JPS6119207Y2 - - Google Patents
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- JPS6119207Y2 JPS6119207Y2 JP16484580U JP16484580U JPS6119207Y2 JP S6119207 Y2 JPS6119207 Y2 JP S6119207Y2 JP 16484580 U JP16484580 U JP 16484580U JP 16484580 U JP16484580 U JP 16484580U JP S6119207 Y2 JPS6119207 Y2 JP S6119207Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- port
- compressed air
- switching
- valve
- inlet port
- Prior art date
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- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
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- Fluid-Pressure Circuits (AREA)
- Braking Arrangements (AREA)
- Control Of Presses (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はプレス機械に有するクラツチ、ブレー
キの一方あるいは両方から成る単一被動体を２個
の切換弁で作動制御するプレス機械の安全制御装
置に関する。
キの一方あるいは両方から成る単一被動体を２個
の切換弁で作動制御するプレス機械の安全制御装
置に関する。
従来、この種プレス機械の安全制御装置は、第
１図に示す如く、圧縮空気を貯蔵する空気タンク
Ｔとプレス機械（図示せず）に有するクラツチＣ
とブレーキＢとから成る単一被動体Ａ間に、空気
タンクＴ側へ接続の入口ポート２Ａ，２Ｂ・単一
被動体Ａ側へ接続の出口ポート３Ａ，３Ｂ・大気
へ開放の排出ポート４Ａ，４Ｂ間をそれぞれ切換
制御する２個の切換弁５Ａ，５Ｂを並列配置して
設け、２個の切換弁５Ａ，５Ｂの不整合作動時に
プレス機械の誤作動を防止するようにしている。
１図に示す如く、圧縮空気を貯蔵する空気タンク
Ｔとプレス機械（図示せず）に有するクラツチＣ
とブレーキＢとから成る単一被動体Ａ間に、空気
タンクＴ側へ接続の入口ポート２Ａ，２Ｂ・単一
被動体Ａ側へ接続の出口ポート３Ａ，３Ｂ・大気
へ開放の排出ポート４Ａ，４Ｂ間をそれぞれ切換
制御する２個の切換弁５Ａ，５Ｂを並列配置して
設け、２個の切換弁５Ａ，５Ｂの不整合作動時に
プレス機械の誤作動を防止するようにしている。
ところが、単一被動体Ａから圧縮空気を排出せ
しめてプレス機械を停止するとき、２個の切換弁
５Ａ，５Ｂが不整合作動し、例えば切換弁５Ａが
図示上方の切換位置で切換弁５Ｂが下方の切換位
置になると、空気タンク１内の圧縮空気が供給通
路Ｌから入口ポート２Ａ出口ポート３Ａへ供給さ
れると共に、出口ポート３Ｂから排出ポート４Ｂ
へ排出されるため、単一被動体Ａ側に残存圧が残
り単一被動体Ａの作動が不確実になり易く、また
圧縮空気の排出所要時間が長く応答性を悪くし、
高速作動のプレス機械には使用できない等の欠点
があつた。
しめてプレス機械を停止するとき、２個の切換弁
５Ａ，５Ｂが不整合作動し、例えば切換弁５Ａが
図示上方の切換位置で切換弁５Ｂが下方の切換位
置になると、空気タンク１内の圧縮空気が供給通
路Ｌから入口ポート２Ａ出口ポート３Ａへ供給さ
れると共に、出口ポート３Ｂから排出ポート４Ｂ
へ排出されるため、単一被動体Ａ側に残存圧が残
り単一被動体Ａの作動が不確実になり易く、また
圧縮空気の排出所要時間が長く応答性を悪くし、
高速作動のプレス機械には使用できない等の欠点
があつた。
本考案は、かかる欠点を解消するもので、単一
被動体から圧縮空気を排出する作動時に２個の切
換弁が不整合作動したとき、入口ポートから出口
ポート・排出ポートへの圧縮空気の流れをなくし
て単一被動体からの圧縮空気の排出を迅速にする
ようにしたプレス機械の安全制御装置を提供する
ことを目的とする。
被動体から圧縮空気を排出する作動時に２個の切
換弁が不整合作動したとき、入口ポートから出口
ポート・排出ポートへの圧縮空気の流れをなくし
て単一被動体からの圧縮空気の排出を迅速にする
ようにしたプレス機械の安全制御装置を提供する
ことを目的とする。
このため本考案は、入口ポート・出口ポート・
排出ポート間をそれぞれ切換制御する２個の切換
弁を並列配置して同時操作するよう設け、各切換
弁の出口ポートをプレス機械に有するクラツチ、
ブレーキの一方あるいは両方から成る単一被動体
へ接続し、切換弁の入口ポートを圧縮空気の供給
通路へ接続し、供給通路に各切換弁への圧縮空気
の供給を制御する制御弁を各切換弁へ近接配置し
て設け、制御弁は各切換弁が排出ポートを遮断し
入口ポートと出口ポート間に連通する作動時に供
給通路から入口ポートへ圧縮空気を供給制御する
と共に、各切換弁が入口ポートを遮断し出口ポー
トと排出ポート間を連通する作動時に供給通路か
ら入口ポートへ圧縮空気を供給制御しないよう各
切換弁と同時に作動操作自在に設けて成し、単一
被動体から圧縮空気を排出する作動時に制御弁に
より各切換弁の入口ポートへ圧縮空気を供給しな
いようにしているため、各切換弁が不整合作動し
ても入口ポートから出口ポート・排出ポートへの
圧縮空気の流れがなく、単一被動体からの圧縮空
気の排出を迅速にできるようにしている。
排出ポート間をそれぞれ切換制御する２個の切換
弁を並列配置して同時操作するよう設け、各切換
弁の出口ポートをプレス機械に有するクラツチ、
ブレーキの一方あるいは両方から成る単一被動体
へ接続し、切換弁の入口ポートを圧縮空気の供給
通路へ接続し、供給通路に各切換弁への圧縮空気
の供給を制御する制御弁を各切換弁へ近接配置し
て設け、制御弁は各切換弁が排出ポートを遮断し
入口ポートと出口ポート間に連通する作動時に供
給通路から入口ポートへ圧縮空気を供給制御する
と共に、各切換弁が入口ポートを遮断し出口ポー
トと排出ポート間を連通する作動時に供給通路か
ら入口ポートへ圧縮空気を供給制御しないよう各
切換弁と同時に作動操作自在に設けて成し、単一
被動体から圧縮空気を排出する作動時に制御弁に
より各切換弁の入口ポートへ圧縮空気を供給しな
いようにしているため、各切換弁が不整合作動し
ても入口ポートから出口ポート・排出ポートへの
圧縮空気の流れがなく、単一被動体からの圧縮空
気の排出を迅速にできるようにしている。
以下、本考案の一実施例を図面に基づいて説明
する。１は２個の切換弁５Ａ，５Ｂを並列配置し
て一体的に組み込んだ弁本体で、各切換弁５Ａ，
５Ｂの入口ポート２Ａ，２Ｂ出口ポート３Ａ，３
Ｂ排出ポート４Ａ，４Ｂを通路２Ｃ，３Ｃ，４Ｃ
によりそれぞれ連通して共通するよう設けてい
る。各切換弁５Ａ，５Ｂは電磁パイロツト操作に
より入口ポート２Ａ，２Ｂ、出口ポート３Ａ，３
Ｂ・排出ポート４Ａ，４Ｂ間をそれぞれ切換制御
するよう設け、入口ポート２Ａ，２Ｂを供給通路
Ｌを介して空気タンクＴ側へ接続し、出口ポート
３Ａ，３Ｂを単一被動体Ａ側へ接続し、排出ポー
ト４Ａ，４Ｂを大気に開放している。６は入口ポ
ート７出口ポート８排出ポート９間を切換制御す
る電磁パイロツト操作の制御弁で、各切換弁５
Ａ，５Ｂと同時に作動操作自在に設け、供給通路
Ｌに各切換弁５Ａ，５Ｂへ近接配置して、入口ポ
ート２Ａ，２Ｂへの圧縮空気の供給を制御するよ
うにしている。空気タンクＴには圧縮空気源Ｐよ
り止め弁Ｓリリーフ弁減圧弁Ｇ逆止め弁Ｋを介し
て所定圧の圧縮空気が供給貯蔵するようになつて
いる。
する。１は２個の切換弁５Ａ，５Ｂを並列配置し
て一体的に組み込んだ弁本体で、各切換弁５Ａ，
５Ｂの入口ポート２Ａ，２Ｂ出口ポート３Ａ，３
Ｂ排出ポート４Ａ，４Ｂを通路２Ｃ，３Ｃ，４Ｃ
によりそれぞれ連通して共通するよう設けてい
る。各切換弁５Ａ，５Ｂは電磁パイロツト操作に
より入口ポート２Ａ，２Ｂ、出口ポート３Ａ，３
Ｂ・排出ポート４Ａ，４Ｂ間をそれぞれ切換制御
するよう設け、入口ポート２Ａ，２Ｂを供給通路
Ｌを介して空気タンクＴ側へ接続し、出口ポート
３Ａ，３Ｂを単一被動体Ａ側へ接続し、排出ポー
ト４Ａ，４Ｂを大気に開放している。６は入口ポ
ート７出口ポート８排出ポート９間を切換制御す
る電磁パイロツト操作の制御弁で、各切換弁５
Ａ，５Ｂと同時に作動操作自在に設け、供給通路
Ｌに各切換弁５Ａ，５Ｂへ近接配置して、入口ポ
ート２Ａ，２Ｂへの圧縮空気の供給を制御するよ
うにしている。空気タンクＴには圧縮空気源Ｐよ
り止め弁Ｓリリーフ弁減圧弁Ｇ逆止め弁Ｋを介し
て所定圧の圧縮空気が供給貯蔵するようになつて
いる。
次にかかる構成の作動を説明すると、第２図の
図示状態から２個の切換弁５Ａ，５Ｂと制御弁６
を同時に電磁パイロツト操作すると、空気タンク
１の圧縮空気は制御弁６の入口ポート７入出口ポ
ート８を介して弁本体１の通路２Ｃへ流れさらに
各切換弁５Ａ，５Ｂの入口ポート２Ａ，２Ｂ出口
ポート３Ａ，３Ｂを介して通路３Ｃから単一被動
体Ａへ供給され、プレス機械は駆動する。
図示状態から２個の切換弁５Ａ，５Ｂと制御弁６
を同時に電磁パイロツト操作すると、空気タンク
１の圧縮空気は制御弁６の入口ポート７入出口ポ
ート８を介して弁本体１の通路２Ｃへ流れさらに
各切換弁５Ａ，５Ｂの入口ポート２Ａ，２Ｂ出口
ポート３Ａ，３Ｂを介して通路３Ｃから単一被動
体Ａへ供給され、プレス機械は駆動する。
この状態より各電磁パイロツト操作を解除して
２個の切換弁５Ａ，５Ｂと制御弁６を図示状態に
復帰すると、各切換弁５Ａ，５Ｂ制御弁６は出口
ポート３Ａ，３Ｂ，８と排出ポート４Ａ，４Ｂ，
９間を連通し入口ポート２Ａ，２Ｂ，７を遮断し
て単一被動体Ａからの圧縮空気は大気へ迅速に排
出され、プレス機械は停止する。この単一被動体
Ａからの圧縮空気を大気へ排出する作動時、２個
の切換弁５Ａ，５Ｂの一方、例えば切換弁５Ａが
故障して入口ポート２Ａと出口ポート３Ａ間を連
通し排出ポート４Ａを遮断する切換位置で不整合
作動すると、制御弁６により各切換弁５Ａ，５Ｂ
の入口ポート２Ａ，２Ｂへの圧縮空気が供給が断
たれ、単一被動体Ａからの圧縮空気は切換弁５Ｂ
の出口ポート３Ｂ排出ポート４Ｂを介し、また切
換弁５Ａの出口ポート３Ａ入口ポート２Ａを介し
制御弁６の出口ポート８排出ポート９を経て短時
間に大気へ排出する。そして、プレス機械は確実
に急速停止する。
２個の切換弁５Ａ，５Ｂと制御弁６を図示状態に
復帰すると、各切換弁５Ａ，５Ｂ制御弁６は出口
ポート３Ａ，３Ｂ，８と排出ポート４Ａ，４Ｂ，
９間を連通し入口ポート２Ａ，２Ｂ，７を遮断し
て単一被動体Ａからの圧縮空気は大気へ迅速に排
出され、プレス機械は停止する。この単一被動体
Ａからの圧縮空気を大気へ排出する作動時、２個
の切換弁５Ａ，５Ｂの一方、例えば切換弁５Ａが
故障して入口ポート２Ａと出口ポート３Ａ間を連
通し排出ポート４Ａを遮断する切換位置で不整合
作動すると、制御弁６により各切換弁５Ａ，５Ｂ
の入口ポート２Ａ，２Ｂへの圧縮空気が供給が断
たれ、単一被動体Ａからの圧縮空気は切換弁５Ｂ
の出口ポート３Ｂ排出ポート４Ｂを介し、また切
換弁５Ａの出口ポート３Ａ入口ポート２Ａを介し
制御弁６の出口ポート８排出ポート９を経て短時
間に大気へ排出する。そして、プレス機械は確実
に急速停止する。
第３図は、弁本体１に２個の切換弁５Ａ，５Ｂ
と制御弁６を一体的に組み込んだ具体的な実施例
を示し、第２図と同一構成部分は同一符号を付し
て説明する。各切換弁５Ａ，５Ｂの排出ポート４
Ａ，４Ｂを連通する通路４Ｃと制御弁６の排出ポ
ート９とを通路１０で連通しており、各切換弁５
Ａ，５Ｂと制御弁６はノーマル位置でばね１１
Ａ，１１Ｂ，１１Ｃにより弁体１２Ａ，１２Ｂ，
１２Ｃ，１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃが上昇されて出
口ポート３Ａ，３Ｂ，８と排出ポート４Ａ，４
Ｂ，９間を連通し入口ポート２Ａ，２Ｂ，７を遮
断するようにしている。１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃ
は各切換弁５Ａ，５Ｂ・制御弁６を電磁パイロツ
ト操作するためのパイロツト電磁弁で、電磁石コ
イル１８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃへの通電により可動
鉄心１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃがばね１５Ａ，１５
Ｂ，１５Ｃに抗して吸引上昇され、弁体１２Ａ，
１２Ｂ，１２Ｃの背部に形成した作用室１７Ａ，
１７Ｂ，１７Ｃへ供給通路Ｌからの圧縮空気を供
給することで各切換弁５Ａ，５Ｂ・制御弁６が排
出ポート４Ａ，４Ｂ，９を遮断し入口ポート２
Ａ，２Ｂ，７と出口ポート３Ａ，３Ｂ，８間を連
通作動し、電磁石コイル１８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃ
の非通電により可動鉄心１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ
がばね１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃにより下降され、
作用室１７Ａ，１７Ｂ，１７Ｃの圧縮空気を大気
へ排出することで各切換弁５Ａ，５Ｂ・制御弁６
が入口ポート２Ａ，２Ｂ，７を遮断し出口ポート
３Ａ，３Ｂ，８と排出ポート４Ａ，４Ｂ，９間を
連通作動するようにしている。
と制御弁６を一体的に組み込んだ具体的な実施例
を示し、第２図と同一構成部分は同一符号を付し
て説明する。各切換弁５Ａ，５Ｂの排出ポート４
Ａ，４Ｂを連通する通路４Ｃと制御弁６の排出ポ
ート９とを通路１０で連通しており、各切換弁５
Ａ，５Ｂと制御弁６はノーマル位置でばね１１
Ａ，１１Ｂ，１１Ｃにより弁体１２Ａ，１２Ｂ，
１２Ｃ，１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃが上昇されて出
口ポート３Ａ，３Ｂ，８と排出ポート４Ａ，４
Ｂ，９間を連通し入口ポート２Ａ，２Ｂ，７を遮
断するようにしている。１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃ
は各切換弁５Ａ，５Ｂ・制御弁６を電磁パイロツ
ト操作するためのパイロツト電磁弁で、電磁石コ
イル１８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃへの通電により可動
鉄心１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃがばね１５Ａ，１５
Ｂ，１５Ｃに抗して吸引上昇され、弁体１２Ａ，
１２Ｂ，１２Ｃの背部に形成した作用室１７Ａ，
１７Ｂ，１７Ｃへ供給通路Ｌからの圧縮空気を供
給することで各切換弁５Ａ，５Ｂ・制御弁６が排
出ポート４Ａ，４Ｂ，９を遮断し入口ポート２
Ａ，２Ｂ，７と出口ポート３Ａ，３Ｂ，８間を連
通作動し、電磁石コイル１８Ａ，１８Ｂ，１８Ｃ
の非通電により可動鉄心１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ
がばね１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃにより下降され、
作用室１７Ａ，１７Ｂ，１７Ｃの圧縮空気を大気
へ排出することで各切換弁５Ａ，５Ｂ・制御弁６
が入口ポート２Ａ，２Ｂ，７を遮断し出口ポート
３Ａ，３Ｂ，８と排出ポート４Ａ，４Ｂ，９間を
連通作動するようにしている。
なお、各切換弁５Ａ，５Ｂと制御弁６はともに
直動形の電磁弁としても良く、制御弁６は供給通
路Ｌを連通遮断する構成の電磁弁としても良い。
また、単一被動体ＡはクラツチＣまたはブレーキ
Ｂの一方から成るものでも良いことは勿論であ
る。
直動形の電磁弁としても良く、制御弁６は供給通
路Ｌを連通遮断する構成の電磁弁としても良い。
また、単一被動体ＡはクラツチＣまたはブレーキ
Ｂの一方から成るものでも良いことは勿論であ
る。
このように本考案は、入口ポート、出口ポー
ト、排出ポート間をそれぞれ切換制御する２個の
切換弁を並列配置して同時操作するよう設け、各
切換弁の出口ポートをプレス機械に有するクラツ
チブレーキの一方あるいは両方から成る単一被動
体へ接続し、切換弁の入口ポートを圧縮空気の供
給通路へ接続し、供給通路に各切換弁への圧縮空
気の供給を制御する制御弁を各切換弁へ近接配置
して設け、制御弁は各切換弁が排出ポートを遮断
し、入口ポートと出口ポート間に連通する作動時
に供給通路から入口ポートへ圧縮空気を供給制御
すると共に、各切換弁が入口ポートを遮断し出口
ポート排出ポート間を連通する作動時に供給通路
から入口ポートへ圧縮空気を供給制御しないよう
に各切換弁と同時に作動操作自在に設けたことに
より、単一被動体から圧縮空気を排出する作動時
に２個の切換弁が不整合作動したとき、単一被動
体からの圧縮空気の排出を迅速にでき、プレス機
械の良好な急速停止ができる。
ト、排出ポート間をそれぞれ切換制御する２個の
切換弁を並列配置して同時操作するよう設け、各
切換弁の出口ポートをプレス機械に有するクラツ
チブレーキの一方あるいは両方から成る単一被動
体へ接続し、切換弁の入口ポートを圧縮空気の供
給通路へ接続し、供給通路に各切換弁への圧縮空
気の供給を制御する制御弁を各切換弁へ近接配置
して設け、制御弁は各切換弁が排出ポートを遮断
し、入口ポートと出口ポート間に連通する作動時
に供給通路から入口ポートへ圧縮空気を供給制御
すると共に、各切換弁が入口ポートを遮断し出口
ポート排出ポート間を連通する作動時に供給通路
から入口ポートへ圧縮空気を供給制御しないよう
に各切換弁と同時に作動操作自在に設けたことに
より、単一被動体から圧縮空気を排出する作動時
に２個の切換弁が不整合作動したとき、単一被動
体からの圧縮空気の排出を迅速にでき、プレス機
械の良好な急速停止ができる。
また、圧縮空気の排出所要時間が短かくなり応
答性の向上が図れて高速作動のプレス機械に良好
に使用できる。しかも、不整合作動時に制御弁に
より入口ポートへの圧縮空気の供給を断つている
ので圧縮空気の浪費を防止することができる等の
特長を有する。
答性の向上が図れて高速作動のプレス機械に良好
に使用できる。しかも、不整合作動時に制御弁に
より入口ポートへの圧縮空気の供給を断つている
ので圧縮空気の浪費を防止することができる等の
特長を有する。
第１図はプレス機械の安全制御装置を示す従来
回路図、第２図はプレス機械の安全制御装置を示
す本考案の一実施例回路図、第３図は切換弁と制
御弁を一体的に組み込んだ実施例の縦断面図であ
る。 ２Ａ，２Ｂ，７……入口ポート、３Ａ，３Ｂ，
８……出口ポート、４Ａ，４Ｂ，９……排出ポー
ト、５Ａ，５Ｂ……切換弁、６……制御弁、Ａ…
…単一被動体、Ｂ……ブレーキ、Ｃ……クラツ
チ、Ｌ……供給通路。
回路図、第２図はプレス機械の安全制御装置を示
す本考案の一実施例回路図、第３図は切換弁と制
御弁を一体的に組み込んだ実施例の縦断面図であ
る。 ２Ａ，２Ｂ，７……入口ポート、３Ａ，３Ｂ，
８……出口ポート、４Ａ，４Ｂ，９……排出ポー
ト、５Ａ，５Ｂ……切換弁、６……制御弁、Ａ…
…単一被動体、Ｂ……ブレーキ、Ｃ……クラツ
チ、Ｌ……供給通路。
Claims (1)
- 入口ポート、出口ポート、排出ポート間をそれ
ぞれ切換制御する２個の切換弁を並列配置して同
時操作するよう設け、各切換弁の出口ポートをプ
レス機械に有するクラツチ、ブレーキの一方ある
いは両方から成る単一被動体へ接続し、切換弁の
入口ポートを圧縮空気の供給通路へ接続し、供給
通路に各切換弁への圧縮空気の供給を制御する制
御弁を各切換弁へ近接配置して設け、制御弁は各
切換弁が排出ポートを遮断し入口ポートと出口ポ
ート間に連通する作動時に供給通路から入口ポー
トへ圧縮空気を供給制御すると共に、各切換弁が
入口ポートを遮断し出口ポートと排出ポート間を
連通する作動時に供給通路から入口ポートへ圧縮
空気を供給制御しないように各切換弁と同時に作
動操作自在に設けたプレス機械の安全制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16484580U JPS6119207Y2 (ja) | 1980-11-18 | 1980-11-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16484580U JPS6119207Y2 (ja) | 1980-11-18 | 1980-11-18 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5786100U JPS5786100U (ja) | 1982-05-27 |
| JPS6119207Y2 true JPS6119207Y2 (ja) | 1986-06-10 |
Family
ID=29523560
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16484580U Expired JPS6119207Y2 (ja) | 1980-11-18 | 1980-11-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6119207Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013065530A1 (ja) * | 2011-11-02 | 2013-05-10 | Smc株式会社 | 流量制御装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101659131B (zh) * | 2009-09-18 | 2011-11-30 | 无锡市拓发自控设备有限公司 | 断电保护式压力机用安全控制双联阀 |
-
1980
- 1980-11-18 JP JP16484580U patent/JPS6119207Y2/ja not_active Expired
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013065530A1 (ja) * | 2011-11-02 | 2013-05-10 | Smc株式会社 | 流量制御装置 |
| CN103917787A (zh) * | 2011-11-02 | 2014-07-09 | Smc株式会社 | 流量控制设备 |
| JPWO2013065530A1 (ja) * | 2011-11-02 | 2015-04-02 | Smc株式会社 | 流量制御装置 |
| CN103917787B (zh) * | 2011-11-02 | 2017-05-24 | Smc株式会社 | 流量控制设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5786100U (ja) | 1982-05-27 |
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