JPS6126952A - 情報記録担体の製造法 - Google Patents

情報記録担体の製造法

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JPS6126952A
JPS6126952A JP14527284A JP14527284A JPS6126952A JP S6126952 A JPS6126952 A JP S6126952A JP 14527284 A JP14527284 A JP 14527284A JP 14527284 A JP14527284 A JP 14527284A JP S6126952 A JPS6126952 A JP S6126952A
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登 川合
Toshiro Abe
安部　俊郎
Takashi Murata
敬 村田
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    • G—PHYSICS
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    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
    • G11B7/261—Preparing a master, e.g. exposing photoresist, electroforming
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
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  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は情報記録担体の製造法に係り、特に例にばオー
ディオ用又はビデオ用のディスクといつた情報信号記録
媒体を大量に成型する際に用いる原盤の製造法に関する
ものである。
〔従来技術とその問題点〕
例えばビデオディスク用原盤の製造法として、ガラス基
板上に蒸着、スパッタリング若しくはＣＶＤ等によシ金
属又はその酸化物若しくは窒化物の薄膜を形成し、該薄
膜上にレーザービームで情報信号を記録し、該薄膜をマ
スクとして該ガラス基板にイオンミリング又はガスプラ
ズマによる第１のエツチングをすることにより所定の段
差を形成し、マスクとして使用した該薄膜を第２のエツ
チングにより除去するといった方法（特開昭５４−７７
１０５号）、あるいは基体上に金属薄膜層を被着形成す
る工程と、前記金属薄膜層の記録トラック上に記録用レ
ーザ光を照射することによりその領域を熔融蒸発させて
前記記録トラック上に予め記録すべき情報に対応した第
１凹凸ノ；ターンを記録する工程と、予め情報が記録さ
れた前記金属薄膜をマスクとして露出された前記基体を
イオンエツチングによシ選択除去することにより該基体
上に前記第１凹凸パターンに対応した第２凹凸ノくター
ンを形成する工程とを含むといった方法（特開昭５４−
１３４６０３号）が提案されている。
しかし、これら提案による方法で基体に形成された凹凸
パターン（ピント）１は、その断面形状を第２図に示す
如く矩形であり、従ってこのようなものから作成する原
盤の型離れ性は悪い。
〔問題点を解決する。為の手段〕
基体を研磨する工程と、前記基体上にビームの照射に感
応するレジスト膜を形成する工程と、前記レジスト膜に
所定の情報により変調されたビームを照射する工程と、
前記ビーム照射を受けたレジスト膜を現像して選択的に
レジスト膜を除去し所定パターンのものとする工程と、
前記所定ノヨターンのレジスト膜をマスクとしてこのレ
ジスト膜が徐々にエツチング作用を受けると同時に前記
基体を選択的にドライエツチングして基体に凹凸の所定
パターンを形成する工程と、マスクとして用いたレジス
ト膜を除去する工程とを含む。
〔実施例〕
第１図ａ　−ｅは、本発明に係る情報記録担体の製造工
程説明図である。
捷ず、例えば外径２４０ｍｍ、内径’１５１ｍ、肉厚１
０ｍｒｎの光学研磨された青板ガラス製基体１０を用意
し、この基体１０面上に〉ザービームの照射に感応する
フォトレジスト、例えば商品名ＡＺ１３５０（７ソプレ
一社）゛のフォトレジストをスピンコード法によって塗
布し、約３０００λ厚のフォトレジスト膜１１を形成す
る（第１図ａ）。尚、この除し／スト密着剤としてヘキ
サメチルジンラザンを用いる。
次に、基体１０を回転させ、コンパクトディスク仕様の
ＰＣＭオーディオ信号によ逆変調したＡｒレーザービー
ムを照射し、フォトレジスト膜１１を感光させ、その後
現像して選択的にフォトレジスト膜１１を除去する。つ
まり、第１図すに示す如く、フォトレジスト膜１１を所
定の・々ターンに形成する。
その後、これを例えば平行平板型ドライエツチング装置
内に置き、導入ガスＣＦ４、真空度ｌＸｌ０’Ｔｏｒｒ
以下例えば２　Ｘ　１Ｏ−２Ｔｏｒｒ、高周波−：　ワ
−２００Ｗ、エツチング時間４０分の条件で、前記所定
パターンのフォトレジスト膜１１をマスクとしてドライ
エツチングを行なう。
そうすると、第１図ｃ、ｄに示す如く、マスクであるフ
ォトレジスト膜１１も反応ガスによって徐々に多少エツ
チングを受け、断面矩形状のフォトン４５０の断面逆台
形状の深さ０．１μｍのピット１２が形成される。岡、
第１図Ｃ中、点線で示すものはドライエツチング前のフ
ォトレジスト膜である。
そして、ドライエツチング終了後、マスクとして使用し
た所定パターンのフォトレジスト膜１１を酸素プラズマ
のアツ／ングにより除去する（第１図ｅ）。
上記のような工程によれば、基体１０にエツチングによ
って所定パターンのピットを形成するに際して、マスク
であるレジスト膜も同時に徐々にエツチングを゛受ける
ようにす杢ので、基体１０に形成されるピットは断面逆
台形状のものといったようにテーパーがついたものとな
り、従ってこれに対して銀の無電解メッキ、ニッケル電
鋳、ニッケル原盤の剥離といった工程により、離型性の
良い原盤を多数得ることができる。
特に、コンパクトディスクの信号では変調度及びマグニ
チュードの良好な原盤が作製できる。そして、コンパク
トディスクの場合にあっては、信号のピット形状が断面
矩形でなくテーパーのついたものとなるので、再生特性
に優れたものが得られる。
尚、ドライエツチングしたガラス製基体そのものをプラ
スチック成形の金型に用いるようにすることも考えられ
る。
〔効果〕
離型性の良い暮品質の原盤が得られる。
【図面の簡単な説明】
第１図ａ　−ｅは本発明に係る情報記録担体の製造法の
工程説明図、第２図は従来の方法によって形成されたピ
ットの形状説明図である。 １０・・・基体、１１・・・フォトレジスト膜、１２・
・・ピット。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 　基体を研磨する工程と、前記基体上にビームの照射に
    感応するレジスト膜を形成する工程と、前記レジスト膜
    に所定の情報により変調されたビームを照射する工程と
    、前記ビーム照射を受けたレジスト膜を現像して選択的
    にレジスト膜を除去し所定パターンのものとする工程と
    、前記所定パターンのレジスト膜をマスクとしてこのレ
    ジスト膜が徐々にエッチング作用を受けると同時に前記
    基体を選択的にドライエッチングして基体に凹凸の所定
    パターンを形成する工程と、マスクとして用いたレジス
    ト膜を除去する工程とを含むことを特徴とする情報記録
    担体の製造法。
JP59145272A 1984-07-14 1984-07-14 情報記録担体の製造法 Expired - Lifetime JPH0648546B2 (ja)

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EP85108560A EP0168763B1 (en) 1984-07-14 1985-07-10 Method for fabricating a master recording disc
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6275952A (ja) * 1985-09-27 1987-04-07 Sharp Corp 光メモリ素子の製造方法
US5480763A (en) * 1991-01-11 1996-01-02 Victor Company Of Japan, Ltd. Method for manufacturing a stamper for high-density recording discs
WO2004051631A1 (ja) * 2002-12-03 2004-06-17 Fujitsu Limited 磁気転写用マスタ媒体およびその製造方法

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0155000B1 (en) * 1984-03-16 1991-08-14 Sharp Kabushiki Kaisha Method of manufacturing optical memory element
US4619804A (en) * 1985-04-15 1986-10-28 Eastman Kodak Company Fabricating optical record media
DE3689593T2 (de) * 1985-08-30 1994-06-16 Sharp Kk Element für optische Speicherung und Verfahren zu dessen Herstellung.
JPS62128944A (ja) * 1985-11-27 1987-06-11 Sharp Corp 光メモリ素子
CA1313792C (en) * 1986-02-28 1993-02-23 Junji Hirokane Method of manufacturing photo-mask and photo-mask manufactured thereby
LU86722A1 (fr) * 1986-12-23 1988-07-14 Glaverbel Feuille en matiere vitreuse portant un dessin grave et procede pour graver un dessin sur un substrat en matiere vitreuse
DE3719200A1 (de) * 1987-06-09 1988-12-29 Ibm Deutschland Optische speicherplatte und verfahren zu ihrer herstellung
EP0301641A1 (en) * 1987-07-23 1989-02-01 Koninklijke Philips Electronics N.V. Master disc and method of manufacturing a matrix
GB8728272D0 (en) * 1987-12-03 1988-01-06 Pilkington Plc Method of producing surface microstructure on glass
DE3808380A1 (de) * 1988-03-12 1989-09-21 Wilhelm Koenig Verfahren zum praegen von festprogrammen auf glasdisks und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
JP2754785B2 (ja) * 1989-09-20 1998-05-20 ソニー株式会社 高密度光ディスクの製造方法
DE4029099A1 (de) * 1990-09-13 1992-04-09 Technics Plasma Gmbh Verfahren zum herstellen von spritzgussmatritzen
DE4029912A1 (de) * 1990-09-21 1992-03-26 Philips Patentverwaltung Verfahren zur bildung mindestens eines grabens in einer substratschicht
JPH05198016A (ja) * 1992-01-21 1993-08-06 Sharp Corp 光メモリ素子用原盤及びその製造方法
SG45390A1 (en) * 1992-07-09 1998-01-16 Pilkington Plc Glass substrate for a magnet disc and manufacture thereof
FR2702076B1 (fr) * 1993-02-22 1995-04-21 Digipress Sa Procédé de fabrication d'un substrat préformaté, disque optique et disque maître obtenus à partir du substrat préformaté ainsi que matrice de pressage obtenue à partir du disque maître et disque optique obtenu à partir de cette matrice de pressage.
FR2704676B1 (fr) * 1993-04-26 1995-07-21 Digipress Sa Procede de fabrication de disques optiques et/ou disques maitres, support pret a etre enregistre, disque optique, disque maitre et matrice de pressage.
CA2130738A1 (en) * 1993-11-01 1995-05-02 Keith Wayne Goossen Method and arrangement for arbitrary angle mirrors in substrates for use in hybrid optical systems
GB9400259D0 (en) * 1994-01-07 1994-03-02 Pilkington Plc Substrate for a magnetic disc and manufacture thereof
WO1995034894A1 (en) * 1994-06-08 1995-12-21 Philips Electronics N.V. Recording master, and optically-readable data carrier derived therefrom
EP0694916A3 (en) * 1994-07-27 1997-02-26 Sony Corp Method of manufacturing a matrix
US5783371A (en) * 1994-07-29 1998-07-21 Trustees Of Boston University Process for manufacturing optical data storage disk stamper
US5503963A (en) * 1994-07-29 1996-04-02 The Trustees Of Boston University Process for manufacturing optical data storage disk stamper
DE19612329A1 (de) * 1996-03-28 1997-10-02 Leybold Ag Verfahren zur Herstellung einer zum Einsetzen in eine Spritzgießform bestimmten Masterabformung
US5851251A (en) * 1996-05-17 1998-12-22 Victor Company Of Japan, Ltd. Manufacturing methods of optical disc and blank master
FR2749432B1 (fr) * 1996-05-31 1998-07-10 Digipress Sa Procede de fabrication d'un disque maitre pour la realisation de matrices de pressage de disques optiques comportant un marquage, notamment anti-piratage, disque maitre, matrice de pressage et disque optique obtenu
US6207355B1 (en) * 1996-06-21 2001-03-27 Sony Corporation Optical recording medium and method for producing same
JP4511787B2 (ja) * 2000-10-03 2010-07-28 パナソニック株式会社 多層光ディスクおよび多層光ディスクの作製方法
JP4147753B2 (ja) * 2001-07-02 2008-09-10 ソニー株式会社 光情報記録媒体、光情報記録媒体用原盤およびその製造方法
GB0204496D0 (en) * 2002-02-26 2002-04-10 Plasmon Ltd Optical disc mastering
JP2004145996A (ja) * 2002-10-25 2004-05-20 Tdk Corp フォトレジスト原盤のカッティング方法、カッティングマシン及び光記録媒体の製造方法
KR101059492B1 (ko) * 2003-12-01 2011-08-25 소니 가부시키가이샤 광 디스크용 원반의 제조 방법 및 광 디스크용 원반
US20060073422A1 (en) * 2004-09-28 2006-04-06 Imation Corp. Portable conformable deep ultraviolet master mask
US11531270B2 (en) * 2017-07-07 2022-12-20 Arizona Board Of Regents On Behalf Of The University Of Arizona Fast fabrication of polymer out-of-plane optical coupler by gray-scale lithography

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55101144A (en) * 1979-01-25 1980-08-01 Pioneer Electronic Corp Production of signal recording disc
JPS58155550A (ja) * 1982-03-12 1983-09-16 Hitachi Ltd 異なる深さを持つ溝を同時に形成する方法
JPS60147946A (ja) * 1984-01-10 1985-08-05 Sharp Corp 光メモリ素子の製造方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4057831A (en) * 1972-09-05 1977-11-08 U.S. Philips Corporation Video record disc manufactured by a process involving chemical or sputter etching
DE2306701C2 (de) * 1973-02-10 1974-09-05 Ted Bildplatten Ag Aeg-Telefunkenteldec, Zug (Schweiz) Verfahren zum reliefartigen Aufzeichnen von Signale a
US3986912A (en) * 1975-09-04 1976-10-19 International Business Machines Corporation Process for controlling the wall inclination of a plasma etched via hole
US4259433A (en) * 1976-10-22 1981-03-31 Fuji Photo Film Co., Ltd. Method for producing disk-recording plates
JPS54138405A (en) * 1978-04-19 1979-10-26 Mitsubishi Electric Corp Preparation method of information recording media
NL7810463A (nl) * 1978-10-19 1980-04-22 Philips Nv Registratiedrager waarin informatie is aangebracht in een optisch uitleesbare informatiestruktuur.
US4544443A (en) * 1983-05-13 1985-10-01 Shap Kabushiki Kaisha Method for manufacturing an optical memory element
US4530736A (en) * 1983-11-03 1985-07-23 International Business Machines Corporation Method for manufacturing Fresnel phase reversal plate lenses

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55101144A (en) * 1979-01-25 1980-08-01 Pioneer Electronic Corp Production of signal recording disc
JPS58155550A (ja) * 1982-03-12 1983-09-16 Hitachi Ltd 異なる深さを持つ溝を同時に形成する方法
JPS60147946A (ja) * 1984-01-10 1985-08-05 Sharp Corp 光メモリ素子の製造方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6275952A (ja) * 1985-09-27 1987-04-07 Sharp Corp 光メモリ素子の製造方法
US5480763A (en) * 1991-01-11 1996-01-02 Victor Company Of Japan, Ltd. Method for manufacturing a stamper for high-density recording discs
WO2004051631A1 (ja) * 2002-12-03 2004-06-17 Fujitsu Limited 磁気転写用マスタ媒体およびその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0648546B2 (ja) 1994-06-22
EP0168763A2 (en) 1986-01-22
EP0168763B1 (en) 1992-03-04
EP0168763A3 (en) 1988-05-04
US4655876A (en) 1987-04-07
DE3585471D1 (de) 1992-04-09

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