ため、移動時における移替手段３の振動や、クランプ板
に保持されたウェーハの振動で発生した埃がボート２や
カセット１上のウェーハ上に落下して付着し、ウェーハ
を汚染するという問題がある。

〔発明の目的〕

本発明は上記事情を考慮してなされたもので、移替手段
によるウェーハの移し賛えに際し、埃がボートやカセッ
ト上のウェーハに落下することのないウェーハ移替方法
を提供することを目的とする。

〔発明の概要〕

本発明によるウェーハ移替方法は、カセットからボー１
へに移し替える場合、ボートに近いカセットから順にウ
ェーハを取り出してカセットから遠いボート上のウェー
ハ載置領域に順にウェーハを載置し、ボートからウェー
ハに移し替える場合、カセットに近いボートのウェーハ
載置領域から順にウェーハを取り出してボートから遠い
カセットに、順にウェーハを載置するようにして、移替
手段の往復移動の際にクランプ板に保持されたウェーハ
がボート上又はカセット内のウェーハの上を通過しない
ようにしたことを特徴とする。

〔発明の実施例〕

以下、本発明を図示の一実施例により説明゛する。

第１図にカセツｈ　１からボー１−２にウェーハを移し
替える場合の状態を、第２図にボート２からカセット１
に移し替える場合の状態を示す。図示の実施例ではカセ
ツｌ−載置台５上のカセツ１−１は横１列に４基並べら
れており、これに対応するボート２はカセット単位のウ
ェーハが載置されるように長手方向に４箇所のウェーハ
載置領域が形成されている。ここでカセットおよびウェ
ーハ載置領域の区別を行なうため、カセットに対し右端
側からＣＩ、Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４の符号を付し、ボート２
のウェーハ載置領域に対し右端側からＳｌ。

８２．８３．Ｓ４の符号を付して説明する。

カセット１からボート２上にウェーハ４を移し替える場
合、まず、移替手段３は左端側の０４カセツトに移動し
、Ｃ４カセット内に収納されている仝てのウェーハ４を
クランプ板９に挟持する。

このクランプ後、移替手段３はスライド孔８内をボート
載置台６方向に移動し、左端側のＳ４載置領域の位置で
停止し、このＳ４載置領域上にウェーハ４を移し替える
。次に移替手段３はカセット載置台５方向に移動し、左
端側から２塁目のＣ３カセツｉ−の位置で停止して、Ｃ
３カセット内の仝てのウェーハ４をクランプ板９で挾持
する。そして、ボート２のＳ３載置領域まで移動し、Ｓ
３載置領域にウェーハを＠置する。この移動の際には、
移替手段３の移動路上にあるＣ４カーセットおよびボー
ト２のＳ２載置領域、Ｓ１載置領域にはウェーハが存在
しないから、撮動等によって発生する埃がこれらの上に
落下してもウェーハに付着することがない。８３載置領
域への移し替えを終了した後、移替手段３は０２カセッ
１−まで移動し、以下、符号で示す順序でウェーハ４の
移し替えが行なわれる。

すなわち、カセット１からボート２に移し替える場合に
は、ボート２に最も近いカセット１からウェーハを取り
出し、カセットから最も遠いボート２のウェーハ載置領
域に載置し、以下、ボート２から順に離れる位置のカセ
ット１からウェーハを取り出し、カセット１に順に近づ
く位置のボートのウェーハ載置領域に移し替えるもので
ある。

これにより、移替手段の移動路上のカセット１又はボー
ト２のウェーハ載置領域にはウェーハが存在しないから
、埃の付着が防止される。

次に、ボート２上からカセット１内にウェーハ４を移し
苔える場合を第２図により説明する。まず、移替手段３
はスライド孔８を移動してボート２右端側のｓｉａｍ領
域で停止して、クランプ板９に８１載置領域上の全ての
ウェーハを挾持する。

そして、移替手段３はカセット載置台５方向に移動し、
右端側に位置した０１カセツトで停止し、保持している
ウェーハをＣ１カセット内に移し替える。次に、移替手
段３はボート載置台６方向に移動し、ボート２のＳ２載
置領域で停止してＳ２載置領域の全ウェーハを取り出し
、クランプ板に挟持する。そして、Ｃ２カセットまで移
動し、Ｃ２カセット内にウェーハを移し替える。この移
動の際には、移替手段３の移動路上にあるＣ３カセツト
、Ｃ４カセットおよびボート２のＳ１叔置領域にはウェ
ーハが存在しないから、埃が落下しても支障がない。０
２カセツトへの移し替えの後、移替手段３はボート２の
Ｓ３載置領域まで移動し、以下、符号で示す順序でウェ
ーへの移し替えが行なわれる。

すなわち、ボート２からカセット１に移し替える場合に
は、カセット１の最も近い位置のボート２のウェーハ載
置領域のウェーハを取り出してボート２から最も離れた
位置のカセット内に載置し、以下、カセットから離れた
位置のウェーハ載置領域から順にウェーハを取り出し、
ボート２に近づく位置のカセット１に順に移し替えるも
のである。

これにより、ボート２からカセット１への移し替えにあ
っても、移替手段の移動路上のボート２のウェーハ載置
領域又はカセット１にはウェーハが存在しないから埃の
付着が防止される。

〔発明の効果〕

以上のとおり本発明によれば、ウェーハが存在しないカ
セットおよびボート上を移替手段が移動するようにして
、ウェーハの移し替えを行なうようにしたから、振動等
によって埃が落下してもウェーハを汚染することがない
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のウェーハ移替方法によってカセットか
らボートにウェーハを移し替える場合の状態を示す平面
図、第２図はボートからカセットにウェーハを移し替え
る場合の状態を示す平面図、第３図はウェーハ移替装置
の斜視図、第４図は従来の方法で移し替える場合の状態
を示す平面図である。 １・・・カセット、２・・・ボート、３・・・移替手段
。 出願人代理人　　佐　　藤　　−雄 第１図 隼３図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １列に並べられた所定数のカセットと、ウェーハを１列
   に並べて載置するボートとの間を移替手段がカセット単
   位のウェーハを保持しながら往復移動して移し替えるウ
   ェーハ移替方法において、前記カセットから前記ボート
   に前記ウェーハを移替する場合は、前記ボートに近いカ
   セットから順に前記ウェーハを取り出して、前記カセッ
   トから遠い前記ボート上のウェーハ載置領域から順に前
   記ウェーハを載置し、 前記ボートから前記カセットに前記ウェーハを移替する
   場合は、前記カセットに近い前記ボートのウェーハ載置
   領域から順に前記ウェーハを取り出して、前記ボートか
   ら遠いカセットから順に前記ウェーハを格納することを
   特徴とするウェーハ移替方法。