JPS6124764Y2 - - Google Patents

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JPS6124764Y2
JPS6124764Y2 JP1977055010U JP5501077U JPS6124764Y2 JP S6124764 Y2 JPS6124764 Y2 JP S6124764Y2 JP 1977055010 U JP1977055010 U JP 1977055010U JP 5501077 U JP5501077 U JP 5501077U JP S6124764 Y2 JPS6124764 Y2 JP S6124764Y2
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enclosure
vacuum
receiving surface
sealing
sealing device
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16JPISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00Sealings
    • F16J15/46Sealings with packing ring expanded or pressed into place by fluid pressure, e.g. inflatable packings
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K15/00Electron-beam welding or cutting
    • B23K15/06Electron-beam welding or cutting within a vacuum chamber
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16JPISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00Sealings
    • F16J15/002Sealings comprising at least two sealings in succession
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/18Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S277/00Seal for a joint or juncture
    • Y10S277/913Seal for fluid pressure below atmospheric, e.g. vacuum

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Architecture (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
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  • Sealing Devices (AREA)
  • Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、その中の真空に生成される囲いに対
する封緘装置に係り、これは、前記囲いの内部領
域と通例大気圧の広がる外部領域との間を有効に
隔絶させるためのものである。
本考案はさらに特殊的には、平らな部分、曲つ
た面又は上反り面をもつ部材にあてがわれ又はこ
れを囲むように設計された吸玉型の鐘形真空囲い
用に適用される。この型の囲いは、たとえば前記
部分で又は前記囲い内でビーム溶接法を実施する
ため前記鐘形室又は前記部分によつて画定される
領域に適当な真空を生成する目的のために使用さ
れる。
既知のこの型の構造的配備において、鐘形囲い
は、その内部を外部から隔絶する用をなすO形リ
ング封緘材を取付けたフランジによつて前記部分
にあてがおうとするものである。しかしたとえば
10-3Torr(トール)程度の十分な初期真空を前
記鐘形室内に生成し得ることを保証するためには
鐘形室に対する受け面として用をなす領域内の平
らな部分に予め機械加工を実施することが通例不
可欠であつて、これは前記面の完全に平坦にして
無きずの状態を得るためであり、しかもまた現に
機械加工を施した前記領域に対し前記鐘形室を厳
に正確に定置することを保証する装置を使用させ
るためである。
本考案は、前記囲いを定置するのに特別の用心
をすることも又はどんなきず又は凹凸をも表わさ
ない機械加工した面を用意することも要せずして
前記囲い内に所望の初期真空を容易に得ることを
可能ならしめる真空囲い用封緘装置に係る。
本考案によれば、真空囲いのフランジを受け面
に固定且つ密封して連結するための真空囲い用封
緘装置であつて、該フランジに取付けられ且つ同
時に前記受け面と協働して密封をおこなうように
された少なくとも2個の同心環状封緘材と、前記
囲い内に真空を生成するための真空装置とを備
え、前記環状封緘材の一方が前記囲いの外側に近
く配置されかつ弾性材から成る中実の封緘材によ
つて構成され、他方の環状封緘材が前記囲いの内
方に近く配置されかつ閉鎖可能の導管によつて圧
力流体源に接続された中空膨張性封緘材によつて
構成されており、前記膨張性封緘材が膨張されて
いないときには前記中実の封緘材が該膨張性封緘
材よりも大きく突出しており、もつて、前記真空
装置を作動させたとき前記中実の封緘材が該受け
面に係合して前記真空囲いと前記受け面との間の
固定した連結をおこなうようになつており、更に
前記圧力流体源を作動させたとき前記中空の膨張
性封緘材が該受け面に係合して前記の固定した連
結部を密封するようになつていることを特徴とす
る真空囲い用封緘装置が提供される。
膨張性封緘材の使用は、真空囲い又は真空操作
機器の若干の設計にすでに意図されて来ている。
この型の封緘材は通例大なる断面積をもつ。これ
らが封緘されるべき面にあてがわれるときこれら
の封緘材は前記面の凹凸又は面の平坦度の欠陥を
中実の封緘材よりもさらに相当有効に吸収するこ
とを可能ならしめる。しかし前記囲いの中に真空
を生成するためポンプ吸引操作を始めることは困
難事であることを証している;その理由は、この
種の封緘材は、これらが、その公称使用圧力まで
膨張されたあとにおいてのみ有効となる事実によ
る。事実これらの封緘材はこの圧力において固く
なり、囲いのあてがわれる平らな面から前記囲い
を挙揚する傾向を有し、そこで圧力の低下を直ち
に阻止する。
本考案により提唱される設計法は今述べた欠点
を克服する。圧力の低下は事実、たとえばネオプ
レン型の弾性材からなる中実な外方封緘材によつ
て適宜始められ得、一方前記膨張性封緘材の収縮
は従つてこの圧力低下中行われる。真空が一度生
成されるや前記膨張性封緘材は十分な高圧下に置
かれ、この封緘材の前記受け面に対してあてがわ
れる面積は、この封緘材がどうしても前記囲いを
挙揚しそうにもないことを保証するように計算さ
れる。かくして前膨張性封緘材は前記平らな面に
密にあてがわれ、その間特に前記面の凹凸を除
き、かつ圧力の低下を所望の値に持続することを
可能ならしめる有効な封密境界を形成する。前記
外方封緘材は、単一材又は隣接かつ同心関係にあ
る2個の同形封緘材のいずれかから成り得る。
一実施例によれば、前記中実な外方封緘材は2
面角の形をして前記受け面に指向する部分を有
し、よつて前記囲い内に真空の発生するとき前記
封緘材の圧縮を容易にする。有利な態様として、
前記封緘材の圧縮は、前記フランジに取付けられ
かつ前記受け面に直角に置かれる横方向接触材に
よつて制限される。
今一つの顕著な態様によれば、前記膨張性内方
封緘材は、前記受け面に対向するフランジの中に
形成される開口ハウジング内に装備されかつ導管
により、おのおの1個の遮断弁を有しそれぞれ一
方で前記囲いの内部に、他方で圧力流体源に連通
するようになつている2個の技管に接続されてい
る。
本考案によるる真空囲い用封緘装置のその他の
顕著な態様は、表示のために与えられるもので決
して制限する意味ではない1実施例の付図を参照
しての以下の説明から明らかになるであろう。
第1図、第2図に示す囲いは参照符号1で全体
を表わしている。前記囲いの一つの縁は平らな横
フランジ2を有し、これはそれぞれ参照符号3,
4で表わされる2個の同心封緘材に対する支持材
を形成する。封緘材3は囲い1の外方に取付けら
れ、封緘材4はその内方に取付けられる。これら
封緘材は平らな受け面5に向つて突き出すように
支持フランジ2に装着され、囲い1は、前記受け
面5と組合つて、その中に真空を生ぜしめように
する一定の容積を確実に画定するため前記受け面
に対しあてがおうとするものである。特に囲い1
は知られているビーム溶接法によつて溶接される
べき部材を囲うように配備され得る。すべての場
合、囲い1の内部領域内には少なくとも
1C-3Torr(トル)程度の適当な真空を生じ得な
ければならない。前記囲い内の大気の吸引はそれ
の横壁6を通して形成される穴を吸込管7に接続
して行われ、前記管は第2図に線図式に示すよう
なポンプ装置8に接続される。
本考案によれば、フランジ2に取付けられる封
緘材3,4は実質上異なる組成および構造のもの
である。これら封緘材の形状および使用法は第3
図−第5図に一層詳細に図示される。外方封緘材
3は特に弾性材、特にネオプレンからなる中実な
環状封緘材として設計さされ、この種の封緘材は
真空操作機器に一般的に採用されている。平らな
受け面5に指向している部分では、前記封緘材が
好適には2面角9を有し、これは、真空が前記囲
い内に生ずるにつれ又従つて支持フランジ2が面
5に向つて動くにつれ前記封緘材の圧縮を容易に
しようとするものである(第3図、第4図に示す
ように)。内方封緘材4は、フランジ2の表面に
形成される2個のつば11,12によつて画定さ
れる開口ハウジング10の中に装着される膨張性
封緘材によつて構成されている。膨張性封緘材4
はフランジ2を通して延びる導管13によつて、
それぞれ2個の遮断弁1,17の取付けられる2
個の枝管14,15に接続される。枝管14は弁
16を超えて延び前記囲い内に開口しているが、
枝管1は適当な圧力に上げるための流体源(図示
していない)に接続されている。最後に、支持フ
ランジ2の周囲には、前記囲いが減圧されるとき
フランジ2が受け面の方向に移動するのを制限す
るための横方向接触材18が用意されている。前
記接触材18は面5の平面に直角に延びるように
前記フランジに溶接されるつばで形成されてい
る。
かように構成された封緘装置の実際の装着は第
3図−第5図に検討から一層適確に辿り得る。第
1段階では、支持フランジ2の内部に封緘材3,
4の装着される囲い1は、これをあてがおうとす
る面5の近くにもたらされる;それは前記囲いの
連続性およびビーム溶接作業に先立つこれの減圧
を確保するためか又は前記面5を有するどの部材
を取扱うにも同じ操作を採るためでもある。これ
らの条件下で2面角の形をもつ中実封緘材3の前
面9は面5と接触するに至り、フランジ2の接近
運動の作用の下に漸次圧縮されるが、これは前記
囲いの重さおよびこれの内部の、導管7およびポ
ンプ装置8による初期の真空によつて生じる(第
2図に示すように)。
このフランジ2の接近運動は、前記フランジの
横方向接触材18が面5と接触するに至るまで続
く。これらの条件下で、中実の封緘材3は第4図
の示す位置にある。この操作中膨張性封緘材4は
引き込んだ位置に維持され、これの中に含まれる
大気は、枝管14によつて生ずる囲い1の内部と
の連通を介して吸引される。そのため第3図、第
4図に示すように弁16は開かれ弁17は閉じら
れる。前記囲いの減圧は、その内部の圧力が大気
圧の実質上1/2の値に達するまで続く。
次の段階で、膨張性封緘材4の使用法は、これ
が今度は面5の表面のきずを吸収して前記囲いの
減圧を継続させるために平らな面5に対してあて
がわれるようにすることである。そのためには、
弁16は閉じられ弁17は開かれて、その結果加
圧された膨張用流体が枝管15を介して封緘材4
を膨張し得、そこでこの封緘材は固くなつて面5
にあてがわれる。そこでポンプ装置8による前記
囲いの減圧は所望の真空度が得られるまで続けら
れるが、この値は通例10-3Torr(トル)に近
い。
すべての場合、膨張性封緘材4は、これの加圧
が、囲い1を挙揚しその結果この内部に生じた真
空をなくする程には高められないように、前もつ
て決めなければならない。(第5図参照) これらの条件下で、もし前記囲い内の圧力が前
記膨張性封緘材の使用前に大気圧の1/2程度であ
るならば、前記囲いを前記受け面にあてがう力
は、 F1=1/2Pa(L×I) ………(1) で表わし得、ここで(Pa)は大気圧力、(L)お
よび(I)は図示の例の囲いの長さおよび幅の寸
法であつて、この例でフランジ2に短形を有する
ように示されている。
もし膨張性封緘材4の中に送給される加圧流体
の公称圧力(P)に等しければ前記囲いを挙揚し
ようとする力は、 F2=P×2(L+I) ………(2) で表わし得、ここでは膨張性封緘材4の面5に
あてがわれる面積である。
従つてかようなあてがい面積()はすべての
場合において、 F1>F2 ………(3) になるように設計によつて決められるであろう。
これから、 <Pa/4P×L・I/(L+I) ………(4) 上記条件を満足する()のいかなる値につい
ても、前記膨張性封緘材は前記囲いを挙揚し得な
いであろう。従つてこの封緘材は、前記受け面に
対し緊密にあてがわれかつすべての表面の凹凸を
吸収することによりそれのハウジングと前記受け
面との間の全利用可能空間を占めよつて前記囲い
内に生じた本来の真空の満足な封じ込めを達する
であろう。
つとに明らかであろうことは、本考案が付図を
参照して詳細に説明して来た実施例に限られるも
のではなく、これに反してあらゆる変形例をも含
むことである。特に弾性材の中実な外方封緘材3
は第6図に3a,3bの符号で示されるような隣
接かつ同心関係にある2個の同形封緘材によつて
構成され得、ここでこれらの封緘材は第5図に示
す単一の封緘材3に相応する位置にある。この場
合、これらの封緘材は、相互に圧縮されるときこ
れらが前記受け面に対して実質上平らな面をあて
がい、その結果封緘接触が改善されるように配列
され得る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案による2個の封緘材を装着した
鐘形囲いの底面図、第2図は前記封緘材の装着さ
れた囲いのその部分の縦断面図、第3図、第4
図、第5図は前記囲いの使用中当該封緘材の作用
を図解するに役立つ拡大詳細図、第6図は前記実
施例の変形、特に中実な封緘材が2個の同形封緘
材から構成される図を示す。 付図の符号1は実用新案登録請求の範囲第1項
に記載の「囲い」を、同じく符号5は「受け面」
を、同じく符号3,4は「環状封緘材」を、同じ
く符号2は「支持材」を、同じく符号13は「閉
鎖可能の導管」を、同じく符号18は「接触材」
を、同じく符号10は「開口ハウジング」を、同
じく符号14,15は「枝管」を、同じく符号1
6,17は「遮断弁」を、第6図の符号3a,3
bは「2個の同形封緘材」を示す。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 真空囲いのフランジを受け面に固定且つ密封
    して連結するための真空囲い用封緘装置であつ
    て、該フランジに取付けられ且つ同時に前記受
    け面と協働して密封をおこなうようにされた少
    なくとも2個の同心環状封緘材と、前記囲い内
    に真空を生成するための真空装置とを備え、前
    記環状封繊材の一方が前記囲いの外側に近く配
    置されかつ弾性材から成る中実の封緘材によつ
    て構成され、他方の環状封緘材が前記囲いの内
    方に近く配置されかつ閉鎖可能の導管によつて
    圧力流体源に接続された中空膨張性封緘材によ
    つて構成されており、前記膨張性封緘材が膨張
    されていないときには前記中実の封緘材が該膨
    張性封緘材よりも大きく突出しており、もつ
    て、前記真空装置を作動させたとき前記中実の
    封緘材が該受け面に係合して前記真空囲いとい
    う前記受け面との間の固定した連結をおこなう
    ようになつており、更に、前記圧力流体源を作
    動させたとき前記中空の膨張性封緘材が該受け
    面に係合して前記の固定した連結部を密封する
    ようになつていることを特徴とする真空囲い用
    封緘装置。 (2) 実用新案登録請求の範囲第1項に記載の封緘
    装置において、前記中実の外方封緘材が、前記
    囲い内に真空が生成されたとき該外方封緘材の
    圧縮を容易にするよう、2面角の形をもちかつ
    前記受け面に向けられた部分を有する真空囲い
    用封緘装置。 (3) 実用新案登録請求の範囲第2項に記載の封緘
    装置において、前記中実の外方封緘材の圧縮
    が、前記フランジに取付けられかつ前記受け面
    に対し直角に配置された横方向接触材によつて
    制限される真空囲い用封緘装置。 (4) 実用新案登録請求の範囲第1項に記載の封緘
    装置において、前記膨張性内方封緘材が、前記
    受け面に対向して前記フランジの中に形成され
    た開口ハウジング内に装備され、かつ、おのお
    の1個の遮断弁を有しそれぞれ一方で前記囲い
    の内部に他方で該圧力流体源に連通するように
    なつている2個の枝管に対して導管により接続
    されている真空囲い用封緘装置。 (5) 実用新案登録請求の範囲第1項から第4項ま
    でのいずれか1つに記載の封緘装置において、
    前記受け面が、平らな面、曲がつた面又は上反
    り面である真空囲い用封緘装置。 (6) 実用新案登録請求の範囲第1項から第3項ま
    でのいずれか1つに記載の封緘装置において、
    前記中実の外方封緘材が隣接かつ同心関係にあ
    る2個の同形封緘材によつて構成されている真
    空囲い用封緘装置。
JP1977055010U 1976-04-28 1977-04-28 Expired JPS6124764Y2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR7612571A FR2349771A1 (fr) 1976-04-28 1976-04-28 Dispositif d'etancheite pour enceinte a vide

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS52169654U JPS52169654U (ja) 1977-12-23
JPS6124764Y2 true JPS6124764Y2 (ja) 1986-07-25

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ID=9172402

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1977055010U Expired JPS6124764Y2 (ja) 1976-04-28 1977-04-28

Country Status (7)

Country Link
US (1) US4109922A (ja)
JP (1) JPS6124764Y2 (ja)
BE (1) BE853642A (ja)
CA (1) CA1064540A (ja)
FR (1) FR2349771A1 (ja)
GB (1) GB1530977A (ja)
IT (1) IT1076742B (ja)

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