NL8402907A

NL8402907A - Hanteren van artikelen.

Info

Publication number: NL8402907A
Application number: NL8402907A
Authority: NL
Original assignee: Advanced Semiconductor Mat
Priority date: 1983-10-05
Filing date: 1984-09-21
Publication date: 1985-05-01
Also published as: GB2147563B; GB8425148D0; DE3436653A1; FR2553071A1; JPS6095920A; GB2147563A; US4557657A

Description

( , ...

^v_ s N.O.32691 1

Hanteren van artikelen.

De uitvinding heeft in zijn algemeenheid betrekking op een mechanisme voor het hanteren van artikelen en heeft meer in het bijzonder betrekking op een inrichting en werkwijze voor het hanteren van diverse gefabriceerde artikelen die bewerkt moeten worden in reactorovens op 5 zodanige wijze dat vervuiling van de artikelen vanuit de omgeving wordt geminimaliseerd.

Zoals in de elektronische techniek bekend is moet de fabrikage van diverse artikelen, zoals siliciumoxideplakken bij lage temperatuur, met extreme zorg worden uitgevoerd om dergelijke artikelen vrij van bescha-10 diging te houden en vrij van mogelijke ruïnage als resultaat van vervuiling vanuit de omgeving, en de vereisten voor een schone niet vervuilende fabrlkage-omgeving en fabrikageprocessen worden steeds stringenter.

Een bepaalde fase bij de fabrikage van dit type artikel, die van-15 uit het standpunt van verontreiniging erg lastig is, is de bewerking van de artikelen in reactorovens. De werking van reactorovens resulteert inherent in een proces-residu dat neergeslagen wordt op de binnenwanden van de ovens en dit residu zal gemakkelijk in de lucht terecht komen bij verstoring zoals gedurende het laden en ontladen van 20 te bewerken artikelen in de ovens.

Volgens de algemene praktijk worden aantallen te bewerken artikelen geladen in ondersteunende structuren die in de industrie bekend staan als "schuiten” en deze schuiten kunnen worden gevormd uit diverse materialen en met diverse configuraties afhankelijk van de betreffende 25 te behandelen artikelen en het betreffende in de reactorovens uit te voeren proces. De schuiten bestaan echter in het algemeen uit langgerekte structuren met in hoofdzaak een parallellogramvormige doorsnede-configuratie met daarin gevormde meervoudige compartimenten voor ont- ' vangst van te bewerken artikelen. Dergelijke schuiten zijn traditioneel 30 voorzien van wielen door middel waarvan ze in en uit de reactorovens worden gerold.

De laad- en ontlaadinrichtingen uit de stand der techniek zijn traditioneel voorzien van een opwaarts geopende half cirkelvormige trog waarin de schuiten worden geladen. De trog wordt ondersteund door een 35 geschikt frame dat met de hand wordt bediend voor het omhoog brengen van de trog en daarmee van de schuit tot op één lijn met een reactor-oven geselecteerd uit een aantal vertikaal gestapelde reactorovens, waarin de schuit moet worden geladen. Zodra de schuit is uitgelijnd 8402307 4 2 wordt ze met de hand zodanig geduwd dat ze vanuit de trog in de reac-toroven rolt. Wanneer de bewerking van de artikelen voltooid is wordt de schuit met de hand uit de reactoroeven getrokken zodat ze vandaar terug rolt op de trog van de uit de stand der techniek bekende laad- en 5 ontlaadinrichting.

Het rollen van de artikelen dragende schuit in en uit de reactor-oven zal het reactieprocesresidu dat op de binnenzijwanden van de reactoroven aanwezig is als direct resultaat van de werking van de oven verstoren. Wanneer het op deze wijze wordt verstoord dan-zal het·residu 10 een in de lucht zwevende verontreiniging worden die de te bewerken artikelen kan beschadigen en soms compleet kan ruineren. Deze uit de stand der techniek bekende inrichting voor het laden en ontladen van schuiten wordt reeds enige tijd gebruikt maar is niet langer acceptabel als gevolg van de toenemend strengere eisen die worden gesteld aan een 15 schone en niet verontreinigende fabrikage-omgeving en de daarbij behorende processen. Het eerste probleem met de laad- en ontlaadinrichting uit de stand der techniek is het boven beschreven inbrengen in en het daarop volgend uittrekken van de boten uit de reactoroven door middel van rollen, waardoor op inherente wijze een onacceptabele hoeveelheid 20 omgevingsvetontreiniging wordt gecreëerd. Het tweede probleem resulteert uit de benodigde handbediening van de artikelhanterende inrichting op zichzelf, en het met de hand induwen en uittrekken van de schuit. Het laadgebied direct aan de voorzijde van de reactoroven is een zeer oncomfortabele plaats voor iemand om te werken als gevolg van 25 de zeer hoge bedrijfstemperaturen van de reactorovens die tijdens de laad- en ontlaadoperaties geopend moeten zijn. De operateur zal de natuurlijke neiging hebben om het uitlijnen van de trog te verhaasten en zal eveneens de laad- en ontlaadoperaties zo snel mogelijk uitvoeren zodat hij het zeer hete laadgebied kan verlaten. Een verhaaste uitvoe-30 ring van deze operaties kan leiden tot een extreem verergerde omge-vingsvervuiling resulterend uit een niet juiste uitlijning van de trog ten opzichte van de reactoroven, en er is slechts een zeer kleine marge voor uitlijnfo.uten omdat er slechts weinig tussenruimte aanwezig is tussen de schuit en de binnenzijwanden van de oven. Als verder de 35 schuit niet voorzichtig recht in de reactoroven wordt geduwd en daar weer recht uit wordt getrokken dan kan de schuit een scheve stand aannemen waardoor de wielen gaan schuiven in plaats van rollen over de binnenoppervlakken van de reactorovens.

Er bestaat derhalve een behoefte aan een nieuwe en verbeterde ar-40 tikelhanteerinrichting en -werkwijze waarmee althans een deel van de 84 0 2 9 0 7 i- £ 3 problemen en nadelen uit de stand der techniek wordt overwonnen,

In overeenstemming met dé onderhavige uitvinding wordt een nieuwe en verbeterde Inrichting verschaft voor het nauwkeurig hanteren van diverse te bewerken artikelen, welke inrichting in het bijzonder zeer 5 geschikt is voor het minimaliseren van de verontreiniging van erdoor te hanteren artikelen voor verwerking in een reactoroven.

De artikelhanteerinrichting van de onderhavige uitvinding is voorzien van een platform waarop een artikelbewegingseenheid is gemonteerd welke artikelbewegingseenheid aan een uiteinde ervan een artikeldrager-10 eenheid bezit. Het platform bevat een eerste aandrijfmiddel dat gekoppeld is voor het uit/intrekbaar in beide richtingen aandrijven van de artikelbewegingseenheid in horizontale richting tussen een uitgestoken positie en een Ingetrokken positie ten opzichte van het platform, en tweede aandrijfmiddelen die gekoppeld zijn voor het aandrijven van de 15 artikelbewegingseenheid in vertikale richting tussen een opgeheven positie en een neergelaten positie ten opzichte van het platform tijdens de artikelhanteeroperaties ervan,

In sommige gevallen kan het platform van de artikelhanteerinrichting vast bevestigd zijn aan een geschikt steunoppervlak dat uitgelijnd 20 is met een enkele reactoroven, In dergelijke gevallen zal de artikelhanteerinrichting samenwerken met deze enkele reactoroven, dat wil zeggen zorgen voor het laden en ontladen ervan,

In de meeste fabrikage-inrlchtingen echter wordt een vertikaal gestapelde hoeveelheid reactorovens gebruikt uit product!e-effi ciëntie- j 25 overwegingen en in dergelijke gevallen wordt de artikelhanteerinrichting dragend ondersteund door een hef mechanisme van de inrichting waarmee het mogelijk is om elke reactoroeven uit het genoemde vertikaal gestapelde aantal reactorovens te bedienen.

Het behoort tot de normale praktijk om de reactoroven of reactor-30 ovens en het aangrenzende artikellaadgebied te lokaliseren in een wat betreft de omgeving schoon werkstation, en dit wordt gerealiseerd door geschikte laminaire luchtstroomapparatur aan te brengen in de nabijheid van de ovens en van het laadgebied. Om de afmetingen van de laminaire luchtstroomapparatuur te minimaliseren en terwille van de stabiliteit 35 van de artikelhanteerinrichting heeft de artikelbewegingseenheid van de inrichting bij voorkeur een speciale configuratie.

De voorkeursuitvoeringsvorm van de artikelbewegingseenheid omvat een langgerekte wagen die heen en weer beweegbaar is op het platform naar en van de reactoroven, en een staaf wordt op telescopische wijze 40 gedragen door de wagen zodanig dat ze op reciproque wijze kan worden 8402907 ï ' 3 4 uitgestoken of ingetrokken ten opzichte van de wagen· De in het platform ondergebrachte eerste aandrijfmiddelen zijn gekoppeld voor het heen en weer aandrijven van de wagen en een tandwieleenheid is gekoppeld tussen de wagen en de staaf zodanig dat bij beweging van de wagen 5 de tandwieleenheid tegelijkertijd daarmee de staaf in dezelfde richting als de wagen zal aandrijven in een ten opzichte van de wagen uitstekende of intrekkende beweging. Op deze wijze wordt de artikelbewegingseenheid relatief compact wanneer ze zich bevindt in de ingetrokken positie waardoor de afmetingen van de laminaire luchtstromingsapparatuur rnini-10 maal worden gehouden, en omdat het uitsteken van de artikelbewegingseenheid wordt gerealiseerd met twee relatief korte uitsteekbare structuren in plaats van een enkele relatief lange uitsteekbare structuur wordt de structurele stabiliteit van de artikelbewegingseenheid gemaxi- -maliseerd.

15 Reactorovens die over het algemeen worden gebruikt voor het bewer ken van artikelen van het boven beschreven type hebben een cirkelvormige dwarsdoorsnede welke slechts enigszins groter is dan de dwarsdoorsnedeafmetingen van de dragende structuren of schuiten waarin de artikelen voor hantering en bewerking daarvan worden geplaatst. Der-20 halve moet de artikelhanteerinrichting volgens de onderhavige uitvinding de boven beschreven hoge structurele stabiliteit bezitten en in staat zijn om de schuit te laden in de reactoroven en vervolgens de schuit daaruit te ontladen zonder dat de schuit sleept of op andere wijze contact maakt met de inwendige zijwanden van de reactoroven tij-25 dens de laad- en ontlaadoperaties. Om deze reden is het tweede aan-drijfmiddel dat ondergebracht is in het platform gekoppeld met een lifteenheid die gemonteerd is op het platform en verbonden is met de artikelbewegingseenheid teneinde de vertikale relatie tussen het platform en de artikelbewegingseenheid te variëren. Aan het begin van de 30 artikellaadoperatie bevindt de artikelbewegingseenheid zich in de horizontaal ingetrokken en vertikaal neergelaten positie en in deze positie wordt de schuit, die voorzien is van lateraal uitstekende oren aan de tegenover liggende zijkanten ervan en voorzien is van in benedenwaartse richting uitstekende voetstukken in plaats van wielen, geplaatst op de 35 artikeldragereenheid die aanwezig is op het uitsteekbare uiteinde van de artikelbewegingseenheid. Voordat de artikelbewegingseenheid wordt bewogen naar zijn uitgestoken positie wordt het tweede aandrijfmiddel geactueerd teneinde de artikelbewegingseenheid omhoog te bewegen naar zijn opgeheven positie ten opzichte van het platform. In de opgeheven 40 positie ligt de logitudinale hartlijn van de schuit in hoofdzaak in 8402907 . * i 5 lijn met de axiale hartlijn van de te laden reactoroven, en daarna worden de eerste aandrijfmiddelen geactueerd voor het bewegen van de arti-kelbewegingseenheid naar zijn horizontaal uitgestoken positie. Wanneer het einde van de horizontale uitsteekbeweging van de artikelbewegings-5 eenheid wordt genaderd dan zal de schuit ingevoerd worden in de reactoroven zonder dat de zijwanden daarvan worden aangeraakt. In de volledig uitgestoken positie worden de tweede aandrijfmiddelen opnieuw geactueerd voor het bedienen van de lifteenheid in omgekeerde richting zodanig dat de artikelbewegingsmiddelen omlaag worden bewogen naar de 10 vertikaal neergelaten positie. Op een tussenliggend punt in deze beweging van de opgeheven positie naar de neergelaten positie van de arti-ke 1bewegingaaiddelen zal de schuit zacht in steunend contact komen met _______dezijwanden van de reactoroven, en tijdens het resterende gedeelte van de neerwaartse beweging van de artikelbewegingseenheid zal de artikel-15 dragereenheid worden ontkoppeld van de schuit. De eerste aandrijfmiddelen worden dan geactueerd in omgekeerde richting waardoor de artikel-dragereenheid in horizontale richting wordt weggetrokken uit de reactoroven en derhalve de neergelaten artikelbewegingseenheid terugkeert naar zijn ingetrokken positie. Wanneer de bewerking van de artikelen is 20 voltooid dan wordt de artikelbewegingseenheid, die zich bevindt in de horizontaal ingetrokken en vertikaal neergelaten posities ervan, bewogen naar zijn geheel uitgestoken positie door actuatie van de eerste aandrijfmiddelen en wanneer de volledige horizontaal uitgestoken positie is bereikt dan worden de tweede aandrijfmiddelen geactueerd voor 25 bet bedienen van het liftmechanisme teneinde de artikelbewegingseenheid omhoog te bewegen in de richting van zijn opgeheven positie. Tijdens deze omhoog gaande beweging van de artikelbewegingseenheid zal de arti-keldragereenheid in dragend contact komen met de schuit en deze zacht opheffen vanaf de binnenzijwanden van de reactoroven. Als de artikelbe-30 wegingseenheid een opgeheven positie heeft bereikt waarin de schuit in hoofdzaak gecentreerd is ten opzichte van de reactoroven dan worden opnieuw de eerste aandrijfmiddelen geactueerd teneinde de schuit uit de reactoroven te trekken dankzij het feit dat de artikelbewegingseenheid terugkeert naar zijn horizontaal ingetrokken positie, 35 De inrichting van de onderhavige uitvinding is in het ideale geval voorzien van geschikte sensormiddelen zoals begrenzingsschakelaars en dergelijke voor het waarnemen van de diverse operaties van de inrichting en voor het verschaffen van operationele indicerende signalen. Dergelijke signalen worden geleverd aan een geschikt operatiestuurme-40 chanisme dat geprogrammeerd is voor het besturen van de duur van de dl- 8402907

i' X

6 % verse handelingen, de operationele volgorde daarvan en andere functies van de inrichting. Een dergelijke automatisering van de inrichting verdient de voorkeur, maar de inrichting is ook voorzien van ontkoppelmid-delen die het bijvoorbeeld mogelijk maken om de artikelbewegingseenheid 5 selectief aan te drijven ofwel met behulp van een aandrijfmotor ofwel met de hand, waarbij deze handbedieningsmogelijkheid het onderhoud, het afstellen en dergelijke vergemakkelijkt.

Uit het voorgaande blijkt dat de artikelhanteerinrichting van onderhavige uitvinding de problemen en nadelen van de stand der techniek 10 overwint door een nauwkeurige inrichting te verschaffen die in staat is diverse artikelen te hanteren, artikelen van het type die vatbaar zijn voor beschadiging als gevolg van verontreiniging tijdens fabrikagestap-pen, op zodanige wijze dat de mogelijkheid van verontreiniging wordt geminimaliseerd. Bovendien kan de inrichting volledig geautomatiseerd 15 worden waardoor het niet meer, zoals in de stand der techniek, nodig is dat een operateur in een ongunstige omgeving moet werken waardoor de mogelijkheid van fouten, resulterend uit deze werkomgeving, eveneens wordt geëlimineerd.

De onderhavige uitvinding heeft derhalve ten doel een nieuwe en 20 verbeterde artikelhanteerinrichting en -werkwijze te verschaffen.

Een andere doelstelling van de onderhavige uitvinding is het verschaffen van een nieuwe en verbeterde inrichting en werkwijze voor nauwkeurige hantering van verschillende artikelen van het type, dat gevoelig is voor beschadiging als gevolg van verontreiniging tijdens fa-25 brikagebewerkingen op zodanige wijze dat de mogelijkheid van een dergelijke verontreinigingsbeschadiging wordt geminimaliseerd.

Een andere doelstelling van de onderhavige uitvinding is het verschaffen van een nieuwe en verbeterde inrichting en werkwijze voor het hanteren van diverse artikelen, welke inrichting volledig automatlseer-30 baar is voor het elimineren van de noodzaak dat een operateur moet werken in een ongewenste omgeving waarbij de mogelijkheid van operateur-fouten resulterend uit deze ongewenste werkomgeving wordt geëlimineerd.

Een andere doelstelling van de onderhavige uitvinding is het ver-35 schaffen van een nieuwe en verbeterde inrichting en werkwijze van bovengenoemd type, welke bijzonder geschikt is voor het laden van diverse artikelen in een reactoroven teneinde daarin te worden bewerkt en voor het vervolgens ontladen van de artikelen.

Een andere doelstelling van de onderhavige uitvinding is het ver-40 schaffen van een nieuwe en verbeterde inrichting en werkwijze van bo- 840 29 0 7 * , 4 £ 7 vengenoemd type waarmee diverse artikelen serieel kunnen worden geladen in een vertikaal gestapeld aantal reactorovens voor bewerking daarin en de artikelen vervolgens kunnen worden ontladen.

Nog een andere doelstelling van de onderhavige uitvinding is het 5 verschaffen van een nieuwe en verbeterde inrichting van het bovengenoemd type welke voorzien is van een horizontaal op reciproque wijze in/uittrekbare artikelbewegingseenheid die een speciale configuratie heeft zodanig dat de inrichting compact is in zijn horizontaal ingetrokken positie teneinde de afmetingen van de bijbehorende luchtreini-10 gingsapparatuur te minimaliseren en een hoge structurele stabiliteit heeft in de horizontaal uitgestoken positie teneinde een nauwkeurige hantering van de diverse artikelen te realiseren*

Een verdere doelstelling van de onderhavige uitvinding is het verschaffen van een nieuwe en verbeterde inrichting van het boven beschre-15 ven type waarin de horizontaal uitsteekbare en intrekbare reciproque artikelbewegingseenheid voorzien is van een lifteenheid door middel waarvan de te hanteren artikelen in de reactorovens kunnen worden ingébracht en daaruit vervolgens weer kunnen worden uitgehaald zonder in contact te komen met de binnenzijwanden van de ovens tijdens het inste-20 ken en uittrekken ervan.

De bovengenoemde doelstellingen van de onderhavige uitvinding alsmede de uitvinding zelf zullen duidelijker worden aan de hand van de navolgende beschrijving waarin wordt verwezen naar de bijgaande tekeningen.

25 Figuur 1 toont een perspectief-aanzicht van de artikelhanteerin- richting van de onderhavige uitvinding waarin de diverse kenmerken ervan zijn geïllustreerd en de inrichting is getoond in een kenmerkende werkomgeving waarvoor de inrichting in het bijzonder geschikt is.

Figuur 2 toont- een perspectief aanzicht van een kenmerkende struc-30 tuur voor het dragen van een aantal diverse artikelen die op ideale wijze door de inrichting volgens de onderhavige uitvinding kunnen worden gehanteerd.

Figuur 3 toont een gedeeltelijk zijaanzicht van de inrichting voorzien van steunmiddelen en bewegingsmiddelen die deel uitmaken van 35 de inrichting wanneer ze wordt gebruikt voor het bedienen van een aantal vertikaal gestapelde artikelbewerkingsmechanismen.

Figuur 4 toont een vergrote deeldoorsnede volgens de lijn 4-4 in figuur 3.

• Figuur 5 toont een vergrote deeldoorsnede volgens de lijn 5-5 in 40 figuur 3.

8402907 I 'β, 4 8

Figuur 6 toont een vergrote deeldoorsnede volgens de. lijn 6-6 in figuur 5.

.·λ=· - Figuur 7 toont een zijaanzicht van de artikelbewegingseenheid van de inrichting volgens de onderhavige uitvinding waarbij een gedeelte is 5 opgewerkt om diverse onderdelen zichtbaar te maken.

Figuur 7A toont een gedeeltelijk vergroot en gedeeltelijk opengewerkt aanzicht teneinde delen binnen het omcirkelde gedeelte, aangeduid met 7A in figuur 7, zichtbaar te maken.

Figuur 8 toont een vergrote deeldoorsnede volgens de lijn 8-8 in 10 figuur 7.

Figuur 9 toont een vergrote deeldoorsnede volgens de lijn 9-9 in figuur 7.

Figuur 9A toont een vergrote deeldoorsnede volgens de lijn 9A-9A in figuur 9.

15 Figuur 10 toont een vergrote deeldoorsnede volgens de lijn 10-10 in figuur 7.

Figuur 11 toont een vergrote deeldoorsnede die gedeeltelijk opengewerkt is om delen zichtbaar te maken die aangegeven zijn binnen het met 11 aangeduide omcirkelde gedeelte in figuur 10.

20 Figuur 12 toont een vergrote deeldoorsnede volgens de lijn 12-12 van figuur 10.

Figuur 13 toont een vergrote deeldoorsnede volgens de lijn 13-13 in figuur 10.

De figuren 14A, 14B en 14C tonen doorsneden volgens de lijn 14-14 25 van figuur 13 ter illustratie van de werkposities van de lifteenheid die getoond is in figuur 13.

De figure 15A, 15B, 15C, 15D en 15E zijn schematische zijaanzichten van de inrichting ter illustratie van de diverse stappen van de werkwijze volgens de onderhavige uitvinding.

30 Figuur 16 toont een gedeeltelijke doorsnede volgens de lijn 16-16 van figuur 15D.

Figuur 17 toont een gedeeltelijke doorsnede volgens de lijn 17-17 van figuur 15E.

Met meer bijzondere verwijzing naar de tekeningen toont figuur 1 35 de inrichting voor het hanteren van artikelen volgens de onderhavige uitvinding, welke in zijn algemeenheid aangegeven is met het referen-tiecijfer 20, Figuur 1 toont tevens de inrichting 20 zoals ze wordt gebruikt in een kenmerkende omgeving, welke voorzien is van een aantal vertikaal gestapelde reactorovens 21 en een geschikte inrichting 22 40 voor het leveren van schone lucht, zoals een laminaire luchtstroomin- 8402907 * i 9 richting. De reactorevens en de luchtreinigingsapparatuur 22 zijn in de stand der techniek bekend en de beschrijving van deze inrichtingen zal hierin worden beperkt tot de diverse eigenschappen ervan die nodig worden geacht voor een compleet begrip van de kenmerken en de werking van 5 de inrichting 20.

Het zal uit de volgende beschrijving duidelijk worden dat de inrichting 20 kan worden gebruikt voor het hanteren van nagenoeg elk willekeurig voorwerp. De inrichting 20 is echter in het bijzonder zeer geschikt voor het hanteren van diverse artikelen zoals siliciumoxideplak-10 ken bij lage temperaturen, plakken die gebruikt moeten worden voor epitaxiale bewerking bij hoge temperaturen, dat wil zeggen rond 1000°C, of andere halfgeleiderplakken die behandeld moeten worden in een schone omgeving en die bewerkt moeten worden in de reactorevens 21. Om deze reden zal de volgende beschrijving worden gericht op het gebruik van de 15 inrichting 20 voor het laden van dergelijke artikelen in de reactor-ovens 21 voor bewerking en navolgende ontlading van de bewerkte artikelen, waarbij het laden en ontladen wordt uitgevoerd in de door de inrichting 22 verschafte schone omgeving.

Zoals in het navolgende nog in detail zal worden beschreven omvat 20 de inrichting 20 voor het hanteren van artikelen volgens de onderhavige uitvinding als hoofddeelsamenstellingen een steuneenheid 24 die een vertikaal beweegbaar daarop gemonteerd draagmiddel 26 heeft. Een in hoofdzaak horizontaal gepositioneerd platform 28 wordt ondersteund door het dragermiddel 26 teneinde vertikaal daarmee te bewegen. Een artikel-25 bewegingsmiddel 30 is gemonteerd op het platform 28 en kan vertikaal omhoog en omlaag worden bewogen ten opzichte van het platform 28 en horizontaal worden uitgestoken of teruggetrokken ten opzichte van het platform. Het artikelbewegingsmiddel omvat een langgerekte geleidings-plaat 32 die gekoppeld is met het platform 28 door middel van een lift-30 eenheid 34 die bediend kan worden voor het vertikaal omhoog en omlaag ' bewegen van de geleidingsplaat. Een wagen 36 wordt gedragen door de ge-leidingsplaat 32 voor een reciproque verlengbeweging over de lengte daarvan en de wagen 36 heeft een op reciproque wijze uitwaarts beweegbare telescopisch daarin gemonteerde staaf 38. Het uitstekende uiteinde 35 van de staaf 38 is uitgevoerd als een demonteerbare ondersteuning van een artikeldragereenheid 40.

Voordat verder gegaan wordt met de gedetailleerde beschrijving van de bovengenoemde hoofddeelsamenstellingen wordt verwezen naar figuur 2 waarin een type van de artikelsteuneenheid 42 is getoond. Artikelsteun-40 eenheden van dit type staan in de stand der techniek bekend als schui- 8402907 5 · ί 10 ten, en de schuit 42 die getoond Is in figuur 2 is gemodificeerd ten o-pzichte van de normaal in de techniek gebruikte configuratie. Schuiten uit de stand der techniek zijn over het algemeen voorzien van wielen door middel waarvan de schuiten in en uit de reactoroevens 21 worden 5 gerold. Zoals getoond is omvat de schuit 42 een voet 43 die uitsteekt van elk hoekpunt van het langgerekte uit meerdere compartimenten opgebouwde lichaam 44, waarbij de voeten 43 de wielen uit de uit de stand der techniek bekende structuren vervangen. De schuit 42 is verder ten opzichte van de stand der techniek gemodificeerd doordat ze voorzien is 10 van hijsoren 46 die loodrecht uitsteken vanaf de tegenover liggende zijkanten van het schuitlichaam 44, Het doel en de functie van de gemodificeerde schuitstructuur 42 zal in het volgende in detail worden beschreven.

De steuneenheld 243 is voorzien van een pedestal 50 met een basis-15 plaat 51 die bij voorkeur aan de vloer 52 is verankerd, bijvoorbeeld met geschikte bouten, en die éen opstaand voetelement 53 heeft waarin een langgerekte cilindrische standaard 54 stevig dragend gemonteerd is zodat de standaard 54 in hoofdzaak in vertikale stand is gepositioneerd.

20 Het platformdragermiddel 26 omvat, zoals het best te zien is in de figuren 3, 4, 5 en 6 een buisvormige huls 56 die voorzien is van een axiale boring 57 welke hult 56 coaxiaal gemonteerd is op de vertikale standaard 54 en axiaal langs de lengte daarvan beweegbaar is. De buisvormige huls 56 is voorzien van een bovenste stabilisatormiddel 58 en 25 een identiek onderste stabilisatormiddel 60. Omdat de stabilisatormid-delen 58 en 60 identiek zijn geldt de navolgende gedetailleerde beschrijving van het bovenste stabilisatormiddel 58 eveneens voor het onderste stabilisatormiddel 60.

Het bovenste stabilisatormiddel 58, dat getoond is in figuur 4, is 30 voorzien van een paar omsluitende behuizingen 61 en 62 die aangegoten zijn of op andere wijze integraal gevormd zijn aan de huls 56 en die radiaal daarvan uitsteken zodanig dat de behuizingen 61 en 62 in hoofdzaak een rechte hoek met elkaar maken. Elk van de omsluitende behuizingen 61 en 62 definieert een interne holte 64 die inwaarts in de rich-35 ting van de omtrek van de buisvormige standaard 54 is geopend. Een harpvormig element 65 is gemonteerd in elk van de holten 64 van de omsluitende behuizingen 61 en 62, en de harpen zijn beweegbaar in deze holten in de richting naar en van de omtrek van de standaard 54. Een instelschroef 66 is ingeschroefd in elk van de omsluitende behuizingen 40 61 en 62 en rust dragend tegen de bochtdelen 67 van de harpvormige or- 8402907 ï * 11 ganen 65, en de uitstekende uiteinden van de op afstand van elkaar gelegen tanden 68 en 69, die uitsteken vanaf de bochtdelen 67 van de respectievelijke harpvormige elementen 65 in de richting van de open uiteinden van de holten 64 hebben elk een as 70 die zich transversaal tus-5 sen de tanden uitstrekt. Een rol 72 wordt roteerbaar ondersteund, bijvoorbeeld door middel van geschikte lagers 73 (waarvan er een is getoond) op elk van de assen 70 en de rollen 72 zijn uitgevoerd met een eindloze V-vormige, in dwarsdoorsnede schuin verlopende omtreksrand 74.

De rollen 72 staan in rolaanraking met V-vormige groeven 76 die op uit-10 gelijnde wijze zijn gevormd in lengterichting van de standaard 54, waarbij de rollen terwille van een juiste aanraking met de standaard zijn vooringesteld door middel van de instelschroeven 66.

Het zal uit het bovenstaande duidelijk zijn dat de stahilisator-middelen 58 en 60 zodanig instelbaar zijn dat de longitudinale as van 15 de standaard 54 en van de buisvormige huls 56 in perfecte coaxiale relatie kunnen worden gebracht en kunnen worden gehandhaafd en dat voorkomen wordt dat het dragermiddel 26 gaat roteren rond de longitudinale as van de vertikale standaard 54.

De buisvormige huls 56 van het dragermiddel 26 is voorzien van een 20 klamp 78 die integraal daarvan uitsteekt en die een wormwerkmoer 80 vasthoudt die functioneel gekoppeld is met een langgerekte schroefstaaf 82 die zich vertikaal uitstrekt in opwaartse richting vanaf een vertikale aandrijfeenheid 84, welke vast gemonteerd is op de vertikale standaard 54 onder de huls 56 zoals het best te zien is in figuur 3.

25 De vertikale aandrijfeenheid 84 omvat een behuizing 85 die beves tigd is aan de standaard 54 door middel van een geschikte kleminrich-ting 86, en de behuizing 85 bevat een reducerende tandwieloverbrenging 88 die aangedreven wordt door een omkeerbare elektrische motor 90. De motor 90 is op geschikte wijze gemonteerd op de behuizing 85 en heeft 30 een uitgangsas 91 die gekoppeld is met de aandrijfas 92 van de tandwieloverbrenging door middel van een koppelingsmoer 93. De uitgangsas 91 van de motor heeft een pen 94 die daar transversaal doorheen steekt, 1 en de pen 94 is losneembaar aangebracht in een dwarssleuf 95 gevormd aan een uiteinde van de koppelingsmoer 93 ópen aan dat uiteinde van de 35 moer. De aandrijfas 92 is voorzien van een pen 96 die radiaal daarvan uitsteekt door een rechthoekige sleuf 97 gevormd nabij het tegenover liggende uiteinde van de koppelingsmoer 93. De koppelingsmoer 93 is voorwaarts in de richting van de uitgangsas 91 van de motor 90 voorgespannen door middel van een drukveer 98 waarvan een uiteinde rust te-40 gen een scheidingswand 99 aangebracht in de behuizing 85 en waarvan het 8402907 •ί · * 12 tegenover liggende uiteinde rust tegen de koppelingsmoer 93. Vanwege de voorspanning duwt de veer 98 de moer 93 in de richting van de motor 90 waardoor de dwarssleuven 95 van de moer in samenwerking komen met de transversale pin 94 van de uitgangsas 91 van de motor en de pen 96 van 5 de aandrijfas 92 van de tandwieloverbrenging insteekt in het einde van het axiale gedeelte van de rechthoekige sleuf 97, dat zich het verst verwijderd bevindt van de*motor 90. Op deze wijze is de motoruitgangsas 91 gekoppeld met de aandrijfas 92 van de tandwieloverbrenging. De koppeling smoer 93 kan met de hand axiaal worden ingedrukt tegen de voorin-10 stelkracht van de veer 98 in om de kruissleuven 95 van de transversale pin 94 van de motoruitgangsas 91 los te koppelen en door het axiaal roteren van de moer 93 kan de pen 96 van de aandrijfas 92 in de andere hoekpositie van de rechthoekige sleuf 97 worden gebracht waardoor de moer kan worden vergrendeld tegen axiale beweging in de richting van de 15 motoruitgangsas 91 waardoor de motoruitgangsas 91 is ontkoppeld van de aandrijfas 92 van de tandwieloverbrenging.

Op deze wijze kan de aandrijfas 92 van de tandwieloverbrenging aangedreven worden door de motor 90 of door het handwiel 100 dat op geschikte wijze wordt gedragen door het tegenover liggende uiteinde van 20 de aandrijfas van de tandwieloverbrenging.

De aandrijfas 92 van de tandwieloverbrenging wordt roterend gedragen door de lagers 101 die ondersteund worden in de behuizing 95 en een wormschroef 102 is aangebracht op de aandrijfas tussen zijn tegenover liggende uiteinden. De wormschroef 102 werkt samen met een relatief 25 klein wormtandwiel 103 dat vast bevestigd is aan een as 104 welke roteerbaar geroteerd is in de behuizing 85. Een relatief groter wormtandwiel 105 is eveneens vast gemonteerd op de as 104 teneinde daarmee te roteren en dit tandwiel 105 werkt samen met een relatief klein tandwiel 106 dat vast bevestigd is aan een tweede as 107 welke roteerbaar is ge-30 lagerd in de behuizing 85. Een relatief groot tandwiel 108 is gemonteerd op de tweede as 107 teneinde daarmee te roteren en dit relatief grote tandwiel staat in aandrijvende relatie met een relatief klein tandwiel 109 dat bevestigd is op de uitgangsas 110 van de tandwieloverbrenging, welke as roteerbaar wordt ondersteund in de behuizing 85 en 35 waarvan het uitgangsuiteinde 111 gekoppeld is door middel van een universele koppeling 112 met het onderste uiteinde van de vertikaal verlopende langgerekte schroefspil 82.

Zoals in het bovenstaande is opgemerkt werkt de schroefspil 82 samen met de moer 80 die gedragen wordt door de klamp 78 van de huls 56 40 van het dragermiddel 26. Door de schroefas 82 dus te doen roteren door 8402907- V *i 13 middel van de aandrijfmotor 90 of op andere wijze door middel van het handwiel 100, met een gereduceerde snelheid die bepaald wordt door de overbrengingsverhoudingen in de reducerende tandwieloverbrenging 88, zal een vertikale beweging resulteren van het dragermiddel 26 axiaal op 5 de standaard 54 ofwel in opwaartse richting ofwel in neerwaartse richting afhankelijk van de aandrijfrichting van de omkeerbaar aangedreven motor 90 of de rotatierichting van het met de hand bediende handwiel 100.

Zoals het best te zien is in figuur 3 is de dragereenheid 26 voor-10 zien van een integraal structureel element 114, dat zich uitstrekt loodrecht vanaf de buisvormige huls 56 diametraal tegenover de klamp 78 ervan. Het structurele element 114 vormt een integraal geheel met of is op geschikte wijze bevestigd aan het platform 28 zodanig, dat het platform wordt ondersteund in een in hoofdzaak horizontaal vlak en samen 15 met de dragereenheid 26 in vertikale zin beweegbaar is.

Het platform 28 is een langgerekte in hoofdzaak rechthoekige structuur met een vlakke bovenzijde 116 met een eindloos afhangende zijwand 117 waarbij het bovenvlak 116 en de zijwand 117 tezamen een naar beneden toe geopende holte 118 vormen, zoals het best te zien is 20 in de figuren 7 en 10.

De geleidingsplaat 32 is gemonteerd in de directe nabijheid boven de planaire bovenzijde 116 van het platform 28 op afstand daarvan waarbij de montage wordt gerealiseerd door de hierna nog in detail te beschrijven lifteenheid 34. De geleidingsplaat 32 is een langgerekte in 25 hoofdzaak rechthoekige structuur die, zoals het best te zien is in de figuren 8 en 9 voorzien is van een platte plaat 120 met op afstand van elkaar een paar opstaande geleiderrails 122 en 124 gemonteerd op het bovenoppervlak van de plaat 120, bijvoorbeeld met behulp van geschikte bevestigingsbouten 125. De geleiderrails 122 en 124 verlopen over de 30 gehele lengte van de plaat 120 en elk van de rails is uitgevoerd met een V-vormige groef 126 in zijn buitenwaarts gerichte vertikale oppervlak. De geleidingsplaat 32 is verder voorzien van een longitudinaal verlopende tandstang 128 die zich bevindt tussen en parallel met de geleiderrails 122 en 124 en is vastgelast op of op andere wijze is vast-35 gezet aan de plaat 120 zodanig dat ze opwaarts daarvan uitsteekt.

De geleidingsplaat 32 is vastgezet voor zover het betreft enige beweging ten opzichte van het platform 28 in het horizontale vlak, en de geleidingsplaat doet dienst als spoormechanisme over de lengte waarvan de wageneenheid 36 heen en weer kan bewegen.

40 De wageneenheid 36 is een uit twee delen bestaande samenstelling 8402907 14 voorzien van een onderste wagenbehuizing 130 en een bovenste wagenbe-huizing 132 welke als eenheid in de lengterichting van de geleidingsplaat in beide richtingen uitsteekbaar respectievelijk intrekbaar zijn.

5 De onderste wagenbehuizing 130 is een langgerekte in zijn alge meenheid rechthoekige structuur met, zoals het best te zien is in de figuren 8 en 9, en in hoofdzaak vlak planair gedeelte 134 met zijflens-delen 135 en 136 die integraal ervan afhangen vanaf de tegenover liggende longitudinale zijranden. De neerhangende flank 135 bevindt zich 10 aan de buitenzijde op afstand naast de geleiderrail 122 van de gelei-dingsplaat 32 en de andere afhangende flank 136 is op soortgelijke wijze op afstand aangebracht naast de tegenover liggende geleiderrail 124 van de geleidingsplaat 32. Het inwaarts gekeerde oppervlak van elk van de afhangende flanken 135 en 136 is voorzien van een longitudinaal ver-15 lopende V-vormige groef 138, waarin een loper 140 onbeweeglijk wordt gedragen, bijvoorbeeld door middel van de eindplaten 142 die zoals getoond in figuur 7 zijn vastgeschroefd of op andere wijze zijn bevestigd aan de tegenover liggende uiteinden van de onderste wagenbehuizing 130. Hik van de lopers 140 heeft een vierkante dwarsdoorsnede en wordt ge-20 dragen in de V-vormige groeven 138 van de respectievelijke afhangende flenzen 135 en 136 zodanig dat een van de hoekranden van de lopers 140 longitudinaal glijdend samenwerkt met de uitgelijnde V-voprmige groeven 126 die aangebracht zijn in de buitenwaarts gerichte oppervlakken van de geleiderrails 122 en 124 van de geleidingsplaat 32. Op deze wijze 25 wordt de onderste wagenbehuizing 130 gedragen op de geleidingsplaat 32 en is longitudinaal daarlangs beweegbaar. Zoals het best te zien is in de figuren 7 en 8 is een langgerekte tandstang 140 op onbeweeglijke wijze bevestigd, bijvoorbeeld door lassen of solderen, zodanig dat ze in neerwaartse richting uitsteekt vanaf het vlakke planaire gedeelte 30 van de onderste wagenbehuizing 130-

Een eerste in twee richtingen aandrijfbare elektrische motor 146 is gemonteerd door middel van een geschikte klamp 147 op het neerwaarts gerichte oppervlak van de planaire bovenzijde 116 van het platform 128 zodanig, dat de motor zich bevindt in hoofdzaak binnen de aan de onder-35 zijde open holte 118 gedefinieerd door het platform. Zoals het best te zien is in de figuren 10, 11 en 12 is de uitgangsas 148 van de motor 146 gekoppeld met een aangedreven assamenstelling 150 door middel van een koppelmoer 152. De koppelmoer 152 is voorzien van een dwarssleuf 153 voor demonteerbare koppeling met een transversale pen 154 aange-40 bracht in een uiteinde van het vermogen opnemende uiteinde van het as- 8402907 * t 15 segment 155 van de aandrijfassamenstelling 150, en is eveneens voorzien van een rechthoekige sleuf 156 waarin een radiale pen 157 van de motor-uitgangsas 158 is gepositioneerd. De koppelmoer 152 is voorgespannen in de richting van het uiteinde van het assegment 155 waarop het vermogen 5 moet worden overgedragen door middel van de drukveer 158. De koppelmoer 152 functioneert op exact dezelfde wijze als de boven beschreven koppelmoer 93 en derhalve kan de aandrijfassamenstelling 150 roterend worden aangedreven door de motor 146 of daarvan worden losgekoppeld via de koppelmoer 152 in welk geval de aandrijfassamenstelling 150 met de hand 10 kan worden bediend.

De aandrijfassamenstelling 150 heeft een universele koppeling 160 die aangebracht is tussen het aangedreven ingangsuiteinde van het as-segment 155 en een aan te drijven assegment 161 aan de uitgangszijde, welke op geschikte wijze gekoppeld is voor het aandrijven van een onder 15 een rechte hoek functionerend aandrijfmechanisme 162 dat bevestigd is aan een klamp 163 zodanig dat het zich bevindt binnen de holte 118 van het platform 128. Het onder een rechte hoek functionerende aandrijfme-chanisme is, zoals in de stand der techniek bekend is, een orgaan voor het overdragen van vermogen tussen assen die niet parallel staan, zoals 20 bij het gebruik van (niet getoonde) schuine tandwielen. Het onder een rechte hoek functionerende aandrijfmechanisme 162 wordt aangedreven door de boven beschreven assamenstelling 150 en draagt het vermogen over op een vertikaal geplaatste uitgangsas 164 die, zoals getoond is in figuur 8, via een slipkoppelorgaan 166 aangesloten is voor het aan-25 drijven van een tandwiel 168 dat een axiaal uitstekende as 169 heeft.

De uitgangsas 164 van het onder een rechte hoek functionerende aandrijfmechanisme 162 is vastgezet, bijvoorbeeld door middel van een in-stelschroef, in een uiteinde van een boring 170 die axiaal verloopt door een nippel 172. Een aanpasstuk 174 met een axiaal neerwaarts ge-30 richte as 175 is zodanig gemonteerd dat ze met de nippel 172 kan roteren doordat de as 175 vastgezet is in het tegenover liggende uiteinde van de boring van de nippel. De as 175 is voorzien van de platte oppervlakken 176 en het boveneinde van de boring 170 van de nippel is op geschikte wijze zodanig uitgevoerd dat de as 175 zal roteren met de nip-35 pel 172 en axiaal daarin kan glijden om redenen die nog in detail in het navolgende zullen worden beschreven. Het bovenste uiteinde van het aanpasstuk 174 is voorzien van een axiale boring 177 waarin het neerwaarts gerichte uiteinde van de tandwielas 169 is gefixeerd, bijvoorbeeld met behulp van een geschikte vastzetschroef, en de tandwielas 169 40 is roteerbaar ondersteund in de lagers 178 die worden gedragen door de 8402907 t s i 16 tandwielbehuizlng 180. De tandwielbehuizing 180 is voorzien van een montageflens 182 die bevestigd is aan het bovenoppervlak, van de vlakke plaat 120 van de geleidingsplaat 32 via geschikte schroeven 183, en de behuizing strekt zich neerwaarts uit in de openingen 184 gevormd door 3 de geleidingsplaat.

Zoals in het voorgaande reeds werd opgemerkt is de geleidingsplaat 32 in vertikale zin omhoog en omlaag beweegbaar ten opzichte van het platform 28. Derhalve zijn het tandwiel 168 en zijn vertikaal neerwaarts gerichte as 169, de tandwielbehuizing 180 en het aanpasstuk 174 10 allen in vertikale richting heen en weer beweegbaar tezamen met de geleidingsplaat 32 als gevolg van de in het bovenstaande beschreven wijze waarop deze elementen zijn gemonteerd en onderling zijn gekoppeld. De nippel 172 is anderzijds vast bevestigd aan de uitgangsas 164 van het onder een rechte hoek functionerende aandrijfmechanisme 162, en is dus 15 niet vertikaal beweegbaar. De axiaal glijdende bewegingsmogelijkheid van de neerwaarts gerichte as 175 van het aanpasstuk 174 in het bovengedeelte van de boring 170 van de nippel 172, dat wil zeggen de slip-koppeling 166, maakt het mogelijk dat deze vertikale beweging plaats vindt zonder ontkoppeling van het tandwiel 168 en de onder een rechte 20 hoek functionerende aandrijfeenheid 162.

Het tandwiel 168 werkt samen met een langgerekte tandstang 144 die onbeweeglijk gemonteerd is zodanig dat ze neerwaarts uitsteekt vanaf de onderste wagenbehuizing 130. Het zal derhalve duidelijk zijn dat de eerste omkeerbare aandrijfmotor 146 wordt gebruikt voor het in twee 25 richtingen aandrijven van de onderste wagenbehuizing 130 in de lengterichting van de geleidingsplaat 32.

De bovenste wagenbehuizing 132, die al eerder werd genoemd, is onbeweeglijk bevestigd aan de onderste wagenbehuizing 130 teneinde tezamen daarmee heen en weer uit/intrekbaar te bewegen. Deze onbeweeglijke 30 bevestiging van de bovenste wagenbehuizing 132 aan de onderste wagenbehuizing 130 wordt gerealiseerd bijvoorbeeld door middel van bouten 186 zoals getoond is in figuur 7.

De bovenste wagenbehuizing 132 is een langgerekte structuur die, zoals het best te zien is in figuur 9, voorzien is van een aan de on-35 derzijde open kanaal 188 dat longitudinaal door de behuizing is gevormd. Het kanaal 188 wordt gedefinieerd door een paar relatief lange vertikale oppervlakken 189 en een relatief kort horizontaal gepositioneerd bovenoppervlak 190. De geopende onderzijde van het kanaal 88 is direct aangebracht boven een centraal gedeelte van het bovenoppervlak 40 van het planaire deel 134 van de onderste wagenbehuizing 130, en een 8402907 * t 17 langgerekte loper 192, van hetzelfde type als de eerder beschreven lopers 140, is vast bevestigd, bijvoorbeeld door middel van lassen of solderen, ia een geschikte V-vormige groef aangebracht centraal in lengterichting van het planaire deel 134 van de onderste wagenbehuizing 5 130. Een soortgelijke loper 194 is vastgezet aan een langgerekt blok 195 dat zich bevindt binnen een langgerekte groef 196 gevormd in de bovenste wagenbehuizing 132 en zodanig gepositioneerd dat deze groef open is aan de onderzijde naar het bovenoppervlak 190, welk oppervlak het bovenniteinde van het kanaal 188 definieert. Het langgerekte blok 10 195 en derhalve de daardoor gedragen loper 194 zijn beweegbaar in de groef 196 naar en van het kanaal 188 af en geschikte instelschroeven 197 (waarvan er een is getoond) zijn zodanig aangebracht dat ze rusten tegen de bovenzijde van het langgerekte blok 195.

De heen en weer uit/intrekbare telescopische staaf 38 is gemon-15 teerd in een op zijn kant liggende houding in het kanaal 188 van de bovenste wagenbehuizing 132. De staaf 38 heeft een in hoofdzaak rechthoekige dwarsdoorsnede met tegenover elkaar liggende longitudinale zij-op-pervlakken 198 en relatief kortere boven- en onderrandoppervlakken 199 en 200. De boven- en onderrandoppervlakken 199 en 200 hebben elk een 20 V-vormige groef 202 die zich longitudinaal uitstrekt langs deze randen.

De groef 202 van het bovenrandoppervlak 199 staat in dragend glijdend contact met de loper 194, en de groef 202 van het onderrandoppervlak 200 is in soortgelijke aanraking met de loper 192 aangebracht op het bovenoppervlak van de onderste wagenbehuizing 130. De staaf 38 wordt 25 derhalve gedragen op en kan glijdend bewegen langs de lopers 192 en 194, waarbij de nauwkeurige uitlijning en belastingsnastelling van deze lageringsconfiguratie tussen de lopers en de staaf wordt verkregen met behulp van de instelschroeven 197 die gebruikt worden voor het bewegen van het langgerekte blok 195 en de loper 194 ten opzichte van de staaf 30 38.

De langgerekte telescopische staaf 38 is voorzien van een langgerekte tandbaan 204 die, zoals het best te zien is in de figuren 8 en 9, zich lateraan en in benedenwaartse richting uitstrekt vanaf het onderuiteinde van een van de longitudinale zijoppervlakken 198 van de staaf 35 en gericht is naar het planaire bovendeel 134 van de onderste wagenbehuizing 130. De tandbaan 204 strekt zich, zoals in figuur 7 te zien is, longitudinaal uit langs de staaf 38 vanaf het achterwaarts aangebrachte uiteinde 207 daarvan naar een punt gedefinieerd als 208, dat zich in achterwaartse richting bevindt op afstand van het voorwaarts uitsteken-40 de uiiteinde 210 van de staaf. Zoals het best te zien is in figuur 8 840 29 0 7 18 zijn de tanden van de tandstang 204 neerwaarts gericht naar de opwaarts gerichte tanden van de tandstang 128, welke vast wordt gedragen op het bovenoppervlak van de geleidingsplaat 32, en de twee tandstangen 204 en 128 zijn vertikaal van elkaar gescheiden en vertonen een laterale off-5 set met betrekking tot elkaar.

i Een differentiële tandwielsamenstelling 212 is, zoals te zien is in de figuren 7, 9 en 9A op nastelbare wijze gemonteerd op het neerwaarts gerichte oppervlak van het platte planaire deel 134 van de onderste wagenbehuizing 130 direct onder een opening 230 gevormd door het 10 planaire gedeelte 134 van de behuizing 130. De differentiële tandwielsamenstelling 212 omvat een behuizing 214 die open is aan zijn bovenen onderzijde. Een reducerende tandwieltrein is gemonteerd in de behuizing 214 en omvat een aandrijftandwiel 215, dat uitsteekt vanaf de onderzijde van de behuizing 214 en ingrijpt in de tandstang 128 van de ge-15 leidingsplaat 32. Het aandrijftandwiel 215 grijpt tevens in op een eerste overbrengingstandwiel 216 dat gedragen wordt op'een tegenas 217 waarbij het tandwiel 216 de roterende beweging overdraagt aan een tweede overbrengingstandwiel 218 dat door dezelfde tegenas wordt gedragen. Het tweede overbrengingstandwiel 218 grijpt in op het uiteindelijk aan-20 gedreven tandwiel 219 van de tandwieltrein, en het aangedreven tandwiel 219 steekt uit vanaf de bovenzijde van de behuizing 214 en grijpt in op de tandstang 204 van de telescopische staaf 38.

Zoals het best te zien is in figuur 9A is de behuizing 214 van de differentiële tandwielsamenstelling 212 voorzien van een paar montage-25 flenzen 220 die tegenover elkaar uitsteken vanaf beide zijden van de behuizing 214, waarbij geschikte bouten 222 verlopen door de aan de uiteinden geopende sleuven gevormd in de flenzen. Door het nastellen van de bouten kan de behuizing 214 zodanig worden gepositioneerd dat een juiste ineengrijping wordt verkregen tussen de tandwielen 215 en 30 219 en de respectievelijke tandstangen 128 en 204.

Wanneer de onderste wagenbehuizing 130 wordt bewogen ten opzichte van de geleidingsplaat 32 door bediening van de omkeerbare aandrijfbare elektrische motor 146 zoals in het voorgaande werd beschreven, dan zal het aangedreven tandwiel 215 van de differentiële tandwielsamenstelling 35 212 gaan rollen langs de tandstang 128 van de geleidingsplaat 32. De roterende beweging van het aandrijftandwiel 215 zal worden overgedragen door de overbrengingstandwielen 216 en 218 voor het aandrijven van het uiteindelijk aangedreven tandwiel 219 met een gereduceerde snelheid in vergelijking met die van het aandrijftandwiel 215. Het aangedreven 40 tandwiel 219 zal de tandstang 204 lineair aandrijven in dezelfde rich- 8402907 19 ting als de onderste wagenbehuizing 130 en derhalve zal de staaf 38 telescopisch worden bewogen naar ofwel een uitgestoken positie ofwel een ingetrokken positie ten opzichte van de bovenste wagenbehuizing 132, zoals bepaald wordt door de richting waarin de onderste wagenbehuizing 5 130 wordt bewogen.

Door gebruikmaking van de differentiële tandwielsamenstelling 212 op de wijze als in het voorgaande is beschreven zal de enkele aandrijf-motor 146 simultaan zowel de wagen als de telescopische staaf aandri j-ven en zowel de wagen als de staaf moeten hun uitstekende of intrekken-10 de bewegingen tegelijkertijd eindigen. In de werkomgeving, waarin het apparaat 20 is getoond en die hierin wordt beschreven, werd een over-brengingsverhouding van 0,71 geselecteerd voor de differentiële tand-wielsamenstelling 212, zodat de wagen over 111,76 cm (44 inch) zal bewegen terwijl de staaf beweegt over 81,28 cm (32 inch) zodat de inrich-15 ting 20 in het totaal de mogelijkheid heeft om over 193,04 cm (76 inch) uit te steken.

De artikeldragereenheid 40, die demonteerbaar gemonteerd is op het uitsteekbare uiteinde 210 van de telescopische staaf 38 kan van willekeurige configuratie zijn, geschikt voor het ondersteunen van de arti-20 kelen die door de inrichting 20 moeten worden gehanteerd. In de geïllustreerde uitvoeringsvorm is de artikeldragereenheid 40 een gevorkte structuur met een bochtgedeelte 224 van de tegenover liggende uiteinden waarvan de op afstand van elkaar parallel verlopende benen 225 zich uitstrekken. Zoals het best te zien is in figuur 7A is een montage-25 structuur 226 integraal gevormd met het bochtgedeelte 224 zodanig dat ze achterwaarts en opwaarts uitsteekt vanaf de tegenover liggende uiteinden van het bochtgedeelte. De montagestructuur 226 definieert een achterwaarts uitstekend en opwaarts op afstand geplaatste plaat 228 met een paar neerwaartse op afstand van elkaar geplaatste geren 230. De 30 plaat 228 en de geren 230 definiëren tezamen een in achterwaartse en neerwaartse richting openende holte 232 en een pen 234 is vast bevestigd, bijvoorbeeld door lassen of solderen, zodanig dat ze vanaf de plaat 228 uitsteekt in de holte 232. De gevorkte artikeldrager 40 is ! demonteerbaar bevestigd aan het uitsteekbare uiteinde 210 van de tele-35 scopische staaf 38 door de drager neerwaarts te bewegen zodanig dat de pen 234 insteekt in een blinde opening 236 gevormd in de bovenrand 199 van de staaf 38 aangrenzend aan het uitsteekbare uiteinde 210 ervan.

Wanneer de pen 234 in de opening 236 ingestoken is dan zal de plaat 228 van de montagestructuur rustend in contact staan met de bovenrand van 40 de staaf, het achterwaarts gekeerde oppervlak Van het bochtgedeelte 224 8402907 20 van de gevorkte artikeldrager zal dragend In contact staan met het eindoppervlak van de staaf, en de geren 230 zullen de staaf omvatten.

De artikelbewegingseenheid 30 Is, zoals reeds eerder werd opgemerkt, gekoppeld met het platform 28 via een lifteenheid 34 die bediend 5 kan worden voor het vertikaal omhoog en omlaag bewegen van de artikelbewegingseenheid 30 ten opzichte van het platform. De lifteenheid 34 omvat een identiek paar liftinrichtingen 238 en 240 die gemonteerd zijn op aparte posities op afstand van elkaar op het platform 28 zoals het t i best te zien is in de figuren 7 en 10. Omdat de liftinrichtingen 238 en 10 240 identiek zijn zal de volgende gedetailleerde beschrijving van de inrichting 238 ook gelden voor de liftinrichting 240.

De liftinrichting 238 is, zoals het best te zien is in figuur 13, aangebracht binnen een in opwaartse richting open holte 242 welke gegoten is of op andere wijze gevormd is zodanig dat ze open is aan de bo-15 venzijde 116 van het platform 28, welke holte wordt gedefinieerd door een eindloze zijwand 243 en een bodemwand 244. Een kam-as 246 is roteerbaar gelagerd in een axiaal neerwaarts gerichte naaf 247 die centraal gevormd is door de bodemwand 244, waarbij het onderste uiteinde van de as zich uitstrekt in benedenwaartse richting onder de naaf, 20 waarbij een vergrote cilindrische kop 248 van de kam-as concentrisch geplaatst is binnen de holte 242 en gedragen wordt door een druklager 249 dat aangebracht is tussen het bodemoppervlak van de kop en de bodemwand 244 van de holte 242. Een van uitwendige schroefdraad voorziene tapbout 250 is ingeschroefd in een van inwendige schroefdraad voorziene 25 radiale holte 251 gevormd in de omtrek van de cilindrische kop 248 van de kam-as, en een kam-rol 252 wordt roteerbaar gedragen op het radiaal uitstekende uiteinde van de tapbout 250. Een dragerring 254 is vast bevestigd aan de geleidingsplaat 32, bijvoorbeeld door lassen of solderen, zodanig dat ze zich direct bevindt boven en coaxiaal gepositio-30 neerd met betrekking tot de holte 242 en de kam-as 246. Een cilindrische ring 256 is vast bevestigd aan de geleidingsplaat 32, bijvoorbeeld door middel van bouten 257 (waarvan er een is getoond), zodat het bovenuiteinde van de cilindrische ring in dragend conmtact staat met en vast bevestigd is aan de dragerring en derhalve aan de geleidingsplaat 35 32. De cilindrische ring 256 steekt in neerwaartse richting uit vanaf de geleidingsplaat 32 in een concentrische situatie rond de vergrote cilindrische kop 248 van de kam-as 246. Zoals het best te zien is in de figuren 14A tot en met 14C is de cilindrische ring 256 voorzien van een kamvolgersleuf 258 die verloopt langs de omtrek ervan, waarbij de rol 40 252 zich radiaal uitstrekt vanaf de kop 240 van de kam-as tot in de 8402907 21 sleuf 258. De kamvolgersleuf 258 is gevormd met een onder een helling verlopend gedeelte 260 dat zich uitstrekt tussen een bovendeel 261 en een onderdeel 262. Wanneer de kam-as 246 wordt geroteerd op een wijze die in het navolgende nog wordt beschreven, zodanig dat de kamrol 252 5 zich bevindt in het bovenste gedeelte 261 van de kamvolgersleuf 258, dan zal de cilindrische ring 256 zich in de geheel ingetrokken positie daarvan bevinden hetgeen natuurlijk de geleidingsplaat 32 en daarmee de gehele artikelbewegingseenheid 30 positioneert in zijn vertikaal ingetrokken neerwaartse positie ten opzichte van het platform 28 zoals ge-10 toond is in figuur 13. Bij rotationele aandrijving van de kam-as 246 in de richting van de pijl 263 in de figuren 14B en 14C zal de kamrol 252 bewegen van het bovenste gedeelte 261 naar het onder een helling verlopende deel 260 van de kamvolgersleuf 258 zoals getoond is in figuur 14B. Een dergelijke beweging van de kamrol 252 zal de cilindrische ring 15 256 en daarmee de gehele artikelbewegingseenheid 30 opwaarts bewegen. Voortgaande rotationele aandrijving van de kam-as 246 in de richting van de pijl 263 zal de kamrol bewegen in het onderste deel 262 van de kamvolgersleuf 258 en daardoor de cilindrische ring 256 en de gehele artikelbewegingseenheid 30 brengen naar de volledig uitgestoken op-20 waartse positie. Rotationele aandrijving van de kam-as 246 in een richting tegengesteld aan de richting aangegeven door de pijl 263 zal de beweging van de kamrol in de kamvolgersleuf omkeren en daardoor de artikelbewegingseenheid 30 bewegen naar zijn ingetrokken positie.

Zoals getoond is in de figuren 10 en 12 is een tweede omkeerbaar 25 aandrijfbare elektrische motor 266 via,een geschikte klamp 267 gemonteerd op het neerwaarts gerichte oppervlak van de planaire bovenzijde 216 van het platform 218, zodanig dat de motor zich bevindt binnen de holte 218 gedefinieerd door het platform. De uitgangsas 268 van de motor 266 is via een universele koppeling 270 gekoppeld met een uiteinde 30 van een eerste wormoverbrenging 272 die roteerbaar gelagerd is in en wordt ondersteund door een juk 273 zodanig dat het zich bevindt in de holte 118 van het platform 28 in de nabijheid van de liftinrichting 238. Een aandrijfas 274 is gekoppeld met het andere uiteinde van de eerste wormoverbrenging 272 en verloopt vandaar naar een tweede worm-35 overbrenging 276 die op soortgelijke wijze is gelagerd in en wordt gedragen door een juk 278 zodanig dat het zich bevindt in de nabijheid van de andere liftinrichting 240. De omkeerbare motor 266 zal derhalve de twee wormoverbrengingen 272 en 276 synchroon aandrijven.

Zoals het best te zien is in figuur 10 hebben de aan de onderzijde 40 uitstekende uiteinden van de kam-assen 246 van de liftinrichtingen 238 8402907 X, « 22 en 240 elk een vast daarop gemonteerd tandwielsegment 280 waarbij het tandwielsegment 280 van de liftinrichting 238 zich uitstrekt vanaf de kam-as 246 en ingrijpt in de eerste worm 272 en het tandwielsegment 280 van de andere liftinrichting 240 zich uitstrekt tot in aangrijpend con-5 tact met de tweede worm 276.

Werking

Verwezen wordt nu naar de figuren 15A tot en met 15E en de figuren 16 en 17 die de werking van de inrichting 20 alsmede de stappen van de 10 werkwijze voor het hanteren van artikelen volgens de onderhavige uitvinding illustreren.

Figuur 15A toont de artikelbewegingsinrichting 20 zodanig gepositioneerd door de vertikaal positioneerbare dragereenheid 26 die gemonteerd is op de steuneehheid 224 dat ze zich in lijn bevindt met een van 15 de reactorovens 21. De artikelbewegingseenheid 30 bevindt zich in de horizontaal en vertikaal ingetrokken posities met betrekking tot het platform 28 en de heforen van de artikelsteuneenheid of schuit 42 rusten steunend op de benen 225 van de gevorkte artikeldragereenheid 40, zodat het schuitlichaam 44 neerhangt tussen de benen. In deze horizon-20 taal en vertikaal ingetrokken positie bevindt de longitudinale hartlijn van de schuit 42 zich onder de axiale hartlijn 282 van de reaetoroven. In de werkelijke praktijk is de vertikale bewegingsweg die de artikelbewegingseenheid 30 moet uitvoeren tamelijk klein en deze bewegingsweg is terwille van de duidelijkheid in de figuren 15A tot en met 15E over-25 dreven weergegeven. Wanneer de inrichting 20 wordt gebruikt voor het laden van de schuit 42 in de reaetoroven 21 en daarna voor het terughalen van deze schuit dan zal bijvoorbeeld de vertikale bewegingsweg ongeveer 0,95 cm (3/8 inch) bedragen.

Figuur 15B toont de volgende stap in de operatie waarin de lift-30 eenheid 34 wordt bediend voor het omhoog brengen van de artikelbewegingseenheid 30 naar zijn geheel vertikaal opgeheven positie. Tijdens deze hefbeweging zal de longitudinale hartlijn van de schuit 42 opwaarts bewegen en in lijn komen met de axiale hartlijn 282 van de reac-toroven 21 of iets daarboven komen.

35 Figuur 15C toont de artikelbewegingseenheid 30 die nu wordt bewo gen door actuatie van de eerste omkeerbare motor 146 (figuur 10) met behulp waarvan de onderste en bovenste wagenbehuizingen 130 en 132 als eenheid wordt voortbewogen langs de geleidingsplaat 32 terwijl simultaan daarmee de telescopische staaf 38 uit de bovenste wagenbehuizing 40 132 begint uit te steken.

840 2 9 0 7 ^ «· 23

Figuur 15D toont de situatie waarin de artikelbewegingseenheid 30 is bewogen naar zijn geheel uitgestoken positie waarin de schuit 42 zich bevindt binnen de reactoroven 21. Zoals te zien is in figuur 16 heeft de reactoroven een cilindrisch interieur met een diameter die 5 enigszins groter is, maar niet veel groter, dan de dwarsdoorsnede-afme-ting van de schuit. De speling bedraagt in dit geval ongeveer 0,63 cm (1/4 inch). Als de artikelbewegingseenheid 30 zich bevindt in de positie getoond In figuur 15D dan zal de schuit 42 nog steeds hangend door de artikeldragereenheid 40 gepositioneerd zijn in de reactoroven 21 zo-10 danig dat er geen aanraking is met de binnenzijvanden daarvan. Tijdens het inbrengen van de schuit in de reactoroven zal de boot dus niet schuren of slepen of op andere wijze een eventueel bewerkingsresidu, dat neergeslagen kan zijn op de binnenoppervlakken van de reactoroven, verstoren, welk residu bij een verstoring de te bewerken artikelen als 15 resultaat van vervuiling kan beschadigen of geheel vernietigen.

Figuur 15E toont de vertikaal neergaande beweging van de artikelbewegingseenheid 30 door middel van een omgekeerde werking van de lift-eenheid 34. Zodra deze vertikale terugtrekking of neergaande beweging begint zal de schuit 42 neerwaarts bewegen tezamen met de artikelbewe-20 gingseenheid 30 totdat de omlaag wijzende voetstukken 43 van de schuit komen te rusten op het onderste boogvormige gedeelte van de binnenzij-wand van de reactoroven zoals te zien is in figuur 17. Een verdere neerwaartse beweging van de artikelbewegingseenheid 30 zal lelden tot een neerwaartse lossende beweging van de benen 225 van de gevorkte ar-25 tikeldragereenheid 40 zodanig dat ze geen ondersteunend contact meer maken met de liftoren 46 van de schuit 42. Door de schuit 42 op deze j j wijze neer te zetten binnen in de reactoroven zullen de voetstukken 43 zacht contact maken met het binnenoppervlak van de oven en zal er weinig of geen verstoring optreden van het bewerkingsresidu waarmee de ar-30 tikelen zouden kunnen worden verontreinigd. Als de neerwaartse beweging van de artikelbewegingseenheid is voltooid dan zullen de benen 225 van de gevorkte artikeldragereenheid 40 zich ongeveer bevinden in de positie die getoond is in figuur 17. Met andere woorden, de benen 225 bevinden zich tussen de liftoren 46 van de schuit en het onderste gekrom-35 de oppervlakdeel van de binnenzijwanden van de reactoroven.

Nadat de schuit 42 is ingebracht in de reactoroeven 21 en de artikelbewegingseenheid 30 is bewogen naar zijn vertikaal geheel ingetrokken positie wordt de eerste omkeerbaar aandrijfbare motor 146 (figuur 10) in de omgekeerde richting geactueerd teneinde simultaan de telesco-40 pische staaf 38 alsmede de bovenste en onderste wagenbehuizing 130 en 8402907 * ·* 24 132 terug te trekken. Wanneer deze horizontale terugtrekking is voltooid dan zal de artikelhewegingseenheid 30 zich bevinden in de geheel ingetrokken positie, dat wil zeggen zowel vertikaal als horizontaal ingetrokken als getoond in figuur 15A. De in het bovenstaande beschreven 5 en in de figure 15A tot en met 15E geïllustreerde stappen bepalen tezamen de artikelinsteekoperatie van de inrichting 20.

Wanneer de bewerking van de artikelen, die gedragen worden in de schuit 42, is voltooid dan wordt de artikelhewegingseenheid 30 van de inrichting 20 geactueerd voor het uitvoeren van de uittrekoperatie. De 10 eerste stap van de uittrekoperatie is het actueren van de eerste omkeerbare aandrijfhare motor 146 teneinde simultaan de telescopische staaf 38 en de onderste en bovenste wagenbehuizingen 130 en 132 in horizontale richting ui te steken. Deze stap wordt uitgevoerd met de ar-tikelbewegingseenheid 30 in de vertikaal ingetrokken positie, zodat de 15 benen 225 van de gevorkte artikeldragereenheid 40 de reactoroven 21 zullen binnenkomen in de neerwaartse positie zoals getoond is in figuur 17. Als de horizontaal uitgestoken positie van de artikelbewegingseenheid 30 is bereikt dan wordt de lifteenheid 34 geactueerd voor het bewegen van de artikelhewegingseenheid 30 naar zijn vertikaal uitgestoken 20 positie waarin de benen 225 opwaarts zullen bewegen en daarbij zullen aangrijpen op de heforen 46 van de schuit 42 waardoor de schuit zacht wordt opgetild naar zijn in figuur 16 getoonde hangend ondersteunde positie. De artikelhewegingseenheid 30 wordt vervolgens horizontaal teruggetrokken in de vertikaal opgeheven positie ervan teneinde de uit-25 trekoperatie van de inrichting 20 te voltooien.

Alhoewel de principes van de uitvinding duidelijk zijn gemaakt aan de hand van de geïllustreerde uitvoeringsvorm zal het voor de deskundige op dit terrein direct duidelijk zijn dat diverse modificaties van structuren, configuraties, verhoudingen, elementen, materialen en com-30 ponenten mogelijk zijn bij het in de praktijk brengen van de uitvinding afhankelijk van de specifieke omgevingsomstandigheden en de specifieke vereisten die worden gesteld zonder dat buiten het kader van de uitvinding wordt getreden.

8402907

Claims

1. Inrichting voor het hanteren van diverse artikelen, omvattende: a) een platform van langgerekte configuratie gepositioneerd in een 5 in hoofdzaak horizontaal vlak, gekenmerkt door b) een artikelbewegingseenheid gemonteerd op het genoemde platform en heen en weer beweegbaar in een in hoofdzaak horizontaal vlak tussen een uitgestoken positie en een ingetrokken positie met betrekking tot het genoemde platform en heen en weer beweegbaar in een in hoofdzaak 10 vertikaal vlak tussen een opgeheven positie en een neergelaten positie met betrekking tot het genoemde platform; c) een artikeldragereenheid die demonteerbaar gemonteerd is op de genoemde artikelbewegingseenheid teneinde daarmee te bewegen, welke artikeldragereenheid bestemd is voor ontvangst en ondersteuning voor de 15 te hanteren artikelen; d) eerste middelen voor het in twee richtingen bewegen van de genoemde artikelbewegingseenheid in het in hoofdzaak horizontale vlak; en e) tweede middelen voor het in twee richtingen bewegen van de ge- 20 noeme artikelbewegingseenheid in het in hoofdzaak vertikale vlak.

2. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de artikelbewegingseenheid omvat: a) een wageneenheid die heen en weer beweegbaar is in het horizontale vlak ten opzichte van het genoemde platform en 25 b) een staaf die telescopisch gemonteerd is in de genoemde wagen eenheid teneinde daarmee te bewegen en teneinde heen en weer te bewegen -in het in hoofdzaak horizontale vlak tussen een uitgestoken en een ingetrokken positie met betrekking tot de genoemde wageneenheid.

3. Een inrichting volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat de 30 heengaande en weergaande beweging van de genoemde staaf ten opzichte van de genoemde wageneenheid simultaan plaats vindt met de heengaande of weergaande beweging van de genoemde wageneenheid ten opzichte van | I' het genoemde platform.

4. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de genoem- ! 35 de artikelbewegingseenheid omvat: a) een geleidingsplaat die op overlappende wijze gemonteerd is op het genoemde platform en longitudinaal daarvan uitsteekt; b) wagenmiddelen gesteund door de genoemde geleidingsplaat en heen en weer beweegbaar in het in hoofdzaak horizontale vlak in lengterich- 40 ting van de genoemde geleidingsplaat; en 8402907 * ' w c) een telescopisch In de genoemde wageneenheid gemonteerde staaf die op reciproque wijze beweegbaar is in het in hoofdzaak horizontale vlak tussen een uitgestoken en een ingetrokken positie ten opzichte van de genoemde wageneenheid.

5. Inrichting volgens conclusie 4, met het kenmerk, dat de genoem de eerste middelen voor het in beide richtingen bewegen van de genoemde artikelbewegingseenheid in het in hoofdzaak horizontale vlak omvat: a) de genoemde wageneenheid voorzien van een daarop vast gemonteerde tandstang; 10 b) een aandrijftandwiel gedragen door de genoemde geleidingsplaat en aangrijpend op de tandstang van de genoemde wagen; c) een op het platform gemonteerde in twee richtingen aandrijfbare motor; d) een aandrijfassamenstelling tussen de genoemde omkeerbare aan-15 drijfbare motor en het genoemde aandrijftandwiel; e) een tandstang die vast gemonteerd is op de genoemde geleidingsplaat ; f) een tandstang die vast gemonteerd is op de genoemde staaf; en g) tandwieloverbrengingsmiddelen die gemonteerd zijn op de genoern-20 de wageneenheid teneinde daarmee te bewegen, welke tandwieloverbren- gingsmiddelen voorzien zijn van een eerste tandwiel dat aangrijpt op de tandstang van de genoemde geleidingsplaat welke het genoemde eerste tandwiel aandrijft wanneer de wageneenheid zich beweegt in de lengterichting langs de genoemde geleidingsplaat, welke tandwieloverbren-25 gingsmiddelea voorzien zijn van een tweede tandwiel dat aandrijvend aangrijpt op de tandstang van de genoemde staaf en verder voorzien is van tussenliggende tandwielen die samenwerkend aangebracht zijn tussen de genoemde eerste en tweede tandwielen.

6. Inrichting volgens conclusie 5, met het kenmerk, dat de genoem-30 de tandwieloverbrengingsmiddelen uitgevoerd zijn teneinde een rotatie- reductie te verkrijgen.

7. Inrichting volgens conclusie 5, met het kenmerk, dat de genoemde aandrijfassamenstelling voorzien is van een koppelingsmoer voor het selectief ontkoppelen van het genoemde aandrijftandwiel van de genoemde 35 omkeerbare aandrijfbare motor.

8. Inrichting volgens conclusie 5, gekenmerkt door slipkoppelmid-delen aangebracht tussen het genoemde aandrijftandwiel en de genoemde aandrijfassamenstelling voor het handhaven van de koppeling daartussen wanneer het aandrijftandwiel wordt bewogen met de artikelbewegingseen- 40 heid in het in hoofdzaak vertikale vlak. 8402907

9. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk» dat de genoemde tweede middelen voor het heen en weer bewegen van de genoemde arti-kelbewegingseenheid in het in hoofdzaak vertikale vlak omvat: a) liftmiddelen aangebracht tussen het genoemde platform en de ge-5 noemde artikelbewegingseenheid welke lifteenheid via rotatie kan worden aangedreven tussen een vertikaal opgeheven en een vertikaal neergelaten positie; b) een omkeerbaar aandrijfbare motor gemonteerd op het genoemde platform, en 10 c) aandrijfasmiddelen gekoppeld tussen de genoemde lifteenheid en de genoemde omkeerbaar aandrijfbare motor voor het via rotatie-aandrij-ving aandrijven van de genoemde lifteenheid. 10» Inrichting volgens"conclusie 9, met het kenmerk, dat de ge-noemde_liftseiifieid voorzien is van een paar op afstand van elkaar aan- ^__^JL5-—gebrachte liftinrichtingen die onderling gekoppeld zijn met de genoemde -—aandrijfasmiddelen voor syneheone aandrijving ervan.

11. Inrichting volgens conclusie 9, met het kenmerk, dat de genoemde lifteenheid voorzien is van tenminste een liftinrichting die omvat: 20 a) vertikaal geplaatste kammiddelen die roteerbaar gelagerd zijn in het genoemde platform; en b) kamvolgermiddelen die in neerwaartse richting uitsteken vanaf de genoemde artikelbewegingseenheid en in aangrijping staan met de genoemde kammiddelen voor een axiale beweging ten opzichte van de genoem- 25 de kammiddelen wanneer deze laatste worden geroteerd.

12. Inrichting volgens conclusie 9, met het kenmerk, dat de genoemde lifteenheid tenminste voorzien is van een liftinrichting die omvat: a) een kam-as die vertikaal gepositioneerd is en op roteerbare wi- 30 jze wordt gedragen door het genoemde platform; b) een kamrol die radiaal uitsteekt vanaf het bovenuiteinde van de genoemde kam-as; en c) een in neerwaartse richting vanaf de genoemde artikelbewegingseenheid uitstekende ring die in axiale richting beweegbaar concentrisch 35 geplaatst is rond de genoemde kam-as, in welke ring een kamvolgersleuf is gevormd waarin de genoemde kamrol is gepositioneerd teneinde de ring te bewegen in een axiaal uitstekende richting wanneer de genoemde kam-as wordt geroteerd in de ene richting en de ring te bewegen in een axiaal intrekkende richting wanneer de genoemde kam-as wordt geroteerd

40 In de tegengestelde richting. 8402907

13. Inrichting volgens conclusie 12, mewt het kenmerk, dat de genoemde kam-as voorzien is van een tandwielsegment dat bevestigd is aan het onderste uiteinde ervan en dat gekoppeld is met de genoemde aandrijfasmiddelen.

14. Inrichting volgens conclusie 13, met het kenmerk, dat de ge noemde aandrijfasmiddelen voorzien zijn van een worm die in aangrijping staat met het genoemde tandwielsegment.

15. Inrichting volgens conclusie 1, gekenmerkt door middelen die bevestigd zijn aan het genoemde platform teneinde dit genoemde platform 10 te ondersteunen en in vertikale richting te bewegen.

16. Inrichting volgens conclusie 1, verder gekenmerkt door a) een pedestal; b) een langgerekte standaard ie zich in opwaartse richting uitstrekt vanaf de genoemde pedestal; 15 c) een platformdragereenheid die axiaal beweegbaar is op de ge noemde standaard en vast bevestigd is aan het genoemde platform voor het ondersteunen van het genoeme platform in het in hoofdzaak horizontale vlak; en d) vertikale aandrijfmiddelen die vast bevestigd zijn aan de ge- 20 noemde standaard en gekoppeld zijn met de platformdragereenheid teneinde de platformdragereenheid in de lengterichting van de genoemde standaard te bewegen.

17. Inrichting volgens conclusie 16, met het kenmerk, dat de genoemde platformdragereenheid omvat: 25 a) een buisvormige huls die een axiale boring definieert welke de genoemde standaard coaxiaal omvat; b) stabilisatormiddelen op de genoemde huls en in aangrijping met de genoemde standaard teneinde de coaxiale relatie tussen beiden te handhaven en een rotatie van de genoemde huls rond de longitudinale 30 hartlijn van de genoemde standaard te voorkomen; en c) klampmiddelen die zich radiaal van de genoemde buisvormige huls uitstrekken en vast zijn bevestigd aan het genoemde platform.

18. Inrichting volgens conclusie 17, met het kenmerk, dat de genoemde stabilisatormiddelen voorzien zijn van een bovenste stabilisa- 35 toreenheid aan het bovenuiteinde van de genoemde buisvormige huls en een onderste stabilisatoreenheid aan het onderuiteinde van de genoemde buisvormige huls, welke bovenste en onderste stabilisatoreenheden elk voorzien zijn van: a) een integraal met de genoemde buisvormige huls gevormde behui- 40 zing welke tenminste een integrale holte definieert die in radiale b 8402907 richting open is naar de omtrek van de genoemde standaard; b) een rol in de holte van de genoemde behuizing; en c) middelen in de genoemde behuizing voor het nastelbaar bewegen van de genoemde rol tot in dragend contact met de omtrek van de genoem- 5 de standaard.

19. Inrichting volgens conclusie 18, verder gekenmerkt door een longitudinaal in de genoemde standaard gevormde groef waarin de omtrek van de genoemde rol steunt.

20. Inrichting volgens conclusie 17, met het kenmerk, dat de ge-10 noemde stabilisatormiddelen voorzien zijn van een bovenste stabilisa- toreenheid aan het bovenuiteinde van de genoemde buisvormige huls en een onderste stabilisatoreenheid aan het onderste uiteinde van de genoemde buisvormige huls, welke bovenste en onderste stabilisdatoreenhe-den elk voorzien zijn van: 15 a) een integraal met de genoemde huls gevormde behuizing waarin een paar inwendige holten zijn gedefinieerd die gepositioneerd zijn onder rechte hoeken ten opzichte van elkaar, waarbij elk van het genoemde paar holten radiaal open is naar de omtrek van de genoemde standaard; b) een paar rollen, elk geplaatst in een verschillende holte ge-20 vormd in de genoemde behuizing; en c) middelen in elk van de holten van de genoemde behuizing voor het nastelbaar bewegen van de betreffende daarin aanwezige rol tot in dragend contact met de omtrek van de genoemde standaard.

21. Inrichting volgens conclusie 20, met het kenmerk, dat de ge-25 noemde middelen in elk van de genoemde holten van de behuizing voorzien zijn van: a) een harp met een bochtgedeelte en een paar benen die zich vandaar uitstrekken in de richting van de omtrek van de genoemde standaard; 30 b) de genoemde rol die roteerbaar wordt ondersteund tussen de be nen van de genoemde harp; en c) een instelschroef die ingeschroefd is in de genoemde behuizing en uitsteekt tot in dragend contact met het bochtgedeelte van de genoemde harp.

22. Inrichting volgens conclusie 20, verder gekenmerkt door a) een paar V-vormige groeven die longitudinaal gevormd zijn in de omtrek van de genoemde standaard en radiaal zijn gepositioneerd onder rechte hoeken ten opzichte van elkaar; en b) een eindloze afgeschuinde omtreksrand van elk van de genoemde 40 rollen met V-vorm,ige dwarsdoorsnede, uitgevoerd om dragend contact te 8402907 * * ï maken met elk een van de V-vormige groeven aangebracht In de genoemde standaard. '

23. Inrichting volgens conclusie 16, met het kenmerk, dat de genoemde vertikale aandrijfmiddelen voorzien zijn van: 5 a) een aan de genoemde standaard bevestigde behuizing; b) een tandwieloverbrenging in de genoemde behuizing voorzien van een tandwieloverbrengingsaandrijfas en een uitgangsas; c) middelen gekoppeld met de tandwieloverbrengingsaandrijfas van de genoemde tandwieloverbrenging voor aandrijving daarvan; 10 d) een langgerekte met de uitgangsas van de genoemde tandwielover brenging gekoppelde worm die vertikaal daarvan uitsteekt; en e) een wormwiel op de genoemde platformdragereenheid die samenwerkt met de genoemde worm.

24. Inrichting volgens conclusie 23, met het kenmerk, dat de tand- 15 wieloverbrenging ene reducerende tandwieloverbrenging is.

25. Inrichting volgens conclusie 23, met het kenmerk, dat de genoemde middelen die gekoppeld zijn met de tandwieloverbrengingsaandri jfas voor het aanbrengen daarvan bestaan uit een omkeerbaar aandri jfbare motor.

26. Inrichting volgens conclusie 22, met het kenmerk, dat de ge noemde middelen die gekoppeld zijn met de tandwieloverbrengingsaandri jfas voor aandrijving daarvan bestaan uit een handwiel.

27. Inrichting volgens conclusie 23, met het kenmerk, dat de middelen die gekoppeld zijn met de genoemde tandwieloverbrengingsaandrijf- 25 as voor aandrijving daarvan voorzien zijn van: a) een omkeerbaar aandrijfbare motor gekoppeld met een uiteinde van de genoemde tandwieloverbrengingsaandrijfas; b) een door het andere uiteinde van de genoemde tandwieloverbrengingsaandri jfas bevestigd handwiel; en 30 c) een koppelmoer waarmee de genoemde omkeerbaar aandrijfbare mo tor gekoppeld is met het ene uiteinde van de genoemde tandwieloverbrengingsaandri jfas via welke koppelmoer de genoemde omkeerbare aandrijfbare motor selectief kan worden ontkoppeld van de genoemde tandwieloverbrengingsaandri jfas .

28. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de ge noemde artikeldragereenheid voorzien is van een gevorkt element met een bochtdeel, van de tegenover liggende uiteinden waarvan een paar arti-keldragende benen zich uitstrekken en voorzien van tussen de tegenover liggende uiteinden van het genoemde bochtdeel aanwezige middelen voor 40 demonteerbare bevestiging aan de genoemde artikelbewegingseenheid. 8402907

29. Inrichting volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de inrichting wordt gebruikt voor het laden van te bewerken artikelen in een reactoroven en het ontladen van de artikelen na afloop van de bewerking, welke inrichting verder omvat: 5 a) tenminste een reactoroven; b) het genoemde platform van langgerekte configuratie dat gepositioneerd is op afstand van de genoemde reactoroven; c) middelen voor het ondersteunen en in vertikale richting bewegen van het genoemde platform naar een positie waarin het genoemde platform. 10 in hoofdzaak uitgelijnd is met het inwendige van de reactoroven; d) de genoemde artikelbewegingsmiddelen die heen en weer beweegbaar zijn in een in hoofdzaak horizontaal vlak van. en naar de genoemde reactoroven; e) de genoemde artikeldragereenheid die zodanig gemonteerd is dat 15 ze in en uit de genoemde reactoroven kan bewegen, welke artikeldragereenheid bestemd is voor het ondersteund dragen van de te bewerken artikelen tot in de genoemde reactoroven voorafgaand aan de bewerking van de artikelen daarin en voor het terugtrekken van deze artikelen na de bewerking,

30. Inrichting volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de inrichting wordt gebruikt voor het hanteren van halfge-leiderplakken en de artikeldragereenheid voorzien is van halfgeleider-plak-dragermiddelen bestemd voor het ontvangen en steunen van de te hanteren halfgeleiderplakken.

31. Werkwijze voor het hanteren van artikelen met behulp van een inrichting als omschreven in een der voorgaande conclusies, waarmee de te hanteren artikelen voor bewerking worden geladen in een reactoroven, gekenmerkt door de volgende stappen: i a) het plaatsen van tenminste een te bewerken artikel in een arti- 30 kelsteuneenheid; b) het bevestigen van de genoemde artikelsteuneenheid aan de artikeldragereenheid die behoort tot de inrichting voor het hanteren van de artikelen, welke artikeldragereenheid zich in horizontale richting in lijn bevindt ten opzichte van en op afstand van het Inwendige van de 35 genoemde reactoroven; c) het opheffen van de genoemde artikelhanteerinrichting teneinde de hartlijn van de genoemde artikelsteuneenheid in hoofdzaak in lijn te brengen met de hartlijn van het inwendige van de genoemde reactoroven; d) het uitsteken van de artikelhanteereenheid in horizontale rich- 40 ting naar de reactoroven teneinde de artikelsteuneenheid in te steken 8402907 » ' ·# in de genoemde reactoroven; e) het in vertikale richting bewegen van de genoemde artikelhan-teerinrichting teneinde de artikelsteuneenheid neerwaarts te bewegen tot in steunend contact met het inwendige van de genoemde reactoroven 5 en daarbij de genoemde artikeldragereenheid te ontkoppelen van de genoemde artikelsteuneenheid; en f) het terugtrekken van de artikelhanteerinrichting in horizontale richting uit de genoemde reactoroven.

32. Werkwijze volgens conclusie 31, verder gekenmerkt door de 10 volgende stappen: g) het uitsteken van de genoemde artikelhanteerinrichting in horizontale richting naar de genoemde reactoroeven voor het bewegen van de artikeldragereenheid in de genoemde reactoroven volgend op stap f; h) het opheffen van de artikelhanteerinrichting teneinde de arti- 15 keldragereenheld in steunend contact te brengen met de artikelsteuneenheid en het opheffen van de artikelsteuneenheid zodanig dat deze zich door de artikeldragereenheid gesteund bevindt binnen de reactoroven; en i) het terugtrekken van de genoemde artikelhanteerinrichting in 20 horizontale richting uit de reactoroeven teneinde de artikelsteunin- richting daaruit te verwijderen.

33. Werkwijze voor het hanteren van halfgeleiderplakken met behulp van de inrichting volgens conclusie 30, gekenmerkt door het laden van de halfgeleiderplakken in een reactoroven ter bewerking daarvan, omvat- 25 tende de volgende stappen: a) het plaaten van tenminste een te bewerken plak in een plaksteuninrichting; b) het laten dragen van de genoemde plaksteuninrichting door een uiteinde van de hanteerinrichting; 30 c) het uitlijnen van de hanteerinrichting zodanig dat de hartlijn van de genoemde plaksteuninrichting in hoofdzaak uitgelijnd is met de hartlijn van het inwendige van de reactoroven; d) het uitsteken van de hanteerinrichting in een eerste vlak teneinde de plaksteuninrichting nog steeds gedragen in te brengen in de 35 reactoroven; e) het bewegen van de hanteerinrichting in het tweede vlak teneinde de plaksteuninrichting naar beneden te bewegen tot in dragend contact met het interieur van de reactoroven en het uiteinde van de hanteerinrichting los te koppelen van de plaksteuninrichting; en 40 f) het terugtrekken van de hanteerinrichting teneinde het uiteinde 8402907 daarvan uit de reactoroven te trekken.

34. Werkwijze volgens conclusie 33, met het kenmerk, dat de stap voor het terugtrekken van de hanteerinrichting wordt uitgevoerd in een derde vlak dat zich bevindt parallel aan en op afstand onder het eerste 5 vlak.

35. Werkwijze volgens conclusie 33 of 34, met het kenmerk, dat de genoemde stap voor het uitlijnen van de hanteerinrichting omvat de volgende stappen: a) het omhoog brengen van de genoemde hanteerinrichting teneinde 10 de hartlijn van de plaksteuninrichting in het derde vlak te brengen; en b) het opheffen van de hanteerinrichting teneinde de hartlijn van de plaksteuninrichting in het eerste vlak te brengen.

36. Werkwijze volgens conclusie 34 of 35, gekenmerkt door de vol-15 gende stappen: g) het uitsteken van de hanteerinrichting in het derde vlak volgend op stap f voor het bewegen van het uiteinde van de genoemde hanteerinrichting in de reactoroven; h) het bewegen van de genoemde hanteerinrichting in het tweede 20 vlak teneinde het uiteinde daarvan in aanraking te brengen met de genoemde plaksteuninrichting en deze plaksteuninrichting op te heffen totdat deze wordt gedragen door de hanteerinrichting binnen de reactoroven waarbij de hartlijn ervan in hoofdzaak uitgelijnd is met de hartlijn van de reactoroven; en 25 i) het terugtrekken van de hanteerinrichting in het eerste vlak teneinde de plaksteuninrichting uit de reactoroven te trekken. ******* 8402907