JPS6316446U - - Google Patents

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JPS6316446U
JPS6316446U JP10968186U JP10968186U JPS6316446U JP S6316446 U JPS6316446 U JP S6316446U JP 10968186 U JP10968186 U JP 10968186U JP 10968186 U JP10968186 U JP 10968186U JP S6316446 U JPS6316446 U JP S6316446U
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JP
Japan
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wafer
chemical solution
liquid tank
processing liquid
semiconductor
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JP10968186U
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【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係る半導体製造装置の一実施
例を示す断面図、第２図乃至第５図は第１図の装
置の動作状態を説明するための断面図、第６図は
本考案の他の実施例における保持ロツドを示す断
面図、第７図は第６図の保持ロツドのメインロツ
ドを示す部分側面図である。第８図は半導体製造
装置の従来例を示す断面図、第９図は第８図の装
置の動作状態を説明するための断面図である。 １……半導体ウエーハ、１２……ウエーハ搬送
機構、１４……ガイド板、１５……ウエーハ収納
溝、１７……処理液槽（洗浄槽）、１８……薬液
（純水）、２１……保持ロツド。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 内面にウエーハ収納溝が定ピツチで形成された
    １対のガイド板を開閉自在に対向配置し、このガ
    イド板間で複数の半導体ウエーハを整列保持して
    移送するウエーハ搬送機構と、 上記半導体ウエーハを液処理する薬液が収容さ
    れた処理液槽と、 上記処理液槽の薬液中から薬液上方に亘るスト
    ロークで昇降動するよう配設され、配列状態を位
    置修正しながら上記ウエーハ配送機構から半導体
    ウエーハを移し替えて整列保持する複数の保持ロ
    ツドとからなることを特徴とする半導体製造装置
    。
JP10968186U 1986-07-17 1986-07-17 Pending JPS6316446U (ja)

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JP10968186U JPS6316446U (ja) 1986-07-17 1986-07-17

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JPS6316446U true JPS6316446U (ja) 1988-02-03

Family

ID=30987999

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JP10968186U Pending JPS6316446U (ja) 1986-07-17 1986-07-17

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07273077A (ja) * 1994-03-28 1995-10-20 Shin Etsu Handotai Co Ltd ウエーハのリンス方法及びリンス装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5472979A (en) * 1977-11-22 1979-06-11 Nec Corp Feeder for thin piece

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5472979A (en) * 1977-11-22 1979-06-11 Nec Corp Feeder for thin piece

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07273077A (ja) * 1994-03-28 1995-10-20 Shin Etsu Handotai Co Ltd ウエーハのリンス方法及びリンス装置

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