DE19642789A1 - Antriebssystem für die Bewegung eines bewegten Geräteteils - Google Patents
Antriebssystem für die Bewegung eines bewegten GeräteteilsInfo
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Description
Der Antrieb gegeneinander beweglicher Teile in optischen
Instrumenten, insbesondere die Umsetzung einer primärseitigen
Drehbewegung in eine sekundärseitige Linearbewegung, erfolgt
üblicherweise durch ein miteinander kämmendes
Ritzel-/Zahnstangensystem oder durch ein System aus einer
Gewindespindel und einer Gewindemutter.
Ein Antrieb des ersten Typs für die Fokussierbewegung bei einem
Mikroskop ist beispielsweise in der DE-A1-26 27 486
beschrieben. Aufgrund des zwangsweise vorhandenen Spiels des
Ritzel-/Zahnstangensystems weisen solche Antriebssysteme eine
deutliche Umkehrlose auf. Außerdem wird die erreichbare
Positioniergenauigkeit durch die Oberflächenqualität der
miteinander kämmenden Zahnflanken bestimmt. Die Umkehrlose des
Antriebssystems wirkt sich insbesondere bei Systemen nachteilig
aus, die über einen motorischen Antrieb mit einer
entsprechenden Motorsteuerung eine automatische
Repositionierung einer vorher abgespeicherten Einstellung, wie
beispielsweise in der DE-A1-34 10 201, oder die Bewegung um
durch den Drehwinkel des Motors vorbestimmte Wegstrecken
ermöglichen, beispielsweise beim automatischen Anfahren einer
neuen Fokusposition mit hoher Reproduzierbarkeit nach einem
Objektivwechsel. Ursächlich ist dafür, daß die zu einer
bestimmten Linearbewegung erforderliche Drehbewegung des
Antriebsmotors davon abhängt, ob eine Richtungsumkehr gegenüber
der vorherigen Bewegung stattfindet oder ob die Bewegung in
Richtung oder gegen die Richtung der Erdanziehung erfolgt.
In der US-A 4,948,330 ist ein in drei Raumrichtungen
verstellbarer Justiertisch mit motorischen Antrieben
beschrieben, bei dem für die Untersetzung der Motorbewegung ein
Harmonic-Drive-Getriebe zwischen dem Antriebsmotor und der
Antriebsspindel vorgesehen ist. Harmonic-Drive-Getriebe
zeichnen sich dadurch aus, daß in ihnen die Anzahl der bewegten
Teile minimal ist und dadurch die Umkehrlose des Getriebes
ebenfalls minimiert werden kann. Die Umsetzung der untersetzten
Drehbewegung in die Linearbewegung erfolgt jedoch bei dem
beschriebenen System über ein System des zweiten Typs aus
Gewindespindel und Gewindemutter, das bezüglich der Umkehrlose
mit dem oben beschriebenen System aus Ritzel und Zahnstange
vergleichbar ist. Dadurch wird die geringe Umkehrlose des
Harmonic-Drive-Getriebes durch die relativ große Umkehrlose des
Spindelantriebes überdeckt.
In der GB 1 012 974 und in der US 4,684,225 ist bereits
vorgeschlagen worden, einen Riemenantrieb für die Umsetzung
einer Drehbewegung in die Linearbewegung des Objekttisches
eines Mikroskops vorzusehen. Solche Riemenantriebe zeigen zwar
keine oder nur eine geringe Umkehrlose, sie besitzen jedoch
nicht die erforderliche Festigkeit bei Überlastung des
Objekttisches. Insbesondere starke Impulse, die beim Aufsetzen
eines schweren Gegenstandes auf den Objekttisch auftreten, oder
ein versehentliches Abstützen des Mikroskopikers an dem
Objekttisch können zu einem Reißen des Antriebsbandes führen.
Obwohl seit langem bekannt, haben sich derartige Riemenantriebe
für die Fokussierbewegung in Mikroskopen bisher nicht
durchgesetzt.
Ziel der Erfindung ist es deshalb, ein Antriebssystem
anzugeben, das eine nahezu spielfreie Bewegungsübertragung von
einer Drehbewegung in eine Translationsbewegung ermöglicht und
gleichzeitig eine hohe Festigkeit gegen große, von außen auf
die bewegten Teile aufgeprägte Belastungen aufweist.
Dieses Ziel wird erfindungsgemäß durch einen Antrieb mit den
Merkmalen des Anspruches 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen
der Erfindung ergeben sich aus den Merkmalen der abhängigen
Ansprüche.
Das erfindungsgemäße Antriebssystem weist eine Kombination aus
einem Bandantrieb und einem synchron zum Bandantrieb
angetriebenen System aus einem Ritzel und einer Zahnstange auf.
Das Ritzel greift dabei mit Spiel in die Zahnung der Zahnstange
ein. Das Spiel des Ritzel-/Zahnstangensystems ist dabei so auf
die zulässigen Belastungen des bewegten Teils und die
Dehnungsfestigkeit des Antriebsbandes ausgelegt, daß bei allen
zulässigen Belastungen ein deutliches Spiel zwischen dem Ritzel
und der Zahnstange vorhanden ist. Dadurch erfolgt die Umsetzung
der Drehbewegung in die Linearbewegung bei allen zulässigen
Belastungen ausschließlich über den Bandantrieb und weist
demzufolge eine geringe Umkehrlose und eine hohe
Reproduzierbarkeit auf. Das System aus Ritzel und Zahnstange
läuft bei den zulässigen Belastungen ohne Belastung mit. Nur
bei einer Überschreitung der zulässigen Belastung und einer
daraus resultierenden stärkeren Dehnung des Antriebsbandes
stützen sich die Zahnflanken des Ritzels und der Zahnstange
aufeinander ab und vermeiden dadurch eine Überdehnung und eine
daraus resultierende Beschädigungen des Bandes.
Angemerkt sei in diesem Zusammenhang, daß bei dem
erfindungsgemäßen Antriebssystem keine hohen Anforderungen an
die Präzision und die Oberflächenqualität des Ritzels und der
Zahnstange gestellt sind, da die Präzision dieser Komponenten
auf die Präzision des Antriebssystems ohne Auswirkungen ist und
diese Komponenten nur als Überlastungsschutz in Funktion
treten.
Der Bandantrieb kann in einfacher Weise in Form eines
Flaschenzuges ausgebildet sein. Das Verhältnis des Durchmessers
des Ritzels und des Durchmessers der angetriebenen Rolle des
Bandantriebes müssen dann dem Untersetzungsverhältnis des
Flaschenzuges entsprechen. Am bewegten Teil sind dabei je nach
gewünschtem Untersetzungsverhältnis des Flaschenzuges eine
entsprechende Anzahl drehbar gelagerter Rollen für den
Bandantrieb vorzusehen. Als einfachstes Beispiel eines
Flaschenzuges ist lediglich eine einzige drehbare Rolle am
bewegten Teil angeordnet, die nach dem Prinzip der losen Rolle
in das gespannte Band eingehängt ist. Bei einem solchen System
ist der Durchmesser des Ritzels dann halb so groß wie der
Durchmesser der Antriebsrolle des Bandantriebes.
Bei einem weiterhin einfachen Ausführungsbeispiel sind das
Ritzel und die Antriebsrolle für den Bandantrieb auf einer
gemeinsamen, im ruhenden Geräteteil drehbar gelagerten
Antriebswelle und die Zahnstange an dem bewegten Geräteteil
angeordnet. Dadurch werden zusätzliche Lagerstellen für das
Ritzel vermieden.
Die Vorspannung des Bandes kann je nach vorgesehener
Bewegungsrichtung entweder durch die Gewichtskraft des bewegten
Teils oder durch eine Feder zwischen dem bewegten Teil und dem
ruhenden Teil erzeugt sein. Weist das bewegte Teil nur eine
geringe Eigenmasse auf, so kann auch die Kombination von
Spannung durch Gewichtskraft und durch Federkraft angebracht
sein.
Das Antriebssystem weist vorzugsweise einen Antriebsmotor und
ein Harmonic-Drive-Getriebe zwischen dem Antriebsmotor und der
Antriebsrolle des Bandantriebes auf. Denn durch die geringe
Umkehrlose des Bandantriebes kommt bei einer solchen
Kombination auch die geringe Umkehrlose des Harmonic-Drive-Getriebes
voll zur Geltung. Außerdem gleicht die relativ große
Untersetzung des Harmonic-Drive-Getriebes die relativ geringe
Untersetzung des Bandantriebes aus, so daß eine große
Gesamtuntersetzung resultiert. Mit einem solchen System sind
dann hochpräzise Positionierungen oder Verschiebungen um
vorgegebene Wegstrecken über die Bewegung des Motors um
vorgegebene Drehwinkel möglich.
Das erfindungsgemäße Antriebssystem ist insbesondere zur
Übertragung der Fokussierbewegung auf einen Objekttisch in
Mikroskopen geeignet.
Das erfindungsgemäße Antriebssystem kommt weiterhin
vorzugsweise in Kombination mit einer Linearführung mit
beidseitiger Doppelführung zum Einsatz. Derartige beidseitige
Doppelführungen weisen sich gegenüber beidseitigen
Einzelführungen durch eine hohe Stabilität und Steifigkeit aus.
Um die bei Doppelführungen auftretenden Überbestimmungen zu
vermeiden, sollte ein Teil der Führungsflächen durch die
Planflächen von abgeflachten Rundstäben gebildet werden, die in
Ausnehmungen der geführten oder der ruhenden Teile drehbar
eingesetzt sind. Durch die Drehbarkeit der Rundstäbe werden
Keilwinkel zwischen den Teilen der Linearführung kompensiert.
Durch das Zusammenwirken des nahezu spiel freien Antriebssystems
mit der hohen Steifigkeit der als beidseitige Doppelführung
ausgebildeten Linearführung wird die Präzision des Antriebes
voll auf die Bewegung des geführten Teils übertragen.
Nachfolgend werden Einzelheiten der Erfindung anhand des in den
Figuren dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert.
Dabei zeigen:
Fig. 1 das Unterteil eines Mikroskops mit einem
erfindungsgemäßen Antriebssystems für die
Fokussierbewegung des Objekttisches in einem
Vertikalschnitt;
Fig. 2 einen Horizontalschnitt durch das Antriebssystem
entlang der Ebene II-II in Fig. 1;
Fig. 3 einen vergrößerten Ausschnitt der Linearführung in
Fig. 2 mit drehbar eingesetzten, abgeflachten
Rundstäben in Führungsnuten; und
Fig. 4 einen Schnitt in vertikaler Richtung durch das
Antriebssystem in Fig. 2 entlang der Ebene IV-IV.
In der Fig. 1 ist mit (1) der untere Teil des Mikroskopstativs
bezeichnet. An einer vertikalen Säule (5) des Mikroskopstativs
(1) ist der Objekttisch (2) an einem innerhalb der vertikalen
Säule (5) angeordneten Antriebsmodul (6) aufgenommen. Mittels
des Antriebsmoduls (6) ist der Objekttisch (2) relativ zu dem
in einem Objektiv-Revolver (3) aufgenommenen Objektiv (4) in
vertikaler Richtung zur Fokussierung verstellbar.
Für die präzise Führung des Objekttisches (2) in vertikaler
Richtung weist das Fokussiermodul (6) eine weiter unten anhand
der Fig. 2 noch näher beschriebene beidseitige
Doppel-Linearführung mit einer festen Führungsplatte (7) und in
vertikaler Richtung geführten Platten (8a, 8b) auf. Der
Objekttisch (2) ist mit den geführten Platten (8a, 8b)
verbunden ist.
Für die Erzeugung der Fokussierbewegungen ist ein Elektromotor
(9) vorgesehen, der über eine nicht dargestellte Motorsteuerung
derart ansteuerbar ist, daß die Welle des Elektromotors (9)
Drehbewegungen um durch die Motorsteuerung definierte
Drehwinkel ausführt. Dazu weist der Elektromotor (9) einen
Winkelencoder auf. Da derartige Motoren und die dazugehörigen
Motorsteuerungen durchaus bekannt sind, braucht auf deren
Details hier nicht näher eingegangen zu werden.
Die Drehbewegung des Elektromotors (9) wird durch ein
nachgeschaltetes Harmonic-Drive-Getriebe untersetzt. Dieses
Harmonic-Drive-Getriebe hat den bekannten Aufbau aus einer
elliptischen Stahlscheibe mit zentrischer Nabe und
aufgezogenem, elliptisch verformbarem Dünnringkugellager, die
mit der Welle des Motors (9) gekoppelt ist, einen starren
zylindrischen Ring mit einer Innenverzahnung als äußeres
Bauteil und eine zylindrische Stahlbüchse mit Außenverzahnung
zwischen der elliptischen Stahlscheibe und dem zylindrischen
Ring. Bei einer Drehbewegung der elliptischen Stahlscheibe wird
über das elliptisch verformbare Kugellager die zylindrische
Stahlbüchse, deren Außenverzahnung in Richtung der großen
Ellipsenachse mit der Innenverzahnung des zylindrischen Ringes
in Eingriff steht, deformiert. Durch diese Deformation
verlagert sich die große Ellipsenachse der zylindrischen
Stahlbüchse. Da die zylindrische Stahlbüchse zwei Zähne weniger
als der zylindrische Ring aufweist, resultiert nach einer
Umdrehung der elliptischen Stahlscheibe eine Relativbewegung
zwischen der zylindrischen Stahlbüchse und dem zylindrischen
Ring um zwei Zähne. Die zylindrische Stahlbüchse führt deshalb
eine stark untersetzte Bewegung aus und dient als abgetriebenes
Element des Getriebes.
Auf der abgetriebenen Welle (11) des Harmonic-Drive-Getriebes
(10) sind koaxial zueinander eine Antriebsrolle (12) für den
Bandantrieb und ein Ritzel (13) angeordnet, wobei der
Durchmesser des Ritzels (13) die Hälfte des Durchmessers der
Antriebsrolle (12) beträgt. Das Ritzel (13) greift mit Spiel in
eine Zahnstange (14) ein, die an der geführten Platte (8b) der
Linearführung befestigt ist.
Im unteren Bereich der Zahnstange (14) ist an der geführten
Platte (8b) der Linearführung über ein nicht näher
dargestelltes Kugellager eine weitere Rolle (16) drehbar
befestigt. Diese Rolle (16) an der Linearführung hängt, wie der
Fig. 4 entnehmbar ist, in einer U-förmigen Schleife eines
flachen Stahlbandes (15), das an der Antriebsrolle (12)
befestigt ist. Das zweite Ende des Stahlbandes (15) ist in etwa
in der gleichen Höhe wie die Antriebsrolle (12) an einer festen
Welle (17) am Fokussiermodul (6) befestigt.
Der Bandantrieb aus der festen Welle (17), der drehbaren Rolle
(12) am ruhenden Teil und der ebenfalls drehbaren Rolle (16) am
bewegten Teil wirkt nach dem Prinzip der losen Rolle. Bei einer
Drehung der Antriebsrolle (12) im Uhrzeigersinn wird die lose
Rolle (16) um eine Strecke angehoben, die der Hälfte der
Umfangsbewegung der Antriebsrolle (12) entspricht. Da der
Durchmesser des Ritzels (13) den halben Durchmesser der
Antriebsrolle (12) aufweist, wird das System aus Ritzel (13)
und Zahnstange (14) bei Vernachlässigung der Dicke des
Antriebsbandes (15) synchron zur Bewegung des Bandantriebes und
damit des angetriebenen Teils (8b) mitbewegt. Das
voreingestellte Spiel zwischen der Verzahnung des Ritzels (13)
und der Verzahnung der Zahnstange (14) bleibt daher bei der
Bewegung erhalten. Eine Belastung des Systems aus Ritzel und
Zahnstange tritt nur auf, wenn der Objekttisch (2) (Fig. 1)
stärker als zulässig belastet und das Band (15) dadurch
entsprechend stark gedehnt wird. Die Präzision der
Bewegungsübertragung, insbesondere hinsichtlich der
Spielfreiheit und der Umkehrlose, ist dadurch einzig und allein
durch den Bandantrieb bestimmt. Das System aus Ritzel (13) und
Zahnstange (14) dient lediglich zum Schutz des Bandantriebes
bei zu starken Belastungen. Dabei ist von entscheidender
Bedeutung, daß die Präzision der Verzahnungselemente,
insbesondere deren Oberflächenqualität, die Präzision der
Positionierung nicht entscheidend mitbestimmt und daß
gleichzeitig durch die Sicherung des Bandantriebes eine lange
Lebensdauer des Antriebes gewährleistet ist.
Bei dem in den Fig. 1 und 4 dargestellten
Ausführungsbeispiel ist der Bandantrieb ausschließlich durch
das Eigengewicht des Objekttisches (2) und der Linearführung
vorgespannt. Reicht die Masse des Objekttisches (2) für die
Spannung des Bandantriebes nicht aus, so kann zusätzlich eine
Spannfeder vorgesehen sein, die die beweglichen Teile der
Linearführung (8a, 8b) gegen die Zugrichtung des Bandes (15)
zieht oder drückt.
In den Schnittdarstellungen der Fig. 2 und 3 sind Details
der Linearführung vergrößert dargestellt. Die Linearführung ist
sandwichartig aus drei Platten (8a, 18, 8b) aufgebaut. Die.
mittlere Platte (18) ist dabei mit dem Rahmen des
Fokussiermoduls (6) verschraubt. An der objekttischseitigen
Außenplatte (8a) ist der Objekttisch (2) und an der
antriebsseitigen Platte (8b) sind die Zahnstange (14) und die
lose Rolle (16) aufgenommen. Die beiden äußeren Platten (8a,
8b) sind durch die in der Fig. 1 dargestellten, durch
Langlöcher der mittleren Platte (7) hindurchgreifenden
Schrauben verbunden.
Die Mittelplatte (7) weist an ihren beiden gegenüberliegenden
Flächen jeweils zwei parallel, senkrecht zur Zeichenrichtung in
Fig. 2 verlaufende Nuten (18a, 19a, 20a, 21a) in
Bewegungsrichtung auf. Die beiden äußeren Platten (8a, 8b)
weisen jeweils auf der der Mittenplatte (7) zugewandten Seite
zwei parallel verlaufende Nuten (18b, 19b, 20b, 21b) mit
rechteckförmigen Querschnitten auf, die ebenfalls parallel zu
den V-förmigen Nuten (18a, 19a, 20a, 21a) der mittleren Platte
(7) verlaufen und bezüglich ihrer Abstände an die Abstände der
V-förmigen Nuten angepaßt sind. Diese beidseitige Doppelführung
weist damit insgesamt vier Führungsbahnen auf, die jeweils
durch eine V-förmige Nute in der Mittelplatte (7) und die
gegenüberliegende rechteckförmige Nute der Außenplatte (8a, 8b)
gebildet werden. In diese Führungsbahnen sind Wälzkörper in
Form von Rollen (18c, 19c, 20c, 21c) oder Kugeln eingelegt.
Außerdem sind in die Ecken der rechteckförmigen Nuten (18b,
19b, 20b, 21b) abgeflachte Rundstäbe (18d, 18e, 19d, 20d, 21d,
21e) mit den Wälzkörpern (18c-21c) zugewandter Planfläche
drehbar eingesteckt. Die Planflächen dieser abgeflachten
Rundstäbe bilden die Führungsbahnen für die Wälzkörper.
In zwei einander gegenüberliegende rechteckförmige Nuten (18d,
21d) sind dabei zwei abgeflachte Rundstäbe eingesteckt und die
Rollen (18c, 21c) kreuzweise in die verbleibenden Führungsnuten
eingelegt. Auf der beabstandeten anderen Seite ist in die
einander gegenüberliegenden rechteckförmigen Nuten jeweils nur
ein Rundstab (19d, 20d) eingesteckt und die Rollen sind alle in
der gleichen Richtung ausgerichtet. Dieses richtungsmäßig
gleiche Einlegen der Rollen in die einen Führungsnuten (19a,
19b) und das kreuzweise Einlegen der Rollen in die anderen
Führungsnuten (18a, 18b) ist in der vergrößerten Darstellung
der Fig. 3 durch die gestrichelt angedeuteten Drehachsen der
Wälzkörper angedeutet.
Dadurch daß die abgeflachten Rundstäbe, in ihren durch die
Ecken der rechteckförmigen Nuten gebildeten Auflagen drehbar
sind, werden Keilwinkel zwischen den Platten (8a und 7 bzw. 7
und 8b) kompensiert. Dadurch werden Überbestimmtheiten, die
ansonsten bei beidseitigen Doppelführungen auftreten,
vermieden. Fertigungstechnisch ist deshalb lediglich wichtig,
daß die Parallelität der Nuten (18a-21a, 18b-21b) in den drei
Platten (8a, 7, 8b) zueinander sichergestellt ist. Bezüglich
der Abstände der Nuten (18a-21a, 18b-21b) sind dagegen keine
hochgenauen Anforderungen zu stellen, da eventuelle Fehler
durch die Drehung der Rundstäbe ausgeglichen werden. Die
passende Ausrichtung der abgeflachten Rundstäbe in ihren
Auflagen stellt sich beim Zusammenschrauben und Anziehen der
die beiden äußeren Platten (8a, 8b) verbindenden Schrauben von
allein ein.
Eine derartige Linearführung mit beidseitiger Doppelführung
zeichnet sich durch eine hohe Stabilität und Steifigkeit aus,
so daß kaum Kippmomente auftreten, die auf den Objekttisch
übertragen werden könnten. Gleichzeitig ist ein hohes Maß an
Leichtgängigkeit gewährleistet, da keine Überbestimmtheiten zu
Verklemmungen führen können. Deshalb kann auch die Bewegung des
Objekttisches (2) mit der hohen Präzision, die durch den
Bandantrieb gewährleistet ist, erfolgen.
Bei dem in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiel ist
der Bandantrieb nach dem Prinzip der losen Rolle aufgebaut.
Dieser Bandantrieb liefert ein Untersetzungsverhältnis von 1 : 2
zwischen der Bewegung des angetriebenen Teils (8b) und der
Umfangsbewegung der antreibenden Rolle (12). Alternativ ist es
auch möglich, andere flaschenzugähnliche Bandantriebe
einzusetzen. Beispielsweise könnte die Welle (17) drehbar
gelagert, das Band (15) über eine zweite Rolle am bewegten Teil
geführt und auf der Höhe der Welle (17) wieder am
Fokussiermodul befestigt sein. Ein solcher Flaschenzug liefert
dann ein Untersetzungsverhältnis von 1 : 4. In diesem Fall ist
das Ritzel (13) mit einem Durchmesser auszuführen, der einem
Viertel des Durchmessers der Antriebsrolle (12) entspricht.
Claims (10)
1. Antriebssystem für die Bewegung eines bewegten Geräteteils
(2, 8a) relativ zu einem ruhenden Geräteteil (1, 6, 7),
insbesondere für die Fokussierbewegung eines Mikroskops,
bei dem das bewegte Geräteteil (2, 8a) und das ruhende
Geräteteil über einen von einer Antriebsrolle (12)
angetriebenen Bandantrieb (15, 16) und über ein synchron
zum Bandantrieb (15, 16) angetriebenes System aus Ritzel
(13) und Zahnstange (14) miteinander gekoppelt sind.
2. Antriebssystem nach Anspruch 1, wobei das Ritzel (13) mit
Spiel in die Zahnung der Zahnstange (14) eingreift.
3. Antriebssystem nach Anspruch 1 oder 2, wobei die
Zahnstange (14) am bewegten Geräteteil (8b) angeordnet
ist.
4. Antriebssystem nach einem der Ansprüche 1-3, wobei der
Bandantrieb (15, 16) die Form eines Flaschenzuges aufweist
und wobei das Verhältnis der Durchmesser von Ritzel (13)
und angetriebener Rolle (12) dem Untersetzungsverhältnis
des Flaschenzuges (15, 16) entspricht.
5. Antriebssystem nach Anspruch 4, wobei das bewegte Teil
(8b) eine drehbare Rolle (16) nach dem Prinzip der losen
Rolle aufweist und wobei der Durchmesser des Ritzels (13)
halb so groß wie der Durchmesser der Antriebsrolle (12)
ist.
6 Antriebssystem nach Anspruch 4 oder 5, wobei das Band (15)
durch die Gewichtskraft des bewegten Teils (2, 8a, 8b)
und/oder durch eine Feder gespannt ist.
7. Antriebssystem nach einem der Ansprüche 1-6, wobei ein
Antriebsmotor vorgesehen ist und wobei der Antriebsmotor
und die angetriebene Rolle (12) über ein
Harmonic-Drive-Getriebe (10) gekoppelt sind.
8. Mikroskop mit einem Antriebssystem nach einem der
Ansprüche 1-7, wobei das bewegte Teil der Objekttisch (2)
des Mikroskops ist.
9. Mikroskop mit einem Antriebssystem nach einem der
Ansprüche 1-7, wobei das angetriebene Teil (2) mit einer
Linearführung (8a, 8b, 7) am ruhenden Geräteteil (6)
geführt ist und wobei ein Teil der Führungsflächen der
Linearführung durch Planflächen von abgeflachten
Rundstäben (18d, 18e, 19d, 20d, 21d, 21e), die in
Ausnehmungen (18b, 19b, 20b, 21b) der geführten Teile (8a,
8b) drehbar eingesetzt sind, gebildet wird.
10. Mikroskop nach Anspruch 9, wobei in zwei gegenüberliegende
rechteckförmige Nuten (18b, 21b) jeweils zwei abgeflachte
Rundstäbe (18d, 18e, 21d, 21e) und in zwei weitere
einander gegenüberliegende rechteckförmige Nuten (19b,
20b) jeweils ein einziger abgeflachter Rundstab (19d, 20d)
drehbar eingesetzt sind.
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