JPH0582742B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体ウエハ（以下、ウエハと呼
ぶ）のウエハ保持溝ピツチが可変であるととも
に、ウエハをキヤリア底部から排出させるウエハ
キヤリアに関する。

従来の技術 一般に、ウエハキヤリアはウエハ製造ライン上
の各工程の状況に応じて使い分けられており、し
たがつて、例えば工程間の単なる運搬用ウエハキ
ヤリアに収納されたウエハは、エツチング工程で
は、酸や有機溶剤に耐えられるように構成された
エツチング用ウエハキヤリアに入れ替える必要が
ある。

しかして、前記のようなウエハキヤリアの使い
分けにより、ウエハの入れ替えを行なう場合、こ
の入れ替えは、空のウエハキヤリアを逆さまにし
てウエハ収納側のウエハキヤリアにかぶせた後、
これらを一体的にひつくり返すことにより行われ
ている。

一方、ウエハ保持溝ピツチが異なるウエハ保持
器を使用する工程として、例えば拡散工程があ
る。この拡散工程で使用する拡散ボートのウエハ
保持溝ピツチは、前記運搬用ウエハキヤリアのそ
れよりも大きく設定されている。このため、運搬
用ウエハキヤリアから拡散ボートへのウエハの入
れ替え作業には、ウエハをピンセツトで一枚ずつ
抜き取つて差し込むという手法がとられていた。

発明が解決しようとする問題点 前記のように、ウエハの入れ替えを、ウエハキ
ヤリアをひつく返してて行う場合には、ウエハの
上下関係が逆になり、各ウエハのフアセツト部が
下部にくるため、各フアセツト部をいちいち上部
に振り変えるための作業を余儀なくされた。ま
た、前記のように２つのウエハキヤリアを一体的
にひつくり返す作業が面倒で、この点からも作業
性の悪さを指摘された。

さらに、拡散工程で行うウエハの入れ替えで
は、ウエハを一枚ずつピンセツトで抜き取つて差
し込むため、この工程においても、多大な労力と
時間を要する欠点があつた。

本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、ウ
エハキヤリアのひつくり返し作業を必要とせず、
しかも、ウエハのフアセツト部を上部に保つたま
ま、その入れ替えを可能にするほか、拡散ボート
等、ウエハ保持溝ピツチが異なる他のウエハ保持
器との間のウエハの入れ替えをもワンタツチ的に
行えるウエハキヤリアを提供することを目的とし
ている。

問題点を解決するための手段 本発明は、左右１組の関係で前後方向に複数組
並設され、かつ相対向した内面に、上方から半導
体ウエハを差し込んで保持する保持溝を形成した
ホルダ部材と、左右のそれぞれで隣接した前記ホ
ルダ部材の外面部間を同じ割合で接離可能に連結
した連動機構と、前記左右のホルダ部材を所定間
隔に保持し且つ前記左右のホルダ部材をして前記
ウエハを保持する位置から前記ウエハの自重落下
を許す位置へ回動可能に連結する連結部材と、前
記左右のホルダ部材の回動に応じて伸縮可能に該
左右のホルダ部材を所定間隔に保持する規制部材
とを備えたことを特徴としている。

実施例 第１図は本発明の一実施例にかかるウエハキヤ
リアの斜視図である。

第１図に示されたウエハキヤリアＡにおいて、
１，１は左右１組のホルダ部材であり、前後方向
に多数組並設されている。各ホルダ部材１，１は
縦長で、テフロンコート加工により形成された内
側体１ａ、外側体１ｂおよびステンレス等の金属
からなつたベースとしての中間体１ｃとからなつ
ている。各組の内側体１ａの相対向した面には、
上方からウエハ（第３図参照）Ｂを差し込んで保
持する保持溝２，２が設けられている。詳しく
は、保持溝２はウエハＢの両端部を立て向きに挿
入支持する縦溝部２ａと、この縦溝部２ａの下部
でウエハＢの抜け止めを行う傾斜部２ｂとからな
つている。

左右のそれぞれで隣接した各ホルダ部材１，１
間はその外面部においてパンタグラフからなつた
連動機構３，３（第３図参照）により順次連結さ
れ、それぞれ同じ割合で伸縮すべく構成されてい
る。そのため、各リンク３ａを伸縮自在に連結し
たセンタピン３ｂとサイドピン３ｃとのうち、各
サイドピン３ｃがそれぞれのホルダ部材１の外面
部に取りつけられている。しかして、上部各列の
サイドピン３ｃにはそれぞれのホルダ部材１に設
けられた縦方向のガイド孔（第２図参照）１ｄに
スライド自在に支持されている。また、上下各列
のサイドピン３ｃに架設された補強桿４のガイド
溝４ａにより、各サイドピン３ｃ，３ｃの間隔が
円滑に伸縮するようになつている。このため、前
記補強桿４は連動機構３に追従して伸縮可能なよ
うに、２つの部材４ｂ、４ｃを互いにスライド自
在に嵌合したものからなつている。ここで、第３
図の左側のホルダ部材１群と連動機構３との組合
体を左ブロツク５ａ、右側のそれを右ブロツク５
ｂと称する。

前記両ブロツク５ａ，５ｂの前後両端に配置さ
れたホルダ部材１，１の端面にはピン６，６が設
けられ、両ピン６，６間は連結部材７により連結
されている。すなわち左右のブロツク５ａ，５ｂ
はピン６を中心にして、ウエハＢを保持する位置
（第３図参照）からウエハＢの自重落下を許す位
置（第４図参照）へ回動自在とされている。

さらに、前記した前後両端のホルダ部材１，１
の端面には、連結部材７の下で左右一対のピン
８，８が突出しており、かつ両ピン８，８には規
制部材９の両端部が取り付けられている。この規
制部材９はウエハＢの保持状態（第３図参照）で
ホルダ部材１，１の下部間のウエハ保持間隔Ｃを
規定するもので、前記ピン８，８に回動自在に支
持された両端部材９ａ，９ｂと、この両端部材９
ａ，９ｂ間に接離自在に挟まれた中間部材９ｃと
の３体からなり、この中間部材９ｃは両端部材９
ａ，９ｂ間に張設された引張ばね１０の外周部に
嵌合支持されている。

つぎに使用法を説明する。

第３図は第１図に示す左右一組の各保持溝２，
２間に、ウエハＢがフアセツト部ｂを上にして上
方から差し込まれて補遺された状態を示す。

第３図のウエハキヤリアＡから別のウエハキヤ
リア（第４図参照）ＤにウエハＢを入れ替える
際、このウエハキヤリアＡは第１図のように完全
に押し縮められた状態にある。すなわちウエハキ
ヤリアＡのウエハ保持溝ピツチ（第１図参照）Ｐ
が、ウエハＢを受け入れる方のウエハキヤリアＤ
のそれと一致した状態にある。

つぎに第４図に示す空のウエハキヤリアＤ上に
本実施例のウエハキヤリアＡが重合された後、左
右の両ブロツク５ａ，５ｂの上端部が互いの方向
に押し寄せられ、両ブロツク５ａ，５ｂの下部間
隔が拡げられる。その結果として、上部ウエハキ
ヤリアＡに保持されていたウエハＢは、保持溝
２，２の傾斜部２ｂ，２ｂから離脱して下部のウ
エハキヤリアＤ内に落下し、それぞれの保持溝１
１，１１に嵌合保持される。

前記ウエハＢの入れ替え後、両ブロツク５ａ，
５ｂの下部間を拡げていた力を開放すると、引張
ばね１０の力により両ブロツク５ａ，５ｂが回動
復帰して、第３図のように規制部材９の両端部材
９ａ，９ｂ間に中間部材９ｃが挟まれ、左右のホ
ルダ部材１，１の下部間隔が規定される。すなわ
ち、ウエハＢの収納可能状態が形成される。

一方、ウエハＢを受け入れる容器がウエハ保持
溝ピツチの大きなもの、例えば拡散ボートである
場合には、本実施例のウエハキヤリアＡは第１図
の状態から引き伸ばされ、連動機構３により左右
のブロツク５ａ，５ｂのウエハ保持溝ピツチＰが
同じ割合で拡がる（第５図参照）。

前記操作によりウエハキヤリアＡのウエハ保持
溝ピツチＰを前記拡散ボート（図示せず）のそれ
に合わせるが、実際には、ウエハキヤリアＡを拡
散ボート上で引き伸ばしたとき、ストツパにてそ
の引き伸しに一定の規制がなされることにより、
前記ウエハ保持溝ピツチの合わせ操作は迅速に行
われる。

その後は、第４図のウエハキヤリアＤで説明し
たように、左右両ブロツク５ａ，５ｂの下部間隔
を拡げられることにより、前記拡散ボート内にウ
エハキヤリアＡ内のすべてのウエハＢが自重落下
して収納される。

なお、前記実施例では、左右のブロツク５ａ，
５ｂのそれぞれを連結部材７に回動自在に連結し
たが、これに限定されるものではない。すなわ
ち、両ブロツク５ａ，５ｂのいずれか一方を連結
部材７に固定、他方を連結部材７に回動自在とし
て、一方のブロツク５ａ（または５ｂ）を他方の
ブロツク５ｂ（または５ａ）に対していわゆる開
閉自在とすることによつても、前記実施例とほぼ
同等の効果を期待することができる。

また、規制部材９も実施例のものに限定される
ことはなく、例えば一端を一方のブロツク５ａの
ピン８に回動自在に枢支し、他端を他方のブロツ
ク５ｂのピン８に係脱するような鍵形の規制部材
を採用することもできる。したがつて、このよう
な例では、第３図に示された引張ばね１０は省略
することができる。

また、ウエハ保持溝ピツチを同じ割合で伸縮さ
せる連動機構３についても図示のパンタグラフ式
に限らず、送りねじ方式やカム方式等の連動機構
を採用することができる。

効 果 以上の説明図から解るように、本発明のウエハ
キヤリアによれば、このウエハキヤリアに収納さ
れた複数枚のウエハを別のウエハキヤリアに入れ
替える際、この別のウエハキヤリア上において、
左右のホルダ部材の下部間隔を拡げることによつ
て前記複数毎のウエハの入れ替えを一度に行うこ
とができる。すなわち、従来のような面倒なひつ
くり返し作業を行う必要がなく、作業性が向上す
る。

また、前記ウエハは上部のウエハキヤリアで定
められた上下関係をくずさずに、つまり従来のよ
うなひつくり返し作業を伴わずに下部のウエハキ
ヤリアに収納されるため、ウエハのフアセツト部
をいちいち上部に振り向ける作業が不要となり、
この点からも作業性が向上する。

さらに、本発明のウエハキヤリアはウエハ保持
溝ピツチが可変であるため、拡散ボート等、ウエ
ハ保持溝ピツチの異なる他のウエハ保持器との間
の、複数枚のウエハの入れ替えも一度に行うこと
ができ、作業性に極めて優れた効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例にかかるウエハキヤ
リアの斜視図、第２図は連動機構の一部切欠正面
図、第３図は前記ウエハキヤリアのウエハ収納状
態における正面図、第４図はウエハの入れ替え操
作状態を示す正面図、第５図はウエハキヤリアの
伸長状態の一部切欠平面図である。 １……ホルダ部材、２……保持溝、３……連動機
構、７……連結部材、９……規制部材、Ｂ……ウ
エハ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 左右１組の関係で前後方向に複数組並設さ
   れ、かつ相対向した内面に、上方から半導体ウエ
   ハを差し込んで保持する保持溝を形成したホルダ
   部材と、左右のそれぞれで隣接した前記ホルダ部
   材の外面部間を同じ割合で接離可能に連結した連
   動機構と、前記左右のホルダ部材を所定間隔に保
   持し且つ前記左右のホルダ部材をして前記ウエハ
   を保持する位置から前記ウエハの自重落下を許す
   位置へ回動可能に連結する連結部材と、前記左右
   のホルダ部材の回動に応じて伸縮可能に該左右の
   ホルダ部材を所定間隔に保持する規制部材とを備
   えたことを特徴とするウエハキヤリア。