JPS6393632U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6393632U JPS6393632U JP18824186U JP18824186U JPS6393632U JP S6393632 U JPS6393632 U JP S6393632U JP 18824186 U JP18824186 U JP 18824186U JP 18824186 U JP18824186 U JP 18824186U JP S6393632 U JPS6393632 U JP S6393632U
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- JP
- Japan
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- semiconductor manufacturing
- quartz
- chamber
- reaction vessel
- manufacturing device
- Prior art date
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- Pending
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- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案に係る半導体製造装置としての
プラズマアツシヤー装置を示す斜視図、第２図は
要部の拡大断面図、第３図は従来のプラズマアツ
シヤー装置を示す斜視図である。 １…チヤンバ、２…反応容器、４…石英ボード
、４ａ…縁部、１２…石英棒、１２ａ…先端部。
プラズマアツシヤー装置を示す斜視図、第２図は
要部の拡大断面図、第３図は従来のプラズマアツ
シヤー装置を示す斜視図である。 １…チヤンバ、２…反応容器、４…石英ボード
、４ａ…縁部、１２…石英棒、１２ａ…先端部。
Claims (1)
- ウエハを保持した石英ボードを収容するチヤン
バを形成する反応容器を備えた半導体製造装置に
おいて、前記反応容器側からチヤンバ内へ突出さ
れその先端部で前記石英ボードの両側の縁部を下
側から支承する複数本の石英棒を設けたことを特
徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18824186U JPS6393632U (ja) | 1986-12-05 | 1986-12-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18824186U JPS6393632U (ja) | 1986-12-05 | 1986-12-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6393632U true JPS6393632U (ja) | 1988-06-17 |
Family
ID=31139421
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18824186U Pending JPS6393632U (ja) | 1986-12-05 | 1986-12-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6393632U (ja) |
-
1986
- 1986-12-05 JP JP18824186U patent/JPS6393632U/ja active Pending
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