JPS62109333A - 半導体パツケ−ジ - Google Patents

半導体パツケ−ジ

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JPS62109333A
JPS62109333A JP61234709A JP23470986A JPS62109333A JP S62109333 A JPS62109333 A JP S62109333A JP 61234709 A JP61234709 A JP 61234709A JP 23470986 A JP23470986 A JP 23470986A JP S62109333 A JPS62109333 A JP S62109333A
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chip
lead frame
circuit
chips
package
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リチヤード・ブリユーワー・オーバーフイールド
プラタツプ・シン
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 A6 産業上の利用分野 本発明は、一般に半導体パッケージング、さらに具体的
にいえば、チップをリード・フレームの両面に取りつけ
る、カプセル封じ半導体チップの取りつけ装置に関する
ものである。
B、従来技術及び発明が解決しようとする問題点近年に
おけるデータ処理装置、特にいわゆるパー7fル・コン
ピュータの飛躍的成長に伴って、ますます多くのデータ
処理能力とデータ処理機能をますます小さなパッケージ
に実装する必要が生じてきた。集積回路半導体チップの
密度が増大しただめ、一定体積のパッケージ装置当りの
データ処理能力が増大してきた。たとえば、256にピ
ットのダイナミック・ランダム・アクセス記憶装置ハン
ケージが、現在では僅か数年前に一般に使われていた6
4にビットのパッケージと変らない物理的サイズのモジ
ュールの形で入手できる。とはいえ、データ処理システ
ムの全体サイズをさらに小さくするだめに、ますます小
さなパッケージを作る技術が引き続き探求されて因る。
業界でDIPパッケージと呼ばれている、デュアル・イ
ンライン自ビン集積回路パッケージが、大部分のデータ
処理システムに使われている。米国特許第439823
5号には、このパッケージを複数個ピギーバック方式で
積み重ね、該当するビンを互いに電気的に接続し、その
他のピンは遮断した配置が示されている。この方法は、
ランダム・アクセス記憶装置および読取り専用記憶装置
の記憶密度を増大させる点で特に有用である。もちろん
、これらの装置をピギーバック方式で積み重ねたプリン
ト回路カードは、高さが増すため、非ピギーバック方式
のモジュールを格納したカードの場合よりも所要体積は
大きくしなければならナイカ、カードの所要面積は増え
ない。
米国特許第5746954号には、リードΦフレームノ
スタックヲ含み、各リード・フレームの片側にチップを
取りつけである半導体チップのスタック配置が開示され
ている。次に、リード・フレームを電気的に相互接続す
るが、その後配置全体を適当な方法でカプセル封じする
こともある。
このパッケージ内では、上記のピギーバック式配置と同
様に、多数のリード・フレームを分離しなければならな
いので、パッケージの高さは、回路密度を掛けたものと
ほぼ等しくなる。
米国特許第4423468号には、裸のマイクロプロセ
ッサとそれに関連するパッケージされていない読取り専
用メモリ・チップなどの関連する超小型電子部品が、絶
縁基板の両面に取りつけられ、実質上、超小型両面プリ
ント回路カードとなっているパッケージが示されている
。半導体チップ上の接点が、絶縁基板の導体パターンに
接続されている。その後、基板のそれぞれの面を絶縁カ
バーで密封し、またアセンブリ全体を、表面取付は用部
品モジュールとして外部回路にリフローはんだ付けする
こともある。この方法は、実装する集積回路チップの密
度を増大させるためのもう一つの方法であるが、これは
裸のチップを表面に取り付け、さらに保護ケースに封入
した両面プリント回路カードと同様にかなり複雑な配置
である。
この方法は、高い回路密度をもたらすものの、複雑なた
めにコストが大幅に増す。
したがって、集積回路チップ用の低コストで製造しやす
い第1段パッケージの回路密度を大幅に増大させること
ができれば、極めて望ましい。
C0問題点を解決するための手段 したがって、リード・フレームの片面に第1のif回路
チップを取り付ける、このアセンブリは、それと面対称
(鏡像)の関係にある第2の集積回路チップをリード・
フレームの反対側の面に取り付ける。次にこのアセンブ
リを適切なプラスチック材料中にカプセル封じする。メ
モリ・チップは、この取付は方法に特に適しており、ピ
ン取付け、リード取付け、および表面取付けの集積回路
パッケージにもこの方法は適用できる。
この2重チップ・パッケージは、リードφフレームの片
方の面にしかチップを実装できない従来のモジュールよ
りも、やや厚い。本発明は、上記の従来技術の所で述べ
たピギーバック式モジュールやスタック・リード・フレ
ームよりもずっと小さなパッケージをもたらす。本発明
のパッケージでは、基板や内側をめっきした貫通孔が要
らないため、たとえば上記の密閉形両面プリント回路基
板構成よりも、ずっと安価な材料と製造方法が使える。
メモリ・チップのサイズが一定の場合、プリント回路カ
ード上の一定面積当りの記憶密度は、2倍になり、部品
の高さの増す度合は、従来技術の場合よりも少ない。
D、実施例 第1図を参照すると、リード・フレーム11は、そこか
ら延在する複数のリード12を備えている。
集積回路メモリ・チップ13が、リード・フレーム11
の上面に取り付けられており、半導体チップ15上のそ
れぞれの回路終端点が、それに対応する一方のリード1
2に複数のワイヤ・ボンド14で電気的に接続されてい
る。また、リード・フレーム110反対側には、別の集
積回路メモリ・チップ15が取りつけられている。この
二つのメモリ・チップ13と15の回路構成は同じであ
るが、メモリ・チップ15上の各回路終端点は、メモリ
・チップ13上のそれに対応する回路終端点に対して面
対称(鏡像)となる位置に配置されている。このメモリ
・チップ15上の回路終端点の配置のため、メモリ・チ
ップ15上の回路終端点から複数のリード12に通じる
もう一組のワイヤ・ボンド16は、複数のワイヤ・ボン
ド14に対して面対称となっている。
リード・フレーム11の技術、リード・フレームにチッ
プ13と15を接続する技術、およびチップ16と15
上の回路終端点をリード12とワイヤ・ボンドで電気的
に接続する技術は、当技術分野で周知のものであり、多
数の方法がある。
このアセンブリを組み立てた後、典型的な場合第1図で
示すように適切なプラスチック材料17にカプセル封じ
する。
次に第2図および第5図には、別の型式の半導体記憶モ
ジュールの両面の図が示しである。第2図および第6図
に示したモジュールは、完成するとプラスチック製リー
ドつきチップ−キャリアすなわちPLCCとなる。この
種のパッケージは、プリント回路基板の穴を通って延在
するリードのない、表面取付けに適している。第2図お
よび第6図に示した半完成モジュールは、そのパッケー
ジが4面から伸びるリードを備えている点で、リードが
2面から伸びる第1図のD■Pノくツケージとは異なっ
ている。
第2図において、半導体記憶装置チップ20は、適当な
方法でリード・フレーム21の中央部に接続されている
。リード・フレーム21は、そこから伸びる複数のリー
ド91−106を備えており、これらのリードは、パッ
ケージ製造のこの段階では、リード・フレームの金属に
よって物理的かつ電気的に相互接続されており、製造工
程の後の段階でこのフレーム金属を切断する。チップ2
0上の複数の終端点31−46は、複数のワイヤ・ボン
ド50でリード91−106を含むリード・フレームの
個々の部分に接続されている。
ここで第2図に示したサブアセンブリがその周シで回転
できる、仮想的な垂直軸を考−えてみる。
第5図は、このサブアセンブリをこの仮想垂直軸の周り
で180°回転した後の図である。第3図では、別の半
導体メモリ・チップ60が、同じリード・フレーム21
0反対側の中央部に取シ付けられている。チップ60上
の回路終端点は、チップ20上のそれに対応する回路終
端点と面対称であることに注意すること。すなわち、チ
ップ20および60上の番号の一番小さい回路終端点か
ら始まって番号の一番犬きい回路終端点で終る。回路終
端点の列は面対称である。したがって、番号の一番小さ
い回路終端点(チップ20上の)51と(チップ60上
の)61は、リードφフレーム21上の同じり−)’ 
(91>にワイヤ・ボンドで接続されている。
第2図および第6図の破線80は、サブアセンブリを適
当な材料中にカプセル封じするための金型の輪廓を表し
ている。ワイヤ・ボンド5Gを設け、チップ2Qをリー
ド・フレーム21に接続し。
ワイヤ・ボンド81を設け、チップ60をリード・フレ
ーム21に接続した後、成形など通常の方法によって、
サブアセンブリの周りに適当なカプセル封じ材料を成形
する。次にリード・フレームの余った部分を切断すると
、所期のパッケージ用のリードがうまく形成される。
以上まとめると、まずリード・フレームの片面に第1の
集積回路チップを取り付け、リード・フレームの反対側
にそれと面対称となる第2の集積回路チップを取りつけ
て、このサブアセンブリを完成する。次にこのアセンブ
リをプラスチックなど適当な材料中にカプセル封じする
。メモリ・チップが、この取シつけ方法に特に適してい
るがこの方法は、ピンつき、リードつき、および表面取
り付は形の集積回路パッケージにも適用できる。
E9発明の効果 本発明は、メモリ・チップの実装に取りわけ適してお、
j7、DIPパッケージ、表面取付用のプラスチック製
リードつきチャツプ・キャリアなど広範囲のパッケージ
ング技術に応用できる。チップをリード・フレームまた
はその相当物に接続する方法も、様々な方法がある。た
とえば、回路接続点をリフロ一番ボンディングやゴール
ド・バンブ超高波接着によってリード・フレームのフィ
ンガに接着し、それと接触するようにチップを配向する
フリップ・チップ接着法が使用できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の面対称チップ・パッケージング法を
組み込んだIOPパッケージの断面図である。 第2図および第3図は、本発明の面対称チップ・パッケ
ージング法を組み込んだパッケージの両側を示したもの
である。 11拳・・・リードΦフレーム、12・・・・リード、
13・・・・半導体チップ、14.16・・・・ワイヤ
eボンド、15・・・・メモリ・チップ、17会・・・
カプセル封じ。 出願人   イングーナショナル・ビジネスΦマシーZ
ズ番コーホレーション復代理人 弁理士  篠   1
)  文   雄FIG、   2

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)リード・フレームと、上記リード・フレームの第
    1の面に取りつけられた第1の集積回路チップと、上記
    リード・フレームの第2の面に取りつけられた第2の集
    積回路チップと からなる半導体パッケージ。
  2. (2)上記第1のチップおよび第2のチップと上記リー
    ド・フレームの一部分はカプセル封じ用プラスチック材
    料で密封されていることを特徴とする特許請求の範囲第
    (1)項に記載の半導体パッケージ。
JP61234709A 1985-11-04 1986-10-03 半導体パツケ−ジ Pending JPS62109333A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US79489985A 1985-11-04 1985-11-04
US794899 1985-11-04

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JPS62109333A true JPS62109333A (ja) 1987-05-20

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61234709A Pending JPS62109333A (ja) 1985-11-04 1986-10-03 半導体パツケ−ジ

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JP (1) JPS62109333A (ja)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB8622807D0 (en) * 1986-09-23 1987-02-04 Royal Ordnance Plc Semiconductor chip constructions
JP2560805B2 (ja) * 1988-10-06 1996-12-04 三菱電機株式会社 半導体装置
DE68905475T2 (de) * 1989-07-18 1993-09-16 Ibm Halbleiter-speichermodul hoeher dichte.
US5296737A (en) * 1990-09-06 1994-03-22 Hitachi, Ltd. Semiconductor device with a plurality of face to face chips
JP2505308B2 (ja) * 1990-09-06 1996-06-05 株式会社日立製作所 半導体装置
EP0608440A1 (en) * 1992-12-18 1994-08-03 Fujitsu Limited Semiconductor device having a plurality of chips having identical circuit arrangements sealed in package
JP3299342B2 (ja) * 1993-06-11 2002-07-08 株式会社日立製作所 半導体メモリモジュール
US5527740A (en) * 1994-06-28 1996-06-18 Intel Corporation Manufacturing dual sided wire bonded integrated circuit chip packages using offset wire bonds and support block cavities
KR19980063698A (ko) * 1996-12-03 1998-10-07 윌리엄비.켐플러 단일-패키지된 반도체 메모리 장치의 메모리 용량을 두배로하는 방법
US6147411A (en) * 1998-03-31 2000-11-14 Micron Technology, Inc. Vertical surface mount package utilizing a back-to-back semiconductor device module
DE10231385B4 (de) 2001-07-10 2007-02-22 Samsung Electronics Co., Ltd., Suwon Halbleiterchip mit Bondkontaktstellen und zugehörige Mehrchippackung

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5617050A (en) * 1979-07-20 1981-02-18 Nec Corp Semiconductor device
JPS6037758A (ja) * 1983-08-10 1985-02-27 Nec Corp 半導体装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5662351A (en) * 1979-10-26 1981-05-28 Hitachi Ltd Semiconductor device for memory
JPS56137665A (en) * 1980-03-31 1981-10-27 Chiyou Lsi Gijutsu Kenkyu Kumiai Semiconductor device
JPS58130553A (ja) * 1982-01-29 1983-08-04 Toshiba Corp 半導体装置
JPS6028256A (ja) * 1983-07-26 1985-02-13 Fujitsu Ltd 半導体装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5617050A (en) * 1979-07-20 1981-02-18 Nec Corp Semiconductor device
JPS6037758A (ja) * 1983-08-10 1985-02-27 Nec Corp 半導体装置

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EP0221496A3 (en) 1987-10-28
EP0221496A2 (en) 1987-05-13

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