JP3389537B2

JP3389537B2 - 位置決めステージ

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Publication number: JP3389537B2
Application number: JP23688499A
Authority: JP
Inventors: 祥一田中; 秀和佐野
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 1999-08-24
Filing date: 1999-08-24
Publication date: 2003-03-24
Anticipated expiration: 2019-08-24
Also published as: DE10041586B4; JP2001066518A; TW539870B; US6341037B1; DE10041586A1

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、位置決めステージ
に関し、顕微鏡検査や光学測定あるいはその他の方式の
精密測定の際に、測定対象を載置しつつ精密な移動操作
を行えるようにする機構に関する。

【０００２】

【背景技術】従来、顕微鏡検査の際などには、測定対象
を載物ステージに載置し、その測定部位が対物レンズの
延長上の所定の測定エリアにくるように移動させる。測
定にあたっては、適宜測定部位を微小寸法づつ精密に移
動させる必要が生じる。このような要求から、ステージ
の載物部分はＸＹ方向等に任意に移動できるように構成
され、その移動操作には微小寸法づつの精密送り動作が
可能な駆動機構が設置される。

【０００３】このようなステージの駆動機構としては、
ラックとピニオンを用いた送り機構やレールと摩擦車を
用いた送り機構が利用可能であるが、精度および円滑性
等の問題から、近年ではベルトとプーリを用いた送り機
構も使用されている（特公平7-1340号公報、特開平4-31
814号公報、特開平9-113814号公報など参照）。

【０００４】このベルトとプーリによる送り機構では、
測定対象を載置するテーブルをベースに対して移動させ
るために、例えばベース側に一対のプーリを支持し、こ
のプーリにエンドレスのベルトを掛渡す。一方のテーブ
ルは、ベースに対して移動自在に支持しておくととも
に、ジョイントを介してベルトの一部に連結する。通
常、テーブルの支持はベルトの延びる方向にテーブルを
案内するガイドレールなどを用いて行われる。

【０００５】一方のプーリの軸には操作ノブが接続さ
れ、このノブを回転操作することでプーリが回転され、
掛渡されたエンドレスのベルトも循環回転する。このよ
うにしてベルトを送ることで、ジョイントで連結された
テーブルが送り駆動され、従ってノブによるテーブルの
送り操作が可能となる。

【０００６】なお、測定部位を測定エリアに合わせる等
の際には直接テーブルを把持しての迅速な送り移動がで
きることが望ましく、ベルトとプーリによる送り機構を
解除するクラッチ機構等が設置される。通常、テーブル
のベルトに対するジョイントを解除する方式が採用さ
れ、具体的にはベルトの任意位置に固定解除する構成が
利用されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】前述した従来のベルト
とプーリによる送り機構では、次のような問題がある。
第１に、構造の簡略化および小型化が難しい。つまり、
ベルトにはベルトの弛みを解消するための張力が必須で
あるが、プーリで駆動するために更に強い張力が必要で
ある。すなわち、プーリの回転をベルトに伝達するため
にプーリとベルトとの間には所定の摩擦力が必要であ
り、この要求を満足するためにベルトにはより一層の強
い張力が要求される。従って、プーリおよびその回転
軸、支持部分等には、前述のようなベルトの強い張力に
耐える構造および強度が要求される。

【０００８】第２に、テーブルの送り量を十分に微小化
できない。つまり、従来のベルトとプーリによる送り機
構は、操作ノブを回してプーリを回転させ、このプーリ
に巻かれるベルトを駆動する構造であるため、操作ノブ
（その周面）への入力操作量と出力となるベルトの送り
移動量（つまりテーブルの送り移動量）との関係は操作
ノブおよびプーリの径に依存する。従って、同じ操作で
もテーブルの送り量が微小になるようにしようとする
と、プーリの径を小さくすることが必要となる。

【０００９】ところが、プーリの径を小さくすると、こ
れに巻かれるベルトの曲率も小さくなる。そして、ベル
トにおいては材質等の関係から、正常な動作が保証され
る許容最小曲げ半径が定められている。従って、この許
容最小曲げ半径を超えてプーリを小さくすることはでき
ず、テーブルの送り量の微小化が十分にできないことに
なる。

【００１０】第３に、構造要素の配置自由度が低い。つ
まり、従来のベルトとプーリによる送り機構では、操作
ノブがプーリの軸に接続されるため、プーリ位置に拘束
される。通常、プーリはベルト掛渡しの両端となる位置
（送り機構の端部）に配置され、必ずしも操作性がよく
ないが、前述のようにプーリ位置に拘束されるため変更
が難しい。別の伝達手段を用いて位置変更することは可
能であるが、機構の複雑化などの別の問題が生じる。

【００１１】また、従来のステージ駆動機構では、Ｘ軸
Ｙ軸の２軸移動を行うために、ベルトとプーリによる送
り機構を交叉方向の２系統に設けることがある。そし
て、操作性を高めるために、各軸の操作ノブを同軸の二
重筒状に形成することがなされている。しかし、前述の
ように、操作ノブは送り機構端部のプーリ位置に規制さ
れており、操作ノブを二重筒状に形成するためには各々
を同じ位置に合わせる必要がある。このため、各系統の
送り機構はその端部でのみ交叉する構造が許されるのみ
となり、具体的には送り機構は各テーブルの辺縁部分に
しか設置できず、中央部分のスペースは利用できないと
いう問題がある。

【００１２】本発明の目的は、構造を簡略小型化でき、
テーブルの送り精度を高められるとともに、構造要素の
配置自由度を高められる位置決めステージを提供するこ
とにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、測定対象を載
置するテーブルと、前記テーブルを支持するベースと、
前記テーブルおよびベースの間に介在されて前記テーブ
ルを前記ベースに対して前記テーブルの表面に沿った所
定の移動方向へ相対移動させる送り機構とを有する位置
決めステージであって、前記送り機構は、前記テーブル
およびベースの何れか一方側に支持された一対のプーリ
と、このプーリに掛渡されて少なくとも一部が前記移動
方向に延びるループ状の駆動力伝達部材と、前記テーブ
ルおよびベースの何れか他方側と前記駆動力伝達部材の
前記移動方向に延びる部分とを接続するジョイントと、
前記テーブルおよびベースの何れか一方に設置されて前
記駆動力伝達部材の一部を挟持する駆動力伝達部材駆動
用のピンチ機構とを有し、前記ピンチ機構は、前記駆動
力伝達部材を挟んで配置された駆動ローラ（ピンチロー
ラ）と従動ローラ（キャプスタン）とを有し、駆動ロー
ラには外部から回転操作可能な操作ノブが接続されてい
るとともに、前記ピンチ機構は、従動ローラを前記駆動
ローラに対して相対的近接離隔させて前記駆動力伝達部
材の挟持および駆動を解除可能なレリーズ機構を有する
ことを特徴とする。

【００１４】このような構成においては、駆動力伝達部
材の駆動がプーリ部分ではなく、別途設けられたピンチ
機構（回転駆動用のキャプスタンとこれに押圧されて転
動するピンチローラの組など）で行われる。そして、ピ
ンチ機構は駆動力伝達部材（ベルト、ワイヤ、チェン、
その他の可撓性の長尺部材など）を挟持することで駆動
力の伝達が確保できる。このため、プーリと駆動力伝達
部材との回転伝達に必要だった強い駆動力伝達部材の張
力は不要となり、プーリ周辺部分の小型化、簡素化が可
能となる。また、ピンチ機構のローラ（駆動する側、キ
ャプスタン）には駆動力伝達部材が巻かれないので、駆
動力伝達部材の許容最小曲げ半径はピンチ機構に影響し
ない。従って、ピンチ機構のローラ径を小さくすること
で送り量の微小化を進めることができる。更に、ピンチ
機構は駆動力伝達部材の経路のどの部分に設置してもよ
いから、送り操作のための操作ノブ等の設置自由度を高
めることができる。また、交叉２方向に送り機構を配置
する場合でも任意位置で交叉させることができ、送り機
構自体の設置自由度を高めることができる。

【００１５】更に、前記ピンチ機構の駆動ローラには外
部から回転操作可能な操作ノブが接続されているため、
直接的なピンチ機構の駆動構造とすることができ、構造
の簡素化および小型化の点で有効である。

【００１６】更に、前記ピンチ機構には、従動ローラを
前記駆動ローラに対して相対的に近接離隔させて前記駆
動力伝達部材の挟持および駆動を解除可能なレリーズ機
構を構成したため、ピンチ機構の特性を利用して簡単な
構造でレリーズ機構を実現することができる。

【００１７】なお、レリーズ機構において、従動ローラ
を前記駆動ローラに対して相対的に近接離隔させる構造
としては、従動ローラを可動プレートに支持し、この可
動プレートの一端を回転自在に支持し、他端にケーブル
を接続して押すまたは引く構造などが採用できる。この
ようなレリーズ用のケーブルの操作にあたっては、テー
ブルの一端に設けた手動操作用のグリップにレリーズレ
バーを設置し、このレリーズレバーでケーブルを引き、
ばねで戻る構造等が採用できる。

【００１８】本発明において、前記ベースと前記テーブ
ルとの間にはサブテーブルが介在され、前記ベースと前
記サブテーブルとの間には第１の送り機構が設置され、
前記サブテーブルと前記テーブルとの間には第２の送り
機構が設置されていることが望ましい。このようにすれ
ば、Ｘ軸とＹ軸などの２方向移動を簡単に実現できる。

【００１９】なお、前記ベースと前記テーブルとの間お
よび前記サブテーブルと前記テーブルとの間には他の案
内機構などを別途設置してもよい。また、第１および第
２の送り機構は物理的に前記ベースと前記サブテーブル
との間および前記サブテーブルと前記テーブルとの間に
存在することは必須ではなく、例えば第１の送り機構は
前記ベースおよび前記サブテーブルの外側にあって前記
ベースと前記サブテーブルとを相対移動させるものであ
ってもよい。

【００２０】本発明において、前記各送り機構は、互い
に交叉する２つの移動方向に配置されているとともに、
各々は各々の中間部分で互いに交叉していることが望ま
しい。このようにすれば、テーブルの周辺部分を避けて
テーブルの中間部分のスペースを有効に利用できる。

【００２１】本発明において、前記各送り機構のピンチ
機構は、それぞれ前記各送り機構の交叉位置に近接設置
されていることが望ましい。このようにすれば、各送り
機構のピンチ機構が一カ所に集中し、この部分で各送り
機構の操作を行えるため、操作性を高めることができ
る。

【００２２】本発明において、前記移動方向が交叉する
各送り機構のピンチ機構は、それぞれ前記駆動力伝達部
材を挟んで配置された駆動ローラと従動ローラとを有
し、各送り機構の駆動ローラは同一軸線で配置され、各
駆動ローラを回転操作する操作ノブは同軸状に形成され
ていることが望ましい。このようにすれば、同軸状の操
作ノブにより各送り機構の操作を一カ所で集中的に行う
ことができ、操作性を良好にできる。更に、本発明にお
いて、前記操作ノブは、固定シャフトと、前記固定シャ
フトに同軸状に回転可能に配置されて前記駆動ローラの
一方に接続された第１の操作つまみと、前記固定シャフ
トに同軸状に回転可能に配置されて前記駆動ローラの他
方に接続された第２の操作つまみと、前記固定シャフト
と前記第１または第２の操作つまみとの間に介在されて
前記第１または第２の操作つまみを現在位置に保持する
保持力を与える保持部材とを有することが望ましい。こ
のようにすれば、各操作つまみには適度な保持力が与え
られ、振動その他によってステージが不用意に移動する
ことを防止でき、更にステージの微動操作時に操作つま
みに適度な重さが与えられるので、微動操作が容易に行
える。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を、図
面に基づいて説明する。図１において、顕微鏡10は測定
対象であるシリコンウェハ11の表面検査を行うものであ
り、このウェハ11を載置する部分には本発明に基づく位
置決めステージ20が構成されている。

【００２４】顕微鏡10は、側面形状がＣ字型をした本体
12を有する。本体12の下部12Aには位置決めステージ20
が昇降可能に設置されており、その上面に形成されたテ
ーブル21にはウェハ11が載置されている。下部12Aの前
面には照明等の機能選択スイッチを含む操作パネル13が
配置され、その側面には位置決めステージ20を昇降（Ｚ
軸移動）させる昇降ノブ14が配置されている。

【００２５】本体12の上部12Bはテーブル21の上方へ覆
い被さるように形成されており、その先端部には光学機
構15が設置されている。光学機構15は、前面側に接眼レ
ンズ15Aを有するとともに、下面側に対物レンズ15Bを有
し、対物レンズ15Bでテーブル21上のウェハ11の画像を
取込み、接眼レンズ15Aから拡大視認できるようになっ
ている。これらの光学的な機能は既存の顕微鏡と同じで
ある。

【００２６】図２にも示すように、位置決めステージ20
は、前述したテーブル21と、このテーブル21を支持する
板状のベース22と、これらの間に挟まれたサブテーブル
23とを有する。ベース22とサブテーブル23とはＹ軸方向
へ相対移動可能である。サブテーブル23とテーブル21と
はＸ軸方向へ相対移動可能である。各々の相対移動方向
を規定するために、ベース22とサブテーブル23との間お
よびサブテーブル23とテーブル21との間には、それぞれ
図示しないガイドピンとレールとによる案内機構等が各
々の移動方向に向けて設置されている。

【００２７】ベース22とサブテーブル23とをＹ軸方向へ
相対移動させるために第１の送り機構30が設置されてい
る。また、サブテーブル23とテーブル21とをＸ軸方向へ
相対移動させるために第２の送り機構40が設置されてい
る。各々は図２右下側の中間部分で互いに交叉されてい
る。

【００２８】第１の送り機構30は、サブテーブル23に支
持された一対のプーリ301,302と、このプーリ301,302に
掛渡されて少なくとも一部がＹ軸方向に延びるループ状
の駆動力伝達部材としてのエンドレス式のベルト303と
を備えている。プーリ301,302は周面に溝を有し、ベル
ト303の脱落を防止できるようになっている。このプー
リ301,302は既存のプラスチック製のもの等を適宜利用
すればよい。ベルト303は繊維入ゴム製等の伝達機構用
丸ベルト、金属ワイヤ等を適宜利用すればよい。

【００２９】ベルト303は、プーリ301,302の間の部分が
Ｙ軸方向へ延びている。プーリ301,302の間のちょうど
中間の部分のうち一方のベルト303はジョイント304を介
してベース22に連結されている。従って、プーリ301,30
2に掛渡されたベルト303が回転循環すると、ジョイント
304がＹ軸方向へ移動し、これによりサブテーブル23は
ベース22に対してＹ軸方向へ移動することになる。

【００３０】図３に示すように、サブテーブル23の下面
にはプレート231が積層されている。プーリ301,302はプ
レート231の下面に支持されている。プレート231はベー
ス22と同じ高さレベルにあり、ベース22とベルト303を
結ぶジョイント304は長い腕状に形成されている。

【００３１】図４にも示すように、第１の送り機構30
は、ベルト303を回転循環させるためのピンチ機構310を
備えている。ピンチ機構310は、ベルト303を挟む駆動ロ
ーラ311と従動ローラ312とを有する。駆動ローラ311
は、サブテーブル23およびプレート231にねじ込まれた
筒状のシャフト232を軸として回転可能である。駆動ロ
ーラ311は下方へ筒状に延びており、その下端には第１
の操作ノブ313が形成されている。

【００３２】従動ローラ312は可動プレート321に回転自
在に支持されている。可動プレート321は一端をピン322
でプレート231に軸支されている。可動プレート321の他
端側にはコイルばね323が接続され、従動ローラ312は駆
動ローラ311側へと常時付勢されている。この付勢力に
より、従動ローラ312と駆動ローラ311とはベルト303を
挟持する。この挟持により、駆動ローラ311の回転動作
がベルト303に伝達される。

【００３３】一方、可動プレート321にはケーブル324が
接続されている。このケーブル324を引くことで、可動
プレート321はコイルばね323の付勢に抗して回動し、従
動ローラ312が駆動ローラ311から離隔される。これによ
りベルト303への駆動力の伝達を断続することができ、
これらの可動プレート321、コイルばね323、ケーブル32
4によりレリーズ機構320が構成されている。

【００３４】図２に戻って、サブテーブル23とテーブル
21とをＸ軸方向へ相対移動させる第２の送り機構40も第
１の送り機構30と略同様な構成を備えている。第２の送
り機構40は、サブテーブル23に支持された一対のプーリ
401,402と、このプーリ401,402に掛渡されて少なくとも
一部がＸ軸方向に延びるループ状の駆動力伝達部材とし
てのエンドレス式のベルト403とを備えている。プーリ4
01,402およびベルト403は前述したプーリ301,302および
ベルト303と同等のものである。

【００３５】ベルト403の中間の部分のうち一方はジョ
イント404を介してテーブル21に連結されている。従っ
て、プーリ401,402に掛渡されたベルト403が回転循環す
ると、ジョイント404がＸ軸方向へ移動し、これにより
テーブル21はサブテーブル23に対してＸ軸方向へ移動す
ることになる。

【００３６】図３に示すように、テーブル21の下面には
凹部211が形成され、サブテーブル23の上面に配置され
たプーリ401,402およびベルト403はこの凹部211内に収
容されている。また、テーブル21とベルト403を結ぶジ
ョイント404は凹部211の天井面に接続されている。

【００３７】図５にも示すように、第２の送り機構40
は、ベルト403を回転循環させるためのピンチ機構410を
備えている。ピンチ機構410は、ベルト403を挟む駆動ロ
ーラ411と従動ローラ412とを有する。駆動ローラ411
は、サブテーブル23およびプレート231にねじ込まれた
筒状のシャフト232の中心を貫通する軸状に形成され、
回転自在に保持されている。駆動ローラ411の下端には
第２の操作ノブ413が形成されている。

【００３８】従動ローラ412は可動プレート421に回転自
在に支持されている。可動プレート421は一端をピン422
でサブテーブル23に軸支されている。可動プレート421
の他端側にはコイルばね423が接続され、従動ローラ412
は駆動ローラ411側へと常時付勢されている。この付勢
力により、従動ローラ412と駆動ローラ411とはベルト40
3を挟持する。この挟持により、駆動ローラ411の回転動
作がベルト403に伝達される。

【００３９】一方、可動プレート421にはケーブル424が
接続されている。このケーブル424を引くことで、可動
プレート421はコイルばね423の付勢に抗して回動し、従
動ローラ412が駆動ローラ411から離隔される。これによ
りベルト403への駆動力の伝達を断続することができ、
これらの可動プレート421、コイルばね423、ケーブル42
4によりレリーズ機構420が構成されている。

【００４０】図１に示すように、テーブル21は図中右側
に延びる延長部212を備えており、その先端には粗動用
のグリップ24が設置されている。このグリップ24には前
述したレリーズ機構320,420を同時に解除するレリーズ
レバー241が設置されている。図２に示すように、レリ
ーズ機構320,420のケーブル324,424は、互いに並列に引
出され、各々の動作を妨げないように大きくループを描
いて延長部212の下面に取り回され、レリーズレバー241
に連結されている。このケーブル324,424を引くための
レリーズレバー241は既存のレバー構造により適宜実現
すればよい。

【００４１】図６には操作ノブの具体的構造の一例が示
されている。シャフト232は中空状に形成され、中間部
材233に結合されている。シャフト232の外側には、駆動
ローラ311の下部の筒状部分がシャフト232に対して同軸
状に配置され、操作つまみ314に接続されている。同様
に、シャフト232の内側には、駆動ローラ411の下部の筒
状部分がシャフト232に対して同軸状に配置され、操作
つまみ414に接続されている。操作つまみ314と中間部材
233との間にはスラストワッシャとウェーブワッシャと
から構成された摩擦部材315が配置され、これらの弾性
力により操作つまみ314に対して保持力が与えられてい
る。同様に、操作つまみ414と中間部材233との間にはス
ラストワッシャとウェーブワッシャとから構成された摩
擦部材415が配置され、これらの弾性力により操作つま
み414に対して保持力が与えられている。

【００４２】このような本実施形態においては、次のよ
うな操作を行う。まず、テーブル21上にウェハ11を載置
する。そして、グリップ24を握り、レリーズレバー241
を引いてレリーズ機構320,420を作動させ、グリップ24
でテーブル21の粗動調整を行い、接眼レンズ15Aを覗き
ながらウェハ11が映るようにする。

【００４３】次に、グリップ24およびレリーズレバー24
1を離し、レリーズ機構320,420をレリーズ解除状態とし
て、第１および第２の送り機構30,40が有効になるよう
にする。この状態で、操作ノブ413,313による微動操作
を行いつつウェハ11の検査を行う。すなわち、ウェハ11
の映像を検査し、その領域の検査が終ったら次の領域へ
移る。全ての領域が検査できたら、再びグリップ24を握
り、レリーズレバー241を引いてレリーズ機構320,420を
作動させ、テーブル21を端に寄せてウェハ11を取出しや
すようにする。

【００４４】このような本実施形態によれば、次のよう
な効果がある。ベルト303,403の駆動がプーリではな
く、ピンチ機構310,410で行われる。そして、ピンチ機
構はベルトを挟持することで駆動力の伝達が確保でき
る。このため、プーリとベルトとの回転伝達に必要だっ
た強いベルトの張力は不要となり、プーリ301,302,401,
402周辺部分の小型化、簡素化が可能となる。

【００４５】また、ピンチ機構310,410にはベルトが巻
かれないので、ベルト303,403の許容最小曲げ半径はピ
ンチ機構に影響しない。従って、駆動ローラ径を小さく
することで送り量の微小化を進めることができる。更
に、ピンチ機構310,410はベルト303,403の経路のどの部
分に設置してもよいから、送り操作のための操作ノブ31
3,413等の設置自由度を高めることができる。また、交
叉２方向に送り機構を配置する場合でも任意位置で交叉
させることができ、送り機構自体の設置自由度を高める
ことができる。

【００４６】ピンチ機構310,410は、一方の駆動ローラ3
11,411に操作ノブ313,413が接続される構造としたた
め、駆動ローラに対して直接的な駆動構造とすることが
でき、構造の簡素化および小型化の点で有効である。

【００４７】ピンチ機構310,410は、従動ローラ312,412
を駆動ローラ311,411に対して近接離隔させることで、
ベルト303,403の挟持および駆動を解除可能なレリーズ
機構320,420を構成したため、ピンチ機構の特性を利用
して簡単な構造でレリーズ機構を実現することができ
る。

【００４８】第１の送り機構30および第２の送り機構40
とは、各々の中間部分で互いに交叉している配置とした
ため、テーブルの周辺部分を避けてテーブルの中間部分
のスペースを有効に利用できる。また、各送り機構30,4
0のピンチ機構310,410を、それぞれ前記各送り機構の交
叉位置に近接設置したため、各送り機構のピンチ機構が
一カ所に集中し、この部分で各送り機構の操作を行える
ため、操作性を高めることができる。

【００４９】特に、各送り機構30,40のピンチ機構310,4
10は駆動ローラ311,411が同一軸線で配置され、各駆動
ローラを回転操作する操作ノブ313,413を同軸の二重筒
状に形成したため、各送り機構の操作を一カ所で集中的
に行うことができ、操作性を良好にできる。

【００５０】なお、本発明は前記実施形態に限定される
ものではなく、以下に示すような変形なども含むもので
ある。前記実施形態では、各送り機構30,40のピンチ機
構310,410は駆動ローラ311,411が同一軸線で配置され、
各駆動ローラを回転操作する操作ノブ313,413を同軸の
二重筒状に形成したが、各々は同軸二重ではなく、並列
に２本の軸として形成してもよい。

【００５１】各駆動ローラと操作ノブ313,413とは可撓
性のシャフトで連結してもよく、このようにすれば操作
ノブの任意位置への配置が一層自由になる。更に、操作
ノブ313,413は手動ではなく電動モータで駆動してもよ
い。このようにすれば手動操作が困難な位置にもピンチ
機構を設置できる。

【００５２】更に、各駆動ローラないし操作ノブ313,41
3の一部にフライホイールあるいは相当の慣性を有する
部材を設ければ、外部からの振動によるずれ誤差を防止
や、不用意な接触による誤操作を防止できるとともに、
連続操作時には操作感を良好にすることもできる。

【００５３】前記実施形態では、ループ状の駆動力伝達
部材としてエンドレス式のベルト303,403を用いたが、
有端のワイヤーを略環状にして用いても良い。例えば、
ジョイント304,404の部分に両端がくるように掛渡せ
ば、エンドレス式のベルトと同様な機能を確保すること
ができる。また、有端のワイヤをループ状にした上、そ
の両端を各々直接テーブルに係止してもよい。

【００５４】前記実施形態では、駆動ローラ311,411の
周面に溝を設けてベルト303,403の脱落防止を図った
が、これは従動ローラ312,412側に設けても良い。ま
た、プーリ301〜402に近い場合など、脱落しにくい場合
には、何れの溝も省略してもよい。また、両方のローラ
に溝を形成してもよい。

【００５５】レリーズ機構320,420のレリーズレバー241
はグリップ24でなく他の部分に設置してもよい。レリー
ズ機構320,420はレリーズレバー241による手動操作では
なく、ソレノイド等の電磁気的手段で操作してもよい。

【００５６】ピンチ機構310,410において、従動ローラ3
12,412をコイルばね324,424で付勢するのではなく、駆
動ローラ311,411を付勢してもよい。しかし、前述のよ
うに従動ローラ側のほうが構造的に簡略にできる。

【００５７】

【発明の効果】以上に述べたように、本発明によれば、
ベルトを掛渡すプーリとは別に駆動用のピンチ機構を用
いることで、構造を簡略小型化でき、テーブルの送り精
度を高められるとともに、構造要素の配置自由度を高め
られる位置決めステージを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態を示す斜視図。

【図２】前記実施形態を示す平面図。

【図３】前記実施形態を示す縦断面図。

【図４】前記実施形態の要部を示す拡大平面図。

【図５】前記実施形態の他の要部を示す拡大平面図。

【図６】前記実施形態の操作ノブを示す拡大断面図。

【符号の説明】

10 顕微鏡 11 測定対象であるウェハ 20 位置決めステージ 21 テーブル 22 ベース 23 サブテーブル 30,40 第１および第２の送り機構 301,302,401,402 プーリ 303,403 ベルト 304,404 ジョイント 310,410 ピンチ機構 311,411 駆動ローラ 312,412 従動ローラ 313,413 操作ノブ 320,420 レリーズ機構

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G02B 21/26

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】測定対象を載置するテーブルと、前記テ
ーブルを支持するベースと、前記テーブルおよびベース
の間に介在されて前記テーブルを前記ベースに対して前
記テーブルの表面に沿った所定の移動方向へ相対移動さ
せる送り機構とを有する位置決めステージであって、前記送り機構は、前記テーブルおよびベースの何れか一
方側に支持された一対のプーリと、このプーリに掛渡さ
れて少なくとも一部が前記移動方向に延びるループ状の
駆動力伝達部材と、前記テーブルおよびベースの何れか
他方側と前記駆動力伝達部材の前記移動方向に延びる部
分とを接続するジョイントと、前記テーブルおよびベー
スの何れか一方に設置されて前記駆動力伝達部材の一部
を挟持する駆動力伝達部材駆動用のピンチ機構とを有
し、前記ピンチ機構は、前記駆動力伝達部材を挟んで
配置された駆動ローラと従動ローラとを有し、駆動ロー
ラには外部から回転操作可能な操作ノブが接続されてい
るとともに、前記ピンチ機構は、従動ローラを前記駆動ローラに対し
て相対的近接離隔させて前記駆動力伝達部材の挟持およ
び駆動を解除可能なレリーズ機構を有することを特徴と
する位置決めステージ。
【請求項２】請求項１に記載の位置決めステージにお
いて、前記ベースと前記テーブルとの間にはサブテーブルが介
在され、前記ベースと前記サブテーブルとの間には第１
の送り機構が設置され、前記サブテーブルと前記テーブ
ルとの間には第２の送り機構が設置されていることを特
徴とする位置決めステージ。
【請求項３】請求項２に記載の位置決めステージにお
いて、前記各送り機構は、互いに交叉する２つの移動方向に配
置されているとともに、各々は各々の中間部分で互いに
交叉していることを特徴とする位置決めステージ。
【請求項４】請求項３に記載の位置決めステージにお
いて、前記各送り機構のピンチ機構は、それぞれ前記各送り機
構の交叉位置に近接設置されていることを特徴とする位
置決めステージ。
【請求項５】請求項４に記載の位置決めステージにお
いて、前記移動方向が交叉する各送り機構のピンチ機構は、そ
れぞれ前記駆動力伝達部材を挟んで配置された駆動ロー
ラと従動ローラとを有し、各送り機構の駆動ローラは互
いに同一軸線で配置され、各駆動ローラを回転操作する
操作ノブは同軸状に形成されていることを特徴とする位
置決めステージ。
【請求項６】請求項５に記載の位置決めステージにお
いて、前記操作ノブは、固定シャフトと、前記固定シャフトに
同軸状に回転可能に配置されて前記駆動ローラの一方に
接続された第１の操作つまみと、前記固定シャフトに同
軸状に回転可能に配置されて前記駆動ローラの他方に接
続された第２の操作つまみと、前記固定シャフトと前記
第１または第２の操作つまみとの間に介在されて前記第
１または第２の操作つまみを現在位置に保持する保持力
を与える保持部材とを有することを特徴とする位置決め
ステージ。