FR2553071A1 - Appareil et procede pour la manipulation d'articles - Google Patents

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articles
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Donald M Olson
Normal L Jackson
Jerry E Tong
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Advanced Semiconductor Materials America Inc
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Advanced Semiconductor Materials America Inc
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Abstract

DISPOSITIF 20 DE MANIPULATION D'ARTICLES 42, QUI CONVIENT TOUT PARTICULIEREMENT POUR CHARGER DES ARTICLES DANS UN FOUR A REACTION 21 POUR TRAITER ET ENSUITE DECHARGER LES ARTICLES TRAITES. LE DISPOSITIF 20 DE MANIPULATION D'ARTICLES EST SUPPORTE ET VERTICALEMENT MOBILE EN ALIGNEMENT AVEC LE FOUR A REACTION 21 ET COMPREND UN DISPOSITIF 30 DESTINE A DEPLACER LES ARTICLES, LEQUEL PEUT ETRE DEPLACE VERTICALEMENT DANS LES DEUX SENS ET DEPLACE HORIZONTALEMENT DANS LES DEUX SENS POUR CHARGER LES ARTICLES DANS LE FOUR A REACTION ET ENSUITE POUR DECHARGER CES ARTICLES EN APPORTANT LE MINIMUM DE PERTURBATION AUX RESIDUS DU PROCESSUS DE REACTION QUI POURRAIENT SE DEPOSER SUR LES PAROIS INTERNES DU FOUR A REACTION. APPLICATION NOTAMMENT AU TRAITEMENT DE PUCES OU SUBSTRATS D'OXYDES DE SILICONES ET DE SEMI-CONDUCTEURS A BASSES TEMPERATURES.

Description

L'invention a trait en général aux mécanismes destinés à la manipulation
d'articles at plus particulièrement à un appareil et à un procédé pour la manipulation de différents articles de fabrication que l'on
doit traiter dans des fours à reaction afin de réduire au minimum la con5 tamination des articles par l'environnement.
Il est bien connu que,dans l'industrie de l'électronique, la fabrication de différents articles, tels que les puces ou substrats d'oxyde de silicone à basse température, doit s'effectuer avec des soins extrgmes afin d'empocher que ces articles soient détériorés et éventuellement dé10 truits par suite de contamination par l'environnement, et'les exigences
pour obtenir un environnement et un procédé propres et non-polluants deviennent de plus en plus strictes avec le temps.
Une phase particulière de la fabrication de ce genre d'articles et qui est très difficile du point de vue de la contamination est le trai15 tement d'articles dans des fours à réaction Le fonctionnement de fours à
réaction se traduit normalement par le dép 8 t d'un résidu du traitement sur les parois internes des fours et ce résidu devient facilement volatile si on le perturbe, par exemple pendant le chargement et le déchargement des articles à traiter dans les fours.
Il est d'usage courant de charger plusieurs articles à traiter dans des structures de support que l'on désigne dans l'industrie par le nom de "barquettes"; ces barquettes peuvent être réalisées en divers matériaux et avoir des formes différentes selon les articles à traiter en particulier et le processus déterminé qui doit se dérouler à l'intérieur 25 des fours Toutefois, ces barquettes sont en général des structures de
forme allongée à section transversale sensiblement en forme de parallélogramme avec de multiples compartiments intérieurs destinés à recevoir les articles à traiter De telles barquettes comportent d'ordinaire des roulettes qui permettent de les faire entrer dans le four, puis sortir, 30 en roulant.
Les dispositifs de chargement et de déchargement suivant l'art antérieur comprenaient traditionnellement une cuvette semi-circulaire s'ouvrant vers le haut et dans laquelle on charge les barquettes Cette cuvette est supportée par un bâti approprié actionné manuellement pour éle35 ver la cuvette et par conséquent la barquette jusqu'au niveau d'un four particulier choisi parmi plusieurs fours à réaction alignés verticalement entre eux et dans lequel la barquette doit être introduite Lorsque la barquette est correctement alignée avec le four choisi, on la pousse manuellement afin qu'elle roule et quitte ainsi la cuvette pour pénétrer dans le four à réaction Lorsque le traitement des articles est terminé, la barquette est extraite manuellement du four à réaction afin qu'elle sorte en roulant de celui-ci pour revenir sur la barquette du dispositif
de chargement et de déchargement suivant l'art antérieur.
Le roulement de la barquette porteuse des articles, lorsqu'elle entre et sort du four à réaction, se traduit par une perturbation du résidu du traitement par réaction qui se trouve sur les parois latérales internes du four à réaction en conséquence directe du fonctionnement du four Lorsqu'il est ainsi perturbe, le résidu se volatilise, se met en suspension et devient ainsi un agent de contamination qui risque d'endommager et parfois de rendre totalement inutilisables les articles soumis au traitement On a utilisé pendant un certain temps ce dispositif suivant l'art antérieur pour charger et décharger les barquettes, mais il n'est désormais plus acceptable en raison des exigences sans cesse ac15 crues imposées pour obtenir un environnement et des procédés y afférents
qui soient à la fois propres et exempts de pollution Le problème que pose le dispositif de chargement et de déchargement selon l'art antérieur qui a été sommairement décrit ci-dessus est celui que l'on vient d'évoquer concernant l'introduction, puis l'extraction qui s'ensuit en faisant 20 rouler les barquettes par rapport au four à réaction, ces mouvements entrainant un degré inacceptable de pollution ou de contamination Le second problème résulte de l'actionnement manuel du dispositif de manipulation des articles, en tant que tel, ainsi que de l'action de pousser et extraire manuellement la barquette elle-m 9 me La zone de chargement qui 25 se trouve juste devant le four à réaction est un endroit très inconfortable pour toute personne devant y travailler, en raison des très hautes
températures de traitement du four à réaction, lequel doit nécessairement rester ouvert pendant les opérations de chargement et de déchargement La tendance naturelle pour un opérateur est de hâter la mise en alignement de la cuvette ainsi que les phases de poussée pour le chargement et de traction pour le déchargement, afin qu'il puisse sortir de la zone de chargement, particulièrement chaude Or, une exécution trop hâtive de ces opérations risque d'entra Iner une contamination extrêmement aggravée de l'environnement par suite d'un défaut d'alignement entre la 35 cuvette et le four à réaction correspondant, et l'on dispose d'une très faible marge d'erreurs d'alignement du fait qu'il n'y a qu'un jeu extrêmement réduit entre la barquette et les parois internes du four En outre, si la barquette n'est pas poussée ou tirée en position droite à travers l'ouverture du four, elle risque de prendre une position en biais -3 qui fait glisser plut 8 t que rouler les roulettes sur les-surfaces des
parois internes du four à réaction.
Par conséquent, il existe une demande pour un appareil et un procédé nouveaux et perfectionnés de manipulation d'articles qui puissent résoudre les problèmes et inconvénients qui caractérisent l'art antérieur. Conformément à la présente invention, il est prévu un appareil nouveau et perfectionné pour la manipulation de précision de différents articles de fabrication, cet appareil convenant tout particulièrement
pour réduire la contamination d'articles pendant leut manipulation néces10 saire pour en assurer le traitement dans un four à réaction.
L'appareil pour la manipulation d'articles suivant la présente invention comprend une plateforme sur laquelle est monté un dispositif assurant le déplacement des articles, ce dispositif présentant à une extrémité un moyen porteur d'articles La plateforme renferme un premier 15 dispositif d'entra nement qui est conçu pour entra Pner verticalement le dispositif de déplacement des articles entre une position haute et une position basse par rapport à ladite plateforme pendant les opérations de
manipulation des articles qu'elle porte.
Dans certains cas, la plateforme de l'appareil de manipulation 20 d'articles peut être portée à poste fixe par une surface porteuse appropriée alignée par rapport à un four unique à réaction Dans ces cas particuliers, l'appareil de traitement des articles desservira, c'est-àdire
chargera et déchargera, uniquement ce four unique à réaction.
Cependant, dans la plupart des installations, on utilise un empi25 lage vertical de plusieurs fours à réaction pour des raisons d'efficacité dans le rendement, et dans ces cas spécifiques l'appareil de manipulation d'articles est porté par un mécanisme élévateur permettant de desservir
chacun des multiples fours à réaction superposés verticalement entre eux.
Il est de pratique courante de placer le ou les fours à réaction ainsi que la zone adjacente de chargement dans un poste de travail propre, du point de vue de l'environnement, cette condition étant réalisée en disposant un équipement approprié à écoulement d'air laminaire à proximité des fours et de la zone de chargement Pour réduire au minimum l'encombrement d'un tel équipement produisant un écoulement laminaire de l'air et pour assurer la stabilité de l'appareil de manipulation des articles,
le dispositif qui assure le déplacement des articles dans l'appareil suivant l'invention présente une architecture particulière.
Le mode préféré de réalisation du dispositif d'entraînement des articles comprend un chariot de forme allongée qui peut se déplacer dans les deux sens longitudinaux sur la plateforme pour se rapprocher et s'éloigner du four à réaction, ainsi qu'une poutre montée téléscopiquement sur le chariot de manière à pouvoir effectuer des mouvements longitudinaux extensibles également dans les deux sens mais par rapport au chariot. 5 Le premier dispositif d'entraînement logé dans la plateforme est accouplé de façon à assurer l'entraînement dans les deux sens du chariot, et un mécanisme à engrenages est interposé en guise de transmission entre le chariot et la poutre de telle sorte que, quand le chariot se déplace, le mécanisme à engrenages entratne simultanément la poutre dans le même sens 10 que le chariot en effectuant un mouvement d'extension longitudinale par rapport au chariot Ainsi, le dispositif d'entraînement des articles est relativement compact lorsqu'il est en position rétractée, ce qui maintient dans des dimensions minimales l'encombrement de -1 'équipement produisant l'écoulement laminaire de l'air; en plus, étant donné que la mise en ex15 tension du dispositif d'entratnement des articles est assurée par deux
structures relativement courtes, au lieu d'une structure unique et relativement longue, on obtient une stabilité maximale du dispositif d'entra nement des articles.
Les fours à réaction habituellement utilisés pour le traitement 20 d'articles du genre précité ont une section transversale circulaire qui est à peine plus grande que la section transversaie des structures de support, ou barquettes, dans lesquelles on place les articles pour les manipuler et les traiter Par conséquent, l'appareil pour la manipulation d'articles suivant la présente invention doit posséder la grande stabilité 25 structurale mentionnée plus haut et de plus être capable de charger la barquette dans le four à réaction, puis de décharger cette barquette, sans lui permettre de frotter contre les parois latérales internes du four, ni d'entrer en contact d'une manière quelconque avec ces parois, pendant les opérations de chargement et de déchargement Pour ce motif, le second dispositif d'entraînement logé dans la plateforme est accouplé à un moyen de levage qui est monté sur la plateforme et relié au dispositif de déplacement des articles afin de modifier l'écartement vertical entre la plateforme et le dispositif de déplacement des articles Au début d'une opération de chargement des articles, le dispositif de déplacement des articles se trouve dans une position horizontalement en retrait et verticalement basse, et lorsqu'elle se trouve dans cette position, la barquet#e, qui est munie d'oreilles qui font saillie latéralement de part et d'autre et de pieds qui font saillie vers le bas à la place des roulettes, est placée sur le dispositif porteur d'articles qui est placé à son tour sur l'extrémité extensible du dispositif de déplacement des articles Avant d'actionner le dispositif de déplacement des articles vers sa position d'extension, on actionne le second moyen d'entraînement afin d'élever le dispositif de déplacement des articles jusqu'à sa position haute par rapport à la plateforme Après ce relevage, l'axe longitudinal de la barquette est sensiblement aligné avec celui du four à réaction à charger, et ensuite on actionne le premier dispositif d'entraînement afin de mettre le dispositif de déplacement des articles en position d'extension horizontale Lorsque ce mouvement d'extension horizontal est presque fini, la barquette pénètre dans le four à réaction sans en toucher les parois latérales internes Une fois la position- d'extension horizontale maximale atteinte, on actionne de nouveau le second dispositif d'entra Inement pour faire fonctionner le dispositif de levage dans le sens inverse, ce qui abaisse le dispositif de déplacement des articles vers sa position 15 basse En un point intermédiaire du parcours entre la position haute et la position basse du dispositif de déplacement des articles, la barquette vient prendre doucement appui sur les parois latérales du four à réaction, et le complément du mouvement vers le bas du dispositif de déplacement des articles dégage le moyen porteur d'articles de la barquette Puis, 20 c'est le premier dispositif d'entraînement qui est actionné dans le sens inverse, afin d'extraire horizontalement le moyen porteur d'articles du four à réaction pour renvoyer ce moyen porteur d'articles à sa position rétractée Lorsque le traitement des articles est terminé, le dispositif de déplacement des articles, qui se trouve en position horizontalement rétractée et verticalement abaissée, se déplace jusqu'à sa position d'extension maximale en actionnant le premier moyen d'entrafnement, et lorsqu'il a atteint sa position d'extension horizontale maximale, c'est le second moyen d'entraînement qui est actionné afin de commander le mécanisme de levage et de soulever le dispositif de déplacement des articles jus30 qu'à sa position haute Pendant ce mouvement d'élévation du dispositif de déplacement des articles, le moyen porteur d'articles reprend sa position o il est en contact avec la barquette et soulève doucement celle-ci pour l'éloigner des parois latérales internes du four à réaction Lorsque le moyen de déplacement des articles atteint sa position haute dans laquelle 35 la barquette est à peu près centrée par rapport au four à réaction, le premier moyen d'entraînement est actionné de nouveau pour extraire la barquette du four à réaction grace au renvoi du dispositif de déplacement des
articles vers sa position rétractée.
L'appareil suivant la présente invention comporte idéalement des -6 moyens palpeurs adéquats, par exemple sous forme de contacteurs fin de
course et similaires, pour détecter les différentes phases du fonctionnement de l'appareil et fournir des signaux indicateurs de fonctionnement.
Ces signaux sont appliqués à un mécanisme approprié de commande du fonc5 tionnement, lequel est programmé pour commander la synchronisation, les séquences de fonctionnement et d'autres fonctions de l'appareil Une telle automatisation de l'appareil est préférable; toutefois, l'appareil comporte des dispositifs de coupure qui permettent, par exemple, d'actionner séléctivement le dispositif de déplacement des articles soit par l'entre10 mise d'un moteur d'entraînement, soit manuellement, cette possibilité de fonctionnement manuel facilitant l'entretien, les réglages, etc. D'après ce qui précède, on peut constater que l'appareil pour la manipulation d'articles suivant la présente invention permet de résoudre les problèmes et d'éviter les inconvénients de l'art antérieur en réali15 sant un appareil de précision qui est capable de manipuler différents articles, par exemple du genre risquantd'être endommagés par contamination pendant leur fabrication, d'une manière qui réduit au minimum la possibilité d'une telle contamination En outre, l'appareil peut être entièrement automatisé, ce qui élimine la nécessité, connue dans l'art antérieur, de 20 faire travailler un opérateur dans un environnement nocif, ainsi que la
possibilité d'erreurs résultant d'un tel environnement.
Par conséquent, l'un des buts de la présente invention consiste
à prévoir un appareil et un procédé nouveaux et perfectionnés pour la manipulation d'articles.
Un autre but de l'invention consiste à prévoir un appareil et un procédé nouveaux et perfectionnés pour la manipulation de précision de différents articles du genre susceptible de subir une détérioration par contamination pendant leur fabrication, de manière à réduire au minimum
la possibilité d'une telle détérioration par contamination.
Par ailleurs, l'invention a pour but de prévoir un appareil et un procédé nouveaux et perfectionnés pour la manipulation de différents articles, cet appareil pouvant être totalement automatisé afin d'éviter
de contraindre un opérateur à travailler dans un environnement nocif tout en rendant impossible une erreur humaine due à un environnement indésira35 ble dans le travail d'un opérateur.
D'autre part, l'invention a pour but de prévoir un appareil et un procédé perfectionnés et nouveaux, du genre sus-indiqué, lesquels conviennent tout particulièrement pour le chargement de différents articles dans un four à reaction pour y subir un traitement et pour le déchargement
de ces articles en fin de traitement.
Un but complémentaire de la présente invention consiste à prévoir un appareil et un procédé nouveaux et perfectionnés, du genre précité, lesquels sont capables d'assurer le chargement en série de-différents articles dans plusieurs fours à réaction empilés verticalement afin d'y
traiter les articles et ensuite de les décharger de ces fours.
En outre, l'invention a également pour but de prévoir un appareil et unprocédé nouveaux et perfectionnés du genre sus-indiqué, l'appareil comportant l'usage d'un moyen pour déplacer des articles horizontalement 10 en extension dans les deux sens, ce moyen ayant une architecture particulière grâce à laquelle l'appareil devient relativement compact lorsque ce moyen est en position horizontalement rétractée, afin de réduire au minimum les dimensions de l'équipement y associé pour l'épuration de l'air,
tout en possédant une grande stabilité structurale lorsque ledit moyen 15 est en position d'extension horizontale'afin de permettre une manipulation précise des différents articles.
Cependant, la présente invention a également pour but de prévoir un appareil nouveau et perfectionné du genre mentionné ci-dessus, dans lequel les moyens prévus pour assurer le déplacement alternatif en extension 20 horizontale des articles comportent un moyen de levage grace auquel les articles en cours de manipulation par l'appareil peuvent etre introduits dans' les fours à réaction puis retirés de ceux-ci sans entrer en contact avec les parois latérales internes des fours au cours de l'introduction ou du retrait Ces différents buts de la présente invention ainsi que les caractéristiques proprement dites de l'invention ressortiront davantage au cours
de la description qui suit et se réfère aux dessins annexés, sur lesquels:
La FIGURE 1 est une vue en perspective de l'appareil pour la manipulation d'articles suivant la présente invention, illustrant les diffé30 rentes caractéristiques de l'invention et montrant l'appareil dans un environnement de travail caractéristique o son utilisation convient tout particulièrement; La FIGURE 2 est une vue en perspective d'une structure caractéristique, conçue pour supporter plusieurs articles différents et qui se prête 35 idéalement à une manipulation par l'appareil suivant l'invention; La FIGURE 3 est une vue partielle en élévation de l'appareil, comportant un moyen de support et de déplacement utilisé pour desservir plusieurs fours de traitement d'articles, ces fours formant un empilage vertical; La FIGURE 4 est une coupe partielle et agrandie faite suivant la ligne 4-4 de la Figure 3; La FIGURE 5 est une coupe partielle et agrandie faite suivant la ligne 5-5 de la Figure 3; La FIGURE 6 est une coupe partielle faite suivant la ligne 6-6 de la Figure 5; La FIGURE 7 est une vue en élévation latérale de la partie de l'appareil qui assure le déplacement des articles,-suivant la présente invention, avec arrachement partiel destiné à en montrer les différentes ca10 ractéristiques; La FIGURE 7 A est une vue agrandie en élévation avec arrachement partiel montrant les caractéristiques de la partie encerclée désignée en 7 A sur la Figure 7; La FIGURE 8 est une vue agrandie en coupe partielle faite suivant 15 la ligne 8-8 de la Figure 7; La FIGURE 9 est une vue agrandie en coupe partielle faite suivant la ligne 9-9 de la Figure 7; La FIGURE 9 A est une coupe partielle et agrandie faite suivant la ligne 9 A-9 A de la Figure 9; La FIGURE 10 est une vue agrandie en coupe faite suivant la ligne -10 de la Figure 7; La FIGURE 11 est une vue en coupe partielle et agrandie, avec arrachement partiel, montrant les caractéristiques de la partie encerclée désignée en 11 sur la Figure 10; La FIGURE 12 est une vue en coupe partielle et agrandie faite suivant la ligne 12-12 de la Figure 10; La FIGURE 13 est une vue agrandie en coupe faite suivant la ligne 13-13 de la Figure 10; Les FIGURES 14 A, 14 B et 14 C sont des vues en coupe faites suivant 30 la ligne 14-14 de la Figure 13, montrant les positions de travail du dispositif de levage représenté Figure 13; Les FIGURES 15 A, 15 B, 15 C, 15 D et 15 E sont des vues schématiques en élévation latérale de l'appareil, montrant les différentes phases du procédé de la présente invention; La FIGURE 16 est une coupe partielle faite suivant la ligne 16-16 de la Figure 15 D, et La FIGURE 17 est une coupe partielle faite suivant la ligne 17-17 de la Figure 15 E. Si l'on se reporte plus en détail aux dessins annexés, on voit sur -9 la Figure 1 que l'appareil suivant l'invention, conçu pour la manipulation d'articles, est désigné dans son ensemble par le chiffre de référence 20 La Figure 1 montre également que l'appareil 20 est utilisé dans un environnement caractéristique qui comprend plusieurs fours à réaction 21 empilés verticalement ainsi qu'un équipement 22 pour l'épuration de l'air, par exemple un dispositif à écoulement laminaire de l'air Les fours àa réaction 21 et l'équipement d'épuration de l'air 22 sont bien connus dans
l'art, aussi la description de ces dispositifs sera limitée ici à leurs
différentes caractéristiques dans la mesure o cela semble nécessaire pour assurer une compréhension totale des caractéristiques et du mode de
fonctionnement de l'appareil 20.
On constatera, d'après la description qui suit, que l'appareil 20
peut être utilisé pour manipuler pratiquement n'importe quel article Toutefois, l'appareil 20 convient tout particulièrement pour la manipulation 15 de divers articles, par exemple des puces ou substrats d'oxyde de silicium à basse température, de substrats ou puces destinés à être utilisés dans des traitements épitaxiaux à haute température, c'està-dire d'environ
1 000 C, ou d'autres substrats de semiconducteurs que l'on doit manipuler dans un milieu propre et que l'on doit traiter dans des fours à réaction 20 21 Pour cette raison, la description qui suit sera orientée vers l'usage
de l'appareil 20 pour le chargement de tels articles dans des fours à réaction 21, en vue de leur traitement, et pour le déchargement suivant des articles traités, ces phases de chargement et déchargement étant exécutées
dans un environnement propre obtenu grace à l'équipement 22.
Ainsi qu'il sera décrit plus loin en détail, l'appareil 20 de traitement d'articles suivant la présente invention comprend les principaux sousensembles d'un support 24 sur lequel est monté un dispositif porteur 26 à mobilité verticale Une plateforme 28 sensiblement horizontale est supportée par le dispositif porteur 26 et peut se déplacer ver 30 ticalement avec celui-ci Un dispositif 30 destiné à déplacer les articles est monté sur la plateforme 28 et fonctionne de façon à pouvoir s'élever et s'abaisser verticalement par rapport à la plateforme 28, et aussi à pouvoir être mis en extension ou rétracté horizontalement par rapport à la plateforme Le dispositif de déplacement 30 des articles comprend une 35 glissière allongée de guidage 32 accouplée à la plateforme 28 par un moyen de levage 34 dont le fonctionnement permet d'actionner verticalement dans les deux sens la glissière de guidage 32 Un chariot 36 est porté par cette glissière de guidage 32 de façon à permettre le mouvement dans les deux sens du chariot le long de la glissière; dans le chariot 36 est montée téléscopiquement une poutre extensible 38 qui peut se déplacer axialement dans les deux sens dans ce chariot L'extrémité saillante de la poutre 38 présente un profil qui lui permet de supporter de manière amovible un
moyen 40 porteur d'articles.
Avant de procéder à la description détaillée des principaux sousensembles mentionnés ci-dessus, il convient de se référer à la Figure 2
montrant un type particulier de dispositif 42 destiné à supporter les articles Des dispositifs porteurs d'articles de ce genre s'appellent généralement "barquettes" dans ce domaine technique, et la barquette 42 repré10 sentée Figure 2 a été modifiée par rapport à la forme conventionnelle Les barquettes selon l'art antérieur comportent ordinairement des roulettes qui permettent aux barquettes de rouler pour pénétrer dans les fours à réaction 21 et pour en sortir Comme on le voit sur les dessins, la barquette 42 comprend un pied 43 qui fait saillie vers le bas à chaque coin 15 de son corps allongé 44 à compartiments multiples, les pieds 43 remplaçant les roulettes des structures selon l'art antérieur La barquette 42 est en outre modifiée par rapport à l'art antérieur par le fait qu'elle est munie d'oreilles de levage 46 qui font normalement saillie sur les c 8 tés
opposés du corps 44 de la barquette Le but et le rôle de la structure 20 modifiée de la barquette 42 seront décrits plus loin en détail.
Le support 24 comprend un pied 50 muni d'une plaque de base 51 ancrée de préférence par exemple à l'aide de boulons appropriés au sol 52, ainsi qu'un collier supérieur 53 dans lequel un montant cylindrique 54
de forme allongée est rigidement calé de façon que ce montant 54 s'élève 25 dans une position sensiblement verticale.
Le moyen de support 26 de la plateforme, comme le montrent au mieux les Figures 3, 4, 5 et 6, comprend un manchon tubulaire 56 qui forme un alésage axial 57 de façon à permettre le montage coaxial du manchon sur le montant vertical 54 le long duquel ce manchon peut se déplacer axiale30 ment Le manchon tubulaire 56 comprend un moyen stabilisateur supérieur 58 et un moyen stabilisateur inférieur identique 60 Attendu que les
moyens stabilisateurs 58 et 60 sont identiques, la description détaillée
du moyen stabilisateur supérieur 58 s'entend comme étant également applicable au moyen stabilisateur inférieur 60.
Le moyen stabilisateur supérieur 58, comme le montre la Figure 4, comprend deux bottiers saillants 61 et 62 venus de fonderie ou formant de toute autre façon partie intégrante du manchon 56 sur lequel ils font saillie radialement de manière que ces bottiers 61 et 62 forment entre eux un angle sensiblement droit Chacun de ces bottiers 61 et 62 présente une cavité intérieure 64 qui s'ouvre sur la surface périphérique du montant tubulaire 54 Dans chacune des cavités 64 des-bottiers 61-et 62 est monté un organe 65 en forme d'étrier ou de manillon qui peut se déplacer en se
rapprochant ou en s'éloignant de la surface périphérique du montant 54.
Une vis de réglage 66 se visse dans chacun des bottiers 61 et 62 de façon à pouvoir porter contre la partie 67 en forme de boucle des étriers 65, et les extrémités des fourchons espacés 68 et 69 de l'étrier respectif 65, qui s'étendent à partir des boucles 67 vers les extrémités ouvertes des cavités 64, sont traversées et reliées entre elles par des axes 70 Une molette 72 est montée en rotation, par exemple par l'intermédiaire de roulements appropriés 73 (dont un seul est représenté) sur chacun des axes 70, et ces molettes 72 présentent chacune un bord circulaire sans fin 74 dont la section est biseautée en forme de V Les molettes 72 sont en contact roulant avec des gorges 76 de section correspondante formées dans 15 le sens longitudinal sur la surface du montant 54, les molettes 72 étant sollicitées par les vis de réglage 66 de manière à prendre appui avec une pression appropriée dans ces gorges 76.
D'après ce qui précède, on peut constater que les moyens stabilisateurs 58 et 60 sont réglables de telle sorte que les axes longitudinaux 20 du montant 54 et du manchon tubulaire 56 puissent 9 tre amenés et maintenus
dans une position de parfaite concentricité, tout en interdisant la rotation du moyen porteur 56 ou manchon autour de l'axe longitudinal du montant vertical 54.
Le manchon tubulaire 56 du moyen de support 26 est pourvu d'une 25 console radiale 78 qui en fait partie intégrante et à laquelle est fixé à demeure un écrou 80 dans lequel se visse une vis-mère ou tige filetée 82 qui s'élève verticalement à partir d'un mécanisme d'entraînement vertical 84 monté en position fixe sur le montant vertical 54 au-dessous du
manchon 56, ainsi qu'il ressort davantage de la Figure 3.
Le mécanisme d'entratnement vertical 84 (Figure 5) comprend un carter 85 fixé par serrage au montant 54 grace à un jeu de mâchoires appropriées 86; ce carter 85 renferme un train d'engrenages réducteurs 88 entratné par un moteur électrique réversible 90 Ce moteur 90 est conve nablement monté sur le carter 85 et possède un arbre de sortie 91 relié 35-à un arbre 92 d'entratnement du mécanisme à engrenages grace à un manchon d'accouplement 93 L'arbre de sortie 91 du moteur 90 est traversé par une goupille 94 qui se loge de façon démontable dans des encoches diamétrales
formées dans une extrémité du manchon d'accouplement 93 et qui débouchent dans cette extrémité du manchon L'arbre d'entra nement 92 est éga-
-12 lement traversé par une goupille 96 dont les extrémités s'engagent dans des encoches à baïonnette à angle droit 97 formées près de l'extrémité opposée du manchon d'accouplement 93 Ce dernier est sollicité vers l'arbre de sortie 91 du moteur 90 par un ressort de compression 98 dont une extrémité réagit contre une cloison 99 prévue dans le carter 85 tandis que son extrémité opposée porte contre le manchon d'accouplement 93 Ce ressort 98 sollicite constamment le manchon 93 vers le moteur 90 de façon que les encoches diamétrales 95 du manchon s'engagent sur la goupille transversale 94 que porte l'arbre de sortie 91 du moteur, et que la gou10 pille 96 de l'arbre 92 du mécanisme à train d'engrenages pénètre dans la partie axiale des encoches à ba Yonnette à angle droit 97 qui est la plus éloignée du moteur 90 Ainsi, l'arbre de sortie 91 du moteur est rendu
solidaire en rotation de l'arbre 92 d'entraînement du train d'engrenages.
Le manchon d'accouplement 93 peut être tiré axialement en arrière, contre 15 la résistance du ressort 98, afin-de dégager les encoches diamétrales 95 de la goupille transversale 93 et de tirer la goupille 96 de l'arbre d'entralnement 91 du moteur, et en faisant tourner le manchon 93 pour amener
la goupille 96 de l'arbre d'entra nement 92 dans la partie angulaire de l'encoche à ba Yonnette 97, on peut bloquer le manchon pour en interdire 20 tout mouvement axial vers l'arbre de sortie 91 du moteur, ce qui désaccouple cet arbre 91 par rapport à l'arbre 92 d'entraînement du train d'engrenages.
De cette façon, l'arbre d'entraînement 92 du train d'engrenages peut être entraîné soit par le moteur 90, soit manuellement en utilisant 25 une manivelle 100 que porte de façon appropriée-l'extrémité opposée de
l'arbre d'entra Inement du train d'engrenages 88.
L'arbre 92 d'entratnement du train d'engrenages 88 est monté en rotation dans des roulements 101 portés par le carter 85 et il est prévu au milieu de cet arbre 92 une vis sans fin 102 qui engrène avec un pignon 30 droit 103 relativement petit qui est solidaire d'un arbre 104 tourillonné dans le carter 85 Une roue dentée relativement grande 105 est également solidaire de l'arbre 104 et tourne donc avec celui-ci; cette roue dentée engrène avec un autre pignon droit 106 relativement petit qui est fixé à un second arbre 107 monté en rotation dans le carter 85 Une roue dentée 35 -relativement grande 108 est montée sur ce second arbre 107 et tourne donc solidairement avec celui-ci; cette roue dentée 108 engrène avec un pignon droit relativement petit 109 et l'entra ne en rotation Ce pignon droit 109 est porté par un arbre i 110 de sortie du mécanisme à engrenages, cet arbre 110 étant également tourillonné dans le carter 85 et présentant une extrémité de sortie 111 qui s'étend verticalement vers le haut et vers
l'extérieur du carter L'extrémité de sortie 111 de cet arbre 110 est accouplée par un joint de cardan 112 à l'extrémité inférieure de la tige filetée ou vis-mère verticale 82.
Ainsi qu'on l'a indiqué plus haut, cette tige filetée ou vis-mère 82 engrène avec un écrou 80 porté en position fixe par la console 78 du manchon 56 du moyen de support 26 Ainsi, l'entra nement en rotation de la vis 82 soit par le moteur 90, soit en utilisant la manivelle 100, qui s'effectue à vitesse réduite en fonction du rapport de transmission du train d'engrenages 88, se traduit par un déplacement vertical du moyen de
support 26 dans le sens axial du montant 54, soit vers le haut, soit vers le bas, selon le sens de rotation du moteur réversible 90 ou de la manivelle 100.
Comme le montre la Figure 3, le moyen de support 26 est pourvu 15 d'un bras-support 114 qui en fait partie intégrante et qui s'étend perpendiculairement à l'axe du manchon tubulaire 56 dans une direction diamétralement opposée à celle o se trouve la console 78 Ce bras-support 114 est en outre soit partie intégrante de la plateforme 28, soit rigidement fixé à celle-ci, de manière que la plateforme soit supportée dans un 20 plan sensiblement horizontal et puisse se déplacer verticalement avec le
moyen de support 26.
La plateforme 28 constitue une structure de forme allongée et sensiblement rectangulaire, pourvue d'une face supérieure plane 116 et d'une jupe latérale et continue 117, le dessus 116 et la jupe latérale 117 for25 mant ensemble une cavité 118 qui s'ouvre vers le bas, ainsi qu'il ressort
plus particulièrement des Figures 7 et 10.
La glissière de guidage 32 est montée en position espacée vers le haut et juxtaposée au-dessus de la face supérieure plane 116 de la plateforme 28, le montage étant assuré par des dispositifs de levage 34, (Fi30 gure 7), ainsi qu'il sera expliqué en détail plus loin La glissière de guidage 32 consiste en une structure de forme sensiblement rectangulaire et allongée qui comprend, ainsi qu'il ressort davantage des Figures 8 et 9 des dessins, un plateau 120 pourvu de deux rails relevés de guidage 122 et 124 espacés et montés sur la surface supérieure du plateau 120, par exemple à l'aide de boulons d'assemblage 125 de type approprié Les rails de guidage 122 et 124 s'étendent sur toute la longueur du plateau 120 et chaque rail présente une gorge 126 à section transversale en V sur sa face verticale extérieure La glissière 32 est pourvue en outre d'une crémaillère 128 disposée dans le sens longitudinal et située entre les rails de guidage 122 et 124 et parallèlement à ceux-ci; cette crémaillère 128 est soudée ou fixée de toute autre façon appropriée sur le plateau 120, de
manière a faire saillie sur celui-ci.
La glissière de guidage 32 est fixe, du moins en ce qui concerne tout mouvement par rapport à la plateforme 28 dans le plan horizontal, et
elle sert de mécanisme à piste le long duquel le chariot 36 peut se déplacer dans les deux sens.
Le chariot 36 est un ensemble formé de deux pièces comprenant un carter inférieur de chariot i 30 et un carter supérieur de chariot 132, 10 ces deux carters pouvant se déplacer en bloc et dans les deux sens le
long de la glissière de guidage.
Le carter inférieur de chariot 130 consiste en une structure allongée de forme sensiblement rectangulaire présentant, comme le montrent au mieux les Figures 8 et 9, une partie sensiblement plane 134 avec des 15 ailes latérales 135 et 136 orientées vers le bas le long des bords longitudinaux opposés de cette partie plane i 34 L'aile 135 est juxtaposée à l'extérieur du rail de guidage 122 de la glissière 32 et l'autre aile latérale 136 est également juxtaposée à l'extérieur du rail de guidage opposé 124 de la glissière de guidage 32 La face tournée vers l'intérieur de 20 chaque aile latérale 135 et 136 présente une gorge longitudinale 138 à section en V, dans laquelle une baguette 140 est supportée à poste fixe, par exemple à l'aide des plaques d'extrémité 142 (Figure 7) rapportées et fixéespar des boulons ou tout autre moyen approprié contre les extrémités opposées du carter inférieur de chariot 130 Chacune de ces baguettes 140 25 présente une section transversale carrée et est supportée dans la gorge 138 correspondante à section en V de l'aile correspondante 135 ou 136 de manière que l'une des arêtes longitudinales de la baguette 140 s'engage à coulissement dans la gorge 126 également à section en V prévue dans la surface en regard du rail de guidage correspondant 122 ou 124 de la glis30 sière 32 Ainsi, le carter inférieur de chariot 130 est supporté par la glissière 32 et peut se déplacer dans le sens longitudinal le long de celle-ci Ainsi que' le montrent plus clairement les Figures 7 et 8, une crémaillère allongée 144 est montée en position fixe, par exemple par
soudage sous la partie du carter inférieur de chariot 130 de manière que 35 ses dents soient disposées verticalement.
Un premier moteur électrique 146 réversible et pouvant être entra né dans les deux sens est monté à l'aide d'une console appropriée 147 sur la face, orientée vers le bas, du dessus 116 de la plateforme 28, de telle sorte que ce moteur soit logé en substance à l'intérieur de la cavité 118, ouverte vers le bas, de la plateforme Comme le montrent au mieux les Figures 10, 11 et 12, l'arbre de sortie 148 du moteur 146 est accouplé à un ensemble d'arbre d'entra nement 150 grâce à un manchon d'accouplement 152 Ce manchon d'accouplement 152 est pourvu d'une encoche diamé5 trale 153 permettant l'accouplement amovible avec une goupille transversale 154 formée sur une extrémité d'un tronçon d'arbre d'entrée et d'entra nement 155 de l'ensemble d'arbre d'entraînement 150, et présente également un jeu d'encoches à ba Yonnette 156 dans lesquelles s'engagent les extrémités d'une goupille radiale 157 portée par l'arbre de sortie 148 du mo10 teur Le manchon d'accouplement 152 est sollicité vers ledit tronçon d'arbre d'entrée et d'entraînement 155 grâce à un ressort de compression 158 Le manchon d'accouplement 152 fonctionne exactement de la même fagon que le manchon d'accouplement 93 décrit antérieurement, et par conséquent l'ensemble d'arbre d'entraînement 150 peut être entra né en rotation 15 par le moteur 146 ou au contraire désaccouplé par rapport à ce dernier grace au manchon d'accouplement 152 et dans ce dernier cas l'ensemble
d'arbre d'entraînement 150 peut être actionné manuellement.
L'ensemble d'arbre d'entra nement 150 comprend en outre un joint de cardan 160 interposé entre le tronçon d'arbre d'entrée et d'entraîne20 ment 155 et un tronçon d'arbre d'entrée et d'entraînement 161 qui est opportunément accouplé à un mécanisme 162 d'entraînement à angle droit, lequel est monté sur une console 163 de manière à @tre logé dans la cavité 118 de la plateforme 28 Le mécanisme d'entraînement à angle droit 162, ainsi qu'il est bien connu dans l'art, est un dispositif conçu pour trans25 mettre le couple entre des arbres qui ne sont pas parallèles, par exemple en utilisant à cet effet des pignons d'angle (non représentés) Le mécanisme d'entraînement à angle droit 162 est entra né par l'ensemble d'arbre d'entraînement 150 décrit ci-dessus et transmet le couple à un arbre de sortie 164 disposé verticalement et qui est accouplé (comme le montre la 30 Figure 8), par l'intermédiaire d'un dispositif à joint glissant 166, à un pignon droit 168 pourvu d'un arbre 169 orienté axialement L'arbre de sortie 164 du mécanisme d'entraînement à angle droit 162 est bloqué par exemple à l'aide d'une vis d'arrêt dans une extrémité d'un alésage 170 formé axialement à travers un manchon 172 Un adaptateur 174 muni d'un axe 175 qui le prolonge vers le bas est monté de façon à tourner solidairement avec le manchon 172 grâce à l'axe 175 engagé dans l'extrémité opposée de l'alésage du manchon Cet axe 175 présente des méplats 176 et l'extrémité supérieure de l'alésage 170 du manchon présente une section transversale correspondante afin que l'axe 175 tourne solidairement avec -16 le manchon 172 tout en pouvant coulisser dans ce dernier pour des raisons qui seront décrites en détail ci-après L'extrémité supérieure de l'adaptateur 174 comporte un alésage axial 177 dans lequel est fixée l'extrémité
inférieure de l'arbre 169 du pignon droit, par exemple à l'aide d'une vis 5 d'arrêt appropriée, cet arbre 169 du pignon droit étant tourillonné dans des roulements 178 logés dans une enchassure 180 de pignon Cette enchâssure 180 comprend une bride de montage 182 qui se fixe à l'aide de vis appropriées 183 contre la face supérieure de la plaque plane 120 de la glissière 32, et en outre elle s'étend vers le bas à l'intérieur de l'ouverture 10 184 formée à travers la glissière.
Ainsi qu'il a été mentionné plus haut, la glissière 32 peut être mise en extension ou au contraire rétractée verticalement par rapport à la plateforme 28 Par conséquent, le pignon droit 168 et son arbre inférieur 169, l'enchàssure 180 et l'adaptateur 174 peuvent se déplacer verti15 calement dans les deux sens, conjointement à la glissière 32, en raison de la façon particulière, décrite ci-dessus, dont ces éléments sont montés et accouplés Le manchon 172, par ailleurs, est solidaire en permanence de l'arbre de sortie 164 du mécanisme d'entraînement à angle droit 162, et de ce fait il ne peut pas se déplacer verticalement La faculté de déplace20 ment axial par coulissement de l'arbre inférieure 175 de l'adaptateur 174 dans la partie supérieure de l'alésage 170 du manchon 172, c'est-à-dire le joint glissant 166, permet ce mouvement vertical sans désaccoupler le
pignon droit 168 du mécanisme d'entraînement à angle droit 162.
Le pignon droit 168 engrène avec la crémaillère 144 fixée sous le 25 carter inférieur de chariot 130 Par conséquent, on voit que le premier moteur réversible d'entraînement 146 est destiné à assurer l'entratnement de ce carter inférieur de chariot 130 dans les deux sens le long de la
glissière 32.
Le carter supérieur de chariot 132, comme on l'a indiqué plus haut, 30 est fixé à demeure sur le carter inférieur de chariot 130 de manière à
accompagner ce dernier dans ses mouvements horizontaux dans les deux sens.
Cette fixation du carter supérieur 132 au carter inférieur 130 du chariot est assurée par exemple à l'aide de boulons 186, commne l'indiquent les Figures 7 et 9.
Le carter supérieur de chariot 132 est une structure de forme allongée comportant, comme l'indique la Figure 9, une gorge 188 s'ouvrant vers le bas et qui s'étend sur toute la longueur de ce carter 132 Cette
gorge 188 est délimitée par deux surfaces verticales espacées 189 relativement hautes et par un fond ou plafond relativement étroit 190 L'ouver-
ture inférieure de la gorge 188 est située juste au-dessus d'une partie centrale de la face supérieure de la partie plane 134 du carter inférieur de chariot 130, et une baguette de guidage 192, de forme allongée et du m 9 me genre que les baguettes 140 décrites plus haut, est fixée à demeure, 5 par exemple par soudage, dans une gorge à section en V de type approprié formée au centre et sur toute la longueur de la partie plane 134 du carter inférieur de chariot 130 Une baguette de guidage analogue 194 est fixée à un bloc 195 de forme allongée, disposé à l'intérieur d'une gorge allongée 196 formée dans le carter supérieur de chariot 132 de manière à s'ou10 vrir vers le bas au niveau du fond 190 qui constitue l'extrémité supérieure de la gorge 188 Le bloc allongé 195 et par conséquent la baguette de guidage 194 qu'il porte peuvent se déplacer dans la gorge 196 en se rapprochant et en s'éloignant de la gorge 188, des vis appropriées 197
(dont une seule est représentée) étant prévues pour exercer une pression 15 sur le dessus de la baguette de guidage 195.
La poutre télescopique extensible et rétractable 38 est montée dans une position "de chant" dans la gorge 188 du carter supérieur de-chariot 132 Cette poutre 38 a une section transversale sensiblement rectangulaire et présente des faces latérales longitudinales 198 opposées rela20 tivement importantes et des faces supérieure et inférieure 199 et 200 relativement étroites Ces faces étroites supérieure et inférieure 199 et présentent chacune une gorge à section en V 202 et ces gorges s'étendent sur toute la longueur de ces faces La gorge 202 de la face étroite supérieure 199 est en contact glissant avec la baguette de guidage 194, 25 tandis que la gorge 202 de la face étroite inférieure 200 est également en contact glissant avec la baguette de guidage 192 que porte la face supérieure du carter inférieur de guidage 130 La poutre 38 est ainsi supportée par les baguettes 192 et 194 et peut coulisser le long de celles-ci, l'alignement de précision et de réglage de la pression de guidage entre 30 les baguettes de guidage et la poutre étant assurés par les vis d'arrêt 197 qui permettent de déplacer le bloc allongé 195 et la baguette 194 par
rapport à la poutre 38.
La poutre télescopique 38 est pourvue d'une crémaillère longitudinale 204 laquelle, comme on le voit notamment sur les Figures 8 et 9, s'é35 tend latéralement et vers le bas à partir de l'extrémité inférieure d'une des faces latérales longitudinales 198 de la poutre, et fait face à la partie plane 134 du carter inférieur de chariot 130 La crémaillère 204 (Figure 7) s'étend dans le sens longitudinal le long de la poutre 38 à partir de l'extrémité arrière 207 de celle-ci jusqu'à un point désigné en 208 et qui est espacé vers l'arrière par rapport à l'extrémité extensible 210, tournée vers l'avant, de la poutre On voit également sur la Figure 8 que les dents d'engrènement de la crémaillère 204 sont orientées vers le bas, en direction des dents, tournées vers le haut, de la crémaillère 5 128 fixée à demeure sur la face supérieure de la glissière de guidage 32, les deux crémaillères 204 et 128 étant espacées verticalement et décalées
latéralement par rapport l'une à l'autre.
Un mécanisme différentiel à engrenages 212 (Figures 7, 9 et 9 A) est monté de façon réglable sur la face inférieure de la partie plate 134 10 du carter inférieur de chariot 130, juste au-dessous d'une ouverture 213 formée à travers cette partie plate 134 du carter 130 Le mécanisme différentiel 212 comprend un carter 214 ouvert en haut et en bas Un train d'engrenages réducteurs est monté dans ce carter 214 et comprend un pignon de commande 215 qui émerge du fond inférieur du carter 214 afin d'en15 gréner avec la crémaillère 128 de la glissière de guidage 32 Ce pignon de commande 215 engrène également avec un premier pignon droit 216 porté par un arbre de renvoi 217, ce pignon 216 transmettant le mouvement de rotation à un second pignon droit 218 porté par le même arbre de renvoi Ce second pignon droit 218 engrène à son tour avec le pignon mené final 219 20 du train d'engrenages, et ce pignon mené 219 fait saillie au- dessus du sommet du carter 214 pour engréner avec la crémaillère 204 de la poutre
télescopique 38.
Ainsi que le-montre au mieux la Figure 9 A, le carter 214 du mécanisme différentiel 212 est pourvu de deux brides de montage 220 opposées 25 entre elles et qui s'étendent chacune à partir d'une des extrémités du carter 214, des boulons appropriés 222 traversant des encoches ouvertes formées dans ces brides et permettant de régler la position du carter 214 dans le but d'assurer un engrànement correct entre les pignons 215 et 219,
d'une part, et les crémaillères correspondantes 128 et 204, d'autre part.
-30 Lorsqu'on déplace le carter inférieur de chariot 130 par rapport à la glissière de guidage 32 en actionnant le moteur électrique réversible 146 comme on l'a indiqué plus haut, le pignon de commande 215 du mécanisme différentiel à engrenages 212 roule le long de la crémaillère 128 de la glissière de guidage 32 Le mouvement de rotation de ce pignon de commande 215 est transmis par les pignons droits intermédiaires 216 et 218 afin d'entra ner le pignon commandé final 219 à une vitesse réduite par rapport à celle du pignon de commande 215 Le pignon commandé 219 entraîne
en translation la crémaillère 204 dans le m 9 me sens que le carter inférieur de chariot 130 et par conséquent la poutre 38 se déplace télescopi-
quement pour prendre soit une position d'etension, soit une position rétractée par rapport au carter supérieur de chariot 1,32, selon le sens du
déplacement imprimé au carter inférieur de chariot 130.
En utilisant le mécanisme différentiel 212 de la façon que l'on vient de décrire, le moteur unique d'entra nement 146 entra ne simultanément le chariot et la poutre télescopique, et tous deux doivent mener à
terme soit leur mouvement d'extension, soit leur mouvement de rétraction.
Dans le milieu de travail dans lequel l'appareil 20 est représenté et décrit ici, on a choisi pour le mécanisme différentiel 212 un rapport de 0,71 afin que le chariot se déplace sur une distance de 1,12 m tandis que
la poutre se déplace sur une distance de 0,81 m, ce qui confère à l'appareil 20 une capacité totale d'extension de 1,93 m.
Le support d'articles 40 qui est monté de façon amovible sur l'extrémité extensible 210 de la poutre télescopique 38 peut avoir toute forme 15 qui convient pour supporter les articles à traiter-dans l'appareil 20.
Dans le-mode de réalisation représenté, le support d'articles 40 est une structure en forme de fourche comportant une anse ou partie de raccordement 224 aux extrémités opposées de laquelle prennent naissance deux fourchons espacés et parallèles 225 Comme on le voit Figure 7 A, une structure 20 de montage 226 fait partie intégrante de l'anse 224 de manière à s'étendre vers l'arrière et vers le haut à partir de la partie intermédiaire de cette anse La structure de montage 226 définit une plaque 228 décalée vers le haut et orientée vers l'arrière, laquelle est munie de deux petits flasques pendants 230 espacés entre eux La plaque 228 et la flasque 230 for25 ment ensemble une cavité 232 ouverte vers l'arrière et vers le bas, tandis qu'un goujon 234 est fixé par exemple par soudage sous la plaque 228 d'o ce goujon s'étend à l'intérieur de la cavité 232 Le support d'articles 40, en forme de fourche, est monté de façon amovible sur l'extrémité extensible 210 de la poutre télescopique 38, ce montage s'effectuant en abaissant 30 le support 40 de manière à amener le goujon 234 à pénétrer dans un trou borgne 236 prévu à cet effet dans le bord supérieur 199 de la poutre 38 à proximité de l'extrémité extensible 210 de cette poutre Lorsque-le goujon 234 a été engagé dans le trou 236, la plaque 228 de la structure de montage porte contre le bord supérieur de la poutre, la face -arrière de l'anse 35 224 du support en forme de fourche porte contre'la face terminale de la
poutre et les petits flasques pendants 230 chevauchent la poutre.
Le moyen de déplacement 30 des articles, ainsi qu-'il a été signalé plus haut, est accouplé à la plateforme 28 par un moyen de levage 34 qui permet en l'actionnant d'élever et de rétracter verticalement le moyen de déplacement 30 par rapport à la plateforme Le moyen de levage 34 comprend un jeu de deux dispositifs identiques de levage 238 et 240 montés en des
points espacés sur la plateforme 28, comme on le voit au mieux sur les Figures 7 et 10 Etant donné que ces dispositifs de levage 238 et 240 sont 5 identiques, il est entendu que la description détaillée qui suit, qui se rapporte au dispositif de levage 238, s'applique également au dispositif
de levage 240.
Le dispositif de levage 238 (Figure 13) est logé à l'intérieur d'une cavité 242 s'ouvrant vers la haut et venue de fonderie ou formée de 10 toute autre façon appropriée, de manière à s'ouvrir sur le dessus 116 de la plateforme 28; cette cavité comprend une paroi latérale sans fin 243 et un fond 244 Un arbre à came 246 est tourillonné dans un bossage 247 qui fait saillie axialement vers le bas et traverse le centre de la paroi du fond 244, l'extrémité inférieure de l'arbre 246 se pr Dlongeant vers le 15 bas au-delà dudit bossage, tandis qu'une tête cylindrique agrandie 248 de l'arbre à came est logée concentriquement dans la cavité 242 et supportée par un roulement de butée 249 interposé entre le fond de la tête 248 et le fond 244 de la cavité 242 Un goujon fileté 250 se visse dans un trou taraudé 251 formé dans la périphérie de la tête cylindrique 248 de l'arbre 20 à came, tandis qu'un galet de came 252 est porté en rotation par l'extrémité radialement saillante du goujon 250 Une bague de coussinet 254 est montée en position fixe sur la glissière de guidage 32, par exemple par soudage, de façon qu'elle soit placée juste au-dessus et coaxialement par rapport à la cavité 242 et à l'arbre à came 246 Une came cylindrique pro25 prement dite 256 est fixée à la glissière de guidage 32, par exemple grâce à des vis 257 (dont une seule est visible) de telle sorte que l'extrémité supérieure de la came cylindrique porte contre la bague de coussinet 254 et par conséquent contre la glissière de guidage 32 La came cylindrique
256 s'étend vers le bas à partir de la glissière de guidage 32 et concen30 triquement autour de la tête agrandie cylindrique 248 de l'arbre à came 246.
Comme le montrent au mieux les Figures 14 A à 14 C, la came cylindrique 256 présente une rainure à profil de came 258 qui en traverse l'épaisseur périphérique et qui reçoit le galet de came 252 qui s'étend radialement à
partir de la tête élargie 248 de l'arbre à came La rainure-came 258 pré35 sente une partie intermédiaire inclinée 260 qui relie entre elles une partie horizontale supérieure 261 et une partie horizontale inférieure 262.
Lorsqu'on fait tourner l'arbre à came 246 d'une manière qui sera décrite plus loin, afin que le galet de came 252 se trouve dans la partie
horizontale supérieure 261 de la rainure-came 258, la came cylindrique 256.
se trouve en position complètement rétractée, ce qui, naturellement, détermine la position de la glissière 32 et par conséquent de l'ensemble du moyen de déplacement 30 des articles dans leur position verticalement rétractée vers le bas par rapport à la plateforme 28, comme le montre la Fi5 gure 13 En faisant tourner l'arbre à came 246 dans le sens de la flèche 263 (Figures 14 B et 14 C), le galet de came 252 quitte la partie horizontale supérieure 261 pour s'engager dans la rampe inclinée 260 de la rainurecame 258, comme le montre la Figure 14 B Ce mouvement du galet de came 252 a pour effet de déplacer vers le haut la came cylindrique 256 et par con10 séquent l'ensemble du moyen de déplacement 30 des articles En poursuivant l'entraînement en rotation de l'arbre à came 246 dans le sens de la flèche 263, le galet de came 252 s'engage dans la partie horizontale inférieure 262 de la rainure-came 258, ce qui déplace la came cylindrique 256 et l'ensemble du moyen 30 de déplacement des articles vers leur position d'exten15 sion maximale L'entratnement en rotation de l'arbre à came 246 dans le sens contraire à celui qu'indique la flèche 263 inverserale mouvement du galet de came dans la rainure 258 et par conséquent renverra le moyen 30
de déplacement des articles vers sa position rétractée.
Ainsi qu'il apparatt sur les Figures 10 et 12, un second moteur 20 électrique réversible 266 est monté à l'aide d'une console appropriée 267 sur la face inférieure de la paroi plane supérieure 116 de la plateforme 28, de manière que ce moteur soit logé dans la cavité 118 formée par cette plateforme L'arbre de sortie 268 du moteur 266 est accouplé par l'intermédiaire d'un joint de cardan 270 à une extrémité d'une première vis sans 25 fin 272 tourillonnée et supportée par un étrier 273 de façon à être logée dans la cavité 118 de la plateforme 28 à proximité du dispositif de levage 238 Un arbre de commande 274 est accouplé à l'autre extrémité de cette première vis sans fin 272 afin de la relier à une seconde vis sans fin 276
tourillonnée et supportée d'une façon similaire dans un étrier 278, au voi30 sinage de l'autre dispositif de levage 240 Par conséquent, le moteur réversible 266 peut entraîner simultanément les deux vis sans fin 272 et 276.
Comme le montre au mieux la Figure 10, les extrémités des arbres à came des dispositifs de levage 238 et 240 portent chacune un secteur denté 280 solidaire de l'extrémité correspondante de l'arbre, le secteur 35 denté 280 du dispositif de levage 238 engrenant avec la première vis sans fin 272, tandis que l'autre secteur denté 280 du second dispositif de levage 240 engiène avec la seconde vis sans fin 276 Fonctionnement L'on se référera aux Figures 15 A à 15 E ainsi qu'aux Figures 16 et f O: 17, qui montrent le mode de fonctionnement de l'appareil 20 et les différentes phases du procédé de traitement d'articles suivant la présente invention. La Figure 15 A montre l'appareil 20 de déplacement du ou des arti5 cles pendant sa mise en position par le moyen porteur 26 à réglage vertical, lequel est monté sur le moyen de support 24 de façon à l'amener en position d'alignement avec l'un des fours à réaction 21 Le dispositif de déplacement 30 de l'article se trouve dans oes positions rétractées tant horizontalement que verticalement par rapport à la plateforme 28, et les 10 pattes latérales de levage 46 du dispositif support d'article (ou barquette) 42 reposent sur, et sont supportées par, les fourchons 225 de l'organe fourchu 40 destiné à porter l'article, de manière que le corps 44 de la barquette soit suspendu entre ces fourchons Dans cette position rétractée tant horizontalement que verticalement, l'axe longitudinal de la barquette 1542 se trouve au-dessous de l'axe 282 du four à réaction En réalité, dans la pratique le déplacement vertical du dispositif 30 de déplacement de
l'article est relativement court, ce déplacement étant volontairement exagéré sur les Figures 15 A à 15 E dans un but de clarté A titre d'exemple, lorsque l'appareil 20 est utilisé pour introduire la barquette 42 dans le 20 four à réaction 21, puis pour l'en retirer, le déplacement vertical effectué représente environ 10 mm.
La Figure 15 B montre la phase suivante au cours de laquelle le dispositif de levage 34 est actionné afin d'élever le dispositif de déplacement 30 de l'article jusqu'à sa hauteur maximale Pendant ce mouvement, l'axe longitudinal de la barquette 42 s'élève jusqu'à se trouver pratiquement soit en alignement, soit légèrement au-dessus, par rapport à l'axe 282 du four à réaction 21 La Figure 15 C montre le dispositif de déplacement 30 de l'article pendant son fonctionnement qui s'effectue par l'intermédiaire du premier 30 moteur réversible 146 (Figure 10) de manière à effectuer la translation de l'ensemble formé par les carters inférieur et supérieur de chariot 130 et 132 le long de la glissière 32 tout en faisant sortir télescopiquement la poutre 38 du carter supérieur de chariot 132 La Figure 15 D montre le dispositif de déplacement 30 de l'article 35 lorsqu'il a atteint sa position d'extension maximale dans laquelle la barquette 42 est placée à l'intérieur du four à réaction 21 Comme le montre
la Figure 16, le four à réaction 21 comporte une paroi intérieure cylindrique dont le diamètre est légèrement plus grand que la section transversale de la barquette Ainsi, dans cet exemple, le jeu prévu est d'envi-
ron 6 à 6,5 mm Lorsque le dispositif de déplacement 30 de l'article a atteint la position que montre cette Figure 15 D, la barquette 42 est maintenue en place et en suspension par le dispositif porteur d'article 40 à l'intérieur du four à réaction 21, de façon à ne pas entrer en contact a5 vec les parois latérales internes du four Il s'ensuit qu'au cours de l'introduction de la barquette dans le four à réaction celle-ci ne frottera, ni n'entraînera, ni ne perturbera de quelque façon que ce soit un résidu quelconque de traitement qui pourrait avoir été déposé sur les surfaces
internes du four à réaction et qui, si un tel résidu était perturbé, ris10 querait d'endommager, voire de détruire par contamination les articles à traiter.
La Figure 15 E montre le dispositif de déplacement 30 des articles pendant son mouvement de retrait vertical obtenu par le fonctionnement en sens inverse du dispositif de levage 34 Au début de ce mouvement de re15 trait vertical ou de descente, la barquette 42 descend avec le dispositif de déplacement 30 jusqu'à ce que les pieds 43 de la barquette reposent sur la partie inférieure incurvée ou concave de la paroi latérale interne du four à réaction, comme le montre la Figure 17 La poursuite de ce mouvement descendant du dispositif de déplacement 30 aura pour effet d'abais20 ser et de dégager les fourchons 225 du dispositif porteur 40 des articles et par conséquent de les éloigner de leur position de contact et de support des oreilles de levage 46 de la barquette 42 En abaissant ainsi la barquette 42 jusqu'à ce qu'elle repose à l'intérieur du four à réaction, les pieds 43 entrent doucement en contact avec l'intérieur du four, ce 25 qui n'entra ne aucune agitation, ou tout au plus seulement une très légère perturbation, du résidu de traitement susceptible de contaminer l'article traité Lorsque le mouvement descendant du support d'article 40 en forme de fourche est terminé, les fourchons 225 du dispositif porteur
d'articles 40, en forme de fourche, se trouveront en substance dans la po30 sition que montre la Figure 17 En d'autres termes, les fourchons 225 seront situés à un niveau sensiblement à mi-distance entre les pattes de levage 46 de la barquette et la partie inférieure concave des parois intérieures du four à réaction.
Après que la barquette 42 aura été introduite dans le four à ré35 action 21 et que le dispositif de déplacement 30 des articles aura été renvoyé dans sa position de rétraction verticale maximale, le premier moteur réversible 146 (Figure 10) sera actionné dans le sens contraire afin de rétracter simultanément la poutre télescopique 38 et les carters supérieur et inférieur 130, 132 du chariot Dès que ce mouvement de retrait
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horizontal est achevé, le dispositif de déplacement 30 des articles se trouve de nouveau en position de retrait total, c'est-à-dire tant verticalement qu'horizontalement, comme le montre la Figure 15 A Les phases
que montrent les Figures 15 A à 15 E et qui ont été décrites ci-dessus cons5 tituent un mode particulier de fonctionnement de l'appareil suivant l'invention pour l'introduction d'articles dans un four à réaction.
Lorsque le traitement des articles portés par la barquette 42 est terminé, le dispositif de déplacement 30 des articles qui équipe l'appareil est actionné pour assurer les phases d'extraction La première de cel10 les-ci consiste à actionner le premier moteur réversible 146 afin d'effectuer simultanément la mise en extension horizontale de la poutre télescopique 38 et des carters inférieur et supérieur de chariot 130 et 132 Cette phase s'effectue alors que le dispositif de déplacement 30 des articles est en position verticalement rétractée, pour que Ies fourchons 225 du 15 dispositif porteur 40 en forme de fourche puissent pénétrer dans le four à réaction 21 en position basse, comme le montre la Figure 17 Dès que le dispositif de déplacement 30 des articles a atteint sa position d'extension horizontale, le dispositif de levage 34 est actionné afin de placer le dispositif de déplacement 30 des articles dans sa position d'extension 20 verticale de façon que les fourchons 225 s'élèvent et portent sous les pattes de levage 46 de la barquette 42 qui est ainsi doucement soulevée jusqu'à sa position de suspension que montre la Figure 16 Le dispositif de déplacement 30 des articles est alors rétracté horizontalement dans sa
position verticalement haute afin de compléter la phase d'extraction selon 25 le mode de fonctionnement de l'appareil 20.
Bien que les principes de l'invention aient été expliqués en détail cidessus en se référant au mode de réalisation représenté, il apparaitra clairement à tout spécialiste dans l'art que de nombreuses modifications pourront être apportées à la structure, aux agencements, aux proportions, aux éléments constitutifs et aux matériaux et composants utilisés pour la mise en oeuvre de l'invention, et qui par ailleurs seront
particulièrement adaptés à l'environnement et aux conditions de fonctionnement, sans s'écarter cependant des principes de base de l'invention.

Claims (29)

R E V E N D I C A T I O N S
1 Appareil pour la manipulation de différents articles, cet appareil ( 20) comprenant une plateforme ( 28) de forme allongée disposée dans un plan sensiblement horizontal, et étant caractérisé par le fait qu'il comprend: a) un dispositif ( 30) de déplacement des articles ( 42), monté sur la plateforme ( 28) et pouvant se déplacer d'une part en translation dans les deux sens et dans un plan sensiblement horizontal entre une position d'extension et une position de rétraction par rapport à la plateforme, 10 et d'autre part dans un plan sensiblement vertical entre des positions haute et rétractée par rapport à la plateforme; b) un dispositif ( 40) porteur d'articles ( 42) monté de façon amovible sur ledit dispositif ( 30) de déplacement des articles, de façon à pouvoir se déplacer solidairement avec ce dispositif de déplacement, ce 15 dispositif porteur ( 40) étant destiné à recevoir et supporter les articles ( 42) à manipuler; c) un premier moyen ( 36) pour assurer la translation dans les deux sens dudit dispositif de déplacement des articles dans ledit plan sensiblement horizontal, et d) un second moyen ( 84) pour assurer le déplacement dans les deux sens dudit dispositif de déplacement des articles dans ledit plan
sensiblement vertical.
2 Appareil selon la Revendication 1, caractérisé par le fait que
ledit dispositif de déplacement des articles comprend: a) un chariot ( 36) pouvant se déplacer dans les deux sens dans le plan horizontal par rapport à la plateforme, et b) une poutre ( 38) montée télescopiquement dans le chariot ( 36)
de manière à pouvoir se déplacer solidairement avec ce dernier et dans les deux sens dans le plan sensiblement horizontal entre une position d'exten30 sion et une position rétractée par rapport audit chariot.
3 Appareil selon la Revendication 2, caractérisé par le fait que
le déplacement alternatif de la poutre ( 38) par rapport au chariot ( 36) se produit en même temps que le mouvement alternatif du chariot ( 36) par rapport à ladite plateforme ( 28).
4 Appareil selon la Revendication 1, caractérisé par le fait que ledit dispositif de déplacement des articles comprend: a) une glissière de guidage ( 32) montée au-dessus de la plateforme ( 28) et dans le sens longitudinal de celle-ci; b) un chariot ( 36) supporté par la glissière ( 32) et pouvant se déplacer dans les deux sens dans un plan sensiblement horizontal le long de la glissière de guidage ( 32), et c) une poutre ( 38) montée télescopiquement dans le chariot ( 36)
et pouvant se déplacer télescopiquement dans ledit plan sensiblement hori5 zontal entre des positions d'extension et de rétraction par rapport au chariot ( 36).
Appareil selon la Revendication 4, caractérisé par le fait que ledit premier moyen prévu pour assurer les déplacements dans les deux sens dudit dispositif ( 30) de déplacement des articles dans un plan sen10 siblement horizontal comprend: a) ledit chariot ( 36) sur lequel est montée une crémaillère
( 144);
b) un pignon de commande ( 168) supporté par ladite glissière de guidage ( 32) et qui engrène avec la crémaillère ( 144) du chariot; c) un moteur réversible ( 146) monté sur la plateforme ( 28); d) un ensemble d'arbre d'entraînement ( 150) assurant l'accouplement entre le moteur réversible ( 146) et le pignon de commande ( 168); e) une crémaillère ( 128) rigidement montée sur ladite glissière de guidage ( 32); f) une autre crémaillère ( 204) rigidement montée sur ladite poutre ( 38), et g) un train d'engrenages ( 212) monté sur le chariot ( 36) et se déplaçant avec celui-ci, ce train d'engrenages comprenant un premier pignon ( 215) qui engrène avec la crémaillère ( 128) de la glissière de gui25 dage laquelle entraîne ce premier pignon ( 215) lorsque le chariot ( 36)-se déplace le long de la glissière de guidage ( 32), ce train d'engrenages ( 212) comprenant un second pignon ( 219) qui engrène avec la crémaillère ( 204) de la poutre ( 38) ainsi que des pignons intermédiaires ( 216, 218) engrenant avec ces premier et second pignons ( 215, 219) et disposés entre 30 ces pignons 6 Appareil selon la Revendication 5, caractérisé par le fait que
le train d'engrenages ( 212) est conçu pour fournir un rapport de réduction.
7 Appareil selon la Revendication 5, caractérisé par le fait que l'ensemble d'arbre d'entraînement ( 150) comprend un manchon d'accouple35 ment ( 152) permettant le débrayage sélectif dudit train d'engrenages ( 212)
par rapport au moteur réversible ( 146).
8 Appareil selon la Revendication 5, caractérisé en outre par le
fait qu'un joint glissant ( 166) est interposé entre le pignon de commande ( 215) et l'ensemble d'arbre d'entraînement ( 150) afin de maintenir l'ac-
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couplement entre ce pignon ( 215) et cet ensemble ( 150) lorsque le pignon de commande ( 215) se déplace avec ledit dispositif de déplacement ( 30)
dans un plan sensiblement vertical.
9 Appareil selon la Revendication 1, caractérisé par le fait que 5 ledit secon moyen ( 26) qui assure les déplacements dans les deux sens dudit dispositif de déplacement ( 38) des articles ( 42) dans ledit plan sensiblement vertical comprend: a) un moyen de levage ( 34) interposé entre la plateforme ( 28) et le dispositif de déplacement ( 32) des articles ( 42) de façon à en assu10 rer l'accouplement, ce moyen de levage ( 34) pouvant fonctionner en rotation entre une position d'extension et une position rétractée dans le plan vertical; b) un moteur réversible ( 266) monté sur ladite plateforme ( 28), et c) un arbre de commande ( 268, 270, 272, 274, 276) accouplé entre le moyen de levage ( 34) et le moteur réversible ( 266) pour assurer
l'actionnement en rotation dudit moyen de levage ( 34).
Appareil selon la Revendication 9, caractérisé par le fait que ledit moyen de levage ( 34) comprend deux dispositifs de levage ( 238, 240) 20 espacés entre eux et reliés entre eux par ledit arbre d'entraînement ( 274)
afin d'en assurer le fonctionnement synchrone.
11 Appareil selon la Revendication 9, caractérisé par le fait que ledit moyen de levage ( 34) comprend au moins un dispositif de levage ( 238, 240) comprenant: a) une came ( 238, 240) disposée verticalement et tourillonnée en rotation dans ladite plateforme ( 28), et b) un palpeur de came ( 252) suspendu sous le dispositif ( 32) de déplacement des articles et coopérant avec ladite came ( 238, 240) afin
d'assurer le déplacement axial de ce palpeur ( 252) par rapport à la came 30 lors de la rotation de celle-ci.
12 Appareil selon la Revendication 9, caractérisé par le fait que lesdits moyens de levage comprennent au moins un dispositif de levage comprenant: a) un arbre à came ( 246) disposé verticalement et tourillonné 35 en rotation dans ladite plateforme ( 28); b) un galet de came ( 252) qui fait radialement saillie sur l'extrémité supérieure dudit arbre à came ( 246), et c) une came cylindrique ( 256) suspendue sous le dispositif ( 32)
de déplacement des articles et pouvant se déplacer axialement et concentri-
quement autour dudit arbre à came ( 246), cette came cylindrique ( 256) comportant une rainure ( 260) à profil de came dans laquelle vient se loger le galet de came ( 252) de manière à produire les déplacements de cette came cylindrique ( 256) dans le sens d'une extension axiale lorsque ledit 5 arbre à came ( 246) tourne dans un sens et dans-le sens d'une rétraction
axiale lorsque ledit arbre à came ( 246) tourne dans le sens contraire.
13 Appareil selon la Revendication 12, caractérisé par le fait
que ledit arbre à came ( 246) porte solidairement sur son extrémité inférieure un secteur denté ( 280) qui engrène avec ledit arbre d'entraînement 10 ( 274).
14 Appareil selon la Revendication 13, caractérisé par le fait
que ledit arbre d'entraînement ( 274) comprend une vis-mere ( 272) qui engrène avec ledit secteur denté ( 280).
Appareil selon la Revendication 1, caractérisé en outre par 15 le fait qu'un moyen ( 26) est fixé à ladite plateforme ( 28) pour supporter
et déplacer verticalement ladite plateforme.
16 Appareil selon la Revendication 1, caractérisé en outre par le fait qu'il comprend: a) un pied ( 50); b) un montant ( 54) de forme allongée qui s'étend vers le haut à partir dudit pied ( 50); c) un support de, plateforme ( 56) axialement mobile sur ce montant ( 54) et fixé à demeure sur la plateforme ( 28) afin de supporter celleci dans le plan sensiblement horizontal, et d) un moyen d'entraînement ( 84) dans le sens vertical, fixé à demeure audit montant ( 54) et accouplé audit moyen de support ( 26) de la
plateforme ( 28) afin de pouvoir déplacer cette plateforme le long du montant ( 54).
17 Appareil selon la Revendication 16, caractérisé par le fait 30 que ledit moyen de support de la plateforme comprend: a) un manchon tubulaire ( 56) formant un alésage axial ( 57) qui entoure coaxialement ledit montant ( 54); b) un moyen stabilisateur ( 58, 60) prévu sur ce manchon ( 56) et coopérant avec le montant ( 54) pour maintenir la relation coaxiale de 35 ces organes et empêcher la rotation du manchon ( 56) autour de l'axe longitudinal du montant ( 54), et c) une console ( 78) qui s'étend radialement à partir dudit
manchon tubulaire ( 56) et qui est rigidement solidaire de ladite plateforme ( 28).
18 Appareil selon la Revendication 17, caractérisé par le fait que ledit moyen stabilisateur comprend un organe stabilisateur supérieur ( 58) placé à l'extrémité supérieure dudit manchon tubulaire et un organe stabilisateur inférieur ( 60) placé à l'extrémité inférieure de ce manchon, ces organes stabilisateurs supérieur et inférieur comprenant chacun: a) un bottier ( 61, 62) qui fait partie intégrante dudit manchon tubulaire ( 56) et forme au moins une cavité ( 64) qui débouche radialement sur la périphérie dudit montant ( 54); b) une molette ( 72) logée dans la cavité ( 64) de ce bottier 10 ( 61, 62), et c) un moyen ( 66) prévu dans ce bottier pour permettre le réglage de la position de cette molette ( 72) par rapport à la périphérie
dudit montant ( 54).
19 Appareil selon la Revendication 18, caractérisé en outre par 15 le fait qu'une gorge ( 76) est formée dans le sens longitudinal dudit montant ( 54) et destinée à recevoir en appui la périphérie ( 74) de ladite
molette ( 72).
Appareil selon la Revendication 17, caractérisé par le fait que ledit moyen stabilisateur comprend un stabilisateur supérieur ( 58) 20 sur l'extrémité supérieure dudit manchon tubulaire ( 56) et un stabilisateur inférieur ( 60) sur l'extrémité inférieure de ce manchon, ces stabilisateurs supérieur et inférieur comprenant: a) un bottier ( 62) qui fait partie intégrante dudit manchon ( 56) et forme deux cavités internes ( 64) disposées à angle droit par rap25 port l'une à l'autre, chacune de ces cavités s'ouvrant radialement sur la périphérie dudit montant ( 54); b) deux molettes ( 72) disposées chacune dans l'une des cavités formées dans le bottier ( 61, 62), et c) un moyen prévu dans chacune des cavités ( 64) dudit bottier 30 pour déplacer de façon réglable l'une des molettes ( 72) qui s'y trouvent
de façon qu'elle porte contre la périphérie dudit montant ( 54).
21 Appareil selon la Revendication 20, caractérisé par le fait que le moyen prévu dans chacune desdites cavités comprend: a) un étrier ( 65) comportant une partie formant boucle ( 67) ainsi que deux fourchons espacés q 68, 69) qui prennent naissance sur cette boucle ( 67) et s'étendent vers la périphérie du montant ( 54); b) ladite molette ( 72) tourillonnée en rotation entre les fourchons ( 68, 69) dudit étrier ( 65), et c) une vis de réglage ( 66) qui se visse dans ledit bottier ( 61, X r O
62) et fait saillie à l'intérieur de celui-ci pour porter contre la partie boucle ( 67) dudit étrier ( 65).
22 Appareil selon la Revendication 20, caractérisé par le fait qu'en outre: a) deux gorges en V ( 76) sont formées dans le sens longitudinal dans la surface périphérique dudit montant et forment entre elles un angle droit, et que
b) chacune desdites molettes ( 72) présente un bord périphérique biseauté et sans fin ( 74) à section en V, destiné à s'engager dans 10 la gorge correspondante ( 76) également à section en V, formée dans le montant ( 54).
23 Appareil selon la Revendication 16, caractérisé par le fait que ledit moyen d'entrafnement vertical comprend: a) un carter ( 85) fixé audit montant ( 54); b) un train d'engrenages ( 103 à 109) logé dans ce carter ( 85) et comprenant un arbre de commande ( 92) du train et un arbre de sortie; c) un moyen ( 90, 100) accouplé audit arbre de commande ( 92) au train d'engrenages ( 103 à 109) pour en assurer l'entraînement; d) une vis-m're relativement longue ( 82) accouplée audit arbre 20 de sortie ( 110) du train d'engrenages ( 103 à 109) et s'élevant verticalement à partir de celui-ci, et
e) un écrou ( 80) fixé audit moyen ( 26) porteur de la plateforme ( 28) et en prise avec la vis-mère ( 82).
24 Appareil selon la Revendication 23, caractérisé par le fait 25 que ledit train d'engrenages ( 103 à 109) est un train d'engrenages réducteurs.
Appareil selon la Revendication 23, caractérisé par le fait
que ledit moyen ( 90) accouplé audit arbre de commande ( 92) du train d'engrenages ( 103 à 109) pour en assurer l'entraînement est un moteur réver30 sible et susceptible d'gtre entrainé.
26 Appareil selon la Revendication 23, caractérisé par le fait
que ledit moyen ( 100) accouplé audit arbre de commande ( 92) du train d'engrenages ( 103 à 109) pour en assurer l'entralnement est une manivelle.
27 Appareil selon la Revendication 23, caractérisé par le fait 35 que ledit moyen accouplé à l'arbre d'entraînement du train d'engrenages pour en assurer l'entraînement comprend: a) un moteur réversible ( 90) pouvant être entraîné, lequel est accouplé à une extrémité dudit arbre d'entraînement ( 92) du train d'engrenages; b) une manivelle ( 100) portée par l'autre extrémité de cet arbre d'entraînement ( 92), et
c) un manchon d'accouplement ( 93) disposé entre le moteur réversible ( 90) et une extrémité dudit arbre d'entraînement ( 92) du train 5 d'engrenages ( 103 à 109), ce qui permet de désaccoupler sélectivement le moteur ( 90) par rapport à cet arbre d'entralnement ( 92).
28 Appareil selon la Revendication 1, aractérisé par le fait que ledit moyen porteur d'articles comprend un élément fourchu ( 25) pourvu d'une anse ( 224) à partir des extrémités opposées de laquelle s'étendent 10 des fourchons ( 225) destinés à supporter les articles ( 42), un moyen ( 226) étant prévu entre les extrémités de ladite anse ( 224) pour permettre sa
fixation amovible audit moyen porteur d'articles ( 38).
29 Appareil selon l'une quelconque des Revendications 1 à 18, caractérisé par le fait qu'il est utilisé pour charger des articles à trai15 ter dans un four à réaction ( 21) et à décharger ces articles au terme de
ce traitement, cet appareil comprenant en outre: a) au moins un four à réaction ( 21); b) ladite plateforme ( 28) qui a une forme allongée et est disposée à une certaine distance du four à réaction ( 21); c) un moyen ( 36) pour supporter et déplacer verticalement ladite plateforme dans un plan sensiblement horizontal pour la rapprocher et l'éloigner du four à réaction ( 21); d) ledit dispositif ( 36) de déplacement des articles qui est mobile dans les deux sens dans un plan sensiblement horizontal pour le rap25 procher et l'éloigner dudit four à réaction ( 21) , et e) ledit moyen porteur d'articles qui est monté de façon à pouvoir se déplacer pour pénétrer dans le four à réaction ( 21) et pour en sortir, ce moyen-porteur d'articles, destiné à introduire et supporter
les articles devant être traités dans le four à réaction avant ce traite30 ment et ensuite pour les extraire à la fin du traitement.
Appareil selon l'une quelconque des Revendications précédentes,
caractérisé par le fait qu'il est utilisé pour la manipulation de puces de
semiconducteurs, ledit moyen ( 40) porteur d'articles comprenant un moyen ( 44) porteur de puces de semiconducteur, ce moyen porteur de puces de se35 miconducteurs étant destiné à recevoir et supporter les puces de semiconducteurs à manipuler.
31 Procédé pour la manipulation d'articles selon l'une quelconque
des Revendications 1 à 30, caractérisé par le chargement d'articles à
traiter dans un four à réaction, comprenant en outre les phases qui con-
-32 sistent: a) à placer au moins un article à traiter dans un dispositif de support d'articles; b) à suspendre ce dispositif de support d'articles sur un por5 teur d'articles prévu sur un appareil à manipuler les articles, lequel se trouve en relation d'alignement horizontal et espacé par rapport à l'intérieur dudit four à reaction; c) à élever ledit appareil de manipulation d'articles afin d'amener l'axe longitudinal dudit dispositif de support d'articles sensi10 blement en alignement avec l'axe longitudinal de l'intérieur dudit four à réaction; d) à mettre ledit appareil de manipulation d'articles en extension horizontale vers ledit four à réaction afin d'introduire ce dispositif de support d'articles en condition de suspension à l'intérieur dudit 15 four à réaction; e) à rétracter verticalement ledit dispositif de manipulation d'articles afin d'abaisser ce dispositif de support d'articles jusqu'à ce qu'il repose sur l'intérieur dudit four à réaction et à dégager ce moyen porteur d'articles dudit dispositif de support d'articles, et
f) à rétracter horizontalement ledit dispositifde manipulation d'articles par rapport audit four à réaction.
32 Procédé selon la Revendication 31, caractérisé par les phases complémentaires qui consistent: g) à mettre en extension horizontale ledit appareil de manipu25 lation d'articles vers ledit four à réaction afin de déplacer ledit porteur d'articles vers l'intérieur dudit four à réaction à la suite de la phase f); h) à élever ledit appareil de manipulation d'articles afin d'amener ledit moyen porteur d'articles en condition de support par rap30 port audit dispositif de support d'articles et à soulever ledit dispositif de support d'articles jusqu'à atteindre un état de suspension à l'intérieur dudit four à réaction, et i) à rétracter horizontalement ledit appareil de manipulation
d'articles par rapport audit four à réaction afin d'extraire le dispositif 35 de support d'articles dudit four à réaction.
33 Procédé pour la manipulation de semiconducteurs conformément à l'appareil de la Revendication 30 pour le traitement, comprenant en outre les phases qui consistent: a) à placer au moins une puce à traiter sur un dispositif support de puces; b) à suspendre ce dispositif support de puces sur une extrémité de l'appareil de manipulation; c) à aligner ledit appareil de manipulation de telle sorte que l'axe du dispositif de support de puces soit sensiblement aligné avec l'axe de l'intérieur du four à réaction; d) à mettre en extension ledit appareil de manipulation dans un premier plan afin d'introduire le dispositif support de puces en condition de suspension à l'intérieur du four à réaction; e) à déplacer l'appareil de manipulation dans un second plan afin d'abaisser le dispositif de support de puces pour qu'il repose sur l'intérieur du four à reaction et de dégager l'extrémité dudit dispositif de manipulation dudit dispositif de support de puces, et
f) à rétracter ledit appareil de manipulation afin d'en extrai15 re l'extrémité du four à réaction.
34 Procédé selon la Revendication 33, caractérisé par le fait que la phase de rétraction dudit appareil de manipulation s'effectue dans un troisième plan qui est parallèle au premier plan et espacé vers le bas par
rapport audit premier plan.
35 Procédé selon l'une ou l'autre des Revendications 33 ou 34,
caractérisé par le fait que la phase qui consiste à aligner l'appareil de manipulation comprend également: a) à élever l'appareil de manipulation afin d'amener l'axe du dispositif de support de puces dans le troisième plan, et b) à soulever l'appareil de manipulation afin d'amener l'axe
du dispositif de support de puces dans le premier plan.
36 Procédé selon l'une ou l'autre des Revendications 34 ou 35,
caractérisé par les phases complémentaires qui consistent: g) à mettre ledit appareil de manipulation en extension dans 30 le troisième plan après la phase f); h) à déplacer ledit appareil de manipulation dans le second plan afin d'en amener l'extrémité en contact avec ledit dispositif de support de puces et de soulever le dispositif en état de suspension dans un four à réaction de manière que son axe soit pratiquement aligné avec l'axe 35 du four à réaction, et i) à rétracter ledit appareil de manipulation dans le premier
plan afin d'extraire le dispositif de support de puces du four à réaction.
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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB8410251D0 (en) * 1984-04-19 1984-05-31 Heraeus Schott Quarzschmelze Handling semiconductor wafers
SE446852B (sv) * 1984-11-28 1986-10-13 Sten Lovgren Kraftenhet
US4699263A (en) * 1985-10-30 1987-10-13 Nippon Sheet Glass Co., Ltd. Feeding and processing apparatus
JPS62287991A (ja) * 1986-06-09 1987-12-14 ファナック株式会社 産業用ロボツトの手首駆動機構
US4775281A (en) * 1986-12-02 1988-10-04 Teradyne, Inc. Apparatus and method for loading and unloading wafers
JPH01110722A (ja) * 1987-10-23 1989-04-27 Tel Sagami Ltd 半導体ウェアの搬入方法
KR0133678B1 (ko) * 1987-11-18 1998-04-23 후세 노보루 피열처리체를 로에 출입시키는 방법 및 그 장치
US5098254A (en) * 1988-09-12 1992-03-24 Fmc Corporation Proximity detection means on a palletizer hand assembly
DE19618464C1 (de) * 1996-05-08 1997-02-20 Kramer Hermann Bewegungsapparatur zu Dekorationszwecken
GB0419298D0 (en) * 2004-08-31 2004-09-29 Jordan Alan A cone collecting apparatus
DE102007009747B4 (de) * 2007-02-28 2009-01-29 Siemens Ag Transfersystem
DE102010029809B4 (de) * 2010-06-08 2012-04-19 Schunk Gmbh & Co. Kg Spann- Und Greiftechnik Handhabungseinheit zum Umsetzen von Teilen und Verfahren hierfür
CN102114981B (zh) * 2010-11-12 2012-12-12 铜陵三佳科技股份有限公司 模具封装投料用的投料饼架
DE202016100883U1 (de) * 2016-02-19 2017-05-24 topometric GmbH Aufnahmesystem
CN106049345B (zh) * 2016-06-28 2018-06-12 鲍菊芳 一种用于动车轨道清洗的自稳移动支撑装置
CN108345321A (zh) * 2018-04-20 2018-07-31 深圳市道通科技股份有限公司 位置调节装置及汽车标定设备
CN114326834B (zh) * 2021-12-23 2023-10-27 青岛慧拓智能机器有限公司 无人驾驶矿用卡车的卸载方法、芯片、存储介质及卡车

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3892324A (en) * 1973-09-07 1975-07-01 Conco Inc Shuttle fork mechanism with probe means
US4008815A (en) * 1975-04-14 1977-02-22 Applied Materials, Inc. Reactor loading apparatus
GB2109519A (en) * 1981-10-07 1983-06-02 Hitachi Ltd Thermal treatment apparatus and method

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2807373A (en) * 1955-03-28 1957-09-24 James G Couser Automatic handling devices
US2781136A (en) * 1955-12-27 1957-02-12 Press Automation Systems Inc Material handling apparatus
US3194611A (en) * 1963-03-06 1965-07-13 Dixie Rental Tools Inc Pipe guide for running well pipes
GB1284607A (en) * 1968-09-21 1972-08-09 Komatsu Mfg Co Ltd A method of and apparatus for transferring formed articles between presses
US3665148A (en) * 1971-04-07 1972-05-23 Gen Motors Corp Six-axis manipulator
JPS5117665Y2 (fr) * 1971-11-06 1976-05-12
JPS5546458Y2 (fr) * 1973-04-11 1980-10-30
JPS53129964A (en) * 1977-04-20 1978-11-13 Hitachi Ltd Method and device for inserting and taking out of heat treatment jig
DE3046467A1 (de) * 1980-12-10 1982-07-01 Ludwig Ing.(grad.) 8079 Egweil Bauch Vorrichtung zum herausziehen und hineinschieben von rohrbuendeln bei waermetauschern
JPS57170523A (en) * 1981-04-15 1982-10-20 Kokusai Electric Co Ltd Conveying method for wafer boat

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3892324A (en) * 1973-09-07 1975-07-01 Conco Inc Shuttle fork mechanism with probe means
US4008815A (en) * 1975-04-14 1977-02-22 Applied Materials, Inc. Reactor loading apparatus
GB2109519A (en) * 1981-10-07 1983-06-02 Hitachi Ltd Thermal treatment apparatus and method

Also Published As

Publication number Publication date
NL8402907A (nl) 1985-05-01
DE3436653A1 (de) 1985-06-27
JPS6095920A (ja) 1985-05-29
GB8425148D0 (en) 1984-11-07
GB2147563B (en) 1986-09-10
GB2147563A (en) 1985-05-15
US4557657A (en) 1985-12-10

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