JPS6413122U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6413122U JPS6413122U JP10723987U JP10723987U JPS6413122U JP S6413122 U JPS6413122 U JP S6413122U JP 10723987 U JP10723987 U JP 10723987U JP 10723987 U JP10723987 U JP 10723987U JP S6413122 U JPS6413122 U JP S6413122U
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- JP
- Japan
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 2
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例の蓋部を支持部より
離した状態での一部破砕断面図、第２図は第１図
の保持具の左側面図、第３図は同じく右側面図で
ある。 １……支持棒、４……半導体ウエハ、５……蓋
体、６……遮蔽板、７……有孔板、１０……支持
部、２０……蓋部。
離した状態での一部破砕断面図、第２図は第１図
の保持具の左側面図、第３図は同じく右側面図で
ある。 １……支持棒、４……半導体ウエハ、５……蓋
体、６……遮蔽板、７……有孔板、１０……支持
部、２０……蓋部。
Claims (1)
- 複数の半導体ウエハの周辺に点接触して支持す
る支持棒を長手方向に平行に備えた支持部と、該
支持部の上に載せられて支持されたウエハの上方
および側方を覆い、長手方向の両端に通気口を備
えた蓋部とからなることを特徴とするウエハ保持
具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10723987U JPS6413122U (ja) | 1987-07-13 | 1987-07-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10723987U JPS6413122U (ja) | 1987-07-13 | 1987-07-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6413122U true JPS6413122U (ja) | 1989-01-24 |
Family
ID=31341473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10723987U Pending JPS6413122U (ja) | 1987-07-13 | 1987-07-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6413122U (ja) |
-
1987
- 1987-07-13 JP JP10723987U patent/JPS6413122U/ja active Pending
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