JPS61198206A

JPS61198206A - ステ−ジの駆動装置

Info

Publication number: JPS61198206A
Application number: JP3940285A
Authority: JP
Inventors: Koichi Tsuchiya; 幸一土屋
Original assignee: Nippon Kogaku KK
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1985-02-28
Filing date: 1985-02-28
Publication date: 1986-09-02
Anticipated expiration: 2010-01-11
Also published as: JPH071340B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（発明の技術分野）本発明はステージの駆動装置に関するものであり、例え
ば顕微鏡等光学検査機器用ステージに最適のものである
。

（発明の背景）顕微鏡のステージ上にＩＣのマスクやウェハー等の大型
被検物を載せて観察や検査を行う際、ステージを迅速に
移動させるため、顕微鏡ステージの操作ハンドルの偶力
を解除する装置が種々提案され”Ｃおり、例えば実公昭
５６−１９０５０号公報や特開昭５７−４５５１３号公
報などで公知になりでいる。

この種の装置は偶力解除装置が顕微鏡ステージハンドル
（前者）または顕微鏡ステージハンドルに近接した一方
向に移動可能な一枚の板の上（後者）に設置されている
。

また、いずれの装置においても、偶力の解除状態におい
て、ピニオンとラックの保合が解除されない構造である
。

そのために、顕微鏡ステージの早送りをしたい場合、ま
ず解除装置が作動しているか否かを確認した後、解除装
置が作動していなければ作動だせ、顕微鏡ステージをＸ
Ｙに移動する上板部の一部、または上板部に固定された
移動つまみに持ち替えてステージを移動だせる必要があ
った。従って、操作が煩わしかった。

また、ラックとピニオンは早送り、微動に係らず常に係
合しているので、長時間使用すると歯面が摩耗したり、
早送りの際ピニオンが高速で回転するので軸受がカジリ
を起こすという欠点があった。

（発明の目的）本発明は・ステージの早送りの場合の操作性が良く、か
つ耐久性に優れたステージの駆動装置を提供することを
目的とする。

（発明の概要）本発明は、下板３と、該下板に対してＹ方向へ移動する
中板２と、該中板に対してＸ方向へ移動する上板１とを
有するステージの駆動装置において、前記上板に配役さ
れ、前記Ｙ方向へ平行移動する案内面□を有する第１案
内部材１０．１２．１２’と、該第１案内部材の前記案
内面に当接する第１摩擦車７と、該第１摩擦車７回転す
る第１回転駆動装置７′、９と、前記第１案内部材の案
内面と前記第１摩擦車とを押圧接触せしめる第１ばね部
材１９と、前記中板に前記Ｘ方向へ平行移動するように
配設した第２ｊ１擦車６と、該第２摩擦車を回転する第
２回転駆動装置６′と、前記下板に配設され、前記第２
摩擦車の当接する案内面をＹ方向に有する第２案内部材
１１と、前記第２案内部材の案内面と前記第２摩擦車と
を押圧接触せしめる第２ばね部材２０と、前記上板に固
設した握り棒２１と、該握り棒と共に操作される操作部
材２２を有し、該操作部材の操作による移動を前記第１
案内部材の案内面と前記第１摩擦車との当接を解除する
ように前記第１案内部材に伝達する解除手段２２．２３
と、前記第１案内部材の移動を前記第２案内部材の案内
面と前記第２摩擦車との当接を解除するように前記第２
案内部材に伝達する伝達手段と、を有することを特徴と
する駆動装置である。

（実施側）以下、図面に示した実施例に基づいて本発明を説明する
。

第１図は本発明の一実施例の要部断面図、第２図は第１
図のＡ−Ａ’矢視断面図、第３図は第１図のＢ−Ｂ’矢
視断面図、第４図は上板１．中板２、下板３を除いた主
要部分の斜視外観図、第５図は早送り操作部材の断面図
である。

上板１は中板２に対しコロレースを介してＸ方向（第１
図の左右方向）に移動可能に設けられている。中板２は
下板３に対しコロレースを介してＹ方向（第１図の紙面
垂直方向）に移動可能に設けられている。また、下板３
は例えば顕微鏡本体の上下動部に取り付けられており、
Ｘ方向、Ｙ方向には固定されている。

中板２には、Ｘ方向に案内を有するメスコロレース４が
固設され、このメスコロレース４にはＸ方向及びＹ方向
各々に直交する方向へ延びた中空軸５′を有するオスコ
ロレース５がＸ方向（第１図の左右方向）へ移動自在に
設けられている。オスコロレース５の中空軸の外周には
、上方に摩擦車６を有し下端に操作ハンドル６′を有Ｔ
る中空軸が嵌合し、内周には、上方の突出端に摩擦車７
を有し、下方の突出端に操作ハンドル９を有する軸が嵌
合している。その結果、操作ハンドル６′。

９はいわゆる同軸ハンドルとなっている。操作ハンドル
６′とオスコロレース５の間には押え環８が設けられ、
スラスト方向に適当な偶力が与えられている。同様に、
摩擦車７とオスコロレース５の間には操作ハンドル９に
より適当な偶力が与えられている。

下板３にはＹ方向摩擦駆動板１１が設けられている。メ
スコロレース４とオスコロレース５の間には圧縮はね２
０が設けられており、この圧縮ばね２０によってオスコ
ロレース５は摩擦車６がＹ方向摩擦駆動板１１に当接す
るように押圧されている。

上板１にはＸ方向摩擦駆動板１０が設けられている。Ｘ
方向摩擦駆動板１０は、第３図に示したように、両端近
傍に固定した段付率ねじ１３゜１３’と、上板ｌに固定
した段付率ねじ１４．１４’転自在に取り付けた第２＠
転板１２’とによって形成される、いわゆる平行四辺形
のリンク機構によって、Ｙ方向へ平行移動するように設
けられている。すなわち、第３図において第１．第２回
転板１２．１２’は段付率ねじ１４．１４’を中心に回
転し、それによって摩擦駆動板１０はＸ方向（左右）に
動きつつＹ方向（上下）に移動する。

なお、第３図に示したように、段付率ねじ１３゜１４を
結んだ方向がＹ方向（第３図上下方向）となす角度θ　
（段付率ねじ１３’、１４’についても同じ）は、上板
１と回転板１２との間に配設した圧縮ばね１９により回
転板１２が反時計方向の回転力を得るように適当に定め
られている。摩擦駆動板１０は圧縮ばね１９によって、
回転板１２を介して・第３図下方へ付勢ぎれ、摩擦車７
に押圧ぎれている。

第３図に示したように、メスフロレース４の上面には移
動板１５が設けられ、この移動板１５にはその中央付近
に左上りの長溝１５ａが形成されていると共に、長溝１
５ａを挾んでＹ方向に長手方向を形成した長溝１５ｂ、
１５ｂ’が形成されている。長溝１５ａにはオスコロレ
ース５に植設したピン１６がメスコロレース４に形成し
た逃げ孔を通して嵌入しており、また長溝１５ｂ、１５
ｂ’にはメスコロレースに設けた段付率ねじ１７゜１７
′が嵌入している。そして移動板１５には、摩擦駆動板
ＩＯの摩擦車７が当接する面とは反対側の面に対向せし
めて配設したベアリング１８が支持されている。この際
、ベアリング１８は、第３図の状態、ＴなわちＪＩＩ擦
駆動板１０が摩擦車７に当接している状態において、Ｉ
Ｉ擦擦動動板１０わずかな間隔を取るように配設されて
いる。

第５図に示したように、上板ｌには回転案内軸２３を有
する握り俸２１が固設されている。回転案内軸２３には
、握り棒２１と共に握持しつるレバ一部材２２が回転自
在に設けられている。レバ一部材２２の一部Ａは、回転
板１２に圧縮ばね１９の反対側にて当接し、握り棒２１
と共にレバ一部材２２を握持することにより、圧縮ばね
１９による付勢力に抗して回転板１２を時計方向に回転
するように作用する。

従って、握り俸２１とレバ一部材２２とを握持すると、
回転板１２は圧縮ばね１９の付勢力に抗して時計方向に
回転し、その結果、摩擦駆動板１０は第３図の左上方へ
移動するから、摩擦駆動板１０と摩擦車７との接触は外
れ、摩擦駆動板１０はベアリング１８に当接する。摩擦
駆動板１０がざらに左上方へ移動すると、ベアリング１
８と一体の移動板１５は長溝１５ｂ、１５ｂ’。

段付率ねじ１７．１７’によってＹ方向へのみ移動自在
になっているから、ベアリング１Ｂは摩擦駆動板１０の
当接面を摺動しつつ、摩擦駆動板１０と共に上方（Ｙ方
向）へ移動する。その際、移動８２１５の長溝１５ａに
嵌入したビン１６は、長溝１５ａに案内されてＸ方向へ
移動する（第６図にこの状態を示す。）。すなわち、オ
スコロレース５が圧縮ばね２０の付勢力に抗して第１図
右方へ移動される。その結果、ｓ館車６と１！擦駆動板
１１との接触は外れる。

それ故、第７図の外観図において示したように、握り棒
２１とレバ一部材２２とを握持してＸ方向。

Ｙ方向へ移動すれば、摩擦車６，７が摩擦駆動板１０．
１１に接触していない状態で早送りが実現できる。

握り棒２１．レバ一部材２２から手を離すと、圧縮はね
１９により摩擦駆動板１０が摩擦車７に押圧ぎれ、ばね
２０により摩擦車６が摩擦駆動板１１に押圧ぎれる。従
って、操作ハンドル６′を回転すると、摩擦車６と摩擦
駆動板１１によって中板２は下板３との間のコロレース
によってＹ方向へ移動し、操作ハンドル９を回転すると
、摩擦車７と摩擦駆動板１１によって上板１は中板２と
の間のコロレースによってＸ方向へ移動する。このよう
にして微動送りが行なわれる。

なお、以上の実施例では、摩擦駆動板１０が摩擦車７に
当接している状態において、ベアリング１８は摩擦駆動
板１０とわずかな間隔を取るように配設だれていたため
、握り棒２１とレバ一部材２２とを十分握らず、丁度、
摩擦駆動板１・０が摩擦車７と接触が解除され、ベアリ
ング１８に接触した状態において止めれば（握りの感触
でわかる）、Ｘ方向のみの早送りを行なうことができる
。

また、操作ハンドル６′、９等を持つてオスフロレース
５を圧縮ばね２０の付勢力に抗して移動させれば、摩擦
車６と摩擦駆動板１１の接触が解除されるので、Ｙ方向
のみの早送りを行なうこともできる。

勿論、Ｘ方向とＹ方向の送りを分離する必要がなければ
、摩擦駆動板１０が摩擦車７に当接している状態におい
て、ベアリング１８が摩擦駆動板ｌＯに当接しているよ
うになしても構わない。

ざらに、例えばＪｌｌ擦動動板１０早送りの際、Ｙ方向
へ平行移動子れば良いのであるから、上述の如きリンク
機構は案内面の長ざが長いので好ましいものではあるが
、リンク機構を用いずともＹ方向に形成したガイドに沿
ってｊｌ［振部動板１０が移動するようになしても良い
。

また、上述のレバ一部材２２は、圧縮はね１９をその復
帰はねとしても用いており、握り棒２１と共に握持した
場合にのみ早送りとなるので、早送りと微動のいずれに
設定されているかの確認が不用なばかりでなく構造簡単
なものであるが、他の構造のものに置き換え゛ることか
できる。例えば、第８図のように握り棒２１′を上板１
に対し、中心軸を回転中心として回転自在になすと共に
、握り棒２１′の上方を回転板１２に当接する偏心カム
２４として構成し、握り棒２１′を握って回転し、回転
板１２を圧縮ばね１９に抗して時計方向（第３図）へ回
転するようになせば、上述の早送りの状態になり、ざら
に回転して初期状態に戻せば回転板１２は度時計方向（
第３図）へ回転し、微動となる。この場合は、握り棒２
１′から手を離しても早送りもしくは微動の状態が維持
されるから、上述の第５図の実施例の如く早送りの場合
に常に握り棒２１とレバ一部材２２を握りしめているよ
うな不都合はないが、早送りか微動の確認が必要になる
。

（発明の効果）以上述べた如く本発明によれば、ステージの早送りをす
る際、早送り用の握り棒と共に操作しつる操作部材によ
って摩擦車と案内面との当接を解除できるので、操作性
が良く、かつ摩擦車の耐久性の優れたステージの駆動装
置を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の要部断面図、第２図は第１
図のＡ−Ａ’矢視断面図、第３図は第１図のＢ−Ｂ’矢
視断面図、第４図は上板、中板、下板を除いた主要部分
の斜視外観図、第５図は早送り操作部材の断面図、第６
図は早送り時の動作説明図、第７図はステージの外観斜
視図、第８図は早送り操作部材の他の実施例の断面図で
ある。（主要部分の符号の説明）ｌ・・・上板、２・・・中板、３・・・下板、４・・・
メスコロレース、５・・・オスコロレース、６・・・ｊ
ｌｍｆＥ、６’・・・操作ハンドル、７・・・摩擦車、
９・・・操作ハンドル、１０・・・Ｘ方向摩擦駆動板、
１１・・・Ｙ方向摩擦駆動板、１２．１２’・・・回転
板、１３．１３’、１４゜１４’、１７．１７’・・・
段付率ねじ、１５・・・移動板、１５ａ、１５ｂ、１５
ｂ’・・・長溝、１６−・・ビン、１８・・・ベアリン
グ、１９．２０・・・圧縮ばね１，２１・・・握り棒、
２２・・・レバ一部材。

Claims

【特許請求の範囲】下板３と、該下板に対してＹ方向へ移動する中板２と、
該中板に対してＸ方向へ移動する上板１とを有するステ
ージの駆動装置において、前記上板に配設され、前記Ｙ方向へ平行移動する案内面
を有する第１案内部材１０、１２、１２′と、該第１案
内部材の前記案内面に当接する第１摩擦車７と、該第１
摩擦車を回転する第１回転駆動装置７′、９と、前記第
１案内部材の案内面と前記第１摩擦車とを押圧接触せし
める第１ばね部材１９と、前記中板に前記Ｘ方向へ平行
移動するように配設した第２摩擦車６と、該第２摩擦車
を回転する第２回転駆動装置６′と、前記下板に配設さ
れ、前記第２摩擦車の当接する案内面をＹ方向に有する
第２案内部材１１と、前記第２案内部材の案内面と前記
第２摩擦車とを押圧接触せしめる第２ばね部材２０と、
前記上板に固設した握り棒２１と、該握り棒と共に操作
される操作部材２２を有し、該操作部材の操作による移
動を前記第１案内部材の案内面と前記第１摩擦車との当
接を解除するように前記第１案内部材に伝達する解除手
段２２、２３と、前記第１案内部材の移動を前記第２案
内部材の案内面と前記第２摩擦車との当接を解除するよ
うに前記第２案内部材に伝達する伝達手段と、を有することを特徴とする駆動装置。