JPS61154152A - 電子装置用ハウジング - Google Patents

電子装置用ハウジング

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JPS61154152A
JPS61154152A JP60287656A JP28765685A JPS61154152A JP S61154152 A JPS61154152 A JP S61154152A JP 60287656 A JP60287656 A JP 60287656A JP 28765685 A JP28765685 A JP 28765685A JP S61154152 A JPS61154152 A JP S61154152A
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JP
Japan
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electronic device
housing
conductive
substrate
multilayer circuit
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Philips Gloeilampenfabrieken NV
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はセラミック基板を具え、該基板上に交互に導電
体および絶縁体の材料を用いるスクリーン印刷により多
層回路を堆積し、該多層回路によって前記基板に固着さ
れた電子装置の端子と、前記基板に形成した金属化孔に
設けられたハウジングの装着ピンとの間の接続を行い、
該金属化孔には基板の両側に導電リングを設け、鎖孔お
よび導電リングの金属化を前記多層回路の導電材料と両
立し得る導電材料を用いるスクリーン印刷によって行う
ようにした電子装置用ハウジングに関するものである。
本発明は多数の入出力端子を有する集積回路用ハウジン
グの構成に適用でき、この際ハウジングが有すべき最も
重要な特性は、製造容易、生産効率、低価格、電気的な
信頼性および機械的強度であり、これによりハウウジン
グを多量生産し得且つ広く販売することができる。
かかる多層回路を具える装置は米国特許第3,549、
784号明細書から既知である。この米国特許に記載さ
れた装置はセラミック基板、例えば、酸化アルミニウム
上にスクリーン印刷により形成した多層回路を具える。
この多層回路は導体および絶縁体の交互の層により構成
し、導電層で導体の回路網を形成し、絶縁層は導体を埋
設する。
絶縁層は基板と両立し得るセラミックで造る。
種々の層を回路に必要な構成に従って形成した後、非焼
成金属層および絶縁セラミック層より成るセラミック基
板の複合構体を水素および窒素の雰囲気中で1630℃
の温度に2時間に亘って加熱してセラミックおよび金属
成分の焼成を行い得るようにする。かくして得られた構
体をいわゆる“共焼成”と称する。
上記米国特許明細書によれば、装置のピン即ち接続ピン
を基板に形成した金属化孔内に導入してはんだ付けを行
う。これら孔の金属化および回路の導電層の形成は同一
材料を用いて同時に行う。
この材料はりフローイングにより孔内に拡散する。
上記米国特許明細書にははんだ付け又は難はんだ付けに
好適な金属組成については何等の記載もない。
ハウジングの基体の製造に共焼成構体を使用することに
は大きな欠点がある。その理由は、得られる構体が平坦
とはならず彎曲するからである。
上記米国特許明細書には、基板の他側の、特に基板上側
の構体により生ずる変形を相殺する位置に金属層を設け
ることにより上記問題点を解決し得ることが記載されて
いる。
又焼成により最大17%の収縮が生じて寸法が減少し、
これにより導体が破断される場合が多いため、“共焼成
”セラミック基板の平均収量が30%以下となることが
、論文[ナルミバ オートマティゼ ラ ファプリカチ
オン ド ス サブストラード セラミック マルチク
ーシエ“コ・キュイ”」ジ・ぺ・デラ ミュシア著、エ
レクトロニク アクチュアリテ 第772巻、 198
4年11月2日発刊に記載されている。
この大きな欠点の原因は、極めて高温度の焼成にあり、
これにより更に他の欠点が発生する。
極めて高温度の焼成を行うことにより、導電層を形成す
るために、タングステン又はモリブデン−マンガン合金
のような耐熱材料の使用が不可避となる。これら耐熱材
料の導電率は低い。上記米国特許明細書によれば、白金
又はパラジウムのような他の金属を用い極めて低い温度
で空気中で焼成することができる。しかし、これら材料
が極めて高価である点以外にセラミック絶縁層を焼結す
るために少なくとも1300℃の極めて高い温度を必要
とする。かかる状態のもとでは、良好な導電体であり且
つ充分に廉価な銅のような金属を用いることはできない
。その理由は銅の融点が上記温度よりも著しく低いから
である。
これかため提案された回路の構体によって前記デラ・ミ
ュシアの論文に記載されているように、1回以上の焼成
処理を必要としないことによりハウジングの基体の製造
を容易とする問題を解決する必要があると共に回路の構
体によって絶縁層がセラミックであることによる機械的
強度の問題を解決する必要があり、これによって実際上
逆の結果が得られるようになる。即ち30%以下の出力
が得られると共に高価な材料を用いると言う事実により
製造価格が上昇し、且つこれら回路の導体が破断するこ
とにより所望の機械的強度が得られなくなる。
又、ピンの密封にも上記米国特許明細書で解決されなか
った問題点がある。又、必要な密封強度は孔の形成およ
び金属化に用いられる方法に大きく依存すると共に孔内
に密封材料によりピンを固定する手段に大きく依存する
。又、この強度はピンの形状に依存する。
最後に、ハウジングの基体に電子装置を装着すること、
およびこの構成素子の保護キャップを剛固且つ気密に封
止することによっても他の問題が発生する。この問題は
上記米国特許明細書によって解決されていない。
本発明の目的は、従来の解決手段とは著しく異なる手段
でこれらハウジングを製造する問題を解決せんとするに
ある。
本発明はセラミック基板を具え、該基板上に交互に導電
体および絶縁体の材料を用いるスクリーン印刷により多
層回路を堆積し、該多層回路によって前記基板に固着さ
れた電子装置の端子と、前記基板に形成した金属化孔に
設けられたハウジングの装着ピンとの間の接続を行い、
該金属化孔には基板の両側に導電リングを設け、鎖孔お
よび導電リングの金属化を前記多層回路の導電材料と両
立し得る導電材料を用いるスクリーン印刷によって行う
ようにした電子装置用ハウジングにおいて、前記導電材
料は、スクリーン印刷し得ると共に少なくとも銅および
ガラス質結晶材料から形成され、且つ中性雰囲気中で銅
の溶融温度より低い温度で焼成する混合物とし;前記絶
縁材料は、前記導電材料に対し好適な温度で中性雰囲気
中で焼成すべきスクリー印刷し得るガラス質−結晶混合
物とすると共にその膨張係数を焼成温度まで基板の膨張
係数に適合させ;多層回路の最後の層を保護絶縁ガラス
質−結晶層とし;前記装着ピンは平坦な頭部を設けた軸
部の形状とし、該軸部は基板の孔を貫通して基板の片側
から充分に突出させてハウジングの好適な固着を行い、
前記平坦な頭部は基板の他側に位置する導電リングに固
着し;前記装着ピンは前記孔の金属被覆および導電リン
グと両立し得、且つ溶融温度が前記回路の層の焼成温度
にほぼ等しいかこれよりも低い金属合金によって固着し
;前記基板上に位置する電子装置の端子を可撓性ワイヤ
により多層回路の製造中自由となっている導体の端部に
接続し;電子装置をキャップにより保護するようにした
ことを特徴とする。
又、本発明方法は、電子装置用ハウジングを製造するに
当り、 a) セラミック基板を設け、 b) 該基板に、ハウジングの装着ピンを収容するだめ
の孔をあけると共に電子装置を収納するための区域を設
け、 C) 前記孔を金属化すると共に基板の両側の孔の周り
に導電性リングを設け、これらの処理は、少なくとも銅
およびガラス質−結晶材料より成り、中性雰囲気中で銅
の溶融温度より低い温度で焼成される導電性インクを用
いてスクリーン印刷により行い、これら処理に、所望量
の導電性インクを前記孔の開口部に堆積する工程と、鎖
孔のインクを例えばりフローインクにより拡散する工程
と、かくして得た層を焼成する工程とを含めるようにし
、 d) 電子装置を収納する区域を残して電子装置の端子
の一部を装着ピンの一部分に相互接続する導体を形成す
るようなパターンに従って第1導電層を堆積し、この堆
積処理は、銅を含有し、前記孔および導電性リングの金
属化に用いられるインクと同一か又はこれと両立し得る
導電性インクを用いてスクリーン印刷により行い、且つ
前記第1導電層を焼成し、 e) 電子装置、導電性リングおよび電子装置の端子と
は反対側に位置する導電体の端部を収納する区域を残し
て2つの連続導電層を分離するパターンに従って絶縁層
を堆積し、この堆積処理は、中性雰囲気中で導電性イン
クの温度と両立し得る温度で焼成され且つ膨張係数が絶
縁層の焼成温度まで基板の膨張係数に極めて近い絶縁性
ガラス質−結晶インクを用いてスクリーン印刷により行
い、且つ前記絶縁層を焼成し、 f) 電子装置、導電性リングおよび電子装置の端子と
は反対側に位置する導電体の端部を収納する区域を残し
て電子装置の端子およびハウジングの装着ピンを相互接
続するに要する導電体の回路網が得られるパターンに従
って、導電層および絶縁層を交互に堆積し、この堆積処
理は、順次に導電性および絶縁性であり、且つ前記層を
形成するインクの種類と同一か又はこれと両立し得る種
類のインクを用いてスクリーン印刷により行い、最後の
層を保護絶縁層とし、且つ前記導電層および絶縁層を焼
成し、 g) 装着ピンを固着するはんだに耐えるワニスを用い
て、電子装置を収納する区域およびこの区域とは反対側
に位置する導電体の端部によって形成された領域を一時
的に保護し、 h) 平坦な頭部を設けた軸部より成る金属ピンを配設
し、該軸部は前記孔の個所で基板を貫通して基板の片側
から充分に突出させることによりハウジングを適当に固
着し、前記平坦な頭部は基板の他側に設けた導電性リン
グにより支持し、次いで前記孔の金属被覆および導電性
リングと両立し得、且つ溶融温度が多層回路の層の焼成
温度より低いか又はこれにほぼ等しい金属合金を用いて
前記装着ピンをはんだ付けし、 ■) 前記保護ワニスを除去し、 J) 基板に設けた前記区域に電子装置を位置させると
共に固着し、 k) 電子装置の端子と、多層回路の導電体の遊端との
間に可撓性金属ワイヤを設け、 l) 電子装置の保護キャップを固着するようにしたこ
とを特徴とする。
セラミック層の焼成温度よりも充分低い焼成温度を有し
、且つ焼成温度まで基板の膨張係数に適合する膨張係数
を有するガラス質−結晶層によりこれら層を1個宛焼成
して形成した多層回路の特性は共焼成セラミック回路の
特性より著しく優れている。かかる回路を設けた基体は
張力が低く、従ってこれら基体は彎曲しない。これがた
め、かかる彎曲を相殺する追加の層を設ける必要はない
これら層と導体回路網との接続は剛固且つ電気的に信頼
し得るものである。
又、1つの層が堆積される度毎に1回の焼成処理を行っ
てもハウジングの基体の製造が複雑且つ高価とはならな
い。その理由は低温処理および廉価な材料の使用によっ
て価格を著しく低減し、しかも牧童をほぼ100%とし
得るからである。
更に導電率が例えばタングステンの導電率の10倍であ
る銅を導電材料として用いるため、回路の電気的特性を
も著しく改善することができる。
又、ピンの形状および使用する密封材料の観点から、ピ
ンをハウジングに正しく装着することができる。かよう
にして簡単且つ廉価な材料を用いてハウジングの本質的
な特性である機械的強度を良好にすると共に電気的な接
続を完全なものとすることができる。
特に本発明方法を用いてピンと電子部品の保護キャップ
との装着を行うことにより高温に耐え且つ高度の要求を
満足する剛固且つ気密封止されたハウジングを得ること
ができる。
図面につき本発明を説明する。
第1図は本発明電子装置用ハウジングを断面で示し、こ
のハウジングは、中央部分により電子装置130を支持
するセラミック基板120と、電子装置及び装着ピン2
間の電気接続を行う多層回路110とを具える。セラミ
ック材料より成るキャップ141によって電子装置の保
護を確実に行う。
第2図に示す本発明ハウジングの他の例ではキャップを
2部分即ちスペーサ150及びカバー140により構成
する。
通常、電子装置130は、半導体材料上に設けられた超
大規模集積回路(VLSI)とすると共に多数の入出力
端子7を具える。この端子の数は通常はぼ144とする
。しかし最も複雑な回路に対しては増大する必要がある
ため、近い将来この端子の数は300とし得るようにな
る。
電子装置を含むハウジングは、電子部品、一般にプリン
ト回路板に、ピングリッドアレイソケットにより、又は
直接ハウジングをプリント回路板にはんだ付けすること
により、接続する。何れの場合にも、電気的接続および
機械的連結は第3A図に示すように基板120の孔3に
ピン2を導入することにより行う。
ピン2の数は電子装置の端子7の数に少なくとも等しく
する。ピンの数を多くすることおよびハウジングを外部
装置に接続する際短絡を防止するためにスペースを最小
とすることによって全てのピンを互いに一直線状に配置
するのは不可能である。これがため、これらピンは基板
の周縁に挿々の列に配設する。
金属ピン2および電子装置の端子7間の接続は基板12
0にスクリー°ン印刷された導電体の回路網110によ
って、および導電体の端部8を端子7に接続する可撓性
金属ワイヤ6によって行う。
スクリーン印刷回路網110を形成するために導電体の
数を300とすると共にその端部8間のピッチをa−の
1/10とするには数レベルの導電体を必要とする。こ
れがため各導電体レベル10.20.−−−はピン2の
一部分と接触する導電体の一部分を具え、且つ次の導電
体レベルから電気的な絶縁層15により分離する。又こ
の絶縁層15には2つの隣接する導電体レベルを相互接
続する開口を設ける。
これがため回路網全体によって多層回路を構成する。
従来のハウジングを形成するために選択した多層回路の
種類に固有の問題を解決して本発明によるハウジングを
製造するためには新たな種類のスクリーン印刷可能な材
料を用いると共に新たな製造方法を提供する。
本発明によれば導電層10.20.−m−を構成するス
クリーン印刷インクを形成するために用いるに好適な導
電性混合物は銅パウダおよびガラス質バインダを具える
。この混合物により得られるインクは非酸化雰囲気例え
ば窒素中で銅の溶融温度よりも低い温度で焼成すること
ができる。
これらの要求を満足する導電性混合物としては例えば英
国特許願第1.489.031号明細書又は英国特許第
2.037.270号明細書に記載された混合物がある
又、絶縁層15を構成するスクリーン印刷インクの形成
に用いるに好適な絶縁性混合物は少なくとも1種のガラ
ス相である。この混合物により得られたインクは中性雰
囲気、例えば窒素中で導電層10、20.−m−を形成
するために用いたインクに好適な温度で焼成することが
できる。
この要求を満足する絶縁性混合物としては例えば米国特
許願第4.152.282号明細書又は米国特許願第4
.323.652号明細書に記載された混合物がある。
上述した種々の混合物は本発明ハウジングの製造に極め
て好適である。その理由はこれら混合物が上記要求、即
ち窒素雰囲気中における850℃乃至950℃の焼成温
度を満足すると共に互に両立し得、しかも多くの利点を
有しているからである。
かくして得られた銅含有導電層は厚さが20μmの導電
体に対し約1.5mΩ/口の極めて良好な導電率を有す
る。
絶縁性ガラス質−結晶層の熱膨張係数はその焼成温度ま
でセラミック基板の熱膨張係数にほぼ等しい。これがた
め、得られたハウジングは完全に平坦である。ハウジン
グを形成する種々の層に機、械的応力がかからないため
、収量はほぼ100%である。
しかし、実施例に示されるように導電層および絶縁層の
双方の組成の関係上、これら導電層および絶縁層は1つ
宛焼成する必要があることを確かめた。しかし焼成温度
が低く且つ材料が廉価であため製造価格を廉価とするこ
とができる。
好適には絶縁性保護層101は、ガラス相のスクリーン
印刷インクを形成するために用いるに好適で、しかも約
550℃の低温で焼成し得る組成により、最終導電層上
に設けるようにする。この焼成処理は非酸化雰囲気中で
行う必要がある。かかる要求を満足する絶縁性混合物と
しては米国特許願第745.734号明細書(ヨーロッ
パ特許願第85200960.4号明細書)に記載され
ている混合物がある。
本発明の実施例では各導電層を1回のスクリーン印刷処
理で形成すると共にその焼成後の厚さを約15μmとす
る。
2つの導電層を分離する各絶縁層は中間焼成処理を含む
2工程で形成すると共に最終焼成後の厚さをほぼ40μ
mとする。
第3A図に示すようにピン2を導入する基板120の孔
3は種々の方法により、例えばレーザビームを用いるか
又はポーリングにより形成することができる。
後者の方法が好適である。その理由は孔の内側面が基板
の表面状態と同一表面状態であり、従ってピンの装着に
必要な金属鍍金処理を直接行うことができるからである
しかし、レーザによるポーリングを行う場合には孔の内
側の表面がガラス質となり、従って接着性の乏しい亀裂
の入った層が形成きれるようになる。この層は例えば熱
処理を施して除去することができる。
或いは又、孔の内側に2つの金属層、即ち多量のガラス
質バインダ(10重量%まで)を含む第1層および通常
の量のガラス質バインダ(はぼ2重量%)を含む第2層
を堆積することができる。
基板に孔を設けた後導電層10に用いるインクと同一か
又はこれと両立し得る銅含有インクを用いて多層回路を
形成する前に上記孔の金属化を行うのが好適である。こ
の目的のために、金属化に用いるスクリーン印刷インク
を孔3内にリフローインクにより拡散してこの孔の壁部
を被覆し、その後インクを焼成する。同様の処理におい
て基板120の両表面121および122の各々の孔3
の囲りにスクリーン印刷導電リング11および12を設
ける。
電子装置130を装着する金属区域31を基板120の
表面121の中央部分に例えば上述した銅含有インクに
より設ける。従って電子装置と、基板表面121から等
しく突出するピン2の軸部とを囲む基層101に550
℃を超えない温度で固着するものである。
ハウジングが装着された後、例えば電子装置を検査する
間、連続して数回はどその基部からハウジングを持ち上
げる際に、ピンが取り出されるのを避けるため、異形の
ピンが提案されている。本発明により、ピンは、平坦な
頭部を有する軸部(シャンク)、いわゆる平頭くぎの形
状を有する。
このピンを、金属被覆された孔に導入して、孔3の直径
より大きな直径を有する頭部1が基板の第2表面122
に位置し得るようにする。ピンの軸部が表面121から
十分に突出して、例えば/%ウジングがその基体に適切
に固定され、またはハウジングがプリント配線基板に適
切にはんだ付けされるのを確実にする。
この形状のため、本発明によるハウジングのピンは、抜
は出しに対し極めて抵抗力がある。これらピンを形成す
るに適当な金属は、例えば、鉄−ニッケルーコバルトの
合金である。
−電子装置が脆弱である場合には、電子装置をその装着
区域に装着する前にピンをはんだ付けする。
従って、装着区域31および導体の端部8をはんだ付け
工程の間保護する必要がある。この必要性は、合成樹脂
ワニスを数滴供給することにより満足させることができ
る。このワニスは、問題となるはんだに対し耐性があり
、ワニスを取り除いた後も跡が残らず、即ち前記素子へ
のはんだ付けを妨害しないものである。
この目的に適当な製品としては、例えば、離脱可能なワ
ニス、或いはアセトンに溶解することができるエチル−
ブチルポリメタクリレートから成る共重合ワニスがある
。その上、これら製品は、最終ハウジングを保管する間
、それを保護する場合にも使用する。
予め準備した基板にピンを実際に固定する方法として、
3らの方法が例として掲げられる。各方法には、例えば
電気的堆積により、ピンを予め錫鍍金する工程を含んで
いる。
第1の方法において、(60/40)錫/鉛/はんだを
使用してピンを、第1,2または3B図に示すように個
所23にはんだ付けする。この方法には、前もって薄板
状のピン2を孔3に位置決めし、(本発明の一部を形成
しないので記載しない)組立て工程を用いて保持し、は
んだを使用してピンを固着する。このハンダ付けは、不
活性フラックスを使用して温度230℃の上記錫/鉛混
合物を含むはんだ浴に5〜8秒間ピンを液浸させること
により為される。また、“流動はんだ付け”と称される
他の技術を使用することもできる。フラックスを取り除
いて清浄にし、金属区域から保護ワニスを除去した後、
形成されたハウジングの基体には、電子装置1301接
続細条6および第1図に示されるような一部品から成る
保護キャップ141或いは第2図に示すような2構成部
品から成る保護キャップ141を配設する。
その間に、孔13およびリング11および12の金属被
膜を酸化することができる。もしこの酸化処理を行う場
合には、これらのものに、ピンをはんだ付けする前に、
銅層の表面から酸化物を除去する処理を、いわゆる当業
者に既知の処理の中から選択し、それを施す必要がある
。この処理は、例えば、120g/lのアンモニウム過
硫酸塩を含む溶液に5g/lの硫酸を添加したものに、
ハウジングの基体を液浸し、脱イオン水で洗い、圧縮空
気、続いて乾燥器内の80℃の窒素雰囲気中で乾燥させ
る。
続いてハウジングを仕上げるに必要な処理を行うに際し
、ピンを固着した温度を考慮する必要がある。
この理由は、ピンを固着する第1方法により、電子装置
を、銀導電性接着剤を使用して、電子装置の後端部およ
び銅装着区域を共にボンディングすることにより装着す
る。このボンディング工程を、乾燥器の窒素雰囲気中で
行って、銅の酸化を防止する。
次に、端子7および導体の端部8を相互接続する全細条
6を配設する。この配線工程は、例えば、超音波はんだ
付け装置または超音波溶接装置を使用して行い、これに
より導体端部の酸化に無関係となる。
最後の処理は、中空キャップ141またはカバー140
を配設することから成る。ピンを固着する第1の方法を
使用する場合には、この最後の処理は、中空キャップの
端縁に重合化したエポキシ接着剤を供給して、150℃
の窒素雰囲気中で15分間重合させることにより、当該
素子を固着する。これがため、中空キャップを極めて良
好に封止することができる。
斯様にして、錫/鉛はんだを230℃の温度で固着し、
エポキシ接着剤を使用して中空キャップを固着すること
を含むこの第1方法により得られたハウジングは、“ピ
ン・グリッド・アレー・ソケット”と称されるスペーサ
を使用してのみ、プリント配線基板に装着することがで
きる。ハウジングをプリント配線基板に直接はんだ付け
する場合には、第2流動はんだ付け工程を必要とし、こ
の工程は、240℃の温度で5〜10秒間で行われる。
しかし、この温度は、第2の時6間加熱される場合に、
賜/鉛はんだの溶融温度(183℃)より高く、従って
、第1の方法において、ピンをハンダ付けするために使
用されるハンダは、ハウジングを直接プリント配線基板
にはんだ付けするはんだ付け工程に対して耐性がない。
これがため、本発明では、ピンを固着する第2および第
3の方法を提示する。
第2の方法では、さらに追加の金属被膜には、ピンを固
着する前の銅リング11および12に、賜10wt%、
鉛133wt%、銀2wt%の合金を具えるとともに銅
を適切に湿らす活性フラックスを含むインクを、スクリ
ーン印刷法により、供給する。前記フラックスを基板の
各側面に供給して、ピンおよび孔の内側の間のスペース
23(第1.2および3B図参照)を充満するに充分な
量の合金を提供して、前記ピンおよび銅リング間の隅肉
21および22の形成と同様にピンの固定を堅固なもの
とする。次に、コンベア乾燥器の窒素雰囲気中で、32
0℃の温度で、20〜40秒間再び融解させる。従って
、固着されたピンは、280・℃の温度までの再加熱に
対し溶けることがない。
ピンの固着のため第2の方法を使用する場合には、本発
明のハウジングを、プリント配線基板にはんだ付けする
ことができる。その間に、電子装置、細線およびキャッ
プを第1の方法に関して記載したように固着する。
ピンを固着する第3の方法において、リング12とほぼ
同一の形状および寸法を有する丸いプリフォームを、銀
71.15wt%、銅28.1wt%、ニッケル0゜7
5wt%の合金を使用して組立てる。この3元合金は、
780℃〜795℃の範囲内の温度で固体性および流動
性を有し、故にこの溶融サイクルはそれほど厳密でない
。各ピンを対応する金属被膜された孔に挿入し、丸いプ
リフォームをピン頭部1および基板の表面122の間に
配置する。はんだ付け工程はコンベア乾燥器において約
30秒の速さで行なわれる。0.09mm厚さのプリフ
ォームで得られる接合部は極めて良好な品質を有してい
る。
ピンを固着する第3の方法において、電子装置を装着区
域に420℃〜425℃の温度で珪素−金の共晶を再融
解させることにより固着する。金細線を前述の方法によ
り固着し、続いてキャップを、金/錫・はんだを350
℃の温度で使用して固定し、従って他の2方法より気密
封止性が優れたものとなる。
本発明のハウジングの製造方法は、上述の例に限定され
るものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲内で種
々に変更することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明ハウジングの一部分を示す断面図、 第2図は本発明ハウジングの他の例を示す断面図、 第3A図および第3B図は本発明ハウジングを製造する
工程を示す断面図である。 1・・・頭部(2)2・・・装着ピン 3.13・・・孔       6・・・可撓性金属ワ
イヤ7・・・電子装置の入出力端子 訃・・導電体端部    10・・・導電体レベル11
、12・・・導電リング  15・・・絶縁層20・・
・導電体レベル   21.22・・・隅肉23・・・
スペース     31・・・金属区域101・・・絶
縁性保護層 110・・・多層回路(導体回路網) 120・・・セラミック基板 121.122・・・基
板表面130・・・電子装置    140・・・カバ
ー141・・・キャラ−f     150・・・スペ
ーサ特許出願人  エヌ・ベー・フィリップス・フルー
イランペンファブリケン FIG、1 FIG、3A Flo、3 B

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、セラミック基板を具え、該基板上に交互に導電体お
    よび絶縁体の材料を用いるスクリーン印刷により多層回
    路を堆積し、該多層回路によって前記基板に固着された
    電子装置の端子と、前記基板に形成した金属化孔に設け
    られたハウジングの装着ピンとの間の接続を行い、該金
    属化孔には基板の両側に導電リングを設け、該孔および
    導電リングの金属化を前記多層回路の導電材料と両立し
    得る導電材料を用いるスクリーン印刷によって行うよう
    にした電子装置用ハウジングにおいて、前記導電材料は
    、スクリーン印刷し得ると共に少なくとも銅およびガラ
    ス質結晶材料から形成され、且つ中性雰囲気中で銅の溶
    融温度より低い温度で焼成する混合物とし;前記絶縁材
    料は、前記導電材料に対し好適な温度で中性雰囲気中で
    焼成すべきスクリー印刷し得るガラス質−結晶混合物と
    すると共にその膨張係数を焼成温度まで基板の膨張係数
    に適合させ;多層回路の最後の層を保護絶縁ガラス質−
    結晶層とし;前記装着ピンは平坦な頭部を設けた軸部の
    形状とし、該軸部は基板の孔を貫通して基板の片側から
    充分に突出させてハウジングの好適な固着を行い、前記
    平坦な頭部は基板の他側に位置する導電リングに固着し
    ;前記装着ピンは前記孔の金属被覆および導電リングと
    両立し得、且つ溶融温度が前記回路の層の焼成温度にほ
    ぼ等しいかこれよりも低い金属合金によって固着し;前
    記基板上に位置する電子装置の端子を可撓性ワイヤによ
    り多層回路の製造中自由となっている導体の端部に接続
    し;電子装置をキャップにより保護するようにしたこと
    を特徴とする電子装置用ハウジング。 2、基板を酸化アルミニウムとしたことを特徴とする特
    許請求の範囲第1項に記載の電子装置用ハウジング。 3、装着ピンを鉄/ニッケル/コバルト合金とすると共
    にその表面に錫鍍金を施すようにしたことを特徴とする
    特許請求の範囲第1項又は第2項の何れかの項に記載の
    電子装置用ハウジング。 4、電子装置を、多層回路と同一の基板面に形成された
    銅装着区域に、多層回路の導電性インクと同一か又はこ
    れと両立し得る導電性銅含有インクを用いるスクリーン
    印刷により固着するようにしたことを特徴とする特許請
    求の範囲第1項乃至第3項の何れかの項に記載の電子装
    置用ハウジング。 5、装着ピンを、錫/鉛金属合金により固着するように
    したことを特徴とする特許請求の範囲第1項乃至第4項
    の何れかの項に記載の電子装置用ハウジング。 6、装着ピンの固着に用いる金属合金をスクリーン印刷
    し得る混合物に含まれる錫/鉛/銀合金としたことを特
    徴とする特許請求の範囲第1項乃至第4項の何れかの項
    に記載の電子装置用ハウジング。 7、電子装置の装着を、導電性銀接着剤を用いて行うよ
    うるしたことを特徴とする特許請求の範囲第5項又は第
    6項に記載の電子装置用ハウジング。 8、電子装置の保護キャップを単一体から構成すると共
    にこれをエポキシ接着剤を用いて固着するようにしたこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第5項乃至第7項の何れ
    かの項に記載の電子装置用ハウジング。 9、電子装置の保護キャップを2部分、即ちスペーサお
    よびカバーにより構成し、該スペーサは多層回路の保護
    層に、該保護層を構成するインクと同一のインクによっ
    て固着し、前記カバーは前記スペーサにエポキシ接着剤
    を用いて固着するようにしたことを特徴とする特許請求
    の範囲第5項乃至第7項の何れかの項に記載の電子装置
    用ハウジング。 10、装着ピンを固着するために用いる金属合金を銀/
    銅/ニッケル合金としたことを特徴とする特許請求の範
    囲第1項乃至第4項の何れかの項に記載の電子装置用ハ
    ウジング。 11、電子装置を、金−シリコン共晶体により固着する
    ようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第10項に
    記載の電子装置用ハウジング。 12、電子装置の保護キャップを一体とすると共にこれ
    を金/錫合金を用いて固着するようにしたことを特徴と
    する特許請求の範囲第9項又は第10項に記載の電子装
    置用ハウジング。 13、電子装置の端子を多層回路の導体の端部に接続す
    る可撓性ワイヤを金とし、これらワイヤを超音波接着法
    により接着するようにしたことを特徴とする特許請求の
    範囲第4項乃至第12項の何れかの項に記載の電子装置
    用ハウジング。 14、装着ピンの先端部を、多層回路を支持する基板の
    側面から突出するようにしたことを特徴とする特許請求
    の範囲第1項乃至第13項の何れかの項に記載の電子装
    置用ハウジング。 15、特許請求の範囲第1項に記載の電子装置用ハウジ
    ングを製造するに当り、 a)セラミック基板を設け、 b)該基板に、ハウジングの装着ピンを収 容するための孔をあけると共に電子装置を収納するため
    の区域を設け、 c)前記孔を金属化すると共に基板の両側 の孔の周りに導電性リングを設け、これらの処理は、少
    なくとも銅およびガラス質−結晶材料より成り、中性雰
    囲気中で銅の溶融温度より低い温度で焼成される導電性
    インクを用いてスクリーン印刷により行い、これら処理
    に、所望量の導電性インクを前記孔の開口部に堆積する
    工程と、該孔のインクを例えばリフローインクにより拡
    散する工程と、かくして得た層を焼成する工程とを含め
    るようにし、d)電子装置を収納する区域を残して電子 装置の端子の一部を装着ピンの一部分に相互接続する導
    体を形成するようなパターンに従って第1導電層を堆積
    し、この堆積処理は、銅を含有し、前記孔および導電性
    リングの金属化に用いられるインクと同一か又はこれと
    両立し得る導電性インクを用いてスクリーン印刷により
    行い、且つ前記第1導電層を焼成し、 e)電子装置、導電性リングおよび電子装 置の端子とは反対側に位置する導電体の端部を収納する
    区域を残して2つの連続導電層を分離するパターンに従
    って絶縁層を堆積し、この堆積処理は、中性雰囲気中で
    導電性インクの温度と両立し得る温度で焼成され且つ膨
    張係数が絶縁層の焼成温度まで基板の膨張係数に極めて
    近い絶縁性ガラス質−結晶インクを用いてスクリーン印
    刷により行い、且つ前記絶縁層を焼成し、 f)電子装置、導電性リングおよび電子装 置の端子とは反対側に位置する導電体の端部を収納する
    区域を残して電子装置の端子およびハウジングの装着ピ
    ンを相互接続するに要する導電体の回路網が得られるパ
    ターンに従って、導電層および絶縁層を交互に堆積し、
    この堆積処理は、順次に導電性および絶縁性であり、且
    つ前記層を形成するインクの種類と同一か又はこれと両
    立し得る種類のインクを用いてスクリーン印刷により行
    い、最後の層を保護絶縁層とし、且つ前記導電層および
    絶縁層を焼成し、 g)装着ピンを固着するはんだに耐えるワ ニスを用いて、電子装置を収納する区域およびこの区域
    とは反対側に位置する導電体の端部によって形成された
    領域を一時的に保護し、h)平坦な頭部を設けた軸部よ
    り成る金属 ピンを配設し、該軸部は前記孔の個所で基板を貫通して
    基板の片側から充分に突出させることによりハウジング
    を適当に固着し、前記平坦な頭部は基板の他側に設けた
    導電性リングにより支持し、次いで前記孔の金属被覆お
    よび導電性リングと両立し得、且つ溶融温度が多層回路
    の層の焼成温度より低いか又はこれにほぼ等しい金属合
    金を用いて前記装着ピンをはんだ付けし、 i)前記保護ワニスを除去し、 j)基板に設けた前記区域に電子装置を位 置させると共に固着し、 k)電子装置の端子と、多層回路の導電体 の遊端との間に可撓性金属ワイヤを設け、 l)電子装置の保護キャップを固着するよ うにしたことを特徴とする電子装置用ハウジングの製造
    方法。 16、基板を酸化アルミニウムで造るようにしたことを
    特徴とする特許請求の範囲第15項に記載の電子装着用
    ハウジングの製造方法。 17、装着ピンを鉄/ニッケル/コバルト合金とし、そ
    の表面を錫鍍金するようにしたことを特徴とする特許請
    求の範囲第15項又は第16項に記載の電子装着用ハウ
    ジングの製造方法。 18、電子装置が装着される銅含有装着区域は、多層回
    路の導電性インクと同一か又はこれと両立し得る導電性
    銅含有インクを用いてスクリーン印刷により、基板の多
    層回路および第1導電層と同一面に設けるようにしたこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第15項乃至第17項の
    何れかの項に記載の電子装置用ハウジングの製造方法。 19、装着ピンは、錫/鉛/ハンダおよび不活性フラッ
    クスを用い、230℃の温度で“ディップハンダ付け”
    又は“ウェーブはんだ付け”により固着するようにした
    ことを特徴とする特許請求の範囲第15項乃至第18項
    の何れかの項に記載の電子装置用ハウジングの製造方法
    。 20、装着ピンは、活性フラックスを具えるスクリーン
    印刷インクに含まれる錫/鉛/銀合金を用いて固着し、
    この固着処理は、前記孔の内側および装着ピン間の間隙
    を充満し且つ装着ピンおよび導電性リング間にはんだ隅
    肉を形成するに充分な量のインクを基板の導電性リング
    の両側に堆積する工程と、前記合金を中性雰囲気中で3
    20℃の温度で再溶融する工程とを具えることを特徴と
    する特許請求の範囲第15項乃至第18項の何れかの項
    に記載の電子装置用ハウジングの製造方法。 21、電子装置は、導電性銀接着剤を用い、次いで中性
    雰囲気中で加熱することにより装着区域に固着すること
    を特徴とする特許請求の範囲第19項又は第20項に記
    載の電子装着用ハウジングの製造方法。 22、電子装置の一体形成キャップは、重合化されたエ
    ポキシ接着剤により中性雰囲気中で150℃の温度で固
    着するようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第1
    8項乃至第21項の何れかの項に記載の電子装置用ハウ
    ジングの製造方法。 23、電子装置の保護キャップを2部分即ちスペーサお
    よびカバーにより構成し、該スペーサは前記保護層の形
    成に用いられるインクと同一のインクにより、前記金属
    領域をワニスにより保護する前に多層回路の保護層に固
    着し、前記カバーは重合化されたエポキシ接着剤を用い
    、ハウジングの製造時の最終処理において中性雰囲気中
    で150℃の温度でスペーサに固着するようにしたこと
    を特徴とする特許請求の範囲第18項乃至第21項の何
    れかの項に記載の電子装置用ハウジングの製造方法。 24、装着ピンは銀/銅/ニッケル合金を用いて固着し
    、該合金より成るラウンドプレフォームを、装着ピンの
    頭部と基板の該頭部を支持する側面との間に挿入し、は
    んだ付け処理を、780℃乃至795℃の間の温度で行
    うようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第15項
    乃至第18項の何れかの項に記載の電子装置用ハウジン
    グの製造方法。 25、電子装置は、金/シリコン共晶を用いて420℃
    乃至450℃の温度で固着するようにしたことを特徴と
    する特許請求の範囲第24項に記載の電子装置用ハウジ
    ングの製造方法。 26、電子装置の保護キャップは一体に形成すると共に
    金/錫合金を用いて350℃の温度で多層回路の保護層
    に固着するようにしたことを特徴とする特許請求の範囲
    第24項又は第25項に記載の電子装置用ハウジングの
    製造方法。 27、電子装置の端子を導電体の端部に接続する可撓性
    ワイヤを金により造り、これらワイヤを超音波接着法に
    より加熱するか又は加熱することなく固着するようにし
    たことを特徴とする特許請求の範囲第15項乃至第26
    項の何れかの項に記載の電子装置用ハウジングの製造方
    法。 28、装着ピンをハウジングの孔内に導入し且つ固着し
    てその先端部が多層回路を支持する基板の側から突出す
    るようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第15項
    乃至第27項の何れかの項に記載の電子装置用ハウジン
    グの製造方法。 29、多層回路の絶縁保護層の焼成温度を550℃とし
    、他の絶縁および導電層の焼成温度を850℃としたこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第15項乃至第28項の
    何れかの項に記載の電子装置用ハウジングの製造方法。 30、処理の種々の工程を実施する際に用いる中性雰囲
    気を窒素雰囲気としたことを特徴とする特許請求の範囲
    第15項乃至第29項の何れかの項に記載の電子装置用
    ハウジングの製造方法。 31、導電体をほぼ15μmの導電層により形成すると
    共に導電層間の絶縁を全体の厚さがほぼ40μmの2つ
    の絶縁層を重畳して形成するようにしたことを特徴とす
    る特許請求の範囲第15項乃至第30項の何れかの項に
    記載の電子装置用ハウジングの製造方法。
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