JPS62130236A - タ−ゲツト材の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、光磁気記録材料とし【最近注目されている
希土類金属と鉄族金属とからなる薄膜をスパッタリング
によって製造する際に用いられるターゲット材の製造方
法に関するものである。

〔従来の技術〕

希土類金属と鉄族金属とからなる光磁気記録媒体をスパ
ッタリングによって製造する際に用いられるターゲット
材は、従来。

１）希土類金属と鉄族金属とを真空中または不活性ガス
雰囲気中でアーク溶解して製造した合金インゴツト材を
切断、研削等によって所定寸法のターゲットに仕上げる
方法。

２）　鉄族金属板上に希土類金属チップを置くか。

またはその逆に希土類金属板上に鉄族金属チップを置く
ことによって、２種のターゲット材を組み合わせた複合
ターゲット材とする方法、３）前記１）の方法によって
製造した合金インゴットを粉砕して得た合金粉末をホッ
トプレスによって成形する方法（特願昭５９−２１１９
６７号）、および ４）　　＠細に分割した希土類金属と鉄族金属との混合
物に、真空中または不活性ガス雰囲気中において、この
混合物中に存在する金属成分系の共融点未満の温度で熱
間成形を施して、希土類金属と鉄族金属との界面に金属
間化合物を形成させるとともに希土類金属と鉄族金属と
を接合する方法（％願昭５９−２１９２２７号）、 によって得ている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、前記１）の方法によって製造された合金
ターゲット材は、 １）ターゲットの寸法が、溶解炉の大きさ、形状に依存
するために大径のターゲットが得られず、１ｉ）　　ま
た、アーク溶解だけでは所望の寸法、形状を有するター
ゲット、特に薄肉のターゲットを得ることができないた
めに切断、研削等の後加工を必要として、生産性が低下
し、 １１１）シかもこのターゲット材は脆いために、後加工
を施し難く、かつ歩留りが悪（、 つぎに、前記２）の方法によって構成された複合ターゲ
ット材は、 １）仮とチップとの間で異常放電を起しやすく、ｌｉ）
希土類金属と鉄族金属が大きな塊つとなって分布し、し
かも単体の希土類金属と鉄族金属とはそのスパッタリン
グ速度が相違しているために、スパッタリングによって
生じた膜の組成が膜全体にわたって均一とならず、 また、前記３）の合金粉末をホットプレスによって成形
する方法では、 １）合金インゴットの粉砕によって不純物が混入してく
るのを避けることができず、 １１）合金粉末をホットプレス執しただげなので、。

でき上ったターゲットは機械的に脆く、１ｌｌ）希土類
金属自体が元来極めて酸化しやすいために前記粉砕工程
等によってターゲット材の中の希土類金属酸化物の量が
増大し、それに応じて単体の希土類金属の割合が低下す
るので、スパッタリングによって所望の磁気特性を有す
る膜を得ることができないばかりか、甚だしい場合は、
スパッタリングによって生じた膜が、前記酸化物の影響
で、光磁気記録に必要な垂直磁化膜にならないことも多
く。

さらに、微細に分割した希土類金属と鉄族金属とを混ぜ
合わせた混合物に熱間成形を施す前記４）の方法によっ
て製造されたターゲット材では、１）希土類金属は元来
鉄族金属よりもスパッタリング速度が高いために、ター
ゲット材中に単体の形で存在する希土類金属が、同じく
単体で存在する鉄族金属や金属間化合物を構成する各金
属成分よりも優先的にスパッタされ、それによって、ス
パッタリング中に生成しつつある膜の組成が時間の経過
とともに変化して、膜の組成が安定しな（Ｓ。

という問題があった。

〔研究に基づく知見事項〕

そこで１本発明者等は、このような問題を解決するため
に洩々研究を重ねた結果、 （１）微細に分割された状態のＧｄ、　Ｔｂ、　Ｄｙ、
　Ｈｏ。

ＴｍおよびＥｒ並びにそれらの合金のうちのいずれか１
穐以上からなる希土類金属と、同様な状態のＦｅ。

ｃｏおよびＮｉ並びにこれらの合金からなる鉄族金属と
を混合して形成させた、前記希土類金属：３０〜５０重
量％と、ａ記鉄族金属：残り、からなる組成を有する混
合物に、その混合物に存在する金属成分系の液相発現温
度未満の温度において熱間成形を施すことによって得ら
れた緻密な成形体に。

その成形体を金属容器で真空パックした状態で、前記底
形体中に存在する金属成分系の液相発現温度未満の温度
において長時間の熱処理を施すと、−前記希土類金属と
鉄族金属とが拡散し合ってその金属間化合物生成灰石か
著しく進行して、前記成形体中に存在している希土類金
属はすべて金属間化合物に変化すること、 （２）　　このようにすべての希土類金属が金属間化金
物に変化することによってもはや単体の希土類金属を含
んでいないターゲット材では、希土類金属と鉄族金属と
のスパッタリング速度の差が殆ど無くなる結果、スパッ
タリング中に膜の組成が変化していくという現象を回避
できること、（３）　　このようなターゲット材では金
属間化合物の含有量が著しく増大するので、その強度が
低下するものと予想されるにも拘らず、このターゲット
材の組織中に混在している単体の鉄族金属によって、タ
ーゲット材の強度は意外に低下しないで、その十分な加
工性が保証されるとともに、熱収縮に基づく割れの発生
も回避できること。

を見出した。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明は、上記知見に基づいて発明されたもので１元
磁気記鯨媒体として利用される希土類金属と鉄族金属と
からなる膜をスパッタリングによって製造スる場合、そ
のスパッタリング中に膜の組成変化を起さないターゲッ
ト材の製造方法を提供することを目的とし、 ａ）微細に分割されたＧｄ、　Ｔｂ、　Ｄｙ、　Ｈｏ、
　ＴｍおよびＥｒ並びにこれらの合金からなる群より選
ばれた希土類金属ＩＭまたは２種以上と、微細に分割さ
れたＦｅ、　ＣｏおよびＮｉ並びにこれらの合金からな
る群より選ばれた鉄族金属１Ｍまたは２種以上とを混合
して、前記希土類金属：３０〜５０重量％と、前記鉄族
金属：残り、からなる組成を宵する混合物を形成させ、 ｂ）ついで、この混合物に、真空中または不活性ガス雰
囲気中で、前記混合物中に存在する金属成分系の液相発
現温度未満の温度において熱間成形を施して％＃記希土
類金属と前記鉄族金属からなる緻密な成形体を形成させ
、 Ｃ）その後、前記成形体を金属容器で真空パックした状
態で、この成形体に、その成形体中に存在する金属成分
系の液相発現温度未満の温度において長時間加熱する熱
逃坤を施すことによって、前記希土類金属と鉄族金属と
の金属間化合物と、鉄族金属単体との混合組織を有する
ターゲット材を製造する方法、 に係るものである。

〔発明の詳細な説明〕

以下、この発明の構成について具体的に説明する。

１、　原料 ターゲット材の原料となる”　ｅ　’ｒｂ　Ｉ　Ｄ’！
　ｇ　Ｈｏ　、　Ｔｍ。

およびＥｒ並びにこれらの合金から選ばれた希土類金属
は、微細に分割された状態であれば、一般にその形状に
ついて制限を受けないが、この希土類金属は通常粉末ま
たは小粒であるのが望ましく、その平均粒径が１０μｍ
未満の場合は、得られたターゲット材の酸素濃度が０．
５％以上に増加して、これのスパッタリングによって生
成した膜は光磁気記録に必要な磁気特性を備えな（なり
、一方それが３００μｍを越えると、希土類金属が完全
に鉄族金属と反応しないで、単体の希土類金属がターゲ
ット材の組織中に残存するようになるので、この平均粒
径は一般に１０〜３００μｍでなげればならず、好まし
くは１０〜１００μｍである。

希土類金属の純度は高純度（純度：９９重量％以上）で
あること、特に、低酸素濃度（酸素濃度二０．４重量％
以下）であることが望ましい。

これらの合金とは、Ｇｄ、　’ｒｂ、　Ｄｙ＋　Ｈｏｔ
　ＴｍおよびＥｒのうちの２樵以上からなる合金を意味
し１例えばＴｂ５ｏＧｄ５ｏ、Ｔｂ７５Ｄｙ２５．Ｇｄ
、ｏＨｏｌｏのような合金を意味する。

ターゲット材のもう一つの原料となるＦｅ、Ｃｏおよび
Ｎｉ並びにこれらの合金から選ばれた鉄族金属も微細に
分割された状態であれば、その形状は一般にどのような
ものであっても差支えないが、この鉄族金属も通常粉末
または小粒であるのが望ましく、その平均粒径が１μｍ
未満では粒子が細か過ぎるため、熱処理を施した後に残
留する鉄族金属単体粒子の寸法が小さくなり過ぎて、タ
ーゲット材の強度が著しく低下するようになり、一方そ
れが３００μｍを越えると、製造されたターゲット材中
の個々の鉄族金属単体の粒子の寸法が大きくなり過ぎて
、膜の組成が安定したスパッタリングを遂行できなくな
るので、この平均粒径は一般に１〜３００μｍでなけれ
ばならず、好ましくは５０〜３００μｍである。

鉄族金属の純度も高純度（純度：９９．９９重０％以上
）であること、特に、低酸素濃度（酸素ｄ度：０．０１
ｉｉ％以下）であることが望ましい。

これらの合金とは１１　Ｆｅ、　ＣｏおよびＮｉのうち
の２種以上からなる合金を意味し１例えばＦｅ７５ＣＯ
ｚ５＋Ｆ　ｅｓｏＣＯｓｏ　ｖ　Ｆ　ｅ７５　ＣＯ２０
Ｎ　Ｉ　５　ｓ　Ｃｏｇ□　Ｎ　Ｉ　ｓｏのような合金
を意味する。

また、この発明においては、希土類金属と鉄族金属との
混合物中に配合された希土類金属の割合が３０重量％未
満になっても、また５０重量％を越えても、それによっ
て得られたターゲット材は、光磁気記録媒体として利用
するのに適した磁気特性を備えた膜を生成しなくなると
ころから、前記混合物における希土類金属の配合割合を
３０〜５０重量％と定めた。

２、熱間成形 この発明では、前記混合物を緻密な成形体にするために
、その混合物にホットプレス、熱間バック圧延、熱間静
水圧プレス（ＨＩＰ）、熱間鍛造等による熱間成形が施
されるが、薄板状のターゲット材を製造するには、特に
ホットプレスと熱間パック圧延が適しており、この熱開
成形中に酸素が成形体に混入してくるのを防ぐために、
熱間成形を真空または不活性ガス雰囲気の下で遂行する
必要があり、それには一般に圧カニ０．０１〜１Ｏ−６
Ｔｏｒｒの真空または例えば、露点が一６０℃以下のア
ルゴンガスが使用される。

熱開成形において前記混合物に適用される温度は、その
混合物中に存在する金属成分系の液相発現温度未満の温
度であることが必要であるが、これは、そうでないと、
熱間成形中に生じた液相によって金属が酸化されやすく
なる結果、ターゲット材の酸素濃度が０．５重量％以上
に上昇する上に。

液相だけが流動するというトラブルの発生を招くことに
基づいており、この熱間成形において適用する温度は成
形方法によって異なるが、例えば熱間圧延では一般にｉ
ｉＩ記液相発現温度よりも２０〜２５０℃低く保持され
る。前記全屈成分系の液相発現温度は、例えば、その糸
がＦｅ−Ｔｂの場合は８４０℃、Ｆｅ　−Ｃｏ　−Ｔｂ
の場合は６９５℃、Ｆｅ　−Ｔｂ−Ｇｄの場合は８３０
℃、そしてＣｏ−ａａの場合は６３０℃である。

熱間成形により、混合物中の各金属粒子の塑性変形、希
土類金属と鉄族金属との間の部分的な固相拡散、および
その結果としての界面における金属間化合物の形底と接
合が起るので、成形体の高密度化と、その中の各粒子間
の接合が達成されて、一般に９５〜１００％の相対密度
を有する緻密で高強度の成形体が得られる。

ホットプレスにおいては通常１００〜２００ｋｌ？／ｄ
の圧力か適用され、そのホットプレスを施す時間は、前
記の作用を起すのに十分な時間であればよく、その温度
や圧力によっても異なるが、一般に２時間以上である。

熱間パック圧延においては、希土類金属と鉄族金属との
混合粉末を鉄合金製容器に入れてから、その中の圧力か
１０　　Ｔｏｒｒ以下になるまで、容器内のガスを真空
排気することによって、前記混合物を鉄合金製容器内に
真空バックした後、これを混合物中に存在する金属成分
系の液相発現未満の温度において、熱間圧延する。

カ会番寿圧延によって形成された成形体は、その周囲の
缶を旋盤またはシェーパで取り除くことによって、缶の
中から取り出される１、 ３、熱処理 前記熱間成形によって製造された成形体には希土類金属
がまだ単体の状態で残っているので、これをすべて金属
間化合物に転化すると同時に、希土類金属と鉄族金属と
を互に拡散させてそれらの金属間化合物と鉄族金属単体
との均一な混合組織を形成させるために熱処理が施され
るが、そのためには、この熱処理において成形体を、そ
の中に存在する金属成分系の液相発現未満の温度に長時
間加熱して拡散を起す必要があり、この温度は一般に前
記液相発現温度よりも２０〜１００℃低い温度が適して
おり、その温度に嬉゛す時間は通常１〜１７時間である
。

この熱処理では加熱温度が前記液相発現温度よりも低い
ために長時間加熱しなければならないことから、ターゲ
ット材の酸素量を増加させない配慮が必要であり、その
ためには、前記成形体を金属容器内にＩ　Ｘ　１０　　
Ｔｏｒｒ以上の真空度に真空パックした状態として、こ
れを熱処理炉中、Ｆ！Ａ１えば８００℃／ｈｒの昇温速
度で前記液相発現温度未満の処理温度まで昇温し、この
温度に通常１〜１７時間保持して拡散を起させ、その後
車＠まで冷却した後、前記金属容器を旋盤またはシェー
バで取り除くことによって熱処理が遂行される、この場
合、炉内を真仝または不活性ガスの雰囲気とすれば、パ
ック容器に漏れが生じても、成形体を酸素との接触から
保護することができる。前記金属容器の材料としては、
熱処理温度において成形体との間で拡散反りを起しにく
い金属、例えばステンレス鋼等の鉄合金が利用される。

希土類金属と鉄族金属との混合物を金属容器で真空パッ
クして、この混合物に熱間パック圧延を施すことによっ
て前記熱間成形を遂行した場合には、成形後にその金属
容器を除去することなく。

前記成形体に上記のような熱処理を施すのが好都合であ
る。

４、　ターゲット材の組成および組織 以上のような工程を経て裏遺されたターゲット材は、原
料となった希土類金属や鉄族金属に不可避的に含まれて
いた不純物、列えば周期律表の第１ａ族元素、Ｓｉ、　
Ｃａ、　ＡＩ、　Ｃ，Ｉ’、　Ｓ、　Ｔａ、　ＭｎｔＯ
等を微量含むことは避けられないけれども、実質的に希
土類金属と鉄族金属との金属間化合物と、単体の鉄族金
属との均一な混合組織からなり、その組織中で金属間化
合物の形に変化した希土類金属はそのスパッタリング速
度が鉄族金属のそれと同程度に調整されるとともに、鉄
族金属単体は、ｉａ記１で述べた原料の平均粒径や形状
により、一般に１〜３００μｍの寸法を有する球状また
は片状の粒子となって、ターゲット材に必要な強度を与
える。

〔実施例および実施ダ１に基づく効果〕ついで、この発
明を実施列により比較例と対比しながら説明する。

実施ｆＩ＋　１ ａ）いずれも平均粒径：　１００μｍを有する＃ＪＩ！
度９９．９％のＴｂ粉末、純度９９．９９重０％のＦｅ
粉末および純度９９．９９重０％のＦｅ−Ｃｏ合金（Ｆ
ｅ　：　Ｃ。

＝７５：２５ａｔ０％）粉末を、Ｔｂ：Ｆｅ：Ｃｏの配
合割合が４８．５　：　４４．３　：　７．１９　（１
徴％）となるように所定量秤量したものをボールミルを
用いて３０分間トルエン中で混合し、乾燥して総重槍２
５０１の混合粉末を調製した。

ｂ）ついで、肉厚：１．２朋を仔し、かつ内部に直径：
１２０＋ｉＸ厚さく高さ）：４．０＋ｘの円板状の空間
を有するステンレス缶に内径：１２．７ｍｍＸ長さ：５
００ｙｌｚｘ厚さ：　２．　Ｏｍｍのステンレス管を垂
直に取り付けて、前記円板状の空間内に前記混合粉末を
充填してから、前記ステンレス缶の内部を排気してＸ空
腹：ｌＸ１０　　Ｔｏｒｒまで真生引きした後、加熱圧
着して前記混合粉末を前記ステンレス缶内に密封した。

このようにステンレス缶内に真空バックされた混合粉末
に、＠度：５００℃において、缶全体の厚み（高さ）が
４，２關になるまで熱間パック圧延を施した。

Ｃ）その後このように形成された成形体を、前記ステン
レス缶にバックしたまま熱処理炉中に装入して炉内雰囲
気をＩ　Ｘ　１０　　Ｔａｒｔの真空にした後、８００
℃／ｈｒの昇温速度で６６０℃まで昇温させ、この温度
に１５時間保持してから室温まで冷却した。

このようにして得られたＴ　Ｉ）２５　Ｆ　ｅ　６５　
ＣＯ１ｏ　の組成を有するターゲット材を顕微鏡によっ
て組織観察したところ、ＴｂはすべてＦｅおよびＦｅ−
Ｃｏとの間で金属間化合物を生成するとともに、その化
合物の一部は共晶を形成し、このターゲット材では、第
５図のａおよびｂに示したような、これらの金属間化合
物とその共晶の間にＦｅ単体が均一に分布した混合組織
が形成され、このＦｅ単体粒子の寸法は１５〜８０μｍ
であり、またこのターゲット材の相対密度は１００％で
抗折力は９−５　ｋＣ９／　ｍ”であった。

つぎに、このターゲット材の性能を評価するために、こ
れを直径：１２７ａｍＸ厚さ＝２朋の円板に加工して得
たターゲットを基にして、アルゴン分圧：５Ｘ１０　　
Ｔｏｒｒでグリスバッタを３０〜６０秒間施した後、バ
イアス電圧：Ｏｖ、スパッタ電カニ７５Ｗと一定に保ち
、前記ターゲットを２〜５ｒｐｍの速さで回転させなか
らマグネトロンスパッタリングを施して光磁気記録用の
膜を製造した。

このときに得られた膜の酸素含有量は平均１．０ａｔ、
％で、スパッタリング時間の経過に対してその膜の中の
Ｔｂ量が変化していく状態を第１図に示した。

第１図から、スパッタリング時間が長時間にわたっても
、膜組底の変化が±０．１８ａｔ、％と極めて小さいこ
とがわかる。

実施例２ ａ）　いずれも平均粒径：１００μｍを有する純度９９
．９％のＴｂ粉末と純度９９．９９％のＦｅ扮粉末を、
Ｔｂ　：　Ｆｅの配合割合が４８．６８：５１．３２（
重量％）となるように所定量秤量したものをボールミル
を用いて３０分間トルエン中で混合し、乾燥してｍ金粉
末を製造した。

ｂ）ついで、内径：１２７ｍのホットプレスモールド内
に前記混合粉末２００ＩＩを充填してからｌＸｌ０　　
Ｔｏｒｒ以上の真空度に脱気し、昇温速度＝８００℃／
ｈｒで昇温し、８００℃に達した時点で前記混合粉末に
、真空度：１ｘｌＯＴａｒｔ以上、圧カニ　２００ｋｌ
ｉ／ｄｔおよび保持時間：１時間の条件でホットプレス
を施し、加熱終了後炉冷して円板状の緻密な成形体を敗
り出した。

Ｃ）その後、このように形成された成形体を、実施例１
のｂ）において使用したステンレス缶内に同様に真空バ
ックした後、これを熱処理炉中に装入して炉内雰囲気を
ｌＸｌｏＴｏｒｒ以上の真空度に保ちながら８００℃／
ｈｒの昇は速度で８３０℃まで昇温させ、この温度に１
０時間保持してから室温まで冷却した。

このようにして得られた’ｒｂ２５Ｆｅ７５の組成を有
するターゲット材を顕微鏡によって組織観察したところ
、ＴｂはすべてＦｅとの間で金属間化合物を生成すると
ともに、その一部は共晶を形成し、このターゲット材で
は、この金属間化合物とその共晶の間に３０〜８０Ａｍ
の大きさのＦｅ単体粒子が均一に分布した混合組織が形
成され、またこのターゲット材の相対密度は９７％で抗
折力は８．９　＃１ｍｙ＆であった。′ つぎに、前記ターゲット材の性能を評価するために、こ
のターゲット材から得たターゲットを使用して、スライ
ドガラスをターゲットから７０順離し、ターゲット直上
中心、その中心から３７Ｉｎ、同６ｃＩＩＬと位置を換
えてスパッタしたことを除き、天施例１と同じマグネト
ロンスパッタリングラ施して光磁気記録用の膜を製造し
た。

このときに得られた膜の酸素含有量は１．５〜２．１ａ
１−％で、その膜のＴｂ量のスパッタリング時間の経過
に対する変化を第２図に示した。

第２図から、長時間のスパッタリング時間にわたって膜
の組Ｍ、変化が±０．２１ａｔ、％と極めて小さいこと
がわかる。

比叔例１ 実施ｆＩ１２のｂ）に示したホットプレスによって得ら
れた成形体をステンレス缶内にバックしないで、そのま
まこれに実施例２と全く同じ熱処理を施して比較ターゲ
ット材１を製造した。

この比較ターゲット材１の性能を評価するために、これ
を直径：１２７１１ｘ厚さ：　２．　ＯＩＩＥの円板に
加工して得たターゲットを基にして、実施例１ト全＜同
様にマグネトロンスパッタリングを実施してスライドガ
ラス上に光磁気記録用の膜を付着させた。

このときに得られた膜の酸素ｔは８．０〜１４．０ａｔ
、％と多く、この膜は垂直磁化膜とはならず、面内磁化
の特性を示していた。

膜の保磁力から実効Ｔｂ１ｋを外挿してＴｂ量を求め、
このＴｂｉとスパッタリング時間との関係を第３図に示
した。

第３図から、この膜の組成がスパッタリング時間の経過
に対して極めて不安定であることがわかる。

比較例２ 実／ｉ！］ＥＭ＋２のｂ）において得られたＴｂ　−Ｆ
ｅ成形体を仕上加工することによって製造した比較ター
ゲット２を使用して、笑捲例１と全く同じ条件でスパッ
タリングを実施した。

このときに得られた膜の酸素含ａｔは平均１．２ａｔ、
％で、その欣のＴｂｉのスパッタリング時間の経過に対
する変化を第４図に示した。

第４図から、この比較ターゲット２によって得られた膜
の組成はスパッタリング時間の経過に従って著しく変化
することがわかる、。

〔発明の総合的効果〕

以上の説明から明らかなように、この発明によると、組
成が安定し、かつ酸素濃度の低い元磁気記８媒体を生成
する、高強度のスパッタ１３ング用ターゲット材を提供
することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は、この発明によって夷遺されたタ
ーゲット材を使用して薄膜を生成させた場合、スパッタ
リング中にその薄膜で起る組成変化を示すグラフ、第３
図および第４図は、比較方法によって製造したターゲッ
ト材な使用した場合に同様な薄膜の組成変化を示すグラ
フ、第５図のａはこの発明によって製造されたターゲッ
ト材の金属組織な示す顕微鏡写真、そして第５図のｂは
この顕微鏡写真によって示された金属組織をわかりやす
くするための模式的な説明図である。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）ａ）微細に分割されたＧｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、
   ＴｍおよびＥｒ並びにこれらの合金からなる群より選ば
   れた希土類金属１種または２種以上と、微細に分割され
   たＦｅ、ＣｏおよびＮｉ並びにこれらの合金からなる群
   より選ばれた鉄族金属１種または２種以上とを混合して
   、前記希土類金属：３０〜５０重量％と、前記鉄族金属
   ：残り、からなる組成を有する混合物を形成させ、 ｂ）ついで、この混合物に、真空中または不活性ガス雰
   囲気中で、前記混合物中に存在する金属成分系の液相発
   現温度未満の温度において熱間成形を施して、前記希土
   類金属と前記鉄族金属からなる緻密な成形体を形成させ
   、 ｃ）その後、前記成形体を金属容器で真空パックした状
   態で、この成形体に、その成形体中に存在する金属成分
   系の液相発現温度未満の温度において前記成形体を長時
   間加熱すろ熱処理を施すことによつて、前記希土類金属
   と鉄族金属との金属間化合物と、鉄族金属単体との混合
   組織を有するターゲット材を製造する方法。
2. （２）前記希土類金属と鉄族金属との混合物を金属容器
   で真空パックした後、この混合物に熱間パック圧延を施
   すことによつて前記熱間成形を遂行することを特徴とす
   る、特許請求の範囲第（１）項記載の製造方法。
3. （３）前記希土類金属と鉄族金属との混合物にホットプ
   レスを施すことによつて前記熱間成形を遂行することを
   特徴とする、特許請求の範囲第（１）項記載の製造方法
   。
4. （４）前記希土類金属と鉄族金属との混合物に、金属容
   器を使用する熱間パック圧延を施した後、前記金属容器
   を除去することなく、前記成形体に、その成形体中に存
   在する金属成分系の液相発現温度未満の温度において前
   記成形体を長時間加熱する拡散処理を施すことを特徴と
   する、特許請求の範囲第（２）項記載の製造方法。