JPS60137034A - ウエ−ハ抜き取り装置 - Google Patents

ウエ−ハ抜き取り装置

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JPS60137034A
JPS60137034A JP24412183A JP24412183A JPS60137034A JP S60137034 A JPS60137034 A JP S60137034A JP 24412183 A JP24412183 A JP 24412183A JP 24412183 A JP24412183 A JP 24412183A JP S60137034 A JPS60137034 A JP S60137034A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wafer
wafers
section
carrier
extruding
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Pending
Application number
JP24412183A
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English (en)
Inventor
Ichi Ono
小野　市
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPS60137034A publication Critical patent/JPS60137034A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、ウェーハ抜き取り装置に関する。
〔発明の技術的背景〕
従来、ウェーハキャリアに収納された複数のウェーハ中
数枚を抜きとって検査（抜き取り検査）を行なう場合、
キャリア中のウェーハとウェーハの間にバキュームピン
セラトラ挿入し、ウェーハを真空吸着することにより抜
き取っていた。
〔背景技術の問題点〕
しかしながら、こうした抜き取り方法によれば、キャリ
ア中のウェーハとウェーハの間にバキュームピンセラト
ラ挿入するため、挿入時に抜き取るべきウェーＩ・の隣
りのウェーッ・の表面をバー１−、−ムピンセットで傷
つけ易いといつ欠点を有する。
〔発明の目的〕
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、抜き取るべ
きウェーハの隣りのウェーハが損傷すること全回避した
ウェーッ・抜き取シ装置を提供することを目的とするも
のである。
〔発明の概要〕
本発明は、ウェーハキャリア収納部と、この収納部に収
納された複数のウェーッ・全植設すべきウェーハキャリ
アと、前記収納部に取り付けられた回転機構部と、この
回転機構部に取シ伺けられ前記ウェーハキャリア内の一
部のウェーハ全上方に押し出す押し出し部とから構成す
ることを特徴とするもので、前記回転機構部を回転する
ことに″より押し出し部でウェー７１キヤリア中の任意
のウェーッ１を互いに十分離間して押し出すことによっ
て、押し出されたウェーッ１をバキュームビンにより真
空吸着する際、隣りのウェーハへの損傷を防止しようと
するものである。
〔発明の実施例〕
以−ト、本発明の一実施例を第１図及び第２図を参照し
て説明する。
図中の１は、例えば塩化ビニール製のウェーハキャリア
収納部である。この収納部１には、構部に抜き１１Ｖ、
り枚数制御用ロータリスイッチ２を設けたテフロン製の
棒状の回転機構部３が取り付けられている。この回転機
構部３の長手方向には、後記ウェー／％金上方に約２〜
５α程度押し出すテフロン製の円板状の押し出し部４・
・・が多数取り付けられている。これら押し出し部けら
れている。前記収納部１には、複数のウェーハ５・・・
を植設したウェーハキャリア６が収納されている。なお
、前記各ウェーッＳ５・・・は、前記回転機構部３の押
し出し部４・・・に対応するようにキャリア６内に収納
されている。
乞うした構造のウェーッ為抜き取り装置において前記回
転機構部３のロータリスイッチ２を手動で回転させると
、押し出し部４・・・も同時に回転し、列状に並べられ
た３つの押し出し部４・・・によシこれら押し出し部４
・・・に対応した位置の３枚の各ウェーッ・５・・・が
約２〜５Ｃｒｎ程度上方（矢印方向）に同時に押し出さ
れる。この後、バキュームピンセットにより・［甲し出
されたウェーハ５・・・を真空吸着し、ウェーッ〜５・
・・の検査が行なわれる。ひきつづき、ロータリスイッ
チ２を同方向に回転することにより、次の列状に並べら
れた５つの押し出し部４・・・によりこれら押し出し部
４・・・に対応した位置の５枚の各ウェーハ５・・・が
約２〜５α程度上方に同時に押し出され、上記と同様な
操作が行なわれる。
しかして、本発明によれば、回転機構部３０所定位置に
ウェーッ・キャリア６中のウェーッＳ５・・・を３枚づ
つ所定距離おいて上方に押し出す押し出し部４・・・が
設けられているため、ウェー７１５・・・をロータリス
イッチ２を手動で回転させることにより押し出し部４・
・・を通じて十分離間した３枚のウェーハ５・・・のみ
を上方に押し出すことができる。従って、バキュームビ
ンで押シ出されたウェーハ５・・・′ｆ：Ｊｃ空吸着す
る際、隣りのウェーハ５・・・を傷つけること全回避で
きる。
なお、本発明に係るウェーハ抜き取り装置は、上記実施
例の如く横型で手動の構造のものに限らず、例えば第３
図に示す如く縦型で電動の構造のものでもよい。同図に
おいて、１）は回転機構部３を回転するためのモーター
であシ、１２はこのモーター１１の回転を制御するため
の回転機構制御部である。同装置によれば、回転機構制
御部１２等の存在によシ、ウェーハ５・・・の１１Ｖ、
り出しの自動化が可能となる。
なお・、上記実施例では、ウェーハを３枚、５枚と取り
出す場合について述べたが、この数に限定されない。つ
まり、押し出したときのウェーハどうしの距離が、バキ
ュームピンセットでウェーハを真空吸着する際に隣りの
ウェー／１を傷つけない程度に十分離れていれば何枚で
もよい。また、押し出し部の配置状態も上記実施例の場
合に限らない。
更に、上記実施例では、ウェー／’ｔキャリア収納部の
材’ｋ　ｋ塩化ビニール製としかつ回転機構部、押し出
し部の材質をテフロン製としたが、これに限らない。
〔発明の効果〕
以上詳述した如く本発明によれば、抜き取るべきウェー
ッ・の隣りのウェーッ・への損傷を回避し得る高信頼性
のウェーッ・抜き取り装置乏・提供できるものである。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例に係るウェーッ・抜き取り装
置の説明図、第２図は第１図の拡大側面図、第３図は本
発明の他の実施例に係るウエ−ハ抜き取シ装置の説明図
である。 ｌ・・・ウェーハキャリア収納部、２・・・抜き取シ枚
数制御用ロータリスイッチ、３・・・回転機構部、４・
・・押し出し部、５・・・ウェーハ、６・・・ウェーハ
キャリア、１ノ・・・モーター、１２・・・回転機構制
御部。 出願人代理人　弁理士　鈴　江　武　彦第３図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ウェーハキャリア収納部と、この収納部に収納された親
    数のウェーハを植設すべきウェーハキャリアと、前記収
    納部に取り付けられた回転機構部と、この回転機構部に
    取り付けられ前記ウェーハキャリア内の一部のウェーハ
    を上方に押し出す押し出し部とを具備することを特徴と
    するウェーハ抜き取シ装置。
JP24412183A 1983-12-26 1983-12-26 ウエ−ハ抜き取り装置 Pending JPS60137034A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24412183A JPS60137034A (ja) 1983-12-26 1983-12-26 ウエ−ハ抜き取り装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24412183A JPS60137034A (ja) 1983-12-26 1983-12-26 ウエ−ハ抜き取り装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60137034A true JPS60137034A (ja) 1985-07-20

Family

ID=17114067

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP24412183A Pending JPS60137034A (ja) 1983-12-26 1983-12-26 ウエ−ハ抜き取り装置

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JP (1) JPS60137034A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62195140A (ja) * 1986-02-21 1987-08-27 Hitachi Ltd 半導体装置の製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS62195140A (ja) * 1986-02-21 1987-08-27 Hitachi Ltd 半導体装置の製造方法

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