JPS6095920A - 物品取扱い装置及び方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 細には、物品の環境汚染を最少にするような態様で、反
応炉内で処理すべき種々の製品を取扱う装置及び方法に
関する。

電子工学技術の分野でよく知られているように、例えば
低温酸化シリコンウエハーのような種々の物品は、環境
汚染の結果として物品が損傷を受け、あるいは台無しに
されないように非常な注意を払って製造されねばならず
、また清浄な，汚染のない製造環境及び処理に対する要
件が断えず厳しく表ってきている。

汚染の見地から非常に厄介な、この種の物品の製造の特
殊な面は、反応炉内で物品を処理することである。反応
炉の作動は、本質的に炉の自着に処理残滓が付着する結
果とな＃）％この残滓は、例えば反応炉内で処理すべき
物品を積下しする間、攪乱されると容易に空気中に含ま
れるようになる。

工業上ｒ，ｊ＃−トＪと呼ばれる支持構造物に処理すべ
き複数の物品を積込むのが一般に行なわれ、ボートは、
取扱う特定の物品及び、反応炉内で達成すべき特定の処
理によって決められるような、種種の形状また種々の材
料で形成されてもよい。しかしながら、一般に？一トは
、処理すべき物品を受容するための複数の区画室が形成
された、ほぼ平行四辺形の断面形状の細長い構造体であ
る。従来、そのような？一トはホイールを有し、？一ト
はそのホイールによって反応炉に入れられまた反応炉か
ら出された。

先行技術の積下し装置は、従来上方に向かって開いた半
円形のトラ７を有し、その中にテートが入れられた。ト
ップは適当なフレームによって支持され、このフレーム
は手で操作されてトラフを上昇させば一トを手直方向に
積重なった？Ｊｌ数の反応炉の選択された７つと整列さ
せた。整列するとトラフから反応炉内に入るようにテー
トは手動で押される。物品の処理が完了したとき、テー
トがころがって先行技術の積下し装置のトラ７に戻るよ
うに、〆一トは反応炉から手動で引き出される。

物品支持装置をころがして（転動させて）反応炉内に入
れまたは反応炉から出すと、炉の操作の直接的な結果と
して、反応炉の内部側壁に存在する反応処理残滓を攪乱
する。そのように攪乱したとき、残滓は、空気中の汚染
物質となり、この汚染物質は処理中の物品を損傷し、時
には全く台無しにする。この、先行技術のカ一ト精工し
装置は以前は用いられてきたが、清浄で無汚染の製造環
境及び処理に対する、ますます厳しくなる要求のためも
はや受け入れられない。先行技術の積下し装置の第１の
問題点は、反応炉内にデートを車動させて挿入し、続い
て引き抜くことであシ、このことが許容できない量の環
境汚染を本質的に引き起こした。第２の問題点線、物品
取扱い装置それ自体を手動で操作しなければならないと
いう要求と、ケートの手動押込み及び引き抜きと、から
生じる。

反応炉の直前にある積込区域は，積下しＯ込み及び積出
し）作業の間、開いておかなければならない反応炉の高
い運転温度のため、そこで働らくいかなる者にとっても
非常に不快な場所である。労働者が極端に熱い積込み区
域から離れられるように、積込み作業に対する押し込み
、積出し作業に対する引き出しばかシでなく同様に、ト
ラフを列作業を急ぐのは当然のことである。反応炉に対
するトラ７の不整合及び、炉の内部側壁とが一トとの間
に間隙が＃司とんどないことによる不整金工２−の余地
が＃１とんどないことからこれらの作業をあわてて達成
しようとすることは、極端に悪化した３ＩＩｔｌＩＩ汚
染を生ずるかもしれない。そして、？一トを注意しない
で反応炉にまっすぐに押し込み、或いはまっすぐ引き出
すならば％カートは傾斜姿勢をとシ、その結果ホイール
は反応炉の内部表面に沿ってころがるよシも模すベシす
る。

従って、先行技術の娩つかの問題点及び欠点を克服する
、新規で改良した物品取扱い＃置及び方法に対する需要
が存在する。

本発明に従ってｔａ［々の製品を精密に取扱うための新
規で改良した装置が開示され、この装置は反応炉内での
処理のために本装置が取扱う物品の汚染を最少にするの
に特に適したものである。

本発明による物品取扱い装置は、プラットホ−ムを備え
、その上に物品移動装置が取付けられ、物品取扱装置紘
、千の／端に物品キャリヤ装置を有する。プラットホー
ムは、プラットホームに対して伸長位置と接遇位置との
間で物品移動装置を水平方向に伸縮可能にかつ往復自在
に駆動するように連結した第１廟動装置及び、物品取扱
い作業の間プラットホームに対して上昇位置と下降位置
の間で物品移動装置を画商方向に駆動するように連結し
た第１駆動装置を収容している。

ある場合には、物品取扱い装置のプラットホームは、単
一の反応炉と一線上に並んだ適当な支持面に固着されて
もよい。その場合、物品取扱い装置は単一の反応炉に使
え、すなわち積下しをする。

しかしながら多くの製造設備では、能率よく製造するた
めに垂直方向に積重ねた複数の反応炉が用いられ、その
場合には垂直方向に積重ねた複数の反応炉のそれぞれに
使えるようにするために、物品取扱装置は装置昇降機構
に支持されるように取付けられる。単数の或いは複数の
反応炉と、隣接する積込区域を環境的に清浄な作業場に
置くことが一般的に行なわれ、これは炉及び積込区謔の
最も近くに、適当な層状空気流装置を設置することによ
シ達成される。層状空気流装置の大きさを小さくするた
めに、又物品取扱い装置の安定性のために、本装置の幣
品移動装置は特殊な形状であることが好ましい。

物品移動装置の好ましい実施例は、プラットホーム上で
反応炉に向ってまたは反応炉から峠れるように往復自在
に可動である細長い往復台と、往復台に対して往復移動
するように往復台によって入れ子犬に支持したビームと
、を有するプラットホームに収容した第を駆動装置が往
復台を往鳴都−動するために連結され、往復台が移動す
るとき、ビームを往復台と同じ方向に、又往復台に対し
て拡大した往復移動で、同時に駆動するように、歯車装
置が往復台とビームとの間に相互連結されている。この
ように、物品移動装置は引込められた位置にあるとき比
較的にコンノやクトであシ、層状空気流装置の大角さを
最少に保ち、物品移動装置が、２つの比較的知い伸縮可
能な構造体によって達成されるので、単一の比較的に長
い伸縮可能な構造体であるよシも物品移動装置の構造上
の安定性は大きくなる。

上述した型の物品を処理するために一般に用いられる反
応炉は円形の断面を有し、その断面は、物品の取扱い及
び処理のために物品を置く支持構造体或いはゲートの断
面寸法よシもわずかに大きい。従って、本発明の物品取
扱い装置は、先に説明した構造上の高い安定性を持たね
ばならず、又。

積下し作業の間、反応炉の内部側壁に沿って引き摺った
シ或いは接触したシしないで、ビートを反応炉内に積込
み、続いて引き出すことができなければならない。この
丸め、プラットホームに収容した第二駆動装置は、昇降
装置に連結され、昇降装置はプラットホームに取付けら
れｓ　７’　、Ｉ’ノットームとつ品移動装置との間の
、垂直方向の離隔関係を変化させるように物品移動装置
に連結されている。物品積込作業の初めに、物品移動装
置は水平方向に引込みかつ垂直方向に降りた位置にあシ
、この位置にあるとき両側に横方向に伸びた耳部を備え
、且つホイールでなく垂下した脚部を有するが一トが、
物品移動装置の伸縮可能な端部に備えられた物品キャリ
ヤ装置上に置かれる。物品移動装置をその伸した位置に
移動する前に、物品移動装置をプラットホームに対して
その上昇位置に上昇させるために、第２駆動装置が作動
される。上昇したとき、？−トの長手方向の中心線は、
積込まれる反応炉の軸線上の中心線とほぼ一直Φ上に並
び１次に物品移動装置を、その水平方向に伸びた位置に
移動するために第７駆動装置が作動される。物品移動装
置の水平方向の伸長＃勅の完了間際に、？−トは、反応
炉の内部側壁に接触せずに反応炉に入る。水平方向に伸
びきった時、物品移動装置を、その垂直方向に下降位ｔ
ＦｔＶＣ下げるために、第２駆動装置は昇降装置が逆方
向に作動するように再び作動される。物品移動装、置の
上昇位置から下降位置への中間点において、テートは、
゛徐徐に移動して反応炉の側壁と支持係合し、物品移動
装置の残りの一下方移動で、？−トから物品キャリヤ装
置が外れる。その後、第１駆動装置が逆方向に作動され
、物品キャリヤ装置を反応炉から水平方向に引き抜き、
下降した物品移動装置をその後退位置に戻す物品の処理
が完了すると、水平方向に後退し、かつ垂直方向の下降
位置にある物品移動装置は、第１駆動装置の作動によっ
てその完全に伸びた位置に移動され、水平方向に完全に
伸びたとき、第２駆動装置が、昇降機構を操作して物品
移動装置をその上昇位置に持上げるように作動される。

物品移動装置の上昇移動の間、物品キャリヤ装置はカー
トと支持係合するように移動し、ケートを徐々に持上げ
て反応炉の内部側壁から離す。テートが反応炉内のｔ′
！！は中心に置かれた上昇位置に物品移動装置が達した
とき、第１駆動＠置け、物品移動装置をその水平方向の
後退位置に戻すことによって、テートを反応炉から引き
抜くように再び作動される。

本発明の装置は、理想的には、装置の種々の動作を感知
して動作指示信号を供給する例えばリミットスイッチ等
の適当なセンサー装置を備えている。信号は、タイきン
グと、作動シーパンスと、装置の他の機能とを制御する
ようにプログラムした適当な動作制御機構に供給される
。装置のそのような自動化が好ましいが、装置は取外し
装置を有し、それによって例えば物品移動＠を−を駆動
モータ或いは手動のいずれかによって選択的に操作する
ことができ、手動操作は保守及び調整等を容易にする。

上述のことから、本発明の物品取扱い装置は。

製造中の汚染から損傷をうけやすい型の楠々の物品を、
汚染の可能性を少なくするように取扱うことができる精
密な装置を用いることによって、先行技術の問題点及び
欠点を克服することができる。

又装置が完全自動であれば、労働者が望ましからぬ環境
で働くという先行技術の必要条件を除き、それによって
そのような労働環境から生じるエラーの可能性もなくす
。

従って、本発明の目的は、新規で改良した物品取扱い装
置及び方法を提供することである。

本発明のもう７つの目的は、汚染損傷の可能性を少なく
するように製造中に汚染損傷を受けやすい型の種々の物
品を精密に取扱う新規で改良した装置及び方法を提供す
ることである。

本発明の更にもう７つの目的は、作業者が望ましからぬ
環境で働らく必要をなくすために、又望〈 ましからめ労Ｐｈホ境から生ずる作業者のエラーの゛可
能性をなくすために完全自動化した、種々の物品を取扱
う、新規な改良した装置及び方法を提供することである
。

本発明の他の目的は、種々の物品を反応炉内で処理する
ために反応炉内に入れ、続いて物品を出すのに特によく
適した上述の特徴を有する新規外改良した装置及び方法
を提供することである。

本発明の更に他の目的は一種々の物品を垂直に積重ねた
複数の反応炉内で処理するために、反応炉内に連続的に
入れることができ、又次の物品の引出しを連続的にでき
る、上に述のした特徴を有する、新規な改良した装置及
び方法を提供することである。

本発明の更に他の目的は、関連する空気清浄装置の大き
さを小さくするために、装置は、その水平方向に引込ん
だ位置にあるときにコン／’Ｐクトであるように、又、
種々の物品を精密に取扱うために、装置は、その水平方
向に伸長した位置にあるとき、構造的に高い安定性を有
するように、特殊な形状をした水平方向に往彷自在に伸
縮可能な物品移動装置を儂えている、上述した特孕を有
する新規々改良した装置を提供することである。

本発明の更に他の目的は、上述した型式の、新却、な改
良した装置を提供することであり、その中で、水平方向
に往復自在に伸縮自在の物品移動装置は昇降装置によっ
て取扱われる物品は、挿入城いは引き出しの間、炉の内
部側壁と接触することなしに物品移動装置によって反応
炉内に挿入でき、又次の引き出しができる。

次に、添付図面を参照して本発明を説明する。

第１図は、本発明の物品取扱い装置２０を示している。

第１図はまた装置２０を、垂直に積み重ねた複数の反応
炉２１及び、例えば層状空気流装置ｄのような、適当な
空気清浄装置２２を含む典形的な環境で用いられるもの
として示している。反応炉２１及び空気清浄装［２２は
周知の技術であシ、ここでの、それらの装置についての
説明は、装置２０の特徴及び操作を完全に理解するため
に必要であると考えられる種々の特徴にとどめる０以下
の説明から、装置２０は事実上どんなものを取扱うのに
も使用してよいということがわかる０しかしながら、装
着２０は低温酸化シリコンウェハー約／θＯθ℃といっ
た高温エピタキシャル処理に用いられるウニノー−１清
浄な環境で取扱われる必髪があり且つ反応炉２１で処理
されなければならない他の半導体ウニノー−のような種
々の物品を取扱うのに特に艮く適している０このため、
以下の説明は、処理のために物品を反応炉２１内に積込
み、処理した物品を次に引き出すための装置ｚＯの使用
に向けられたものであり、このような積込引出しく積下
し）は、空気清浄装置２２によって与えられる清浄な壌
境内で行なわれるＯ後に詳細に説明するように、本発明
の物品取扱い装置ｉ２０は、支持装＠２４の主サブアセ
ンブリＣ半組立体）を含み、支持装置２４は、垂直方向
に可動に取付けたキャリヤ装＠２６を有している０はぼ
水平方向に配置したプラットホーム２８が、キャリヤ装
＃２６とともに垂直方向に動くように、キャリヤ装置２
６によって支持されている。物品移動装ｒＪ１．３０が
プラットホーム２８に取付けられ、物品移動装置３０は
プラットホーム２８に対して、垂直方向に昇降し又水平
方向に伸縮するように操作可能である。物品移動装置３
０は、細長い案内板３２を有し、案内板３２は昇降装着
３４によってプラットホーム２Ｂに連結され、昇降１Ａ
ｂｔ３４は案内板３２を垂直方向に昇降させるように操
作可能である。往復台装置３６は、案内板３２の長さに
沿って往復移動するように、案内板３２に支持され、往
復台装置３６は、装置３６に入れ子犬に取付けられた往
復可能なビーム３Ｂを有する。

ビーム３８の伸長端は、物品運搬装置４０を着脱。

自在に支持するように形造られている。

上述した主サブアセンブリの詳細な説明を始める前に物
品支持装置４２の７つの型が示されている。第２図を参
照するとこの種の物品支持装置は、当技術分野ではデー
トと呼ばれ、第２図に示すゲート４２は、当技術分野で
一般に用いられている形状から変形されたものである。

先行技術のゲートは、ケートをころがして反応炉２１に
出し入れするためのホイールを一般に有している。示さ
れているように％’！’）４２は、細長い多室１本体の
各隅から垂下がった脚部４３を有し、この脚部４３が先
行技術の構造のホイール取って代わった本のである。更
Ｋｓ　’ｌ’　）　４２は、が−ト本体４４の両側から
延びる昇降用耳部４６が設けられることによって先行技
術から変形されている。変形したが一ト構造体４２の目
的及び機能は後に詳細に説明される。

支持装置２４は１例えけ適描なボルトで好ましくは床５
２に据付けた基板５１を有する柱脚５０を含み、又支持
装［２４は直立ソケット部材５３を有し、円筒形のスタ
ンド５４が＃１ぼ垂直状態に配置されるように、細長い
円筒形スタンド５４がソケット部側５３中にしっかりと
取付けられている０ 第３図乃至第６図からよくわかるように、プラットホー
ムキャリャ装置２６は、軸線方向が７５７を形成してい
る管状スリーブ５６を有し、スリーブ５６は垂直なスタ
ンド５４と同軸に取付けられてその長さ方向に沿って軸
線方向に可動である。管状スリーブ５６には上部安定化
装置５８及び同一の下部安定化装置６０が設けられてい
る。

安定化装置５８及び６０が同一であるので、上部安定化
装置５８の詳細な説明は、下部安定化装置６０にも適用
される。

第７図に示すように、上部安定化装＃５８は、一対の凹
いハウジング６１及び６２を有し、一対の囲いハウジン
グは鋳造されるかまたはスリーブ５６と一体に形成され
、ハウジング６１汲び６２が互いにｔｌぼ直角であるよ
うにスリーブから半径方向に延びている。囲いハウジン
グ６１及び６２は、各々管状スタンド５４の周囲に向か
って内方に開いている内部キャビティ６４を形成してい
る。

υ形部材６５が囲いハウジング６１及び６２の各各のキ
ャビティ６４内に取シ付けられ、υ形部材はそれらのキ
ャビティ内で柱脚５４の周囲に向ってまた周囲から離れ
るように可動である。調整ねじ６６は、囲いハウジング
６１及び６２のそれぞれ内で、Ｕ形部材６５の中間部分
６７を支持係合するように蝉着されておシ、ｕ形部材６
５の中間部分６７からキャビティ６４の開放端に向かっ
て延びる間隔をおいた分枝部分６８及び６９の端は、そ
れらの間を横切って延びる軸７０を各々有している。ロ
ーラー７２は、例えば適当な軸受７３（７つだけが示さ
れている）によって軸７０の各各に回転可能に支持され
ている０ローラー７２には継ぎ目なしの■形断面の、斜
めに切った周繰７４が形成されている。スタンド５４の
長さに沿って形成した■形溝７６ところがり係合するロ
ー２−７２は調整ねじ６６によって荷重が掛けられてス
タンド５４を適切に係合する。

スタンド５４及び管状スリーブ５６の長手方向の軸線が
、完全に同軸関係にもたらされ２つ維持されるように、
また、キャリヤ装置ｔ５６が垂直スタンド５４の長手方
向軸線のまわりを回転しないように安定化装置５８及び
６０が調整可能であるということが前述のことかられか
る。

キャリヤ装置２６の管状スリーブ５６は、スリーブから
延びるブラケット７８を備え、ブラケット７８はウオー
ムギヤナツト８０を締結しており、ウオームギヤナツト
８０は垂直駆動装置８４から垂山上方に延びる細長いウ
オームギヤ８２とかみ合う。垂直駆動装置８４は算３図
かられかるようにスリーブ５６の下方で垂直スタンド５
４に略〈取付けられている。

垂直駆動装置８４は適当な締結装置８６によって柱脚５
４に取付けたノーウジング８５を含み、ノ飄つジング８
５は、可逆モータ９０によって駆動される減速歯車列８
８を含んでいる。モータ９０はハウジング８５に適当に
取付けられ、継手ナツト９３によって、歯車列駆動軸９
２に連結した出力軸９１を有している０モータの出力軸
９１は、出力軸を通シ、横切って伸びるビン９４を有し
、ビン９４は継手ナツト９３の一端を横切って形作られ
てナツトの端で開口している横方向スロット９５内に取
外し可能に入れられている。駆動軸９２は、継手ナツト
の他端に近接して形成した直角スロット９７を通して半
径方向に伸びるビン９６を備えている。継手ナツト９３
は圧縮ばね９８によってモータ９０の出力軸９１に向っ
て押圧されており、この圧縮ばねはその一端がハウジン
グ８５内に設けた隔壁９９に係合し、その他端が継手ナ
ツト９３に係合している。ばね９８はナツト９３をモー
ターに向かって押圧しこのことによって、ナツトの横方
向スロット９５に荷重をかけて、モータ出力軸９１の横
断ビン９４に係合させ、モータから最とも離れた直角ス
ロット９７の軸線方向部分の端部に歯車列駆動軸９２の
ビン９６を入れる。このようにして、モータ出力軸９１
は歯車列駆動軸９ｚに連結される。継手ナツト９３はモ
ータ出力軸９１の横断ビン９４から横方向スロット９６
を解放するために、ばね９８の押圧力に抗して軸線方向
に手で引張られ、駆動軸９２のビン９６を、直角スロッ
ト９７の角度部分子ス−）Ｉス４　ｋｌｑ　ＩＦ　−１
１１ｋｂ　ｉｄｉ　＆　ｔｂ　式１−１　イ＋−Ｖ　ｋ
、　ｏ　ｏ　ｔＪ−回転させることによって、モータ出
力軸９１に向かう軸線方向の移動に対してナツトをロッ
クし、それによって歯車列駆動軸９２からモータ出力軸
９１が外れる。

このようにして、歯車列駆動軸９２は、モータ９０又は
ハンドル１００で駆動され、このハンドル１００は歯車
列駆動軸の反対側で適当に支持されている。

歯車列駆動軸９２は、−ハウジング８５内に支持した軸
受１０１内で回転するように軸支され、ウオームギヤ１
０２が駆動軸の両端の間に設けられいる。ウオームギヤ
１０２は比較的小さな平歯車１０３とかみ合い係合し、
平歯車１０３は、ハウジング８５内に回転可能に取付け
られた軸１０４に固着されている。又、比較的大きな平
歯車１０５が１１０４とともに回転するように軸１０４
に固着されて、比較的小さな平歯車１０６とかみ合い係
合し、平歯車１０６は、ハウシフ／ｆ　８５内で回転す
るように軸支される第コ軸１０７に固着されている。比
較的大きな平歯車１０Ｂが第、２１１１１０７とともに
回転するように第コ軸１０７に取付けられ、この比較的
大きな平歯車１ｏｓｔｆ、、比較的小さな平歯車１０９
と駆動状態でかみ合い係合し、この比較的小さな平歯車
１０９はギヤゲツクス出力軸１１０によって支持される
０ギヤボツクス出力軸１１０は、ハウジング８５内に回
転可能に軸支され、ハウジングから垂直方向上方に伸び
る出力端１１１を有している０出力１ｖ１１１１は自在
継手１１２によって、垂直方向に伸びる細長いウオーム
歯車８２の下端に連結されている。

上述したように、ウオーム歯車８２は、支持装置２Ｇの
スリーブ５６のブラケット７８上に支持したウオームギ
ヤナツト８０とかみ合い係合する。

このようにして、駆動モータ９０或いはノンドル１００
によるウオーム歯車８２の回転駆動によって、減速歯車
列８Ｂの減速比によって決定した遅い速度で、スタンド
５゛４の軸上にあるキャリヤ装置２６は、可逆駆動モー
タ９０の駆動方向或いは手動で操作されるハンドル１０
０の回転方向によって決定した上方或いは下方のいずれ
かに上下させられる。

第３図に一番良く示されているようにキャリヤ装［２６
は、管状スリーｆ５６から直角に延びる一体構造部材１
１４を、ブラケット７８に対して反対側Ｋｍえている。

ブラケットホーム２８かはぼ水平面内に支持され、キャ
リヤ装ｒ＃２６とと本に垂直方向に移動可能であるよう
に、構造部材１１４はプラットホーム２８と一体に形ψ
されるかまたはプラットホーム２８に適娼に増刊けられ
ている。

プラットホーム２Ｂは、無端の垂下した側壁１１７を備
えた平坦な上面１１６を有する、細長いほぼ矩形の構造
体であシ、第７図及び第７０図から一番よくわかるよう
に、上面１１６及び側壁１１７は共同して、下方に向か
って開いているキャビティ１１８を形成している。

案内板３２は、プラットホーム２８の平坦な上面１１６
に関して、上方に間隔を籠いて並置した、重なった関係
で取付けられ、この取付けは下で詳細に説明する昇降装
置３４によってなされている。

案内板３２は細長いほぼ矩形構造体であシ、第３図及び
第９図でよくわかるように平坦板１２０を有し、平坦板
は例えば適当な締結デルト１２５でその上面に取付けた
、間隔を置かれた／対の直立する案内レール１２２及び
１２４を有する。案内レール１２２及び１２４は平坦板
１２０の長さ一杯に延び、各々のレールはその外側に面
する垂直面にＶ形構を形成している。案内板３２は更に
、歯車ラック１２８を備え、この歯車ラックは案内レー
ル１２２及び１２４の中間にこれらと平行に長手方向に
延び且つ平坦板１２０から上方に延びるように溶接され
るかまたはしっかりと取付けられている。

案内板３２は、プラットホーム２８に対する水平面内の
いかなる移動に関する限シは固定されておシ、且つ案内
板の長さにそって、往復台装置３６が往復移動可能であ
る軌道機構として働らく。

往復台装置３６は、案内板の長さに沿って一体に往復自
在な下部往復台ハウジング１３０及び上部往復台ハウジ
ング１３２を含むツーピースアセンブリーである。

下部往復台ハウジング１３０は細長い、はぼ矩形の構造
体であり、この構造体は第３図及び第９図からよくわか
るように、長手方向両側の側縁から一体になって手下す
る側面フランジ部分１３５及び１３６を備えたほぼ平坦
な平面部分１３４を有する。垂下フラン’／１３５は案
内板３２の案内レールト２２に対してその外側に間隔を
置いて並置した関係にあり、もう７つの垂下フランジ１
３６は同様に案内板３２にある反対側の案内レール１２
４に対して間隔を置いて並置した関係にある。

各垂下７ランゾ１３５及び１３６の内佃１に而した表面
には、長手方向に砥びるＶ形溝１３８が形成され、■形
溝１３８内には例えば第７１ｇ１に示す端板１４２によ
って、下部往復台ハウジングの両端にデルト止めされる
かまたは取付けられてランナー１４０が固着されている
。各ランナー１４０は方形断面を有し、ランナー１４０
のコーナー縁の７つがＶ形溝１３８から伸びて、案内板
３２の案内レール１２２及び１２４の外側に面した表面
に設けられた、整合するＶ形溝１２６と長手方向に摺動
可能に係合するように、各ランナーは各垂下フランジ１
３５及び１３６にあるＶ形溝１３８内に支持されている
。このようにして、下部往復台ハウジング１３０は案内
板３２上で支持され、それに沿って長手方向に移動可能
である。第７図及び第ｇ図からよくわかるように、下部
往復台／Ｓウジング１３０の平らな平面部分から垂下す
るように、細長い歯車ラック１４４が例えば溶接によっ
て、固着されている。

第１可逆駆動モータ１４６は、モータがプラットホーム
内に形成した下方に向かって開いているキャピテイ１１
８のほぼ内部に配＋Ｓされるようにプラットホーム２８
の平らな上面１１６の下部表面に適当なプ２ケツ）１４
７で取シ付けられている。第１Ｏ図ないし第１コ図から
よくわかるように、モータ１４６の出力軸１４８は継手
ナツト１５２によって、被駆動軸組立体ｉｓｏに連結し
ている。継手ナツト１５２には、被駆動軸組立体１５０
の動力入力端軸セグメント１５５のｌ端に設けられた横
断ピン１５４と取外し可能に係合するように、横方向ス
ロット１５３が形成され、艶にモータ出力軸１４Ｂの半
径方向ピン１５７が配置される直角アングルスロット１
５６が形成されている。継手ナツト１５２は、圧縮はね
１５Ｂによって動力入力端軸セグメント１５５に向かっ
て押圧されている。継手ナツト１５２は上述した継手ナ
ツト９３と厳密に同じように機能するので、被駆動軸組
立体１５０はモータ１４６によって回転するように駆動
されることもでき、吠いは継手ナツト１５２によって組
立体１５０から取シ外すこともできる。取シ外した場合
、被駆動軸組立体１５０は手で操作できるものである。

被駆動軸組立体１ＩｓＯは、動力入力端軸セグメント１
５５と動力出力端軸セグメント１６１との間に置いた自
在継手１６０を有し、動力出力端軸セグメント１６１は
、プラットホーム２８のキャビティ１１８内にあるよう
に、ブラケット１６３によって取付けられた直角駆動機
構１６２を駆動するように適当に連結されている。当技
術分野にお枠て周知であるように直角駆動機構１６２は
、例えばスパペペルギャ（図示せず）を用いることによ
って、平行でない軸間に契１力を伝達する装置である。

直角駆動機構１６２は、上述したように、軸組立体１５
０によって駆動されて、動力を垂直に配置した出力軸１
６４に伝達し、出力軸１６４は第ｇ図に示すように１軸
線方向に延びる軸１６９を有する平歯車１６８を駆動す
るように、すべり継手＠＠１６６によって連結されてい
る。直角駆動機５１６２の出力軸１６４は、例えばニッ
プル１７２を軸線方向に貫通して形成したぎ７１７０の
／端にある止めねじによって固着される。軸線方向に垂
下する軸１７５を有するアダゲタ−１７４は、ニップル
のゲアの他端に取付けられている軸１７Ｂによって、ニ
ップル１７２とともに回転するように取付けられる。軸
１７５は平面１７６を備え、ニップルのが７１７０の上
端は、軸１７５がニップル１７２とともに回転し、ニッ
プル内で軸線方向に摺動可能であるように、形成されて
いる。この理由は下でｉ細に述べる。アダプター１７４
の上端は、例えば適当な止めねじによって平歯車軸１６
９の垂下した端部が取付けられる軸線方向のが７７７を
備え、平歯車軸１６９は平歯車ハウジング五８０に支持
した軸受１７８中に回転可能に軸支されている。平歯車
ハウジング１８０には、適当なねじ１８３によって、本
内板３２の平坦板１２０の上面に取付けられる取付はフ
ランジ１８２が形成されていて、ハウジングは竿内板を
貫通して形成した開口部１８４内に下方に延びている。

上述したとうり、案内板３２はプラットホーム２８に対
して垂直方向に伸縮自在である。従って平歯￥Ｌ１６８
及びその軸線方向に垂下した軸１６９゜平歯嘔ハウジン
グ１８０及びアメシタ−１７４のすべては上述した事柄
、すなわちこれらの要素が相互に連結されていることに
起因して、案内板３２と共に垂ｉα方向に往復移動可能
である。Ｓ地方、エラグ／Ｉ／１７２は直角駆動１構１
６２の出力軸１６４に固着されており、この結果垂直方
向に可動でない。ニラグル１７２のデフ１７０の上方部
分内でアダプター１７４の垂下軸１７５が軸線方向に摺
動可能であるので、すなわち、すべり継手１６６によっ
て平歯屯１６８を直角駆動機構１６２から外すことなく
、この垂直方向の移動が生じる。

平＃＊１６８は、下部往復台ハウジング１３０から垂下
するように固着した細長いラック歯車１４４とかみ合い
係合する。従って、第１町逆駆動モータ１４６は、案内
板３２の長さに沿って下部往復台ハウジング１３０を往
復駆動するために用いられることがわかる。

上述したように、上部柱１台ハウジング１３２は、下嘱
往慢台ハウジング１３０と共に往を夏多動するように固
着されている。上部柱〔褪台）・ウジング１３０と共に
往復移動するよ５に固着されている。Ｆ部往復台ハウジ
ング１３０に対する上部往復台ハウジング１３２のこの
固着は、例えば第７図に示すビルト１８６でなされる。

上部往復台ハウジング１３２は細長い構債体であり、こ
の虜造体は第９図からよくわかるように、長手方向に護
マ哨して形成した下方に開いているチャンネル１８８を
有している。チャンネル１８８は、一対の離れた比較的
長い垂直面１８９と水平方向に配置した比較的桓い上面
１９０とから形成されている。チャンネル１８８の開い
た底部は。

ド部往復台ハウジング１３０の平らな部分１３４の上面
の中央部のすぐ上方に配置され、上述したランナー１４
０と同一形成の細長いランナー１９２が上部柱１台ハウ
ジング１３０の平らな部分１３４の長さに沿って中央に
ｊし成した適当なＵＪσ４に例えば溶接によって固着さ
れている。同様のランナー１９４が細長い満１９６内に
配置した細長い！ロック１９５にｌｉｄ、ＩＩされ細長
い構１９６は上部往復台ハウジング１３２に形成され、
チャンネル１８８０Ｅ端を形成する上面１９Ｇに向って
下方Ｋｎ＜ように配置されている。細長い！ロック１９
３及びそれに支持されたランナー１９４は、１４１９６
内で、チャンネル１ｔ８８に向ってまたはチャンネル１
８８から眉れるよ５に＃動可能であり、適当な止めねじ
１９７（１つが示されている）がＩ＃ＩＩｌ囁いブロッ
ク１９Ｂの上部に当接するように設けられている。

往復可能な入れ子式のビーム３８が、縁を当てた伏噛で
、上部往復台ハウジング１３２のチャンネル１８８に取
付けられている。ビーム３８はほぼ矩形の断面であり、
長手方向の両１ｕ１１面１９８及び、比較的短い下部縁
面１９９及び下部縁面２００を有している。上置縁面１
９９及びＦ部縁面２００の各々は、それらの縁に沿って
長手方向に低びるＵ形溝２０２を有している。Ｅ部縁面
１９９の溝２０２はランナー１９４と摺動支持係合し、
下部縁面２００の１１２０２は、下部往復台ハウジング
の上面に設けたランナー１９２と同様の係合をなしてい
る。従って、ビーム３８はランナー１９２及び１９４に
支持され、それらに沿って摺動可能であり、ランナーと
ビームとの間の支持係合の精密な整合及び荷重調整は、
細長いブロック１９５及びランナー１９４を♂−ム３８
に対して移動するのに用いられる止めねじ１９７によっ
て４成される。入れ子式の細長いビーム３８は則長いラ
ック２０４を備え、第３図及び第９図からよくわかるよ
うに、ラック２０４はビームの長手方向の両１１１１ｆ
ｉ１９Ｂの内の１つ側面の下から横方向及び下方に延び
、下部往復台ハウジング１３０の上部の平らな部分１３
４と向かいあう。歯昨ラック２０４は％第７図に示すよ
うに、後方に配置した端部２０７から１点２０８までビ
ーム３８に沿って長手方向に延び点２０８は前方に配置
したビームの端部２１０から後方に離れている。

＠ｇ図からよくわかるように、歯厚ラック２０４の歯は
案内板３２の上面に同情した歯ＴＩＬラック１２８の、
上方に向いた歯に向かって、下方に向かい、２つの４屯
ラツク２０４及び１２８は互いに垂直方向に間隔を置き
、横方向にずれている。

差動歯嘱組立体２１２は、第７１遁、第９図及び第９Ａ
図に見られるように、ハウジング１３０の平らな部分１
３４を胃通して形成した開口部２１３のすぐ下方で下部
性１台ハウジング１３０の平らな部分１３４の下面に、
調ｌｌ０Ｔ能に取付けられている。差＠１唯組立体２１
２はノ１ウゾング２１４を有し、ハウジングはその上部
及びＩ底部が開いている。減車＠市列は、ノＡウジング
２１４に取付けられ、ハウジング２１４の底部から突出
し案内板３２の［Ｅラック１２８とかみ合い係合する駆
動画一２１５を有する。駆動歯嘔２１５は中間軸２１７
に支持した＠を平歯車２！ｉ６・とがみ合い係合し歯１
１Ｅ２１６はｅＩ！拳２１６が同じ中間軸に支持した第
２平歯唯２１８に回転運動を伝１する。第２平歯唯２１
８は１＃Ｌ列の最終駆動両市２１９とかみ合い係合し、
運動＠ｄｆ、２１９はハウジング２１４の上部から突出
して、入れ子犬ビーム３８の爾東ラック２０４とかみ合
い係合する。

第９Ａ図からよくわかるように、差動南東組立体２１２
のハウジング２１４は、その両側から外に向かって呻び
るｌ対の取付フランジ２２０を有し％１当なボルト２２
２がそのフランジに形成した・端部が開いたスロットな
［４している。はルトをＡｌ１１１することＫよって、
１ＩＩｉ屯２１５と歯厚ラット１２Ｂとの１［の適正な
かみ合い係合及び南東２１９とｍｌラック２０４との間
の１正なかみ合い係合を１我するように、ハウジング２
１４が位ＩＲ決めされる。

上述のように、可逆モータの作動によって案内＃Ｌ３２
に対して下部往復台ハウジング１３０が動かされたとき
、差１ｉｌＩ歯１１Ｅ組立体２１２の＃Ａ動歯屯２１Ｂ
は、案内板３２の歯嘱２ツク１２８に沿ってころがる。

４Ａ動歯＠２１５の回転４動は、中間子＠＠３１６及び
２１８によって伝道され駆動歯嘔２１５と比咬して遅い
速度で最終駆動１東２１９を駆動する。従動歯ボ２１９
は、１屯ラツク２０４を下部往復台ハウジング１３０と
同じ方向に襟形に駆動し、従ってビーム３８は、下部往
虐台ハウジング１３０が動かされる方向によって決定さ
れる方向に、上部往復台ハウジング１３２に対して伸長
位看、或いは後退位１ｔのいずれかに移動する。

差動歯車２１２を、上述したように用いること罠よって
、単一の態動モータ１４６が往復台ハウジングと入れ子
犬Ｖ−ムの両方を同時に駆動し、往復台ハウジングと入
れ子犬ビームの両方は、それらの伸長移動若しくは後退
移動を同時に完Ｔしなければならない。水袋＠２０にお
いては化１隻合ハウジングがダダインチ移動する時、ビ
ームが３２インチ移動して装置２０Ｖｃ７４インチリ槍
伸長能力を与えるために歯数比ａ７１が差動歯車組立体
２１２に対して１択された。

入れ子犬ビーム３８の伸長可能な端部２１０に。

取外し可能に取付けた物！Ａ＝？ヤリャ装置４０は装置
２０によって取扱われる物品を支持するのに適した任意
ノヒ状であってもよい。図示の実施例では、物品キャリ
ヤ装置４０は中間部分２２４を有する二叉構造体であり
、中間部分２２４０両喘か５．平行に噛れた／対の分枝
部分２２６が延びている。

第７Ａ図からよくわかるように、取付は虜ａ体２２６は
、中間部の両端の間から後方に、父上方に延びるように
、中間部分２２４と一体に形成されている。取付けｔｌ
Ｉａ体２２６は１間隔をおいて櫓下する／対のｆセット
２３０を有する、後かに呻びて上方に間隔をおいた板２
２８から、ｌ１１成されている。仮２２Ｂ及びガセット
２３０がｍ−して。

後方及び下方に開くキャピテイ２３２．を形成し、）仮
＠＋　Ｑ：　ｅか喧キャはティ２３２に垂下するように
。

ビ／２３４が例えば溶接によって固着されている。

ＪＩＡ品キャリヤ装ｆｉ４Ｇを下方に移動して伸張可能
な端部２１０に４接したビーム３Ｂの上部縁１９９に形
成した盲穴２３６に、ｉン２３４を係合させることによ
って二叉物品キャリヤ装＃Ｌ４０は、入れ子犬ビーム３
８の伸張可能な端部２１０に取外し可能に取付けられる
っピン２３４が盲穴２３６に受入れられたとき、取付は
構心体の仮２２８はビームの上部と支持係合し、二叉物
品ギヤリヤ裟置の中間部分２２４の後方に面する表面は
ビームの４部表面と支持係合し、ガセット２３０はビー
ムにまたがる。

物品、修動装置ｉｉ　３０は、上述したよ５に、プラッ
トホームに対して物品移動装置１ｉ３０を垂直方向に昇
降するように操作される昇降装置３４によって。

プラットホームに連結されている。第７図及び第１θ図
からよくわかるように昇降装＠３４を裏ノ２ットホ−２
Ａ２　ｇ上の珊れた位置に取付けた一対の同−昇降装Ｗ
１２３８及び２４０を有する。昇降装置２３８と２４０
とが同一であるので、装置２３８に４する次の詳細な説
明は昇降＠置２４０にもまた・商用される。

第７３図からよくわかるよ５に、昇降装置１２３８は、
プラットホーム２８の上面１１６に向って開いているよ
うに１遺したまたは形成した上方に開いているキャピテ
イ２４２内に配置され、キャビティは無端の＋１ｌｌ１
２４３及び底置２４４によってＪヒ戊されている。カム
軸２４６は、底壁２４４を中央で１ｊｊｉｌするよ５Ｋ
ｊｌｒｊＺした軸線方向に以下したがス２４７中に１回
転可能に軸支され、Ｉａｌｌの下端は？スを越えて下方
に延びている。カム情の拡大円筒状頭部２４８はキャピ
テイ２４２内に同心的に配置され、キャピテイ２４２の
１＋’１Ｈ４２４４と頭部の奄部表面との間に置かれた
スラスト軸受２４９に支持されている。カム軸の円筒形
の頭部２４８の周囲に形成した内側にねじ山を有する半
径方向穴２６１に、外帽にねじ山を有する植込？ルト２
５０が螺合し、植込デルト２５０の半径方向に突出した
端部上でカム田−ラー２５２が、ｒＦＭ転可能に支持さ
れる。支持リング２５４はキャピテイ２４２及びカム軸
２４６に対して、すぐ上に同心的に配置されるように、
例えば溶接によって案内板３２に固着されている０円筒
形リング２５６の上端が支持リング及び案内板３２と支
持係合し、固着されるように１円ｆＩＮ形リング２５６
は例えば？ルト２５７（１つを１て示する）によって、
案内板３２に固着されている。円筒形リング２５６は、
案内板３２から、カム軸２４６の拡大円筒形頭部２４８
′を中心とした同心位置に暇下する。ｉ／１＾図乃至第
１ダＣ図からよくわかるように１円筒形リング２５６に
は、その周囲をは通するカムフォロワースロット２１５
Ｂが設けられており、カム軸の頭部２４０から生伍方向
に延びるローラ２５２がスロット２５８に配置されてい
る。カムフォロワースロット２５８は、上部部分２６１
及び下部部分２６２０間に延びる傾斜部分２６０が形成
されている。

カム軸２４６を、以下に説明するように回転させてカム
ローラー２５２をカムフォロワースロット２５Ｂの上部
部分２６１内に配置したとき、円筒形リング２５６は完
全に後退位ｊ直（引込んだ位ｉｔ　）　Ｋあるようにな
り、このリング２５６は、当然、１！１３図に示すよう
にプラットホーム２８に対して案内板３２及び物品移動
装置３０全体を。

その垂直に引込められた下方の位置に、位置決めする。

カム軸２４６を、第１弘ｅｌｌ及び第１ダＣ図の矢印２
６３の方向に回転駆動すると、カムローラー２５２は、
第１４Ａ８図に示されるカムフォロワースロット２５８
の上部部分２６１から傾斜部分２６０に移動する。カム
ローラー２５２のそ５した移動は１円筒形リング２５６
及び物品移動装置３０全体を上方に移動させる。カム軸
２４６を矢印２６３の方向にさらに回転電動させると、
カムローラーをカム７オロワースロツト２５８の下部■
分２６２に入れ、それＫよって円筒形リング２５６及び
物品移動装置ｉ３Ｇ全体を、その完全に上方に呻びた位
置に移動させる。カム軸２４６を矢印２６３によって示
す方向と逆の方向に回転駆動させると、カムフォロワー
スロット内でのカムローラーの移動を逆転させ、それに
よって物品移動装置３０をその引込み位置ＶＣ＃動させ
る。

第１Ｏ図及び第７２図に示すように、第二可逆」動モー
タ２６６をプラットホーム２８によって形成したキャビ
ティ１１８内に配置するように。

モータは適当なブラケット２６７釦よって、プラットホ
ーム２８の平らな上面１１６の下方に向いた面に取付け
られている。モータ２６６の出力軸２６８は、自在継手
２７０によってＪ／ウオーム１１２７２のｌ端に連結さ
れこのウオーム１東２７２は、昇降装＠２３８８Ｃ近接
したグラットホ−ム２８のキャビティ１１８内にあるよ
うに、ヨ。

−り２７３によって回転可能に軸支されている。

駆動１ＩＩＩ１２７４は第１ウオーＡｌ屯２７２の他端
と連結され、傳ｌウオーム歯車から第２ウオーム歯車２
７６に蝋び、この第２ウオーム歯車２７６は、もう１つ
の昇降装置２４０に近接してヨーク２７８内に同様に・
軸支されている。従ってｉＪ逆モータ２６６はλつのウ
オーム南東２７２及び２７６を同時に」動する。

第１Ｏ図かられかるように、昇降懺１ｊｔ２３８及び２
４０のカム軸２４６の下方に突出した！４部にハ各々歯
車セグメント２８０が固着され、昇降装置１２３８の両
市セグメント２８０は、そのカム軸２４６から延びてｔ
ｉｌ！／ウオーム歯＋１．２７２とかみ合い係合し、も
う１つの昇降装置２４０の１嶺屯セグメント２８０は、
そのカム４２４６から延びて第コウオーム＠＠２７６と
かみ合い係合する。

次に、装置２０の動作及び１本発明による物品取扱い方
法の工程をＭ／Ｓ＾図乃至第１左ε図及び第１Ａ図及び
第７７図を参照して説明する。

第１ｊＡ図は、支持装置２４に取付げた垂直方向に可動
のキャリヤ装置２６によって、反応炉２１の１つと整列
するように位置決めした物品取扱い装置２０を示してい
る。物品移動装置ｉｔ３０はプラットホーム２８に対し
て水平方向に、及び垂直方向に後退位置（引込んだ位Ｗ
ｔ　）　Ｋあり、ビート本体４４が分枝部分２２５の間
に寒垂して配置されているように、二叉物品キャリア装
置４０の分枝部分２２５上に物品支持装置すなわちテー
ト４２の昇降用耳部が支持されている。この水平方向及
び垂直方向に後退した位置において、デート４２の長手
方向の中心線は１反応炉の軸線方向の中心線２８２の下
方にある。実際の動作では、物品；多動装置３００重直
方向の移動量はひじように僅かであるので、第１．！ｒ
Ａ図乃至第１！ｒＥ図ではわかりやすいようにこの移動
量を強調しである。

例として、装置２０が＆−）４２を反応炉２１内に入れ
、続いてデートを炉から出すように１７１いられるとき
、垂直方向の移動環は約３Ａインチである。

第１Ｓ日図は次の操作１固を示し、そこでは昇降装置３
４は、物品移動装置３０を、その垂直方向に完全に上昇
した位置まで持上げるように操作される。そのよ５に持
上げる時、ｙｌ？−）４２の長手方向の中心線は上方に
向かって動いて１反応炉２１の＋１Ｊｌｌ　ｔｓ方向の
中心＃ｉ１２８２とほぼ整列するか。

或いはわずかに上方にある。

第１左Ｃ図は、下部往復台ハウジング１３０及び上部往
復台ハウジング１３２を一体に案内板３２に沿って移動
させ、同時に上、邪往マ褪台装置１３２からビーム３８
を伸びるように移動させるために第１可逆モータ１４６
（第１θ図参照）を作動させることによって物品移動装
置３０が操作されているところを示す。

第１ｊＤ図は、完全に伸ばされた位置に移動した物品移
動装置３０を示し、この位置においてが一ト４２は反応
炉２１内に位置している。第７６図でわかるように、反
応炉２１はポートの断面寸法よりもわずかに大きい直径
を有する円筒形の内部を有する。１例えばこの場合、隙
間は約１／４インチである。物品移動装置ｉ３０が第１
３０図に示す位置にある時、ｙｔ’−ト４２は５反応炉
の内部側壁に接触しないように、物品キャリヤ装置４０
によって懸垂されて反応炉２１内に位置する。従って。

デートを反応炉内に仲人している則、デートはこすらず
または引きずられない。さもないと反応炉の内面上に沈
毅した処理中の残滓をゲートは散乱させる恐れがあり、
仮に処理中の残滓を散乱したとすると、汚染の結果とし
て、処理すべき吻、・１ｈを損傷し、或いは破壊する。

第１左Ｅ図は、昇降装置ｉ３４を逆転操作することによ
って、物品移動装置３０が垂直方向にす１込められてい
るところを示している。垂直方向の引込み或いは下降が
ｊ＆初に始まるとき、・Ｓ／７図でわかるように、−一
トの垂下した足４３が、反応炉の内部側壁の下方の弧状
部分と係合するようになるまで、＆−）４２は物品移動
装置ち３０と共に下方に向かって移動する。物品移動装
置３０のさした下方への移動は、二叉物品キャリヤ・装
置４０の分枝部分２２５を眉して下方に移動させ、か（
してｙｌｆ−）４２の昇１４川耳部４６との支持接触を
はがす。このようにして、ｙｌｒ−）４２を反応炉内で
降ろして係合するように設置することによって、脚部４
３は移動して反応炉の内面と罐やかに接触するようにな
り、結果として、吻１易を汚染する処理中の残滓を＠乱
することはほとんどないかまたは全ったくない。物品移
動装置の下方への移動が完了したとき、二叉物品キャリ
ヤ装置４０の分枝部分２２５は第７７図に示す隣接位置
にあるようになる。換言すると、分枝部分２２５はメー
トの昇降用耳部４６と１反応炉の内部側壁のＦ部・瓜状
表面嘔分の中間にあるようになる。

メート４２が反応炉２１内に挿入され又、淘品移動装置
３０が移動して、その垂直方向に完全に引込んだ位置に
なった後、入れ子犬ビーム３８゜上部住１台ハウジング
１３０及びＩＩｓ往ｆＭ台ノーウジング１３２を同時に
後退させる（引込める）ように、第７町逆ｇｉＡ動モー
タ１４６（第１θ図）を。

逆転方向に操作する。このような水平方向の引込みが完
ｒした後、ＪＩ！Ｊ品４動疲１者３０は完全に引込だ位
置にあるようになり、す′なわち面直方向及び水平方向
の両方で第１ｋＡ図に示すようになる。

＠１５Ａ図から、＠／！ｒＥ図まで示し且つと述した１
嘔は、装置２０の物品嘩入渫作モードを構成する。

ｙｌｆ−ト４２に支持された物洛の処４が完了した時、
装置喧２０の物品移動装置１ｉ３０は引抜き操作モード
をａ或するように作動される。引抜き４作モードの第１
］１１．囚は、入れ子犬のビーム３８反び下部庄償台ハ
ウジング１３０．．．ｈ部Ｃ１，置台ハウジング１３２
を同時に水平方向に呻ばすために、＠１０Ｊ　Ｊ駆動モ
ータ１４６を作動させることである。

このｒ、喝は、物品移動装置置３０が曲直方向に引込ん
だ位置にあることでａＩｉ１２１されるので、二叉物品
キャリヤ装置４０の叉２２５は第１７図に示すように下
降した位置で反応炉２１［入る。物品移動装置１１ａｏ
が水平方向に陣びた位置に奏した時、昇降装置３４は、
物品移動装置３０をその曲直方向に呻びた位置に移動す
るように作動され、分枝部分２２５が上方に移動してＭ
−）４２の昇降用耳部４６と係合し、それによって、第
１６図に示すように、メートをその懸垂支持位置まで徐
々に上昇させる。その後、物品移動装置３０は垂直方向
に持Ｅげられた位置のまま水平方向に引込められ、装置
Ｊｉ２０の引抜き１業作モードが完了する。

ｔＡ崗而面簡略な説明 第１図は１本発明の物情取扱い換１准の得硯図であり、
装置の傾々の特徴を示し、装置の部用が特によく！虎す
る代表的な作業環暁内にある裟盾を示す。

＠２図は１本発明による装置によって慣用的に取扱われ
るｉｌ＆の罐々の物品を、’ｌ！搬するための代表的な
構祷本の斜戊図である。

４３図は１本＠徒が＠１ば方向に、＊み眞ねた復敢の吻
易処４　ｔ’ｌＡ　６ｍを−かせるよ５に用いられる時
、本装置ＮＫ関連する本装置を支持し移動する装置と共
に本装置を示す部分・喘面図である。

第を図は、第３図のｔ−弘襟に沿った部分断面（広大図
である。

第Ｓ図は、１３図の３−５襟に沿った部分断面拡大図で
ある。

ｒ４６図は、第５図の６−６線に沿った“部分断面―で
ある。

１７図は１本発明の装置の特徴を示すために部分的に切
欠に示す本発明の装置の物品移動装置の側面図である。

第７Ａ図は、第７図で７Ａとして示す円形部分の特敵を
示すために部分的にの欠いである部分的拡大図である。

第３図は、第７図のｇ−ｇ線に沿った部分断面拡大図で
ある。

第９図は、第７図の９−タ線に沿った部分断面拡大図で
ある。

：４Ｓ９Ａ図は、第９図の９Ａ−９ＡＩｉＩｌｉ！に沿
った部分断面拡大図である。

第１０図は第７図の／θ−ＩＯ線に沿った部分断面拡大
図である。

第１／図は、第１０図で／ｌで示す円形部分の特徴を示
すために部分的に切欠いであるｔｒｙｓ分的拡人的拡大
図。

第１２図は、笥１０図の／コー／コ線に沿った部分断面
拡大図である。

第７３図は、第１０図の／３−／３，１Ｉｌｊに沿った
拡大断面図である。

遺／４Ａ図ないし第１り０図は、第１３１ての／’Ｉ−
／弘線に沿った断面図であり、第１３図にへ 示す昇降装置の作動時の位置を示す。

第１ＳＡ図ないし第１ｊＥ図は、本装置の概略側面図で
あり１本発明の方法の捕々の１胤を示す。

第１６図は第１夕り閏の／ｌ、−７６線に沿った部分断
面図である。

第７７図は第１．５’Ｅ図の／　７−　／　７；諌に沿
った部分断面（Δである。

２４、、、、支持装置、　８４・・・・重直嘔動装置・
３０・、・・物品＃動装置、２６　、、、、キャリヤ装
置。

２０・・・・物品取扱い装置、３６・・・・往復台装置
、４０・、・・物品キャリヤ装置、４２．、、、物品支
持装置。

第１頁の続き ＠発明者　シェリー　アーネスト　アメリカ合衆国トン
　エリス　４１９

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１１（ａ）　はぼ水平な平面内に配置した細長い形状
   のプラットホームと、 （ｂ）　前記プラットホームに取付けられ、且つほぼ水
   平な平面内で、前記プラットホームに対して伸長位置と
   後退位置との間で往復移動でき、嫌は垂直表子面内で、
   前記プラットホームに対して上昇位置と下降位置との間
   で往復移動できる物品移動装置と、 （ｅ）　前記物品移動装置と共に移動するように、前記
   物品移動装置に、取外し可能に取付けられ、且つ取シ扱
   う物品を受け入れ支持する物品キャリヤ装置と、 （ｄ＞　前記物品移動装置をはは水平な平面内で往復移
   動させる第１装置と、 （ｅ）前記物品移動装置を＃１ぼ垂直な平面内で往復移
   動させる第２装置とを、 有することを特命とする、種々の物品を取扱うための装
   置。 （２）　（ａ）　処理すべき少くとも７つの物品を物品
   支持装置上に置き、 （ｂ）　反応炉の内部に関して水平方向に整列し且つ間
   隔を置いた関係にある物品取扱い装置に設けた物品キャ
   リヤに前記物品支持装置を會垂させ、 （Ｃ）　前記物品取扱装置を上昇させて前記物品支持装
   置の中心線を前記反応炉内の中心線と整合させ、 （ｄ）　前記物品取扱装置を、前記反応炉にむがって水
   平方向に伸長させて前記物品支持装置を、懸垂した状態
   で前記反応炉内に挿入（７、（ｅ）　前記物品取扱装置
   を垂直方向に下降させて前記物品支持装置を前記反応炉
   の内部と支持係合させ且つ前記物品支持装置から前記物
   品キャリヤ装置を外し、 （ｆ）　前記反応炉から、前記物品取扱装置を水平方向
   に引込める、 ことを特徴とする物品を取扱う方法。