JPH0582742B2 - - Google Patents
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- JPH0582742B2 JPH0582742B2 JP60071490A JP7149085A JPH0582742B2 JP H0582742 B2 JPH0582742 B2 JP H0582742B2 JP 60071490 A JP60071490 A JP 60071490A JP 7149085 A JP7149085 A JP 7149085A JP H0582742 B2 JPH0582742 B2 JP H0582742B2
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- Japan
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- wafer
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- wafer carrier
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、半導体ウエハ(以下、ウエハと呼
ぶ)のウエハ保持溝ピツチが可変であるととも
に、ウエハをキヤリア底部から排出させるウエハ
キヤリアに関する。
ぶ)のウエハ保持溝ピツチが可変であるととも
に、ウエハをキヤリア底部から排出させるウエハ
キヤリアに関する。
従来の技術
一般に、ウエハキヤリアはウエハ製造ライン上
の各工程の状況に応じて使い分けられており、し
たがつて、例えば工程間の単なる運搬用ウエハキ
ヤリアに収納されたウエハは、エツチング工程で
は、酸や有機溶剤に耐えられるように構成された
エツチング用ウエハキヤリアに入れ替える必要が
ある。
の各工程の状況に応じて使い分けられており、し
たがつて、例えば工程間の単なる運搬用ウエハキ
ヤリアに収納されたウエハは、エツチング工程で
は、酸や有機溶剤に耐えられるように構成された
エツチング用ウエハキヤリアに入れ替える必要が
ある。
しかして、前記のようなウエハキヤリアの使い
分けにより、ウエハの入れ替えを行なう場合、こ
の入れ替えは、空のウエハキヤリアを逆さまにし
てウエハ収納側のウエハキヤリアにかぶせた後、
これらを一体的にひつくり返すことにより行われ
ている。
分けにより、ウエハの入れ替えを行なう場合、こ
の入れ替えは、空のウエハキヤリアを逆さまにし
てウエハ収納側のウエハキヤリアにかぶせた後、
これらを一体的にひつくり返すことにより行われ
ている。
一方、ウエハ保持溝ピツチが異なるウエハ保持
器を使用する工程として、例えば拡散工程があ
る。この拡散工程で使用する拡散ボートのウエハ
保持溝ピツチは、前記運搬用ウエハキヤリアのそ
れよりも大きく設定されている。このため、運搬
用ウエハキヤリアから拡散ボートへのウエハの入
れ替え作業には、ウエハをピンセツトで一枚ずつ
抜き取つて差し込むという手法がとられていた。
器を使用する工程として、例えば拡散工程があ
る。この拡散工程で使用する拡散ボートのウエハ
保持溝ピツチは、前記運搬用ウエハキヤリアのそ
れよりも大きく設定されている。このため、運搬
用ウエハキヤリアから拡散ボートへのウエハの入
れ替え作業には、ウエハをピンセツトで一枚ずつ
抜き取つて差し込むという手法がとられていた。
発明が解決しようとする問題点
前記のように、ウエハの入れ替えを、ウエハキ
ヤリアをひつく返してて行う場合には、ウエハの
上下関係が逆になり、各ウエハのフアセツト部が
下部にくるため、各フアセツト部をいちいち上部
に振り変えるための作業を余儀なくされた。ま
た、前記のように2つのウエハキヤリアを一体的
にひつくり返す作業が面倒で、この点からも作業
性の悪さを指摘された。
ヤリアをひつく返してて行う場合には、ウエハの
上下関係が逆になり、各ウエハのフアセツト部が
下部にくるため、各フアセツト部をいちいち上部
に振り変えるための作業を余儀なくされた。ま
た、前記のように2つのウエハキヤリアを一体的
にひつくり返す作業が面倒で、この点からも作業
性の悪さを指摘された。
さらに、拡散工程で行うウエハの入れ替えで
は、ウエハを一枚ずつピンセツトで抜き取つて差
し込むため、この工程においても、多大な労力と
時間を要する欠点があつた。
は、ウエハを一枚ずつピンセツトで抜き取つて差
し込むため、この工程においても、多大な労力と
時間を要する欠点があつた。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、ウ
エハキヤリアのひつくり返し作業を必要とせず、
しかも、ウエハのフアセツト部を上部に保つたま
ま、その入れ替えを可能にするほか、拡散ボート
等、ウエハ保持溝ピツチが異なる他のウエハ保持
器との間のウエハの入れ替えをもワンタツチ的に
行えるウエハキヤリアを提供することを目的とし
ている。
エハキヤリアのひつくり返し作業を必要とせず、
しかも、ウエハのフアセツト部を上部に保つたま
ま、その入れ替えを可能にするほか、拡散ボート
等、ウエハ保持溝ピツチが異なる他のウエハ保持
器との間のウエハの入れ替えをもワンタツチ的に
行えるウエハキヤリアを提供することを目的とし
ている。
問題点を解決するための手段
本発明は、左右1組の関係で前後方向に複数組
並設され、かつ相対向した内面に、上方から半導
体ウエハを差し込んで保持する保持溝を形成した
ホルダ部材と、左右のそれぞれで隣接した前記ホ
ルダ部材の外面部間を同じ割合で接離可能に連結
した連動機構と、前記左右のホルダ部材を所定間
隔に保持し且つ前記左右のホルダ部材をして前記
ウエハを保持する位置から前記ウエハの自重落下
を許す位置へ回動可能に連結する連結部材と、前
記左右のホルダ部材の回動に応じて伸縮可能に該
左右のホルダ部材を所定間隔に保持する規制部材
とを備えたことを特徴としている。
並設され、かつ相対向した内面に、上方から半導
体ウエハを差し込んで保持する保持溝を形成した
ホルダ部材と、左右のそれぞれで隣接した前記ホ
ルダ部材の外面部間を同じ割合で接離可能に連結
した連動機構と、前記左右のホルダ部材を所定間
隔に保持し且つ前記左右のホルダ部材をして前記
ウエハを保持する位置から前記ウエハの自重落下
を許す位置へ回動可能に連結する連結部材と、前
記左右のホルダ部材の回動に応じて伸縮可能に該
左右のホルダ部材を所定間隔に保持する規制部材
とを備えたことを特徴としている。
実施例
第1図は本発明の一実施例にかかるウエハキヤ
リアの斜視図である。
リアの斜視図である。
第1図に示されたウエハキヤリアAにおいて、
1,1は左右1組のホルダ部材であり、前後方向
に多数組並設されている。各ホルダ部材1,1は
縦長で、テフロンコート加工により形成された内
側体1a、外側体1bおよびステンレス等の金属
からなつたベースとしての中間体1cとからなつ
ている。各組の内側体1aの相対向した面には、
上方からウエハ(第3図参照)Bを差し込んで保
持する保持溝2,2が設けられている。詳しく
は、保持溝2はウエハBの両端部を立て向きに挿
入支持する縦溝部2aと、この縦溝部2aの下部
でウエハBの抜け止めを行う傾斜部2bとからな
つている。
1,1は左右1組のホルダ部材であり、前後方向
に多数組並設されている。各ホルダ部材1,1は
縦長で、テフロンコート加工により形成された内
側体1a、外側体1bおよびステンレス等の金属
からなつたベースとしての中間体1cとからなつ
ている。各組の内側体1aの相対向した面には、
上方からウエハ(第3図参照)Bを差し込んで保
持する保持溝2,2が設けられている。詳しく
は、保持溝2はウエハBの両端部を立て向きに挿
入支持する縦溝部2aと、この縦溝部2aの下部
でウエハBの抜け止めを行う傾斜部2bとからな
つている。
左右のそれぞれで隣接した各ホルダ部材1,1
間はその外面部においてパンタグラフからなつた
連動機構3,3(第3図参照)により順次連結さ
れ、それぞれ同じ割合で伸縮すべく構成されてい
る。そのため、各リンク3aを伸縮自在に連結し
たセンタピン3bとサイドピン3cとのうち、各
サイドピン3cがそれぞれのホルダ部材1の外面
部に取りつけられている。しかして、上部各列の
サイドピン3cにはそれぞれのホルダ部材1に設
けられた縦方向のガイド孔(第2図参照)1dに
スライド自在に支持されている。また、上下各列
のサイドピン3cに架設された補強桿4のガイド
溝4aにより、各サイドピン3c,3cの間隔が
円滑に伸縮するようになつている。このため、前
記補強桿4は連動機構3に追従して伸縮可能なよ
うに、2つの部材4b、4cを互いにスライド自
在に嵌合したものからなつている。ここで、第3
図の左側のホルダ部材1群と連動機構3との組合
体を左ブロツク5a、右側のそれを右ブロツク5
bと称する。
間はその外面部においてパンタグラフからなつた
連動機構3,3(第3図参照)により順次連結さ
れ、それぞれ同じ割合で伸縮すべく構成されてい
る。そのため、各リンク3aを伸縮自在に連結し
たセンタピン3bとサイドピン3cとのうち、各
サイドピン3cがそれぞれのホルダ部材1の外面
部に取りつけられている。しかして、上部各列の
サイドピン3cにはそれぞれのホルダ部材1に設
けられた縦方向のガイド孔(第2図参照)1dに
スライド自在に支持されている。また、上下各列
のサイドピン3cに架設された補強桿4のガイド
溝4aにより、各サイドピン3c,3cの間隔が
円滑に伸縮するようになつている。このため、前
記補強桿4は連動機構3に追従して伸縮可能なよ
うに、2つの部材4b、4cを互いにスライド自
在に嵌合したものからなつている。ここで、第3
図の左側のホルダ部材1群と連動機構3との組合
体を左ブロツク5a、右側のそれを右ブロツク5
bと称する。
前記両ブロツク5a,5bの前後両端に配置さ
れたホルダ部材1,1の端面にはピン6,6が設
けられ、両ピン6,6間は連結部材7により連結
されている。すなわち左右のブロツク5a,5b
はピン6を中心にして、ウエハBを保持する位置
(第3図参照)からウエハBの自重落下を許す位
置(第4図参照)へ回動自在とされている。
れたホルダ部材1,1の端面にはピン6,6が設
けられ、両ピン6,6間は連結部材7により連結
されている。すなわち左右のブロツク5a,5b
はピン6を中心にして、ウエハBを保持する位置
(第3図参照)からウエハBの自重落下を許す位
置(第4図参照)へ回動自在とされている。
さらに、前記した前後両端のホルダ部材1,1
の端面には、連結部材7の下で左右一対のピン
8,8が突出しており、かつ両ピン8,8には規
制部材9の両端部が取り付けられている。この規
制部材9はウエハBの保持状態(第3図参照)で
ホルダ部材1,1の下部間のウエハ保持間隔Cを
規定するもので、前記ピン8,8に回動自在に支
持された両端部材9a,9bと、この両端部材9
a,9b間に接離自在に挟まれた中間部材9cと
の3体からなり、この中間部材9cは両端部材9
a,9b間に張設された引張ばね10の外周部に
嵌合支持されている。
の端面には、連結部材7の下で左右一対のピン
8,8が突出しており、かつ両ピン8,8には規
制部材9の両端部が取り付けられている。この規
制部材9はウエハBの保持状態(第3図参照)で
ホルダ部材1,1の下部間のウエハ保持間隔Cを
規定するもので、前記ピン8,8に回動自在に支
持された両端部材9a,9bと、この両端部材9
a,9b間に接離自在に挟まれた中間部材9cと
の3体からなり、この中間部材9cは両端部材9
a,9b間に張設された引張ばね10の外周部に
嵌合支持されている。
つぎに使用法を説明する。
第3図は第1図に示す左右一組の各保持溝2,
2間に、ウエハBがフアセツト部bを上にして上
方から差し込まれて補遺された状態を示す。
2間に、ウエハBがフアセツト部bを上にして上
方から差し込まれて補遺された状態を示す。
第3図のウエハキヤリアAから別のウエハキヤ
リア(第4図参照)DにウエハBを入れ替える
際、このウエハキヤリアAは第1図のように完全
に押し縮められた状態にある。すなわちウエハキ
ヤリアAのウエハ保持溝ピツチ(第1図参照)P
が、ウエハBを受け入れる方のウエハキヤリアD
のそれと一致した状態にある。
リア(第4図参照)DにウエハBを入れ替える
際、このウエハキヤリアAは第1図のように完全
に押し縮められた状態にある。すなわちウエハキ
ヤリアAのウエハ保持溝ピツチ(第1図参照)P
が、ウエハBを受け入れる方のウエハキヤリアD
のそれと一致した状態にある。
つぎに第4図に示す空のウエハキヤリアD上に
本実施例のウエハキヤリアAが重合された後、左
右の両ブロツク5a,5bの上端部が互いの方向
に押し寄せられ、両ブロツク5a,5bの下部間
隔が拡げられる。その結果として、上部ウエハキ
ヤリアAに保持されていたウエハBは、保持溝
2,2の傾斜部2b,2bから離脱して下部のウ
エハキヤリアD内に落下し、それぞれの保持溝1
1,11に嵌合保持される。
本実施例のウエハキヤリアAが重合された後、左
右の両ブロツク5a,5bの上端部が互いの方向
に押し寄せられ、両ブロツク5a,5bの下部間
隔が拡げられる。その結果として、上部ウエハキ
ヤリアAに保持されていたウエハBは、保持溝
2,2の傾斜部2b,2bから離脱して下部のウ
エハキヤリアD内に落下し、それぞれの保持溝1
1,11に嵌合保持される。
前記ウエハBの入れ替え後、両ブロツク5a,
5bの下部間を拡げていた力を開放すると、引張
ばね10の力により両ブロツク5a,5bが回動
復帰して、第3図のように規制部材9の両端部材
9a,9b間に中間部材9cが挟まれ、左右のホ
ルダ部材1,1の下部間隔が規定される。すなわ
ち、ウエハBの収納可能状態が形成される。
5bの下部間を拡げていた力を開放すると、引張
ばね10の力により両ブロツク5a,5bが回動
復帰して、第3図のように規制部材9の両端部材
9a,9b間に中間部材9cが挟まれ、左右のホ
ルダ部材1,1の下部間隔が規定される。すなわ
ち、ウエハBの収納可能状態が形成される。
一方、ウエハBを受け入れる容器がウエハ保持
溝ピツチの大きなもの、例えば拡散ボートである
場合には、本実施例のウエハキヤリアAは第1図
の状態から引き伸ばされ、連動機構3により左右
のブロツク5a,5bのウエハ保持溝ピツチPが
同じ割合で拡がる(第5図参照)。
溝ピツチの大きなもの、例えば拡散ボートである
場合には、本実施例のウエハキヤリアAは第1図
の状態から引き伸ばされ、連動機構3により左右
のブロツク5a,5bのウエハ保持溝ピツチPが
同じ割合で拡がる(第5図参照)。
前記操作によりウエハキヤリアAのウエハ保持
溝ピツチPを前記拡散ボート(図示せず)のそれ
に合わせるが、実際には、ウエハキヤリアAを拡
散ボート上で引き伸ばしたとき、ストツパにてそ
の引き伸しに一定の規制がなされることにより、
前記ウエハ保持溝ピツチの合わせ操作は迅速に行
われる。
溝ピツチPを前記拡散ボート(図示せず)のそれ
に合わせるが、実際には、ウエハキヤリアAを拡
散ボート上で引き伸ばしたとき、ストツパにてそ
の引き伸しに一定の規制がなされることにより、
前記ウエハ保持溝ピツチの合わせ操作は迅速に行
われる。
その後は、第4図のウエハキヤリアDで説明し
たように、左右両ブロツク5a,5bの下部間隔
を拡げられることにより、前記拡散ボート内にウ
エハキヤリアA内のすべてのウエハBが自重落下
して収納される。
たように、左右両ブロツク5a,5bの下部間隔
を拡げられることにより、前記拡散ボート内にウ
エハキヤリアA内のすべてのウエハBが自重落下
して収納される。
なお、前記実施例では、左右のブロツク5a,
5bのそれぞれを連結部材7に回動自在に連結し
たが、これに限定されるものではない。すなわ
ち、両ブロツク5a,5bのいずれか一方を連結
部材7に固定、他方を連結部材7に回動自在とし
て、一方のブロツク5a(または5b)を他方の
ブロツク5b(または5a)に対していわゆる開
閉自在とすることによつても、前記実施例とほぼ
同等の効果を期待することができる。
5bのそれぞれを連結部材7に回動自在に連結し
たが、これに限定されるものではない。すなわ
ち、両ブロツク5a,5bのいずれか一方を連結
部材7に固定、他方を連結部材7に回動自在とし
て、一方のブロツク5a(または5b)を他方の
ブロツク5b(または5a)に対していわゆる開
閉自在とすることによつても、前記実施例とほぼ
同等の効果を期待することができる。
また、規制部材9も実施例のものに限定される
ことはなく、例えば一端を一方のブロツク5aの
ピン8に回動自在に枢支し、他端を他方のブロツ
ク5bのピン8に係脱するような鍵形の規制部材
を採用することもできる。したがつて、このよう
な例では、第3図に示された引張ばね10は省略
することができる。
ことはなく、例えば一端を一方のブロツク5aの
ピン8に回動自在に枢支し、他端を他方のブロツ
ク5bのピン8に係脱するような鍵形の規制部材
を採用することもできる。したがつて、このよう
な例では、第3図に示された引張ばね10は省略
することができる。
また、ウエハ保持溝ピツチを同じ割合で伸縮さ
せる連動機構3についても図示のパンタグラフ式
に限らず、送りねじ方式やカム方式等の連動機構
を採用することができる。
せる連動機構3についても図示のパンタグラフ式
に限らず、送りねじ方式やカム方式等の連動機構
を採用することができる。
効 果
以上の説明図から解るように、本発明のウエハ
キヤリアによれば、このウエハキヤリアに収納さ
れた複数枚のウエハを別のウエハキヤリアに入れ
替える際、この別のウエハキヤリア上において、
左右のホルダ部材の下部間隔を拡げることによつ
て前記複数毎のウエハの入れ替えを一度に行うこ
とができる。すなわち、従来のような面倒なひつ
くり返し作業を行う必要がなく、作業性が向上す
る。
キヤリアによれば、このウエハキヤリアに収納さ
れた複数枚のウエハを別のウエハキヤリアに入れ
替える際、この別のウエハキヤリア上において、
左右のホルダ部材の下部間隔を拡げることによつ
て前記複数毎のウエハの入れ替えを一度に行うこ
とができる。すなわち、従来のような面倒なひつ
くり返し作業を行う必要がなく、作業性が向上す
る。
また、前記ウエハは上部のウエハキヤリアで定
められた上下関係をくずさずに、つまり従来のよ
うなひつくり返し作業を伴わずに下部のウエハキ
ヤリアに収納されるため、ウエハのフアセツト部
をいちいち上部に振り向ける作業が不要となり、
この点からも作業性が向上する。
められた上下関係をくずさずに、つまり従来のよ
うなひつくり返し作業を伴わずに下部のウエハキ
ヤリアに収納されるため、ウエハのフアセツト部
をいちいち上部に振り向ける作業が不要となり、
この点からも作業性が向上する。
さらに、本発明のウエハキヤリアはウエハ保持
溝ピツチが可変であるため、拡散ボート等、ウエ
ハ保持溝ピツチの異なる他のウエハ保持器との間
の、複数枚のウエハの入れ替えも一度に行うこと
ができ、作業性に極めて優れた効果がある。
溝ピツチが可変であるため、拡散ボート等、ウエ
ハ保持溝ピツチの異なる他のウエハ保持器との間
の、複数枚のウエハの入れ替えも一度に行うこと
ができ、作業性に極めて優れた効果がある。
第1図は本発明の一実施例にかかるウエハキヤ
リアの斜視図、第2図は連動機構の一部切欠正面
図、第3図は前記ウエハキヤリアのウエハ収納状
態における正面図、第4図はウエハの入れ替え操
作状態を示す正面図、第5図はウエハキヤリアの
伸長状態の一部切欠平面図である。 1……ホルダ部材、2……保持溝、3……連動機
構、7……連結部材、9……規制部材、B……ウ
エハ。
リアの斜視図、第2図は連動機構の一部切欠正面
図、第3図は前記ウエハキヤリアのウエハ収納状
態における正面図、第4図はウエハの入れ替え操
作状態を示す正面図、第5図はウエハキヤリアの
伸長状態の一部切欠平面図である。 1……ホルダ部材、2……保持溝、3……連動機
構、7……連結部材、9……規制部材、B……ウ
エハ。
Claims (1)
- 1 左右1組の関係で前後方向に複数組並設さ
れ、かつ相対向した内面に、上方から半導体ウエ
ハを差し込んで保持する保持溝を形成したホルダ
部材と、左右のそれぞれで隣接した前記ホルダ部
材の外面部間を同じ割合で接離可能に連結した連
動機構と、前記左右のホルダ部材を所定間隔に保
持し且つ前記左右のホルダ部材をして前記ウエハ
を保持する位置から前記ウエハの自重落下を許す
位置へ回動可能に連結する連結部材と、前記左右
のホルダ部材の回動に応じて伸縮可能に該左右の
ホルダ部材を所定間隔に保持する規制部材とを備
えたことを特徴とするウエハキヤリア。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60071490A JPS61229336A (ja) | 1985-04-03 | 1985-04-03 | ウエハキヤリア |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60071490A JPS61229336A (ja) | 1985-04-03 | 1985-04-03 | ウエハキヤリア |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61229336A JPS61229336A (ja) | 1986-10-13 |
JPH0582742B2 true JPH0582742B2 (ja) | 1993-11-22 |
Family
ID=13462151
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60071490A Granted JPS61229336A (ja) | 1985-04-03 | 1985-04-03 | ウエハキヤリア |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61229336A (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02276261A (ja) * | 1989-04-18 | 1990-11-13 | Kokusai Electric Co Ltd | 半導体ウエーハ移送装置 |
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