JPS61239576A - コネクタ−の製造方法 - Google Patents
コネクタ−の製造方法Info
- Publication number
- JPS61239576A JPS61239576A JP8077185A JP8077185A JPS61239576A JP S61239576 A JPS61239576 A JP S61239576A JP 8077185 A JP8077185 A JP 8077185A JP 8077185 A JP8077185 A JP 8077185A JP S61239576 A JPS61239576 A JP S61239576A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- connector
- metal layer
- hole
- insulating sheet
- processing method
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は電気接続用コネクターの製造方法に関する。特
に微細ピッチで多端子接続用のコネクターの製造方法に
関する。゛ 〜 〔従来の技術とその問題点〕 第２図は従来のコネクターの加工方法を示す。
に微細ピッチで多端子接続用のコネクターの製造方法に
関する。゛ 〜 〔従来の技術とその問題点〕 第２図は従来のコネクターの加工方法を示す。
ａ −ｄはコネクターの断面０図である。（ａ）図は、
加工前の基板で１が絶縁シートでその上下に金属層
！２が固着されている。この基板に（ｂ）図の如（穴３
″ｌを明ける。一般的にはドリルによるＮＣ加工□、或
［いはパンチング等の手段による。この穴乙に導電
ぞゴム等の導電材４を埋め込み上下面を整面する。
加工前の基板で１が絶縁シートでその上下に金属層
！２が固着されている。この基板に（ｂ）図の如（穴３
″ｌを明ける。一般的にはドリルによるＮＣ加工□、或
［いはパンチング等の手段による。この穴乙に導電
ぞゴム等の導電材４を埋め込み上下面を整面する。
１この状態が（Ｃ１図である。
）次に上下面の金属層２をエツチング等の手
段で ｌ東 取り除くと（ｄ）図に示すコネクターが完成する。こ
ｉの場合（１”） ’７ｓ ３ （７）加工法１あ″
パ・穴６°径ロカ゛ ｌ。
）次に上下面の金属層２をエツチング等の手
段で ｌ東 取り除くと（ｄ）図に示すコネクターが完成する。こ
ｉの場合（１”） ’７ｓ ３ （７）加工法１あ″
パ・穴６°径ロカ゛ ｌ。
２００μｍ以上で、又、隣接する穴とのピッチＰ
Ｊ、ｉ、。
Ｊ、ｉ、。
が５００μｍ以上だと比較的容易に加工できる。 ｉ
・しかし、それ以下の寸法になると歩留りが悪く ；
パ量 なり、パンチング加工の場合矢折れ等の発生率が ［
゛高くなって（る。ドリルによるＮＣ加工でも同様
：テする。尚、導電ゴム４のピッチＰが５００μｍ１穴
３の径口が２００μｍ程度の時は絶縁シート１ ′の
厚みは５０〜１００μｍ、金属層２の厚さは°工１−二
二＝ぶ！ｊ！、”ｔ１７）ａ。、２４．“品において微
細νソチで多端子接続を必要とする ｉものが多くな
り、今までの加工法では対応が困難であった。即ち接続
ピッチが２００ Ｉｔ ７７１以下でコネクターの穴部
の径口が１００μｍ以下を必要とするものもあり、適当
な加工法が見あたらないのが現状である。
・しかし、それ以下の寸法になると歩留りが悪く ；
パ量 なり、パンチング加工の場合矢折れ等の発生率が ［
゛高くなって（る。ドリルによるＮＣ加工でも同様
：テする。尚、導電ゴム４のピッチＰが５００μｍ１穴
３の径口が２００μｍ程度の時は絶縁シート１ ′の
厚みは５０〜１００μｍ、金属層２の厚さは°工１−二
二＝ぶ！ｊ！、”ｔ１７）ａ。、２４．“品において微
細νソチで多端子接続を必要とする ｉものが多くな
り、今までの加工法では対応が困難であった。即ち接続
ピッチが２００ Ｉｔ ７７１以下でコネクターの穴部
の径口が１００μｍ以下を必要とするものもあり、適当
な加工法が見あたらないのが現状である。
： 〔発明の目的〕
本発明はかかる点匠着目し、微細ピッチ接続でも対応可
能なコネクターの加工方法を提供することにある。
能なコネクターの加工方法を提供することにある。
、・〔発明の構成〕
上記目的を達成するため、本発明の要旨とするところは
、異方性を有するドライな加工法を用いて穴加工を行な
う事にある。
、異方性を有するドライな加工法を用いて穴加工を行な
う事にある。
次に本発明を図面にて説明する。第１図は本発明による
コネクターの加工方法を示す。３〜６図はコネクターの
断面図である。１１はポリイミド等の絶縁シート、１２
はＣｕ箔等の金属層である。
コネクターの加工方法を示す。３〜６図はコネクターの
断面図である。１１はポリイミド等の絶縁シート、１２
はＣｕ箔等の金属層である。
金属層１２は通常のプリント基板と同様エノチンよ
グにて穴部１２ａが上下、に形成されている。
グにて穴部１２ａが上下、に形成されている。
その後金属層１２をマスクにして異方性を有するドライ
加工法にて絶縁シート１１に穴１６をあげる。ドライ加
工法としてはプラズマを利用したＲ Ｉ Ｅ（ＩＪアク
ティブイオンエツチング）法がある。ポリイミド等の絶
縁シートをｒ（ＩＥ法でエツチングするには０２ガス、
或いは０２ガスとＣＦ４ガスの混合ガスを用いれば比較
的容易て加工できる。穴１３の断面形状も第１図（ｂｌ
に示す如く直線に近い形状が得られる。ポリイミド等の
絶縁シート１１をウェットエツチング等で加工すると等
方エツチングが行なわれアンダカノト部１３ａが形成さ
れ微細ピッチの穴加工の時は隣接する穴と干渉してしま
い不向きである。
加工法にて絶縁シート１１に穴１６をあげる。ドライ加
工法としてはプラズマを利用したＲ Ｉ Ｅ（ＩＪアク
ティブイオンエツチング）法がある。ポリイミド等の絶
縁シートをｒ（ＩＥ法でエツチングするには０２ガス、
或いは０２ガスとＣＦ４ガスの混合ガスを用いれば比較
的容易て加工できる。穴１３の断面形状も第１図（ｂｌ
に示す如く直線に近い形状が得られる。ポリイミド等の
絶縁シート１１をウェットエツチング等で加工すると等
方エツチングが行なわれアンダカノト部１３ａが形成さ
れ微細ピッチの穴加工の時は隣接する穴と干渉してしま
い不向きである。
その他の異方性を有する穴加工としてはレーザーを使う
方法がある。例えばＣＯ２レーザーを使って金属層１２
をマスクとして絶縁シート１１に穴１３をあける事も出
来る。
方法がある。例えばＣＯ２レーザーを使って金属層１２
をマスクとして絶縁シート１１に穴１３をあける事も出
来る。
レーザー加工の場合溶融した跡が残るがほぼ必要とする
形状を得る事が出来る。次に導電材１４を埋め込み上下
面を整面すると第１図（Ｃ１の様になり、上下の金属層
１２をエツチング等で除去すると第１図（ｄ）の様にコ
ネクターが完成する。この様に異方性を有するドライな
加工法を用いればコネクターの導電部１４の径口は１０
０μｍ以下も可能となり、又、ピッチＰも２００μｍ以
下が可能となる。従って微細ピンチで多端子な接続が可
能となる。
形状を得る事が出来る。次に導電材１４を埋め込み上下
面を整面すると第１図（Ｃ１の様になり、上下の金属層
１２をエツチング等で除去すると第１図（ｄ）の様にコ
ネクターが完成する。この様に異方性を有するドライな
加工法を用いればコネクターの導電部１４の径口は１０
０μｍ以下も可能となり、又、ピッチＰも２００μｍ以
下が可能となる。従って微細ピンチで多端子な接続が可
能となる。
□ 〔発明の効果〕
・１ 以上詳述５た如（本発明ｆｃｉ、れ″・微
細１′チで高密度なコネクターの製作が可能となる。従
って高密度な実装が実現でき機器の小型化が計れる等の
大きな効果を有する。
細１′チで高密度なコネクターの製作が可能となる。従
って高密度な実装が実現でき機器の小型化が計れる等の
大きな効果を有する。
第１図（ａ）〜（ｄｌは本発明の実施例を示す断面図、
第２図（ａｌ〜（ｄ）は従来技術を示す断面図、１．１
１・・・絶縁シート、２．１２・・・金属層、４．１４
・・・導電材。 第１図
第２図（ａｌ〜（ｄ）は従来技術を示す断面図、１．１
１・・・絶縁シート、２．１２・・・金属層、４．１４
・・・導電材。 第１図
Claims (1)
- 電気絶縁材の上下面に金属層が固着されたシートの金属
層に穴明けを行ない、該金属層をマスクとして該絶縁材
に穴明を行ない次に該穴部に導電材料を埋め込み、然る
後前記金属層を除去して上下面に凸なる導電部を形成し
たコネクターにおいて、少なくとも前記絶縁材料の穴を
異方性を有するドライ加工法にて形成した事を特徴とす
るコネクターの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8077185A JPS61239576A (ja) | 1985-04-16 | 1985-04-16 | コネクタ−の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8077185A JPS61239576A (ja) | 1985-04-16 | 1985-04-16 | コネクタ−の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61239576A true JPS61239576A (ja) | 1986-10-24 |
Family
ID=13727680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8077185A Pending JPS61239576A (ja) | 1985-04-16 | 1985-04-16 | コネクタ−の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61239576A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0249385A (ja) * | 1988-05-31 | 1990-02-19 | Canon Inc | 電気的接続部材及びその製造方法 |
| JPH04351863A (ja) * | 1991-05-30 | 1992-12-07 | Hitachi Chem Co Ltd | 接続部材の製造方法 |
| JPH04351864A (ja) * | 1991-05-30 | 1992-12-07 | Hitachi Chem Co Ltd | 接続部材の製造方法 |
| JPH053052A (ja) * | 1990-11-02 | 1993-01-08 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 着脱可能パツケージ |
-
1985
- 1985-04-16 JP JP8077185A patent/JPS61239576A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0249385A (ja) * | 1988-05-31 | 1990-02-19 | Canon Inc | 電気的接続部材及びその製造方法 |
| JPH053052A (ja) * | 1990-11-02 | 1993-01-08 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 着脱可能パツケージ |
| JPH04351863A (ja) * | 1991-05-30 | 1992-12-07 | Hitachi Chem Co Ltd | 接続部材の製造方法 |
| JPH04351864A (ja) * | 1991-05-30 | 1992-12-07 | Hitachi Chem Co Ltd | 接続部材の製造方法 |
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