JPH0239042Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、パイロツト切換弁の操作により４個
のポペツト弁体を作動して流体シリンダの作動制
御を行う流体制御装置に関し、時に流体シリンダ
を差動回路によつて増速作動する流体制御装置に
関する。

この種の流体制御装置は、第６図に示す如き構
成から成つており、図示状態において、パイロツ
ト切換弁５０の操作により作用室５７を低圧側へ
連通すると共に作用室５９に圧力流体を導入する
と、ポペツト弁体５３が開作動して供給流路Ｐの
圧力流体は負荷流路Ｂを流れて流体シリンダ６０
の小受圧面積側作動室６２に導入し流体シリンダ
６０を図示右方向へ作動し、この作動に伴う大受
圧面積作動室６１からの排出流体は負荷流路Ａへ
流れてポペツト弁体５４を押圧作動して排出流路
Ｒに導出する。

また、パイロツト切換弁５１の操作により作用
室５６を低圧側へ連通すると共に作用室５８に圧
力流体を導入すると、ポペツト弁体５２の開作動
によつて供給流路Ｐの圧力流体は負荷流路Ａへ流
れて流体シリンダ６０の大受圧面積側作動室６１
に導入し流体シリンダ６０を図示左方向へ作動
し、この作動に伴う小受圧面積側作動室６２から
の排出流体は負荷流路Ｂへ流れてポペツト弁体５
５を押圧作動して排出流路Ｒに導出する。そして
流体シリンダ６０の増速作動は、２個のパイロツ
ト切換弁５０，５１を同時に操作してポペツト弁
体５２，５３を開作動すると共にポペツト弁体５
４，５５を遮断状態にして負荷流路Ａ，Ｂから排
出流路Ｒへの圧力流体の導出を防止し、開閉弁６
３を開操作して２個の負荷流路Ａ，Ｂ間を短絡連
通すると、差動回路が形成されて流体シリンダ６
０は、その作動室６１，６２間の受圧面積差に基
づく圧力差により供給流路Ｐからの圧力流体と小
受圧面積側作動室６２からの排出流体との流量に
よつて図示左方向へ増速作動されるよう設けてい
る。

ところが、かかる構成では、各パイロツト切換
弁５０，５１と開閉弁６３はともに電磁石により
操作しており、開閉弁６３を２個のパイロツト切
換弁５０，５１が操作されたときに操作できるよ
う格別に電気制御手段を設けなければならず、か
つ開閉弁６３はポペツト弁体５２，５３，５４，
５５と同じ流量を制御できる大きさのために電磁
石も大型のものを備えて弁全体が大きく設けられ
ており、装置の保守管理が面倒であると共に大型
化し易い問題点があつた。

本考案は、かかる問題点を解決するもので、装
置の保守管理を簡単にし、パイロツト切換弁の操
作状態に応じて確実な差動回路が形成でき、流体
シリンダの増速作動を良好に切換制御し得るよう
にした流体制御装置を提供することを目的とす
る。このため、本考案は、圧力流体を供給する供
給流路と流体シリンダの大受圧面積側作動室に接
続する第１の負荷流路間を連通遮断する第１のポ
ペツト弁体と、供給流路と流体シリンダの小受圧
面積側作動室に接続する第３の負荷流路間を連通
遮断する第２のポペツト弁体と、第１の負荷流路
と低圧側に接続する排出流路間を連通遮断する第
３のポペツト弁体と、第２の負荷流路と排出流路
間を連通遮断する第４のポペツト弁体と、ポペツ
ト弁体背部に形成の作用室へパイロツト流体を導
入したり作用室の流体を低圧側に導出したりする
ことで４個のポペツト弁体を作動するパイロツト
切換弁と、２個の負荷流路間を短縮接続する流路
を連通遮断する補助ポペツト弁体と、補助ポペツ
ト弁体背部に第２の負荷流路と絞り連通して形成
の流体室を低圧側と連通遮断するパイロツト弁と
を具備し、パイロツト弁はパイロツト切換弁の操
作により制御されるパイロツト流体によつて作動
可能にし、パイロツト切換弁の操作で第１と第２
のポペツト弁体を交互に開作動させて流体シリン
ダを作動制御するときには補助ポペツト弁体背部
の流体室と低圧側間を遮断すると共に第１と第２
のポペツト弁体を同時に開作動させて流体シリン
ダを作動制御するときには補助ポペツト弁体背部
の流体室と低圧側間を連通するように設けて成
る。

かかる本考案の構成において、パイロツト切換
弁の操作で第１と第２のポペツト弁体背部の作用
室の流体を低圧側へ導出して第１と第２のポペツ
ト弁体を同時に開作動させると、パイロツト弁は
パイロツト切換弁によつて制御されるパイロツト
流体により補助ポペツト弁体背部の流体室と低圧
側間を連通するよう作動し、補助ポペツト弁体は
その前後差圧によつて２個の負荷流路間を短絡接
続する流路を連通して差動回路を形成し、流体シ
リンダは増速作動する。

このため、パイロツト弁、補助ポペツト弁体の
操作はポペツト弁体と同様の作動流体を使用して
できて従来の如き格別な電気制御手段を必要とせ
ず、保守管理が簡単になり、またパイロツト切換
弁の操作状態に応じて確実に差動回路が形成で
き、流体シリンダの増速作動を良好に切換制御す
ることができる。

以下、本考案の一実施例を図面に基いて説明す
る。

第１図および第２図において、１は弁本体で、
圧力流体を供給する供給流路Ｐ１と流体シリンダ
２４の大受圧面積側作動室４１（以下、ヘツド側
作動室と称す）に接続する第１の負荷流路Ａ１と
流体シリンダ２４の小受圧面積作動室４２（以
下、ロツド側作動室と称す）に接続する第２の負
荷流路Ｂ１と低圧側に接続する排出流路Ｒ１とを
接合面２に開口形成し、内部にテーパ状の先端部
を有する４個のポペツト弁体３，４，５，６を摺
動自在に収装しており、第１のポペツト弁体３は
供給流路Ｐ１と第１の負荷流路Ａ１間を、第３の
ポペツト弁体４は供給流路Ｐ１と第２の負荷流路
Ｂ１間を、第３のポペツト弁体５は第１の負荷流
路Ａ１と排出流路Ｒ１間を、第４のポペツト弁体
６は第２の負荷流路Ｂ１と排出流路Ｒ１間をそれ
ぞれテーパ状の先端部により連通遮断するように
設けている。７は第１のポペツト弁体３の背部に
備えた調整部材で、第１のポケツト弁体３背面に
当接することで、第１の負荷流路Ａ１と供給流路
Ｐ１間を連通する際の第１ポペツト弁体３の連通
過口量を調整自在としている。８は低圧側に連通
して流体を低圧側に導出する導出路である。９は
弁本体１の上部に接合配設して電磁石により形成
の電磁気装置を設けた第１のパイロツト切換弁
で、供給流路Ｐ１に連通するパイロツト導入路１
１Ａと導出路８に連通するパイロツト導出路１２
Ａおよび第２と第４のポペツト弁体４，６の背部
に形成した作用室１４，１６にそれぞれ連通する
パイロツト流路１７，１８を有している。１０は
弁本体１の上部に接合配設して電磁石により形成
の電磁気装置を設けた第２のパイロツト切換弁
で、供給流路Ｐ１に連通するパイロツト導入路１
１Ｂと導出路８に連通するパイロツト導出路１２
Ｂおよび第１と第３のポペツト弁体３，５の背部
に形成した作用室１３，１５にそれぞれ連通する
パイロツト流路１９，２０を有している。これら
第１と第２のパイロツト切換弁９，１０は単独操
作自在に設けられ、第１のパイロツト切換弁９の
操作により作用室１４，１６へパイロツト流体を
導入したり作用室１４，１６の流体を低圧側に導
出したりすることで第２と第４のポペツト弁体
４．６を作動するようにしている。また、第２の
パイロツト切換弁１０の操作により作用室１３，
１１５へパイロツト流体を導入したり作用室１
３，１５の流体を低圧側に導出したりすることで
第１と第３のポペツト弁体３，５を作動するよう
にしている。

２２は弁本体１の接合面２に接合配設した補助
弁本体で、弁本体１の供給流路Ｐ１に連通し圧力
源２３に接続して圧力流体を供給する供給流路Ｐ
２、２個の負荷流路Ａ１，Ｂ１に連通し流体シリ
ンダ２４に接続する２個の負荷流路Ａ２，Ｂ２お
よび排出流路Ｒ１に連通し低圧側の貯槽２５に接
続する排出流路Ｒ２を有している。２６は２個の
負荷流路Ａ２，Ｂ２間を短絡接続する流路を連通
遮断するテーパ状の先端部を有する第１の補助ポ
ペツト弁体で、背部に形成の流体室２７を絞り通
路２８を介して第２の負荷流路Ｂ２と連通し、流
体室２７を低圧側と連通遮断することで作動する
ようになつている。２９は第１の負荷流路Ａ２と
排出流路Ｒ２間を短絡接続する流路を連通遮断す
るテーパ状の先端部を有する第２の補助ポペツト
弁体で、背部に形成の流体室３０を絞り通路３１
を介して第１の負荷流路Ａ２と連通し、流体室３
０を低圧側と連通遮断することで作動するように
なつている。３２は補助弁本体２２の側部に接合
配置し第１の補助ポペツト弁体２６を作動制御す
る第１のパイロツト弁で、スプリングセンタ形の
パイロツト操作３位置切換弁から成つており、中
立の切換位置では第１の補助ポペツト弁体２６背
部の流体室２７を低圧側の排出流路Ｒ２と連通
し、パイロツト切換弁９，１０のパイロツト流路
１８，２０に連通のパイロツト流路３３，３４の
一方のみにパイロツト流体が導入されると流体室
２７と低圧側間を遮断作動するように設けてい
る。３５は補助弁本体２２の側部に接合設置し第
３補助ポペツト弁体２９を作動制御する第２のパ
イロツト弁で、スプリングリターン形のパイロツ
ト操作２位置切換弁から成つており、第１図の切
換位置では流体室３０と低圧側間を遮断し、パイ
ロツト切換弁９，１０のパイロツト流路１８，２
０に連通のパイロツト流路３６，３７のうち一方
のパイロツト流路３６のみにパイロツト流体が導
入されると流体室３０と低圧側間を連通作動する
ように設けている。３８は補助弁本体２２に形成
した接合面で、弁本体１の接合面２に接合して弁
本体１の供給流路Ｐ１と２個の負荷流路Ａ１，Ｂ
１および排出流路Ｒ１に連通されるよう供給流路
Ｐ２，２個の負荷流路Ａ２，Ｂ２および排出流路
Ｒ２を開口形成している。３９は弁本体１の導出
路８に連通し流体を低圧側に導出する導出路、４
３は弁本体１と補助弁本体２２とを接合固着する
ための組付ボルトである。

次に上記構成による作動の説明をする。

第１図および第２図は、第１と第２のパイロツ
ト切換弁９，１０の電磁気装置が非励磁の状態
で、供給流路Ｐ２，Ｐ１に供給された圧力流体
は、一部がパイロツト流体としてパイロツト切換
弁９，１０の導入路１１Ａ，１１Ｂ、パイロツト
流路１７，１９を通つて作用室１４，１３へ導入
され、第１と第２のポペツト弁体３，４は供給流
路Ｐ１と各負荷流路Ａ１，Ｂ１間を遮断してい
る。第３と第４のポペツト弁体５，６は作用室１
５，１６の流体がパイロツト切換弁１０，９のパ
イロツト流路２０，１８、パイロツト導出路１２
Ｂ，１２Ａを通り導出路８，３９を介して低圧側
に導出されるので、負荷流路Ａ１，Ｂ１の圧力に
よつて第３と第４のポペツト弁体５，６が押圧作
動し、各負荷流路Ａ１，Ｂ１および排出流路Ｒ１
間を互いに連通する。また、第１と第２のパイロ
ツト弁３２，３５の各パイロツト流路３３，３
４，３６，３７の流体はいずれも低圧側に導出さ
れているため、各パイロツト弁３２，３５は第１
図および第２図の切換位置を保持し、補助弁本体
２２の第１の補助ポペツト弁体２６が２個の負荷
流路Ａ２，Ｂ２間を流路を介して互いに短絡連通
し得るようにすると共に、第２の補助ポペツト弁
体２９が第１の負荷流路Ａ２と排出流路Ｒ２間を
遮断するようにしている。

次に第１と第２のパイロツト切換弁９，１０の
電磁気装置を励磁して第３図の如く切換えると、
第１と第２のポペツト弁体３，４の作用室１３，
１４の流体が低圧側に導出されると共に、第３と
第４のポペツト弁体５，６の作用室１５，１６へ
パイロツト流体が導入されて、第１と第２のポペ
ツト弁体３，４は同時に開作動し第３と第４のポ
ペツト弁体５．６は遮断状態となつて供給流路Ｐ
１と各負荷流路Ａ１，Ｂ１間を互いに連通し、各
負荷流路Ａ１，Ｂ１と排出流路Ｒ１間を互いに遮
断する。さらに、第１と第２のパイロツト弁３
２，３５の各パイロツト流路３３，３４，３６，
３７にパイロツト流体が導入されているが、各パ
イロツト弁３２，３５は第３図の切換位置を保持
し、補助弁本体２２の第１の補助ポペツト弁体２
６は２個の負荷流路Ａ２，Ｂ２間を短絡連通する
と共に第２の補助ポペツト弁体２９は第１の負荷
流路Ａ２と排出流路Ｒ２間を遮断している。この
ため、流体シリンダ４はヘツド側作動室４１とロ
ツド側作動室４２間の受圧面積差に基づく圧力差
によりヘツド側作動室４１に圧力源２３からの圧
力流体が供給流路Ｐ２，Ｐ１、第１の負荷流路Ａ
１，Ａ２を介し供給されると共に、ロツド側作動
室４２からの排出流体が第１の補助ポペツト弁体
２６により短絡連通された負荷流路Ａ２，Ｂ２間
と第１および第２のポペツト弁体３，４により連
通された負荷流路Ａ１，Ｂ１間を介して供給さ
れ、差動回路が構成されることによつてピストン
ロツド４０は高速で第３図の左方向へ増速作動す
る。なお、この増速作動において、ロツド側作動
室４２からの排出流体は、その一部が第１と第２
のポペツト弁体３，４により連通された負荷流体
Ａ１，Ｂ１間を介してヘツド側作動室４１へ供給
されるが、第１のポペツト弁体３背面に備えた調
整部材７により連通開口量が制限されているの
で、大部分の排出流体は補助弁本体２２の短絡連
通された流路を介して流れてヘツド側作動室４１
へ供給される。

次に、第１と第２のパイロツト切換弁９，１０
の電磁気装置の励磁状態から、第４図の如く第１
のパイロツト切換弁９の電磁気装置を消磁する
と、第２のポペツト弁体４の作用室１４へパイロ
ツト流体が導入されると共に、第４のポペツト弁
体６の作用室１６の流体が低圧側に導出され、第
１と第２のポペツト弁体３，４を交互に開作動す
るよう第２のポペツト弁体４は供給流路Ｐ１と第
２の負荷流路Ｂ１間を遮断し、第４のポペツト弁
体６は第２の負荷流路Ｂ１と排出流路Ｒ１間を連
通する。さらに、パイロツト流路１８が低圧側に
連通されるため、第１と第２のパイロツト弁３
２，３５のパイロツト流路３３，３６の流体が低
圧側に導出され、第１のパイロツト弁３２は第１
の補助ポペツト弁体２６の流体室２７と低圧側間
を遮断作動する。このため、第１の補助ポペツト
弁体２６の流体室２７に導入のパイロツト流体に
より補助弁本体２２の各負荷流路Ａ２，Ｂ２間を
遮断する。したがつて、圧力流体は供給流路Ｐ
２，Ｐ１、第１の負荷流路Ａ１，Ａ２を介し流体
シリンダ２４のヘツド側作動室４１へ供給され、
この作動に伴うロツド側作動室４２からの排出流
体は第２の負荷流路Ｂ２，Ｂ１排出流路Ｒ１，Ｒ
２を介して貯槽２５に排出されピストンロツド４
０は図の左方向へ低速で作動する。このとき、ピ
ストンロツド４０の作動速度は、第１のポペツト
弁体３の連通開口量を調整部材７で設定すること
によりヘツド側作動室４１への供給流量を調整し
て制御する。流体シリンダ２４のピストンロツド
４０が左の作動端に達し第２のパイロツト切換弁
１０の電磁気装置を消磁すると第１図の如くにな
り、第１のポペツト弁体３の作用室１３へパイロ
ツト流体が導入されると共に、第３のポペツト弁
体５の作用室１５の流体が低圧側に導出され、各
ポペツト弁体３，４，５，６は供給流路Ｐ２と各
負荷流路Ａ２，Ｂ２間を遮断し、各負荷流路Ａ
２，Ｂ２および排出流路Ｒ２間を互いに連通し得
るようにし、流体シリンダ２４のピストンロツド
４０は停止する。

ピストンロツド４０が左の作動端である状態か
ら第５図の如く第１のパイロツト切換弁９の電磁
気装置を励磁すると、第２のポペツト弁体４の作
用室１４の流体が低圧側に導出されると共に、第
４のポペツト弁体６の作動室１６へパイロツト流
体が導入され、第１と第２のポペツト弁体３，４
を交互に開作動するよう第２のポペツト弁体４は
供給流路Ｐ１と第２の負荷流路Ｂ１間を連通し、
第４のポペツト弁体６は第２の負荷流路Ｂ１と排
出流路Ｒ１間を遮断する。さらに、パイロツト流
路１８にパイロツト流体が導入されるため、パイ
ロツト流路３３，３６に導入するパイロツト流体
により第１のパイロツト弁３２は第１の補助ポペ
ツト弁体２６の流体室２７と低圧側間を遮断作動
し、第２のパイロツト弁３５は第２の補助ポペツ
ト弁体２９の流体室３０と低圧側間を連通作動す
る。したがつて、圧力流体は流体シリンダ２４の
ロツド側作動室４２へ供給され、この作動に伴う
ヘツド側作動室４１からの排出流体は、一部分が
弁本体１の第１の負荷流路Ａ１、排出流路Ｒ１を
介し低圧側に排出されるが、大部分は補助弁本体
２２の第２の補助ポペツト弁体２９により短絡連
通された流路を介して低圧側に排出され、ピスト
ンロツド４０が高速で第５図の右方向へ作動し、
作動端に達してパイロツト切換弁９の電磁気装置
を第１図の如く消磁すると流体シリンダ２４の作
動が停止する。

かかる作動で、第１と第２のパイロツト切換弁
９，１０の操作で第１と第２のポペツト弁体３，
４背部の作用室１３，１４の流体を低圧側へ導出
して第１と第２のポペツト弁体３，４を同時に開
作動させると、第１のパイロツト弁３２は第１と
第２のパイロツト切換弁９，１０によつて制御さ
れるパイロツト流体により第１の補助ポペツト弁
体２６背部の流体室２７と低圧側間を連通するよ
う作動し、第１の補助ポペツト弁体２６はその前
後差圧によつて２個の負荷流路Ａ２，Ｂ２間を短
絡接続する流路を連通して差動回路を形成し、流
体シリンダ２４は増速作動する。このため、第１
のパイロツト弁３２、第１の補助ポペツト弁体２
６の操作は４個のポペツト弁体３，４，５，６と
同様の作動流体を使用できて従来の如き格別な電
気制御手段を必要とせず、保守管理が簡単にな
り、第１と第２のパイロツト切換弁９，１０の操
作状態に応じて確実に差動回路が形成でき、流体
シリンダ２４の増速作動を良好に切換制御するこ
とができる。また、第１のパイロツト弁３２は第
１の補助ポペツト弁体２６の流体室２７に圧力低
下を発生させる少量の流体を制御できる小形状の
もので良いから、その操作するためのパイロツト
流体の流量はわずかで従来の電気制御手段とほぼ
同等の作動性能を得ることができる。さらにま
た、パイロツト切換弁９，１０への電気配線によ
つて使用でき、取扱いがし易い。

尚、一実施例では４個のポペツト弁体３，４，
５，６を２個の２位置のパイロツト切換弁９，１
０により作動させているが、これに換えて３位置
のパイロツト切換弁１個で４個のポペツト弁体
３，４，５，６を作動させるようにしても良いこ
とは勿論である。

このように本考案は、圧力流体を供給する供給
流路と流体シリンダの大受圧面積側作動室に接続
する第１の負荷流路間を連通遮断する第１のポペ
ツト弁体と、供給流路と流体シリンダの小受圧面
積側作動室に接続する第２の負荷流路間を連通遮
断する第２のポペツト弁体と、第１の負荷流路と
低圧側に接続する排出流路間を連通遮断する第３
のポペツト弁体と、第２の負荷流路と排出流路間
を連通遮断する第４のポペツト弁体と、ポペツト
弁体背部に形成の作用室へパイロツト流体を導入
したり作用室の流体を低圧側に導出したりするこ
とで４個のポペツト弁体を作動するパイロツト切
換弁と、２個の負荷流路間を短縮接続する流路を
連通遮断する補助ポペツト弁体と、補助ポペツト
弁体背部に第２の負荷流路と絞り連通して形成の
流体室を低圧側と連通遮断するパイロツト弁とを
具備し、パイロツト弁はパイロツト切換弁の操作
により制御されるパイロツト流体によつて作動可
能にし、パイロツト切換弁の操作で第１と第２の
ポペツト弁体を交互に開作動させて流体シリンダ
を作動制御するときには補助ポペツト弁体背部の
流体室と低圧側間を遮断すると共に第１と第２の
ポペツト弁体を同時に開作動させて流体シリンダ
を作動制御するときには補助ポペツト弁体背部の
流体室と低圧側間を連通するよう設けたことによ
り、ポペツト弁体を作動するパイロツト切換弁の
操作に応じ何ら格別な手段を用いることなく確実
に差動回路が形成でき、流体シリンダの増速作動
を良好に切換制御することができる。

また、パイロツト弁は補助ポペツト弁体背部の
流体室に圧力低下を発生させる少量の流体を制御
できる小形状のもので良いから、その操作するた
めのパイロツト流体の流量はわずかで従来の電気
制御手段とほぼ同等の作動性能を得ることができ
る。さらにまた、パイロツト切換弁への電気配線
によつて使用でき、取扱いがし易いと言つた実用
上の優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案による流体制御装置の一実施例を
示し、第１図は非作動状態の油圧回路図、第２図
は一部を断面にした正面図、第３図ないし第５図
は作動状態の油圧回路図、第６図は本考案の従来
例を示す流体制御装置の油圧回路図である。 Ｐ１，Ｐ２……供給流路、Ａ１，Ａ２……第１
の負荷流路、Ｂ１，Ｂ２……第２の負荷流路、Ｒ
１，Ｒ２……排出流路、３……第１のポペツト弁
体、４……第２のポペツト弁体、５……第３のポ
ペツト弁体、６……第４のポペツト弁体、９，１
０……パイロツト切換弁、１３，１４，１５，１
６……作用室、２４……流体シリンダ、２６……
補助ポペツト弁体、２７……流体室、３２……パ
イロツト弁、４１……ヘツド側作動室（大受圧面
積側作動室）、４２……ロツド側作動室（小受圧
面積側作動室）。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 圧力流体を供給する供給流路と流体シリンダの
   大受圧面積側作動室に接続する第１の負荷流路間
   を連通遮断する第１のポペツト弁体と、供給流路
   と流体シリンダの小受圧面積側作動室に接続する
   第２の負荷流路間を連通遮断する第２のポペツト
   弁体と、第１の負荷流路と低圧側に接続する排出
   流路間を連通遮断する第３のポペツト弁体と、第
   ２の負荷流路と排出流路間を連通遮断する第４の
   ポペツト弁体と、ポペツト弁体背部に形成の作用
   室へパイロツト流体を導入したり作用室の流体を
   低圧側に導出したりすることで４個のポペツト弁
   体を作動するパイロツト切換弁と、２個の負荷流
   路間を短縮接続する流路を連通遮断する補助ポペ
   ツト弁体と、補助ポペツト弁体背部に第２の負荷
   流路と絞り連通して形成の流体室を低圧側と連通
   遮断するパイロツト弁とを具備し、パイロツト弁
   はパイロツト切換弁の操作により制御されるパイ
   ロツト流体によつて作動可能にし、パイロツト切
   換弁の操作で第１と第２のポペツト弁体を交互に
   開作動させて流体シリンダを作動制御するときに
   は補助ポペツト弁体背部の流体室と低圧側間を遮
   断すると共に第１と第２のポペツト弁体を同時に
   開作動させて流体シリンダを作動制御するときに
   は補助ポペツト弁体背部の流体室と低圧側間を連
   通するよう設けて成る流体制御装置。