JPS6338703A - 電空比例弁 - Google Patents
電空比例弁Info
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- JPS6338703A JPS6338703A JP17961386A JP17961386A JPS6338703A JP S6338703 A JPS6338703 A JP S6338703A JP 17961386 A JP17961386 A JP 17961386A JP 17961386 A JP17961386 A JP 17961386A JP S6338703 A JPS6338703 A JP S6338703A
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 abstract description 34
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
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- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
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- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
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Landscapes
- Servomotors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、ストローク終端において一定の作用力を保持
する必要があるアクチュエータの駆動のための電空比例
弁に関するものである。
する必要があるアクチュエータの駆動のための電空比例
弁に関するものである。
[従来の技術]
例えば、スポット溶接においては、通電中の電極を一定
の作用力で押圧するために、上記電極を駆動するアクチ
ュエータには、ストローク終端において一定の作用力を
保持することが要求される。
の作用力で押圧するために、上記電極を駆動するアクチ
ュエータには、ストローク終端において一定の作用力を
保持することが要求される。
従来、この種アクチュエータの駆動回路を構成するには
1通常、S10図に示すように、流体圧シリング−の駆
動側圧力室2と復帰側圧力室3に選択的に空気W4の高
圧空気を給排する5ポート電磁弁5と、該゛逝磁弁5の
出力ポートの一方と駆動側圧力室2間の流路に配設され
る電空比例弁eとが使用される。該電空比例弁6は、ソ
レノイドへの通電量に比例する流体圧を出力するもので
ある。
1通常、S10図に示すように、流体圧シリング−の駆
動側圧力室2と復帰側圧力室3に選択的に空気W4の高
圧空気を給排する5ポート電磁弁5と、該゛逝磁弁5の
出力ポートの一方と駆動側圧力室2間の流路に配設され
る電空比例弁eとが使用される。該電空比例弁6は、ソ
レノイドへの通電量に比例する流体圧を出力するもので
ある。
上記流体圧シリンダーは、図示の状態において゛厄磁弁
5及び電空比例弁6に通電すると、5ポート厄磁弁5の
流路が切換わって、高圧空気源4の高圧空気が電空比例
弁6を通って駆動側圧力室2に供給されるとともに、復
帰側圧力室3の流体が排出され、この場合に、駆動側圧
力室2に供給される流体圧力は、′電空比例弁6への通
’;を量に比例する流体圧によって制御されるので、流
体圧シリンダーのピストンは、駆動ストローク終端にお
いてへの通′厄量に比例した所定の作用力を保持してい
る。
5及び電空比例弁6に通電すると、5ポート厄磁弁5の
流路が切換わって、高圧空気源4の高圧空気が電空比例
弁6を通って駆動側圧力室2に供給されるとともに、復
帰側圧力室3の流体が排出され、この場合に、駆動側圧
力室2に供給される流体圧力は、′電空比例弁6への通
’;を量に比例する流体圧によって制御されるので、流
体圧シリンダーのピストンは、駆動ストローク終端にお
いてへの通′厄量に比例した所定の作用力を保持してい
る。
弁5.6への通電を断つと、それらが図示の状態に切換
わるので、空気源4の高圧空気が復帰側圧力室3に供給
されるとともに駆動側圧力室2の流体が排出され、流体
圧シリンダーは図示の状態に復帰する。
わるので、空気源4の高圧空気が復帰側圧力室3に供給
されるとともに駆動側圧力室2の流体が排出され、流体
圧シリンダーは図示の状態に復帰する。
しかしながら、上記アクチュエータの駆動回路では、2
f!のソレノイドを必要とするばかりでなく、2個のソ
レノイドの性質力!相違するために、それらの通電系統
が異なり、そのため全体として比較的高価なものとなり
、また上記のように通゛厄系統が異なるため、作業中に
いずれの通電系統に故障があってもアクチュエータが誤
動作しないようにする配慮が必要になる。また、上記の
ように複数の弁を直列的に接続することは2圧力流体に
灯 Wして大きな抵抗を与えることになり、好ましいことで
はない。
f!のソレノイドを必要とするばかりでなく、2個のソ
レノイドの性質力!相違するために、それらの通電系統
が異なり、そのため全体として比較的高価なものとなり
、また上記のように通゛厄系統が異なるため、作業中に
いずれの通電系統に故障があってもアクチュエータが誤
動作しないようにする配慮が必要になる。また、上記の
ように複数の弁を直列的に接続することは2圧力流体に
灯 Wして大きな抵抗を与えることになり、好ましいことで
はない。
[発明が解決しようとする問題点]
本発明は、ストローク終端で一定の作用力を、保持する
ことが必要なアクチュエータを、学−の弁によって駆動
可能にすることを、解決しようとする問題点とするもの
である。
ことが必要なアクチュエータを、学−の弁によって駆動
可能にすることを、解決しようとする問題点とするもの
である。
[問題点を解決するだめの手段]
オ発明は、供給ポート、第1及び第2の出力ポート、並
びに第1及び纂2の排出ポートを有する弁本体内に、各
ポート間の流路を切換える弁部材を設けた弁部と、該弁
部材の一端に駆動力を作用させる駆動部と、該弁部材の
他端に復帰力を作用させる復帰ばねを備えた弁において
、上記弁部を、中立位置を境にした弁部材の駆動側及び
復帰側への変位によって、供給ポートと出力ポートの一
方、及び排出ポートと出力ポートの他方がそれぞれ連通
ずる5ポート弁として構成し、上記弁本体に、弁部材に
復帰ばねの作用方向にフィードバ−5り圧力を作用させ
るフィードパー・り室及び該フィードバ:・り室と第1
出力ポートを連通さゼるフィードバー・り通路を設げ、
上記駆動部を、可動鉄心に作用する吸引力がソレノイド
への通電量に比例する比例ソレノイドによって構成し、
それによって上記問題点を解決したものである。
びに第1及び纂2の排出ポートを有する弁本体内に、各
ポート間の流路を切換える弁部材を設けた弁部と、該弁
部材の一端に駆動力を作用させる駆動部と、該弁部材の
他端に復帰力を作用させる復帰ばねを備えた弁において
、上記弁部を、中立位置を境にした弁部材の駆動側及び
復帰側への変位によって、供給ポートと出力ポートの一
方、及び排出ポートと出力ポートの他方がそれぞれ連通
ずる5ポート弁として構成し、上記弁本体に、弁部材に
復帰ばねの作用方向にフィードバ−5り圧力を作用させ
るフィードパー・り室及び該フィードバ:・り室と第1
出力ポートを連通さゼるフィードバー・り通路を設げ、
上記駆動部を、可動鉄心に作用する吸引力がソレノイド
への通電量に比例する比例ソレノイドによって構成し、
それによって上記問題点を解決したものである。
[作 用]
比例ソレノイドに非道゛毛のときは、弁部材が復帰ばね
の付勢力によって移動し、供給ポートと感2出力イート
間の流路及び第1出力ポートと第1排出ポート間の流路
が連通している。
の付勢力によって移動し、供給ポートと感2出力イート
間の流路及び第1出力ポートと第1排出ポート間の流路
が連通している。
この状態において、比例ソレノイドに通電すると、駆動
部からソレノイドへの通゛厄量に比例する駆動力が出力
されて、弁部材が復帰ばねの付勢力に抗して変位し、ポ
ート間の連通が切換わって。
部からソレノイドへの通゛厄量に比例する駆動力が出力
されて、弁部材が復帰ばねの付勢力に抗して変位し、ポ
ート間の連通が切換わって。
纂2出力ポートと第2排出ポート間の流路及び供給ポー
トと慾1出力ポート間の流路が連通するので、供給4−
ト27sらの圧力流体が、第1出、カポートに流出す
るとともに、フィードバー・り通路を通ってフィードバ
ー・り室に流入する。
トと慾1出力ポート間の流路が連通するので、供給4−
ト27sらの圧力流体が、第1出、カポートに流出す
るとともに、フィードバー・り通路を通ってフィードバ
ー・り室に流入する。
第1出カポ−Iの流体圧の上昇に伴ってフイ−ドパー・
グーの流体圧が上昇し、フィードパ97.り室の流体圧
の作用力と復帰ばねの付勢力との和が、上記比例ソレノ
イドの駆動力に等しくなると、弁部材が中立位云に移動
するので、第1出力ポートの流体圧は、ソレノイドへの
通電量によって定まる所定の圧力に保持される。
グーの流体圧が上昇し、フィードパ97.り室の流体圧
の作用力と復帰ばねの付勢力との和が、上記比例ソレノ
イドの駆動力に等しくなると、弁部材が中立位云に移動
するので、第1出力ポートの流体圧は、ソレノイドへの
通電量によって定まる所定の圧力に保持される。
比例ソレノイドへの通電を断つと、弁部材が復帰ばねの
付勢力によって復帰し、供給ポートからの圧力流体が第
2出力ポートに流出するとともにS1出力ポートが第1
排出ポートに連通ずるので、弁部材は元の状態に復帰し
、フィードパ1.り室の流体は第1排出デートから排出
される。
付勢力によって復帰し、供給ポートからの圧力流体が第
2出力ポートに流出するとともにS1出力ポートが第1
排出ポートに連通ずるので、弁部材は元の状態に復帰し
、フィードパ1.り室の流体は第1排出デートから排出
される。
したがって、−単一のンレフイド作動の弁によって、ス
トローク終端で一定の作用力を保持することが必要なア
クチュエータを駆動することができる。
トローク終端で一定の作用力を保持することが必要なア
クチュエータを駆動することができる。
〔臭り例]
第1図ないし第5図は本発明の第1実施例を示し、こり
毛空比例弁は、弁面目、駆動部12及びベース13で構
成さnている。
毛空比例弁は、弁面目、駆動部12及びベース13で構
成さnている。
弁部11における弁本体15は、圧力流体の供給ポート
18.アクチュエータ1の圧力室2.3(第2図参照)
に接続されるF%1及び第2の出力ポート17a 、
+7b並びに第1及び第2の排出ポート18a。
18.アクチュエータ1の圧力室2.3(第2図参照)
に接続されるF%1及び第2の出力ポート17a 、
+7b並びに第1及び第2の排出ポート18a。
18bを備え、弁本体15には上記各ポートに各別に連
通する開口を開設したスリーブlθを内設し、該スリー
ブヱ9内に、供給ポート18と出力ポート17a。
通する開口を開設したスリーブlθを内設し、該スリー
ブヱ9内に、供給ポート18と出力ポート17a。
17上間の波路と、出力ポート17a 、 17bと排
出ポー) 18a、18b間の波路とを切換える七ンタ
切替のスプール20が摺動自在に嵌挿されている。
出ポー) 18a、18b間の波路とを切換える七ンタ
切替のスプール20が摺動自在に嵌挿されている。
上記弁本体15内のスリーブ19の両端には、ストッパ
21とばね座22が嵌挿され、弁本体゛15のばね座側
端部はカバー23によって閉鎖され、スプール20は、
ばね座22内に縮設された復帰ばね25の付勢力によっ
て、ストッパ21側に押圧されている。
21とばね座22が嵌挿され、弁本体゛15のばね座側
端部はカバー23によって閉鎖され、スプール20は、
ばね座22内に縮設された復帰ばね25の付勢力によっ
て、ストッパ21側に押圧されている。
一方、駆動部工2は、ス) 2=パ21のFt連通孔通
つて延長しているスプール20の軸杆を押圧するための
棒杆27を、コイルへの通電により固定鉄心2.9に吸
引される可動鉄心30に連結し、これらによって構成さ
れるソレノイドは、両鉄心29.30間の吸引力がコイ
ルへの通電量にほぼ比例する比例ソレノイド28として
構成している。
つて延長しているスプール20の軸杆を押圧するための
棒杆27を、コイルへの通電により固定鉄心2.9に吸
引される可動鉄心30に連結し、これらによって構成さ
れるソレノイドは、両鉄心29.30間の吸引力がコイ
ルへの通電量にほぼ比例する比例ソレノイド28として
構成している。
上記ベース13は、供給口P、アクチュエータ1の駆動
室2.3に接続される2つの出力口A、B及び2つの排
出口Ea、Eb並びにこれらの各日に各別に連通ずる通
路(図示省略)を有し、これらの通路は、ベース13上
に弁部11を載置固定したときに、弁部11における各
ポート1B 、 L7a 、 17b 、 18a 、
18bに各別に連通ずるように開設されており、出力
口Aに連通する通路は、ベース13及び弁本体15に開
設されたフィードバック通路33によってばね座22と
スプール20の間に形成したフィードパi・り室24に
連通させている。
室2.3に接続される2つの出力口A、B及び2つの排
出口Ea、Eb並びにこれらの各日に各別に連通ずる通
路(図示省略)を有し、これらの通路は、ベース13上
に弁部11を載置固定したときに、弁部11における各
ポート1B 、 L7a 、 17b 、 18a 、
18bに各別に連通ずるように開設されており、出力
口Aに連通する通路は、ベース13及び弁本体15に開
設されたフィードバック通路33によってばね座22と
スプール20の間に形成したフィードパi・り室24に
連通させている。
第1r3中、符号34ば弁本体15及びス? =−バ2
1に開設された呼吸路、35ばコイルに給逝するソ7−
・トである。
1に開設された呼吸路、35ばコイルに給逝するソ7−
・トである。
次に、83図ないし第5図を参照して2上記第1芙施例
の作用を説明する。
の作用を説明する。
第1図は比例ソレノイド28が非通毛の状態を示し、ス
プール20は復帰ばね25の付勢力fkにより移動して
、第2排出ポート18t+が閉鎖し、供給ポート16と
第2出力ポート17b間の流路、及び第1出カポ−)+
7aと?f%1排出イー) 18a間の流路が連通し、
フィードバフ・り室24は第1出力ポート17aを通し
て第1排出ポート18aに連通している。
プール20は復帰ばね25の付勢力fkにより移動して
、第2排出ポート18t+が閉鎖し、供給ポート16と
第2出力ポート17b間の流路、及び第1出カポ−)+
7aと?f%1排出イー) 18a間の流路が連通し、
フィードバフ・り室24は第1出力ポート17aを通し
て第1排出ポート18aに連通している。
比例ソレノイド28のコイルに一定の通゛厄量で通゛蔵
すると、固定鉄心29と可vJ鉄心30間に、コイルへ
の通電量に比例した吸引力Fが作用し、過渡的に吸引力
Fが復帰ばね25の付勢力fkよりも大きくなると、棒
杆27によってスプール20が押圧されて、第1排出ボ
ー) 18aが閉鎖し、供給ポート16と第1出カポ−
) 17a間のR路、及びW%2出力ポート17’oと
第2排出ボー’118ir間の流路が連通する。
すると、固定鉄心29と可vJ鉄心30間に、コイルへ
の通電量に比例した吸引力Fが作用し、過渡的に吸引力
Fが復帰ばね25の付勢力fkよりも大きくなると、棒
杆27によってスプール20が押圧されて、第1排出ボ
ー) 18aが閉鎖し、供給ポート16と第1出カポ−
) 17a間のR路、及びW%2出力ポート17’oと
第2排出ボー’118ir間の流路が連通する。
したがって、供給ポートの圧力流体が勇l出力ホ:17
aに流出するとともに、フィードバフ・り2iT回路3
3を通ってフィードバフ・り室24に流入する(第3図
参照)。
aに流出するとともに、フィードバフ・り2iT回路3
3を通ってフィードバフ・り室24に流入する(第3図
参照)。
圧力流体の流入によってフィードバック室24の流体圧
が上昇し、この流体圧の作用力faと復帰ばねの付勢力
fkの和が過渡的に吸引力Fより犬き(なると、スプー
ル20が変位して第1出力ポート17aと第1排出ポー
ト18a間の流路が連通ずるので、第1出カポ−)17
aの流体が第1排出ポート18aに流出するとともに、
フィードバック室24の作用力faが低下する(第4図
参照)。
が上昇し、この流体圧の作用力faと復帰ばねの付勢力
fkの和が過渡的に吸引力Fより犬き(なると、スプー
ル20が変位して第1出力ポート17aと第1排出ポー
ト18a間の流路が連通ずるので、第1出カポ−)17
aの流体が第1排出ポート18aに流出するとともに、
フィードバック室24の作用力faが低下する(第4図
参照)。
このようにして、駆動部2の吸引力Fとフィードパ7.
り室24の復帰力fa+ fkが等しくなると、スプー
11/20が中立位置に停止して供給ポート16を閉鎖
するので、第1出力ポート17aの圧力は、比例ソレノ
イ1−28への通電量に比例した吸引力Fにより定Iる
圧力Paに保持される(第5図参照)。
り室24の復帰力fa+ fkが等しくなると、スプー
11/20が中立位置に停止して供給ポート16を閉鎖
するので、第1出力ポート17aの圧力は、比例ソレノ
イ1−28への通電量に比例した吸引力Fにより定Iる
圧力Paに保持される(第5図参照)。
比例ソレノイド28への通“厄を断ち、あるいは一定の
通′厄量以下の通゛厄を行うと、スプール20は復。
通′厄量以下の通゛厄を行うと、スプール20は復。
帰ばね25の付勢力で変位して第1図の状態に復帰し、
フィート八−・り室24の流体は、フィードバック通路
33、第1出力ポート+7aを通って第1排出ポート1
8aη)ら排出される。
フィート八−・り室24の流体は、フィードバック通路
33、第1出力ポート+7aを通って第1排出ポート1
8aη)ら排出される。
第6図は、比例ソレノイド28への通電量の百分比と出
力口A、Hの流体圧との関係の一芙験例を示し、この実
験例においては、比例ソレノイド28への通電量が最大
通電量の約26%より多くなると、スプール20が駆動
することを示している。同図で明らかなように、°アク
チュエータ1の駆動側圧力室2に接続される第1出力ロ
Aの流体圧は、比例ソレノイド28への通電量の増減に
よって所望の圧力に設定することができる。
力口A、Hの流体圧との関係の一芙験例を示し、この実
験例においては、比例ソレノイド28への通電量が最大
通電量の約26%より多くなると、スプール20が駆動
することを示している。同図で明らかなように、°アク
チュエータ1の駆動側圧力室2に接続される第1出力ロ
Aの流体圧は、比例ソレノイド28への通電量の増減に
よって所望の圧力に設定することができる。
第7図ないし第9図は第1実施例の変形例を示し、各図
はそれぞれ第3図ないし第5図に対応する状態を示して
いる。この変形例は、スプール36が4つのランドを有
する出力ポート切替スプールであること以外、その構成
及び作用がMl実施例と同じであるから1図中に同一の
符号を付して詳、畑な説明は省略する。
はそれぞれ第3図ないし第5図に対応する状態を示して
いる。この変形例は、スプール36が4つのランドを有
する出力ポート切替スプールであること以外、その構成
及び作用がMl実施例と同じであるから1図中に同一の
符号を付して詳、畑な説明は省略する。
前記:4iJ1図の実施例は、比例ソレノイドによって
スプール201t直接的に駆動するようにしているが、
上記スプール20はパイロット流体圧等で駆動すること
もできる。この場合には、駆動部12として、吸引力が
コイルへの通電量に比例する比例ソレノイドにより、そ
の通電量に比例するパイロット流体圧を出力する゛電空
パイロット弁を用い、その流体圧をスプール20の端部
に作用させるように構成すればよい。
スプール201t直接的に駆動するようにしているが、
上記スプール20はパイロット流体圧等で駆動すること
もできる。この場合には、駆動部12として、吸引力が
コイルへの通電量に比例する比例ソレノイドにより、そ
の通電量に比例するパイロット流体圧を出力する゛電空
パイロット弁を用い、その流体圧をスプール20の端部
に作用させるように構成すればよい。
[発明の効果]
本発明は、■1ilのソレノイドで作動する′電空比例
弁によってアクチュエータに圧力流体を給排できるばか
りでなく、出力流体圧を所望の圧力に保持することがで
きるので、駆動ストローク終端において一定圧を保持す
ることが要求されるアクチュエータ駆動用の弁を、安価
なものにすることができる。
弁によってアクチュエータに圧力流体を給排できるばか
りでなく、出力流体圧を所望の圧力に保持することがで
きるので、駆動ストローク終端において一定圧を保持す
ることが要求されるアクチュエータ駆動用の弁を、安価
なものにすることができる。
第1図は本発明の第1実施例力要部縦断正面図、第2図
は同上回路図、第3図ないし第5図は作動説明図、第6
図は通1!量と設定出力圧の関係を示す線図、第7図な
いし第9図は第1実施例の変形例の作動説明図、第10
図は一般的な流体圧シリンダの制御回路図である。 11φ◆弁部、 12ψ−駆動部、15・合弁本体
、 16・・供給ポート、17a、17b * a出
力ポート。 18a、18b ・*排出ポート、 20φeスプール、 24・・フィードバック室、25
・Φ復帰ばね、 28・φコイjし、29・・固定鉄心
、 30・・可動鉄心。 32・・フィードバック通路。 特許出願人 ニスエムシー株式会社 第 1 @ = 3 局 Δ 第 4 図 第 5 図 第7図 Δ 第8図 節 9 図
は同上回路図、第3図ないし第5図は作動説明図、第6
図は通1!量と設定出力圧の関係を示す線図、第7図な
いし第9図は第1実施例の変形例の作動説明図、第10
図は一般的な流体圧シリンダの制御回路図である。 11φ◆弁部、 12ψ−駆動部、15・合弁本体
、 16・・供給ポート、17a、17b * a出
力ポート。 18a、18b ・*排出ポート、 20φeスプール、 24・・フィードバック室、25
・Φ復帰ばね、 28・φコイjし、29・・固定鉄心
、 30・・可動鉄心。 32・・フィードバック通路。 特許出願人 ニスエムシー株式会社 第 1 @ = 3 局 Δ 第 4 図 第 5 図 第7図 Δ 第8図 節 9 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、供給ポート、第1及び第2の出力ポート、並びに第
1及び第2の排出ポートを有する弁本体内に、各ポート
間の流路を切換える弁部材を設けた弁部と、該弁部材の
一端に駆動力を作用させる駆動部と、該弁部材の他端に
復帰力を作用させる復帰ばねを備えた弁において、 上記弁部を、中立位置を境にした弁部材の駆動側及び復
帰側への変位によって、供給ポートと出力ポートの一方
、及び排出ポートと出力ポートの他方がそれぞれ連通す
る5ポート弁として構成し、 上記弁本体に、弁部材に復帰ばねの作用方向にフィード
バック圧力を作用させるフィードバック室及び該フィー
ドバック室と第1出力ポートを連通させるフィードバッ
ク通路を設け、 上記駆動部を、可動鉄心に作用する吸引力がソレノイド
への通電量に比例する比例ソレノイドによって構成した
、 ことを特徴とする電空比例弁。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17961386A JPS6338703A (ja) | 1986-07-30 | 1986-07-30 | 電空比例弁 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17961386A JPS6338703A (ja) | 1986-07-30 | 1986-07-30 | 電空比例弁 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6338703A true JPS6338703A (ja) | 1988-02-19 |
JPH0562641B2 JPH0562641B2 (ja) | 1993-09-08 |
Family
ID=16068810
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17961386A Granted JPS6338703A (ja) | 1986-07-30 | 1986-07-30 | 電空比例弁 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6338703A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0218905U (ja) * | 1988-07-23 | 1990-02-08 | ||
JPH06323302A (ja) * | 1993-05-12 | 1994-11-25 | Tokyo Seimitsu Sokki Kk | 位置決め荷重制御装置 |
JPH09106208A (ja) * | 1995-10-11 | 1997-04-22 | Nec Corp | ヒートロールの温度制御装置 |
-
1986
- 1986-07-30 JP JP17961386A patent/JPS6338703A/ja active Granted
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0218905U (ja) * | 1988-07-23 | 1990-02-08 | ||
JPH0531283Y2 (ja) * | 1988-07-23 | 1993-08-11 | ||
JPH06323302A (ja) * | 1993-05-12 | 1994-11-25 | Tokyo Seimitsu Sokki Kk | 位置決め荷重制御装置 |
JPH09106208A (ja) * | 1995-10-11 | 1997-04-22 | Nec Corp | ヒートロールの温度制御装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0562641B2 (ja) | 1993-09-08 |
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JPH0527681Y2 (ja) |
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