JPH06349115A - スタンパーの製造方法 - Google Patents
スタンパーの製造方法Info
- Publication number
- JPH06349115A JPH06349115A JP5137334A JP13733493A JPH06349115A JP H06349115 A JPH06349115 A JP H06349115A JP 5137334 A JP5137334 A JP 5137334A JP 13733493 A JP13733493 A JP 13733493A JP H06349115 A JPH06349115 A JP H06349115A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- stamper
- depth
- exposed
- dry etching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】半径方向に凹凸パターン深さのバラツキが小さ
な、大口径ディスク成形用スタンパーを提供する。 【構成】スタンパーの製造工程の１工程である、ドライ
エッチング工程のエッチングガスのガス圧を、０．６Pa
以下に設定する。
な、大口径ディスク成形用スタンパーを提供する。 【構成】スタンパーの製造工程の１工程である、ドライ
エッチング工程のエッチングガスのガス圧を、０．６Pa
以下に設定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光学式情報記録媒体の
製造方法に係り、特にビデオディスク、デジタルオーデ
ィオディスク、追記型ディスク、書換可能型ディスク等
の情報記録媒体を成形する為に用いられるスタンパーの
製造方法に関する。
製造方法に係り、特にビデオディスク、デジタルオーデ
ィオディスク、追記型ディスク、書換可能型ディスク等
の情報記録媒体を成形する為に用いられるスタンパーの
製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】光学式情報記録媒体の基板を成形する為
に用いるスタンパー（鋳型）の製造方法には大別して二
つの方法がある。その第一の方法は以下のようなもので
ある。まず、十分平坦に研磨されたガラス原盤上にポジ
型フォトレジストを塗布して乾燥した後、変調されたレ
ーザー光で所定の信号を露光し、次に現像を行い、露光
した部分を除去することにより、露光された信号部分が
凹状のパターンとして形成される。これをガラスマスタ
ーと言う。このガラスマスターに無電解メッキやスパッ
タリング等の手段で、その表面に導電化の為の金属薄膜
を形成した後、電鋳法により信号が凸状の金属スタンパ
ー（鋳型）を得るものである。第二の方法は、前記ガラ
スマスターをドライエッチングすることによりガラス露
出部分を腐食性ガスで直接彫刻することにより、信号を
パターニングした後、残留したレジストを溶剤等で除去
することでガラススタンパー（鋳型）を得るものであ
る。
に用いるスタンパー（鋳型）の製造方法には大別して二
つの方法がある。その第一の方法は以下のようなもので
ある。まず、十分平坦に研磨されたガラス原盤上にポジ
型フォトレジストを塗布して乾燥した後、変調されたレ
ーザー光で所定の信号を露光し、次に現像を行い、露光
した部分を除去することにより、露光された信号部分が
凹状のパターンとして形成される。これをガラスマスタ
ーと言う。このガラスマスターに無電解メッキやスパッ
タリング等の手段で、その表面に導電化の為の金属薄膜
を形成した後、電鋳法により信号が凸状の金属スタンパ
ー（鋳型）を得るものである。第二の方法は、前記ガラ
スマスターをドライエッチングすることによりガラス露
出部分を腐食性ガスで直接彫刻することにより、信号を
パターニングした後、残留したレジストを溶剤等で除去
することでガラススタンパー（鋳型）を得るものであ
る。
【０００３】このガラススタンパーは、ガラスマスター
そのものを加工して成形用スタンパーとする為に、微妙
な工程である電鋳工程を省くことができることに加え
て、代表的な金属スタンパーであるNiスタンパーに比べ
耐久性が優れているという長所がある。第一、第二いず
れの方法にしても、これらのスタンパーを使用して、ポ
リカーボネート等の熱可塑性樹脂を用いた射出成形法
や、紫外線硬化樹脂を用いた２Ｐ法等により凹状の信号
情報を有するディスク基板を成形する。このようにして
得た基板の信号情報面上に、Al等の金属反射膜や磁性膜
を付与し、更にその後の工程を経てディスク媒体が完成
する。
そのものを加工して成形用スタンパーとする為に、微妙
な工程である電鋳工程を省くことができることに加え
て、代表的な金属スタンパーであるNiスタンパーに比べ
耐久性が優れているという長所がある。第一、第二いず
れの方法にしても、これらのスタンパーを使用して、ポ
リカーボネート等の熱可塑性樹脂を用いた射出成形法
や、紫外線硬化樹脂を用いた２Ｐ法等により凹状の信号
情報を有するディスク基板を成形する。このようにして
得た基板の信号情報面上に、Al等の金属反射膜や磁性膜
を付与し、更にその後の工程を経てディスク媒体が完成
する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ガラススタンパーを製
造する時にその凹凸パターンを所定の深さに形成するの
がドライエッチング工程である。これまでのガラススタ
ンパーは、その凹凸パターンが内周側と外周側とで深さ
が大きく異なることが多かった。つまり、半径方向の深
さのバラツキが大きかった。特に８インチ用や１２イン
チ用といったような大口径のスタンパーを製作する際に
は、このバラツキが相対的に大きくなり実用に支障が出
るという問題があった。
造する時にその凹凸パターンを所定の深さに形成するの
がドライエッチング工程である。これまでのガラススタ
ンパーは、その凹凸パターンが内周側と外周側とで深さ
が大きく異なることが多かった。つまり、半径方向の深
さのバラツキが大きかった。特に８インチ用や１２イン
チ用といったような大口径のスタンパーを製作する際に
は、このバラツキが相対的に大きくなり実用に支障が出
るという問題があった。
【０００５】鋳型であるスタンパーの凹凸パターン深さ
のバラツキは、これを用いて製造されるディスク基板す
べてに同じように転写されて、品質的に問題を起こすこ
とは言うまでもない。このような基板を用いて製造され
たディスク媒体を、記録再生装置で記録や再生をしよう
とすると、光ピックアップのトラッキング（追随）特性
を左右するトラッククロス信号やプッシュプル信号など
の信号特性が内周部と外周部で異なる為、光ピックアッ
プの調整が困難を究め、結果として信号再生の信頼性が
低下するという問題があった。
のバラツキは、これを用いて製造されるディスク基板す
べてに同じように転写されて、品質的に問題を起こすこ
とは言うまでもない。このような基板を用いて製造され
たディスク媒体を、記録再生装置で記録や再生をしよう
とすると、光ピックアップのトラッキング（追随）特性
を左右するトラッククロス信号やプッシュプル信号など
の信号特性が内周部と外周部で異なる為、光ピックアッ
プの調整が困難を究め、結果として信号再生の信頼性が
低下するという問題があった。
【０００６】
【発明が解決するための手段】本発明者は、かかる問題
点を解決する為、鋭意研究した結果、この凹凸パターン
深さのバラツキには、ドライエッチング装置のエッチン
グ槽の構造が大きく影響を与えていることを見い出すに
至った。例えば、エッチングガスの槽内での分布バラツ
キや電極間距離等による影響等である。
点を解決する為、鋭意研究した結果、この凹凸パターン
深さのバラツキには、ドライエッチング装置のエッチン
グ槽の構造が大きく影響を与えていることを見い出すに
至った。例えば、エッチングガスの槽内での分布バラツ
キや電極間距離等による影響等である。
【０００７】そして、更に研究を重ねた結果、凹凸パタ
ーンの深さを形成するドライエッチング工程におけるエ
ッチングガスのガス圧を、０．６Pa以下に制御すること
により、ドライエッチング装置のエッチング槽の構造の
影響を殆ど受けずに、凹凸パターン深さが半径方向で、
極めて小さいバラツキに抑えたスタンパーを得られるこ
とを見い出した。
ーンの深さを形成するドライエッチング工程におけるエ
ッチングガスのガス圧を、０．６Pa以下に制御すること
により、ドライエッチング装置のエッチング槽の構造の
影響を殆ど受けずに、凹凸パターン深さが半径方向で、
極めて小さいバラツキに抑えたスタンパーを得られるこ
とを見い出した。
【０００８】
【作用】本発明によって何故に目的が達成されるのか、
その正確な理由は不明である。しかし、実験事実がそれ
を証明する。
その正確な理由は不明である。しかし、実験事実がそれ
を証明する。
【０００９】
【実施例１】φ３５０mmの合成石英原盤（信越石英製）
に、ポジ型フォトレジストとしてＡＺ１３５０（ヘキス
ト製）を膜厚2300Åになるような条件でスピンコート法
にて塗布した。次にレーザーカッティングマシンを用い
てフォトレジスト塗布面の半径７０〜１５０mmの領域を
スパイラル状に露光した後、ＡＺデベロッパー（ヘキス
ト製）で現像して露光した部分を除去した。ついでエッ
チングガスとして三フッ化メタンを用い、投入電力４０
０Ｗ（この時、自己バイアス電圧は５００Ｖ）、ガス流
量６ SCCM 、エッチング時間５分の条件で、エッチング
ガスのガス圧のみ、０．４、０．６、１．０Paに変えて
ドライエッチングを行った。その後、残留レジストを酸
処理により剥離した。このようにして得られたガラスス
タンパーの凹凸パターンの深さをタリステップで測定し
た。その結果を表１に示す。
に、ポジ型フォトレジストとしてＡＺ１３５０（ヘキス
ト製）を膜厚2300Åになるような条件でスピンコート法
にて塗布した。次にレーザーカッティングマシンを用い
てフォトレジスト塗布面の半径７０〜１５０mmの領域を
スパイラル状に露光した後、ＡＺデベロッパー（ヘキス
ト製）で現像して露光した部分を除去した。ついでエッ
チングガスとして三フッ化メタンを用い、投入電力４０
０Ｗ（この時、自己バイアス電圧は５００Ｖ）、ガス流
量６ SCCM 、エッチング時間５分の条件で、エッチング
ガスのガス圧のみ、０．４、０．６、１．０Paに変えて
ドライエッチングを行った。その後、残留レジストを酸
処理により剥離した。このようにして得られたガラスス
タンパーの凹凸パターンの深さをタリステップで測定し
た。その結果を表１に示す。
【００１０】表１から明らかなように、エッチングガス
のガス圧が０．６ SCCM 以下の時には、パターンの深さ
のバラツキが極めて小さくなった。ただし、このガス圧
をあまり小さくすると、エッチング速度が極端に遅くな
って、スタンパー製造の効率が落ちることは言うまでも
ない。
のガス圧が０．６ SCCM 以下の時には、パターンの深さ
のバラツキが極めて小さくなった。ただし、このガス圧
をあまり小さくすると、エッチング速度が極端に遅くな
って、スタンパー製造の効率が落ちることは言うまでも
ない。
【００１１】
【表１】
【００１２】
【発明の効果】本発明により、半径方向に凹凸パターン
深さのバラツキが小さいガラススタンパーを得ることが
可能になる為、半径方向に凹凸パターンのバラツキが小
さく、結果して信号再生に対して極めて信頼性の高いデ
ィスク媒体の製造が可能になった。
深さのバラツキが小さいガラススタンパーを得ることが
可能になる為、半径方向に凹凸パターンのバラツキが小
さく、結果して信号再生に対して極めて信頼性の高いデ
ィスク媒体の製造が可能になった。
【図１】ガラススタンパーの作製工程図である。
１…ガラス原盤 ２…フォトレジスト層 ３…ガラススタンパー 以 上
Claims (1)
- 【請求項１】ガラス原盤上にポジ型フォトレジストを塗
布する工程と、所定の溝または信号パターンを露光する
工程と、アルカリ性現像液で現像することにより、露光
部分のフォトレジストを溶解除去して、レジスト凹凸パ
ターンを形成する工程と、エッチングガスでドライエッ
チングする工程、および残留したレジストを除去する工
程からなる大口径ディスク成形用スタンパーの製造方法
において、前記ドライエッチング工程の条件として、エ
ッチングガスのガス圧を０．６Ｐａ以下に設定すること
により、半径方向の凹凸パターン深さのバラツキを低減
したことを特徴とする前記大口径ディスク成形用スタン
パーの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5137334A JPH06349115A (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | スタンパーの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5137334A JPH06349115A (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | スタンパーの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06349115A true JPH06349115A (ja) | 1994-12-22 |
Family
ID=15196233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5137334A Pending JPH06349115A (ja) | 1993-06-08 | 1993-06-08 | スタンパーの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06349115A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0766104B1 (en) * | 1995-09-28 | 2003-07-23 | Seiko Epson Corporation | Method of making a color filter |
| US6971116B2 (en) * | 2001-06-28 | 2005-11-29 | Sony Corporation | Stamper for producing optical recording medium, optical recording medium, and methods of producing the same |
-
1993
- 1993-06-08 JP JP5137334A patent/JPH06349115A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0766104B1 (en) * | 1995-09-28 | 2003-07-23 | Seiko Epson Corporation | Method of making a color filter |
| US6971116B2 (en) * | 2001-06-28 | 2005-11-29 | Sony Corporation | Stamper for producing optical recording medium, optical recording medium, and methods of producing the same |
| US7171676B2 (en) | 2001-06-28 | 2007-01-30 | Sony Corporation | Stamper for producing optical recording medium, optical recording medium, and methods of producing the same |
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