CH691709A5 - Antrieb für die Bewegung eines bewegten Geräteteils. - Google Patents

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CH691709A5
CH691709A5 CH02471/96A CH247196A CH691709A5 CH 691709 A5 CH691709 A5 CH 691709A5 CH 02471/96 A CH02471/96 A CH 02471/96A CH 247196 A CH247196 A CH 247196A CH 691709 A5 CH691709 A5 CH 691709A5
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Description


  



  Der Antrieb gegeneinander beweglicher Teile in optischen Instrumenten, insbesondere die Umsetzung einer primärseitigen Drehbewegung in eine sekundärseitige Linearbewegung, erfolgt üblicherweise durch ein miteinander kämmendes Ritzel-/Zahnstangensystem oder durch ein System aus einer Gewindespindel und einer Gewindemutter. 



  Ein Antrieb des ersten Typs für die Fokussierbewegung bei einem Mikroskop ist beispielsweise in der DE-A1 2 627 486 beschrieben. Aufgrund des zwangsweise vorhandenen Spiels des Ritzel-/Zahnstangensystems weisen solche Antriebe eine deutliche Umkehrlose auf. Ausserdem wird die erreichbare Positioniergenauigkeit durch die Oberflächenqualität der miteinander kämmenden Zahnflanken bestimmt. Die Umkehrlose des Antriebs wirkt sich insbesondere bei Systemen nachteilig aus, die über einen motorischen Antrieb mit einer entsprechenden Motorsteuerung eine automatische Repositionierung einer vorher abgespeicherten Einstellung, wie beispielsweise in der DE-A1 3 410 201, oder die Bewegung um durch den Drehwinkel des Motors vorbestimmte Wegstrecken ermöglichen, beispielsweise beim automatischen Anfahren einer neuen Fokusposition mit hoher Reproduzierbarkeit nach einem Objektivwechsel.

   Ursächlich ist dafür, dass die zu einer bestimmten Linearbewegung erforderliche Drehbewegung des Antriebsmotors davon abhängt, ob eine Richtungsumkehr gegenüber der vorherigen Bewegung stattfindet oder ob die Bewegung in Richtung oder gegen die Richtung der Erdanziehung erfolgt. 



  In der US-A 4 948 330 ist ein in drei Raumrichtungen verstellbarer Justiertisch mit motorischen Antrieben beschrieben, bei dem für die Untersetzung der Motorbewegung ein Harmonic-Drive-Getriebe zwischen dem Antriebsmotor und der Antriebsspindel vorgesehen ist. Harmonic-Drive-Getriebe zeichnen sich dadurch aus, dass in ihnen die Anzahl der bewegten Teile minimal ist und dadurch die Umkehrlose des Getriebes ebenfalls minimiert werden kann. Die Umsetzung der untersetzten Drehbewegung in die Linearbewegung erfolgt jedoch bei dem beschriebenen System über ein System des zweiten Typs aus Gewindespindel und Gewindemutter, das bezüglich der Umkehrlose mit dem oben beschriebenen System aus Ritzel und Zahnstange vergleichbar ist. Dadurch wird die geringe Umkehrlose des Harmonic-Drive-Getriebes durch die relativ grosse Umkehrlose des Spindelantriebes überdeckt. 



  In der GB 1 012 974 und in der US 4 684 225 ist bereits vorgeschlagen worden, einen Riemenantrieb für die Umsetzung einer Drehbewegung in die Linearbewegung des Objekttisches eines Mikroskops vorzusehen. Solche Riemenantriebe zeigen zwar keine oder nur eine geringe Umkehrlose, sie besitzen jedoch nicht die erforderliche Festigkeit bei Überlastung des Objekttisches. Insbesondere starke Impulse, die beim Aufsetzen eines schweren Gegenstandes auf den Objekttisch auftreten, oder ein versehentliches Abstützen des Mikroskopikers an dem Objekttisch können zu einem Reissen des Antriebsbandes führen. Obwohl seit langem bekannt, haben sich derartige Riemenantriebe für die Fokussierbewegung in Mikroskopen bisher nicht durchgesetzt. 



  Ziel der Erfindung ist es deshalb, einen Antrieb anzugeben, der eine nahezu spielfreie Bewegungsübertragung von einer Drehbewegung in eine Translationsbewegung ermöglicht und gleichzeitig eine hohe Festigkeit gegen grosse, von aussen auf die bewegten Teile aufgeprägte Belastungen aufweist. 



  Dieses Ziel wird erfindungsgemäss durch einen Antrieb mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Merkmalen der abhängigen Ansprüche. 



  Der erfindungsgemässe Antrieb weist eine Kombination aus einem Bandantrieb und einem synchron zum Bandantrieb angetriebenen System aus einem Ritzel und einer Zahnstange auf. Das Ritzel greift dabei mit Spiel in die Zahnung der Zahnstange ein. Das Spiel des Ritzel-/Zahnstangensystems ist dabei so auf die zulässigen Belastungen des bewegten Teils und die Dehnungsfestigkeit des Antriebsbandes ausgelegt, dass bei allen zulässigen Belastungen ein deutliches Spiel zwischen dem Ritzel und der Zahnstange vorhanden ist. Dadurch erfolgt die Umsetzung der Drehbewegung in die Linearbewegung bei allen zulässigen Belastungen ausschliesslich über den Bandantrieb und weist demzufolge eine geringe Umkehrlose und eine hohe Reproduzierbarkeit auf. Das System aus Ritzel und Zahnstange läuft bei den zulässigen Belastungen ohne Belastung mit.

   Nur bei einer Überschreitung der zulässigen Belastung und einer daraus resultierenden stärkeren Dehnung des Antriebsbandes stützen sich die Zahnflanken des Ritzels und der Zahnstange aufeinander ab und vermeiden dadurch eine Überdehnung und eine daraus resultierende Beschädigungen des Bandes. 



  Angemerkt sei in diesem Zusammenhang, dass bei dem erfindungsgemässen Antrieb keine hohen Anforderungen an die Präzision und die Oberflächenqualität des Ritzels und der Zahnstange gestellt sind, da die Präzision dieser Komponenten auf die Präzision des Antriebs ohne Auswirkungen ist und diese Komponenten nur als Überlastungsschutz in Funktion treten. 



  Der Bandantrieb kann in einfacher Weise in Form eines Flaschenzuges ausgebildet sein. Das Verhältnis des Durchmessers des Ritzels und des Durchmessers der angetriebenen Rolle des Bandantriebes müssen dann dem Untersetzungsverhältnis des Flaschenzuges entsprechen. Am bewegten Teil sind dabei je nach gewünschtem Untersetzungsverhältnis des Flaschenzuges eine entsprechende Anzahl drehbar gelagerter Rollen für den Bandantrieb vorzusehen. Als einfachstes Beispiel eines Flaschenzuges ist lediglich eine einzige drehbare Rolle am bewegten Teil angeordnet, die nach dem Prinzip der losen Rolle in das gespannte Band eingehängt ist. Bei einem solchen System ist der Durchmesser des Ritzels dann halb so gross wie der Durchmesser der Antriebsrolle des Bandantriebes. 



  Bei einem weiterhin einfachen Ausführungsbeispiel sind das Ritzel und die Antriebsrolle für den Bandantrieb auf einer gemeinsamen, im ruhenden Geräteteil drehbar gelagerten Antriebswelle und die Zahnstange an dem bewegten Geräteteil angeordnet. Dadurch werden zusätzliche Lagerstellen für das Ritzel vermieden. 



  Die Vorspannung des Bandes kann je nach vorgesehener Bewegungsrichtung entweder durch die Gewichtskraft des bewegten Teils oder durch eine Feder zwischen dem bewegten Teil und dem ruhenden Teil erzeugt sein. Weist das bewegte Teil nur eine geringe Eigenmasse auf, so kann auch die Kombination von Spannung durch Gewichtskraft und durch Federkraft angebracht sein. 



  Der Antrieb weist vorzugsweise einen Antriebsmotor und ein Harmonic-Drive-Getriebe zwischen dem Antriebsmotor und der Antriebsrolle des Bandantriebes auf. Denn durch die geringe Umkehrlose des Bandantriebes kommt bei einer solchen Kombination auch die geringe Umkehrlose des Harmonic-Drive-Getriebes voll zur Geltung. Ausserdem gleicht die relativ grosse Untersetzung des Harmonic-Drive-Getriebes die relativ geringe Untersetzung des Bandantriebes aus, sodass eine grosse Gesamtuntersetzung resultiert. Mit einem solchen System sind dann hochpräzise Positionierungen oder Verschiebungen um vorgegebene Wegstrecken über die Bewegung des Motors um vorgegebene Drehwinkel möglich. 



  Der erfindungsgemässe Antrieb ist insbesondere zur Übertragung der Fokussierbewegung auf einen Objekttisch in Mikroskopen geeignet. 



  Der erfindungsgemässe Antrieb kommt weiterhin vorzugsweise in Kombination mit einer Linearführung mit beidseitiger Doppelführung zum Einsatz. Derartige beidseitige Doppelführungen weisen sich gegenüber beidseitigen Einzelführungen durch eine hohe Stabilität und Steifigkeit aus. Um die bei Doppelführungen auftretenden Überbestimmungen zu vermeiden, sollte ein Teil der Führungsflächen durch die Planflächen von abgeflachten Rundstäben gebildet werden, die in Ausnehmungen der geführten oder der ruhenden Teile drehbar eingesetzt sind. Durch die Drehbarkeit der Rundstäbe werden Keilwinkel zwischen den Teilen der Linearführung kompensiert.

   Durch das Zusammenwirken des nahezu spielfreien Antriebs mit der hohen Steifigkeit der als beidseitige Doppelführung ausgebildeten Linearführung wird die Präzision des Antriebes voll auf die Bewegung des geführten Teils übertragen. 



  Nachfolgend werden Einzelheiten der Erfindung anhand des in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert. 



  Dabei zeigen: 
 
   Fig. 1 das Unterteil eines Mikroskops mit einem erfindungsgemässen Antrieb für die Fokussierbewegung des Objekttisches in einem Vertikalschnitt; 
   Fig. 2 einen Horizontalschnitt durch den Antrieb entlang der Ebene II-II in Fig. 1; 
   Fig. 3 einen vergrösserten Ausschnitt der Linearführung in Fig. 2 mit drehbar eingesetzten, abgeflachten Rundstäben in Führungsnuten; und 
   Fig. 4 einen Schnitt in vertikaler Richtung durch den Antrieb in Fig. 2 entlang der Ebene IV-IV. 
 



  In der Fig. 1 ist mit (1) der untere Teil des Mikroskopstativs bezeichnet. An einer vertikalen Säule (5) des Mikroskopstativs (1) ist der Objekttisch (2) an einem innerhalb der vertikalen Säule (5) angeordneten Antriebsmodul (6) aufgenommen. Mittels des Antriebsmoduls (6) ist der Objekttisch (2) relativ zu dem in einem Objektiv-Revolver (3) aufgenommenen Objektiv (4) in vertikaler Richtung zur Fokussierung verstellbar. 



  Für die präzise Führung des Objekttisches (2) in vertikaler Richtung weist das Fokussiermodul (6) eine weiter unten anhand der Fig. 2 noch näher beschriebene beidseitige Doppel-Linearführung mit einer festen Führungsplatte (7) und in vertikaler Richtung geführten Platten (8a, 8b) auf. Der Objekttisch (2) ist mit den geführten Platten (8a, 8b) verbunden. 



  Für die Erzeugung der Fokussierbewegungen ist ein Elektromotor (9) vorgesehen, der über eine nicht dargestellte Motorsteuerung derart ansteuerbar ist, dass die Welle des Elektromotors (9) Drehbewegungen um durch die Motorsteuerung definierte Drehwinkel ausführt. Dazu weist der Elektromotor (9) einen Winkelencoder auf. Da derartige Motoren und die dazugehörigen Motorsteuerungen durchaus bekannt sind, braucht auf deren Details hier nicht näher eingegangen zu werden. 



  Die Drehbewegung des Elektromotors (9) wird durch ein nachgeschaltetes Harmonic-Drive-Getriebe untersetzt. Dieses Harmonic-Drive-Getriebe hat den bekannten Aufbau aus einer elliptischen Stahlscheibe mit zentrischer Nabe und aufgezogenem, elliptisch verformbarem Dünnringkugellager, die mit der Welle des Motors (9) gekoppelt ist, einen starren zylindrischen Ring mit einer Innenverzahnung als äusseres Bauteil und eine zylindrische Stahlbüchse mit Aussenverzahnung zwischen der elliptischen Stahlscheibe und dem zylindrischen Ring. Bei einer Drehbewegung der elliptischen Stahlscheibe wird über das elliptisch verformbare Kugellager die zylindrische Stahlbüchse, deren Aussenverzahnung in Richtung der grossen Ellipsenachse mit der Innenverzahnung des zylindrischen Ringes in Eingriff steht, deformiert.

   Durch diese Deformation verlagert sich die grosse Ellipsenachse der zylindrischen Stahlbüchse. Da die zylindrische Stahlbüchse zwei Zähne weniger als der zylindrische Ring aufweist, resultiert nach einer Umdrehung der elliptischen Stahlscheibe eine Relativbewegung zwischen der zylindrischen Stahlbüchse und dem zylindrischen Ring um zwei Zähne. Die zylindrische Stahlbüchse führt deshalb eine stark untersetzte Bewegung aus und dient als abgetriebenes Element des Getriebes. 



  Auf der abgetriebenen Welle (11) des Harmonic-Drive-Getriebes (10) sind koaxial zueinander eine Antriebsrolle (12) für den Bandantrieb und ein Ritzel (13) angeordnet, wobei der Durchmesser des Ritzels (13) die Hälfte des Durchmessers der Antriebsrolle (12) beträgt. Das Ritzel (13) greift mit Spiel in eine Zahnstange (14) ein, die an der geführten Platte (8b) der Linearführung befestigt ist. 



  Im unteren Bereich der Zahnstange (14) ist an der geführten Platte (8b) der Linearführung über ein nicht näher dargestelltes Kugellager eine weitere Rolle (16) drehbar befestigt. Diese Rolle (16) an der Linearführung hängt, wie der Fig. 4 entnehmbar ist, in einer U-förmigen Schleife eines flachen Stahlbandes (15), das an der Antriebsrolle (12) befestigt ist. Das zweite Ende des Stahlbandes (15) ist in etwa in der gleichen Höhe wie die Antriebsrolle (12) an einer festen Welle (17) am Fokussiermodul (6) befestigt. 



  Der Bandantrieb aus der festen Welle (17), der drehbaren Rolle (12) am ruhenden Teil und der ebenfalls drehbaren Rolle (16) am bewegten Teil wirkt nach dem Prinzip der losen Rolle. Bei einer Drehung der Antriebsrolle (12) im Uhrzeigersinn wird die lose Rolle (16) um eine Strecke angehoben, die der Hälfte der Umfangsbewegung der Antriebsrolle (12) entspricht. Da der Durchmesser des Ritzels (13) den halben Durchmesser der Antriebsrolle (12) aufweist, wird das System aus Ritzel (13) und Zahnstange (14) bei Vernachlässigung der Dicke des Antriebsbandes (15) synchron zur Bewegung des Bandantriebes und damit des angetriebenen Teils (8b) mitbewegt. Das voreingestellte Spiel zwischen der Verzahnung des Ritzels (13) und der Verzahnung der Zahnstange (14) bleibt daher bei der Bewegung erhalten.

   Eine Belastung des Systems aus Ritzel und Zahnstange tritt nur auf, wenn der Objekttisch (2) (Fig. 1) stärker als zulässig belastet und das Band (15) dadurch entsprechend stark gedehnt wird. Die Präzision der Bewegungsübertragung, insbesondere hinsichtlich der Spielfreiheit und der Umkehrlose, ist dadurch einzig und allein durch den Bandantrieb bestimmt. Das System aus Ritzel (13) und Zahnstange (14) dient lediglich zum Schutz des Bandantriebes bei zu starken Belastungen. Dabei ist von entscheidender Bedeutung, dass die Präzision der Verzahnungselemente, insbesondere deren Oberflächenqualität, die Präzision der Positionierung nicht entscheidend mitbestimmt und dass gleichzeitig durch die Sicherung des Bandantriebes eine lange Lebensdauer des Antriebes gewährleistet ist. 



  Bei dem in den Fig. 1 und 4 dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Bandantrieb ausschliesslich durch das Eigengewicht des Objekttisches (2) und der Linearführung vorgespannt. Reicht die Masse des Objekttisches (2) für die Spannung des Bandantriebes nicht aus, so kann zusätzlich eine Spannfeder vorgesehen sein, die die beweglichen Teile der Linearführung (8a, 8b) gegen die Zugrichtung des Bandes (15) zieht oder drückt. 



  In den Schnittdarstellungen der Fig. 2 und 3 sind Details der Linearführung vergrössert dargestellt. Die Linearführung ist sandwichartig aus drei Platten (8a, 18, 8b) aufgebaut. Die mittlere Platte (18) ist dabei mit dem Rahmen des Fokussiermoduls (6) verschraubt. An der objekttischseitigen Aussenplatte (8a) ist der Objekttisch (2) und an der antriebsseitigen Platte (8b) sind die Zahnstange (14) und die lose Rolle (16) aufgenommen. Die beiden äusseren Platten (8a, 8b) sind durch die in der Fig. 1 dargestellten, durch Langlöcher der mittleren Platte (7) hindurchgreifenden Schrauben verbunden. 



  Die Mittelplatte (7) weist an ihren beiden gegenüberliegenden Flächen jeweils zwei parallel, senkrecht zur Zeichenrichtung in Fig. 2 verlaufende Nuten (18a, 19a, 20a, 21a) in Bewegungsrichtung auf. Die beiden äusseren Platten (8a, 8b) weisen jeweils auf der der Mittenplatte (7) zugewandten Seite zwei parallel verlaufende Nuten (18b, 19b, 20b, 21b) mit rechteckförmigen Querschnitten auf, die ebenfalls parallel zu den V-förmigen Nuten (18a, 19a, 20a, 21a) der mittleren Platte (7) verlaufen und bezüglich ihrer Abstände an die Abstände der V-förmigen Nuten angepasst sind. Diese beidseitige Doppelführung weist damit insgesamt vier Führungsbahnen auf, die jeweils durch eine V-förmige Nute in der Mittelplatte (7) und die gegenüberliegende rechteckförmige Nute der Aussenplatte (8a, 8b) gebildet werden.

   In diese Führungsbahnen sind Wälzkörper in Form von Rollen (18c, 19c, 20c, 21c) oder Kugeln eingelegt. Ausserdem sind in die Ecken der rechteckförmigen Nuten (18b, 19b, 20b, 21b) abgeflachte Rundstäbe (18d, 18e, 19d, 20d, 21d, 21e) mit den Wälzkörpern (18c-21c) zugewandter Planfläche drehbar eingesteckt. Die Planflächen dieser abgeflachten Rundstäbe bilden die Führungsbahnen für die Wälzkörper. 



  In zwei einander gegenüberliegende rechteckförmige Nuten (18d, 21d) sind dabei zwei abgeflachte Rundstäbe eingesteckt und die Rollen (18c, 21c) kreuzweise in die verbleibenden Führungsnuten eingelegt. Auf der beabstandeten anderen Seite ist in die einander gegenüberliegenden rechteckförmigen Nuten jeweils nur ein Rundstab (19d, 20d) eingesteckt und die Rollen sind alle in der gleichen Richtung ausgerichtet. Dieses richtungsmässig gleiche Einlegen der Rollen in die einen Führungsnuten (19a, 19b) und das kreuzweise Einlegen der Rollen in die anderen Führungsnuten (18a, 18b) ist in der vergrösserten Darstellung der Fig. 3 durch die gestrichelt angedeuteten Drehachsen der Wälzkörper angedeutet. 



  Dadurch, dass die abgeflachten Rundstäbe in ihren durch die Ecken der rechteckförmigen Nuten gebildeten Auflagen drehbar sind, werden Keilwinkel zwischen den Platten (8a und 7 bzw. 7 und 8b) kompensiert. Dadurch werden Überbestimmtheiten, die ansonsten bei beidseitigen Doppelführungen auftreten, vermieden. Fertigungstechnisch ist deshalb lediglich wichtig, dass die Parallelität der Nuten (18a-21a, 18b-21b) in den drei Platten (8a, 7, 8b) zueinander sichergestellt ist. Bezüglich der Abstände der Nuten (18a-21a, 18b-21b) sind dagegen keine hochgenauen Anforderungen zu stellen, da eventuelle Fehler durch die Drehung der Rundstäbe ausgeglichen werden. Die passende Ausrichtung der abgeflachten Rundstäbe in ihren Auflagen stellt sich beim Zusammenschrauben und Anziehen der die beiden äusseren Platten (8a, 8b) verbindenden Schrauben von allein ein. 



  Eine derartige Linearführung mit beidseitiger Doppelführung zeichnet sich durch eine hohe Stabilität und Steifigkeit aus, sodass kaum Kippmomente auftreten, die auf den Objekttisch übertragen werden könnten. Gleichzeitig ist ein hohes Mass an Leichtgängigkeit gewährleistet, da keine Überbestimmtheiten zu Verklemmungen führen können. Deshalb kann auch die Bewegung des Objekttisches (2) mit der hohen Präzision, die durch den Bandantrieb gewährleistet ist, erfolgen. 



  Bei dem in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Bandantrieb nach dem Prinzip der losen Rolle aufgebaut. Dieser Bandantrieb liefert ein Untersetzungsverhältnis von 1:2 zwischen der Bewegung des angetriebenen Teils (8b) und der Umfangsbewegung der antreibenden Rolle (12). Alternativ ist es auch möglich, andere flaschenzugähnliche Bandantriebe einzusetzen. Beispielsweise könnte die Welle (17) drehbar gelagert, das Band (15) über eine zweite Rolle am bewegten Teil geführt und auf der Höhe der Welle (17) wieder am Fokussiermodul befestigt sein. Ein solcher Flaschenzug liefert dann ein Untersetzungsverhältnis von 1:4. In diesem Fall ist das Ritzel (13) mit einem Durchmesser auszuführen, der einem Viertel des Durchmessers der Antriebsrolle (12) entspricht.

Claims (11)

1. Antrieb für die Bewegung eines bewegten Geräteteils (2, 8a) relativ zu einem ruhenden Geräteteil (1, 6, 7), bei dem das bewegte Geräteteil (2, 8a) und das ruhende Geräteteil über einen von einer Antriebsrolle (12) angetriebenen Bandantrieb (15, 16) und über ein synchron zum Bandantrieb (15, 16) angetriebenes System aus Ritzel (13) und Zahnstange (14) miteinander gekoppelt sind.
2. Antrieb nach Anspruch 1, wobei das Ritzel (13) mit Spiel in die Zahnung der Zahnstange (14) eingreift.
3. Antrieb nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Zahnstange (14) am bewegten Geräteteil (8b) angeordnet ist.
4. Antrieb nach einem der Ansprüche 1-3, wobei der Bandantrieb (15, 16) die Form eines Flaschenzuges aufweist und wobei das Verhältnis der Durchmesser von Ritzel (13) und angetriebener Rolle (12) dem Untersetzungsverhältnis des Flaschenzuges (15, 16) entspricht.
5.
Antrieb nach Anspruch 4, wobei das bewegte Geräteteil (8b) eine drehbare Rolle (16) nach dem Prinzip der losen Rolle aufweist und wobei der Durchmesser des Ritzels (13) halb so gross wie der Durchmesser der Antriebsrolle (12) ist.
6. Antrieb nach Anspruch 4 oder 5, wobei das Band (15) durch die Gewichtskraft des bewegten Geräteteils (2, 8a, 8b) und/oder durch eine Feder gespannt ist.
7. Antrieb nach einem der Ansprüche 1-6, wobei ein Antriebsmotor vorgesehen ist und wobei der Antriebsmotor und die angetriebene Rolle (12) über ein Harmonic-Drive-Getriebe (10) gekoppelt sind.
8. Mikroskop mit einem Antrieb nach einem der Ansprüche 1-7 für die Fokussierbewegung.
9. Mikroskop nach Anspruch 8, wobei das bewegte Teil der Objekttisch (2) des Mikroskops ist.
10.
Mikroskop mit einem Antrieb nach einem der Ansprüche 1-7, wobei das angetriebene Teil (2) mit einer Linearführung (8a, 8b, 7) am ruhenden Geräteteil (6) geführt ist und wobei ein Teil der Führungsflächen der Linearführung durch Planflächen von abgeflachten Rundstäben (18d, 18e, 19d, 20d, 21d, 21e), die in Ausnehmungen (18b, 19b, 20b, 21b) der geführten Teile (8a, 8b) drehbar eingesetzt sind, gebildet ist.
11. Mikroskop nach Anspruch 10, wobei in zwei gegenüberliegende rechteckförmige Nuten (18b, 21b) jeweils zwei abgeflachte Rundstäbe (18d, 18e, 21d, 21e) und in zwei weitere einander gegenüberliegende rechteckförmige Nuten (19b, 20b) jeweils ein einziger abgeflachter Rundstab (19d, 20d) drehbar eingesetzt sind.
CH02471/96A 1995-11-03 1996-10-11 Antrieb für die Bewegung eines bewegten Geräteteils. CH691709A5 (de)

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