CN218769443U - 半导体料盘自动运输设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体料盘运输设备技术领域的半导体料盘自动运输设备，包括空盘物料舱、料盘物料舱、中转运输机构和取料运输机构，空盘物料舱和料盘物料舱之间为上下垂直分布，中转运输机构设置在料盘物料舱与取料运输机构之间，空盘物料舱和料盘物料舱的内部均设有第一抬升架，中转运输机构的内部设有第二抬升架，取料运输机的内部设有第三抬升架，设有用于驱动第一限位板体和第二限位板体移动的间隙调节机构，使得多个物料盘可进行堆叠进行一次性运输，提高了半导体料盘自动运输设备的运输效率，使半导体料盘自动运输设备适应不同尺寸的半导体料盘进行运输，达到减少不同尺寸的半导体料盘自动运输设备的目的。

Description

半导体料盘自动运输设备

技术领域

本实用新型涉及半导体料盘运输设备技术领域，具体为半导体料盘自动运输设备。

背景技术

现有技术中半导体的检测，均需要料盘对半导体进行装载，并通过料盘运输生产线对料盘进行运输。料盘运输生产线一般通过滚筒式输送线对料盘进行滚动运输。

现有技术中存在不同尺寸的料盘，相对应的需要选择长度尺寸一致的滚筒式输送线进行运输，同时一种规格的滚筒式输送线只适配一种尺寸大小的料盘，导致生产者需要根据料盘尺寸投入多条料盘运输生产线，从而导致生产者的料盘运输设备成本投入量大；

在滚筒式输送线的末端一般由人工将物料盘进行堆叠，同时经过人工对物料盘的进行摆放方向进行调整统一，导致滚筒式输送线的自动化程度低，物料盘的运输效率低下。

因此，亟需一种半导体料盘自动运输设备来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供半导体料盘自动运输设备，为了更好地解决滚筒式输送线无法适应不同尺寸大小的料盘和提高物料盘的运输效率的技术问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

半导体料盘自动运输设备，包括空盘物料舱、料盘物料舱、中转运输机构和取料运输机构，空盘物料舱和料盘物料舱之间为上下垂直分布，中转运输机构设置在料盘物料舱与取料运输机构之间；

所述空盘物料舱、料盘物料舱、中转运输机构和取料运输机构均设有用于运输料盘的滚筒运输线，滚筒运输线包括若干根可转动的滚筒，空盘物料舱和料盘物料舱的内部均设有第一抬升架，中转运输机构的内部设有第二抬升架，取料运输机的内部设有第三抬升架，位于空盘物料舱和料盘物料舱内部的滚筒运输线均通过第一承载架与第一抬升架进行活动连接，位于中转运输机构和取料运输机构内部的滚筒运输线通过第二承载架分别与第二抬升架和第三抬升架进行活动连接，第二抬升架的高度大于第三抬升架的高度；

位于空盘物料舱和料盘物料舱内部的滚筒运输线顶部的两侧均设有第一限位板体，位于中转运输机构和取料运输机构内部的滚筒运输线顶部的两侧均设有第二限位板体，空盘物料舱、料盘物料舱、中转运输机构和取料运输机构的内部均设有用于驱动第一限位板体和第二限位板体移动的间隙调节机构，第一限位板体和第二限位板体分别与间隙调节机构进行固定连接，相邻两块第一限位板体通过间隙调节机构进行间隙调节，相邻两块第二限位板体通过间隙调节机构进行间隙调节；

所述中转运输机构的上方设有堆叠机械手，堆叠机械手包括伺服滑台组件、支持臂和夹具，支持臂的一端通过气动组件与夹具进行活动连接，支持臂的另一端与伺服滑台组件进行活动连接，夹具通过支持臂延伸至中转运输机构的上方，夹具通过伺服滑台组件可在中转运输机构与取料运输机构之间的上方进行移动。

上述说明中，作为进一步的方案，第一承载架与第二承载架的结构保持一致，第一承载架和第二承载架均包括承载板体、固定支架和滑动套筒，固定支架垂直固定连接在承载板体的两侧，滚筒的两端可转动地连接在固定支架的内侧壁，滑动套筒设置于承载板体的四个边角处，第一承载架与第二承载架均通过滑动套筒与第一抬升架、第二抬升架和第三抬升架进行活动连接，第一抬升架、第二抬升架和第三抬升架的两侧均为导向杆，滑动套筒分别与对应的导向杆进行套接，第一承载架与第二承载架可沿导向杆进行上下滑动。

上述说明中，作为进一步的方案，第一抬升架、第二抬升架和第三抬升架的顶部均设有用于驱动第一承载架与第二承载架进行上下滑动的抬升驱动组件；

抬升驱动组件包括抬升伺服电机和抬升丝杆，承载板体的一侧设有与抬升丝杆相匹配的螺接件，抬升伺服电机分别固定连接在第一抬升架、第二抬升架和第三抬升架的顶部，抬升丝杆的一端与抬升伺服电机的输出轴进行固定连接，抬升丝杆的另一端贯穿第一抬升架、第二抬升架和第三抬升架的顶部，且与螺接件进行螺接。

上述说明中，作为进一步的方案，位于中转运输机构和取料运输机构内部的间隙调节机构设置在第二抬升架和第三抬升架的内部，位于空盘物料舱、料盘物料舱内部的间隙调节机构设置在第一承载架的内部，第一限位板体和第二限位板体均通过连接座与间隙调节机构进行固定连接，连接座呈直角状结构，第一限位板体和第二限位板体的底部固定连接在连接座的一侧。

上述说明中，作为进一步的方案，间隙调节机构包括调节导轨、调节伺服电机、调节丝杆和调节滑块，调节滑块的底部可滑动地连接在调节导轨的中部，连接座远离第一限位板体和第二限位板体的一侧与调节滑块的顶部进行固定连接，第一限位板体和第二限位板体与调节导轨之间的夹角为90度；

调节伺服电机设置在调节导轨的一端，调节丝杆的一端与调节伺服电机的输出轴进行固定连接，连接座的中部设有向上凸起的螺接块，调节丝杆的另一端贯穿螺接块的中部，且与螺接块进行螺接。

上述说明中，作为进一步的方案，第一限位板体的中部开设有若干个套接通孔，滚筒插接在套接通孔的内部，滚筒可在套接通孔的内部进行移动；

第二限位板体的中部开设有若干条滑槽，滑槽贯穿第二限位板体的两侧面，滚筒插接在滑槽的内部，且与滑槽之间保持垂直的结构，滚筒可沿滑槽的内部进行滑动。

上述说明中，作为进一步的方案，固定支架的外侧壁均设有若干个从动轮和驱动轮，从动轮和驱动轮均可转动地连接在固定支架的外侧壁，滚筒的端部贯穿固定支架与从动轮进行固定连接；

固定支架的一侧设有运输伺服电机，运输伺服电机的输出轴贯穿固定支架与驱动轮进行固定连接，从动轮与驱动轮之间通过传动链条进行活动连接。

上述说明中，作为进一步的方案，伺服滑台组件包括移动伺服电机、移动滑块、移动导轨和移动丝杆，移动滑块的底部与移动导轨进行可滑动地连接，移动滑块的顶部与支持臂远离夹具的一端进行固定连接，移动伺服电机设置在移动导轨的一侧，移动丝杆的一端贯穿移动滑块的中部，且与移动滑块进行螺接；

移动丝杆的另一端设有传动同步轮，移动伺服电机的输出轴设有驱动同步轮，传动同步轮与驱动同步轮之间通过同步带进行活动连接。

上述说明中，作为进一步的方案，气动组件包括直线气缸和旋转气缸，直线气缸的顶部与支持臂一端的底部进行固定连接，直线气缸的底部与旋转气缸的顶部进行固定连接，旋转气缸可沿直线气缸的垂直方向进行移动；

夹具的中心固定连接在旋转气缸的底部，夹具可沿旋转气缸的中心进行旋转。

上述说明中，作为进一步的方案，取料运输机构远离中转运输机构的一侧设有料盘检测机构，料盘检测机构位于第三抬升架顶部所在的平面上，料盘检测机构包括检测气缸和限位开关，检测气缸的一端为推动部，限位开关固定连接在推动部的端部，推动部可向第三抬升架的一侧进行延伸，限位开关的开关探头可延伸至滚筒运输线的内部。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

本申请的半导体料盘自动运输设备，(一)设有上下垂直分布的空盘物料舱和料盘物料舱，同时中转运输机构设置在料盘物料舱与取料运输机构之间，中转运输机构的物料盘可通过第二抬升架将抬升或者下降至空盘物料舱和料盘物料舱所在高度的平面，使物料盘可通过中转运输机构分别进入空盘物料舱和料盘物料舱的内部，完成物料盘的入料和收料；

(二)同时中转运输机构的上方设有堆叠机械手，堆叠机械手通过伺服滑台组件可在料盘物料舱与取料运输机构之间的上方进行移动，便于将多个物料盘进行夹取和堆叠至中转运输机构处，使得多个物料盘可进行堆叠进行一次性运输，提高了半导体料盘自动运输设备的运输效率；

(三)在空盘物料舱、料盘物料舱、中转运输机构和取料运输机构的内部均设有用于驱动第一限位板体和第二限位板体移动的间隙调节机构，通过第一限位板体和第二限位板体对滚筒运输线上方物料盘的运输空间进行调节间隙大小，有利于不同尺寸的物料盘均可进入滚筒运输线内部进行运输，使半导体料盘自动运输设备适应不同尺寸的半导体料盘进行运输，达到减少不同尺寸的半导体料盘自动运输设备的目的。

附图说明

图1为本实用新型所述半导体料盘自动运输设备的立体结构示意图；

图2为本实用新型所述半导体料盘自动运输设备的内部结构示意图；

图3为图2中A的局部放大结构示意图；

图4为本实用新型所述半导体料盘自动运输设备中空盘物料舱和料盘物料舱的结构示意图；

图5为本实用新型所述半导体料盘自动运输设备中空盘物料舱和料盘物料舱的内部结构示意图；

图6为本实用新型所述半导体料盘自动运输设备中取料运输机构和中转运输机构的结构示意图；

图7为本实用新型所述半导体料盘自动运输设备中取料运输机构和中转运输机构的内部结构示意图；

图8为本实用新型所述半导体料盘自动运输设备中堆叠机械手的结构示意图；

图9为本实用新型所述半导体料盘自动运输设备中第二承载架的结构示意图；

图中：1-空盘物料舱，2-料盘物料舱，3-中转运输机构，4-取料运输机构，5-堆叠机械手，501-伺服滑台组件，502-支持臂，503-夹具，5011-移动伺服电机，5012-驱动同步轮，5013-传动同步轮，5014-同步带，5015-移动丝杆，5016-移动滑块，5017-移动导轨，5031-直线气缸，5032-旋转气缸，6-检测气缸，7-限位开关，8-滚筒运输线，801-滚筒，802-从动轮，803-驱动轮，804-运输伺服电机，805-传动链条，9-第一承载架，901-承载板体，902-固定支架，903-滑动套筒，904-螺接件，10-第二承载架，11-第一抬升架，1101-导向杆，12-第二抬升架，13-第三抬升架，14-第一限位板体，1401-套接通孔，15-第二限位板体，1501-滑槽，16-间隙调节机构，1601-调节导轨，1602-调节伺服电机，1603-调节丝杆，1604-调节滑块，1605-连接座，1606-螺接块，17-抬升驱动组件，1701-抬升伺服电机，1702-抬升丝杆。

具体实施方式

为了便于本领域技术人员的理解，下面结合实施例与附图对本实用新型作进一步的说明，实施方式提及的内容并非对本实用新型的限定。以下结合附图对本实用新型进行详细的描述。

请参阅图1-9，其具体实施的半导体料盘自动运输设备，包括空盘物料舱1、料盘物料舱2、中转运输机构3和取料运输机构4，空盘物料舱1和料盘物料舱2之间为上下垂直分布，中转运输机构3设置在料盘物料舱2与取料运输机构4之间；

所述空盘物料舱1、料盘物料舱2、中转运输机构3和取料运输机构4均设有用于运输料盘的滚筒801运输线8，滚筒801运输线8包括若干根可转动的滚筒801，空盘物料舱1和料盘物料舱2的内部均设有第一抬升架11，中转运输机构3的内部设有第二抬升架12，取料运输机的内部设有第三抬升架13，位于空盘物料舱1和料盘物料舱2内部的滚筒801运输线8均通过第一承载架9与第一抬升架11进行活动连接，位于中转运输机构3和取料运输机构4内部的滚筒801运输线8通过第二承载架10分别与第二抬升架12和第三抬升架13进行活动连接，第二抬升架12的高度大于第三抬升架13的高度；

位于空盘物料舱1和料盘物料舱2内部的滚筒801运输线8顶部的两侧均设有第一限位板体14，位于中转运输机构3和取料运输机构4内部的滚筒801运输线8顶部的两侧均设有第二限位板体15，空盘物料舱1、料盘物料舱2、中转运输机构3和取料运输机构4的内部均设有用于驱动第一限位板体14和第二限位板体15移动的间隙调节机构16，第一限位板体14和第二限位板体15分别与间隙调节机构16进行固定连接，相邻两块第一限位板体14通过间隙调节机构16进行间隙调节，相邻两块第二限位板体15通过间隙调节机构16进行间隙调节；

所述中转运输机构3的上方设有堆叠机械手5，堆叠机械手5包括伺服滑台组件501、支持臂502和夹具503，支持臂502的一端通过气动组件与夹具503进行活动连接，支持臂502的另一端与伺服滑台组件501进行活动连接，夹具503通过支持臂502延伸至中转运输机构3的上方，夹具503通过伺服滑台组件501可在中转运输机构3与取料运输机构4之间的上方进行移动。

第一承载架9与第二承载架10的结构保持一致，第一承载架9和第二承载架10均包括承载板体901、固定支架902和滑动套筒903，固定支架902垂直固定连接在承载板体901的两侧，滚筒801的两端可转动地连接在固定支架902的内侧壁，滑动套筒903设置于承载板体901的四个边角处，第一承载架9与第二承载架10均通过滑动套筒903与第一抬升架11、第二抬升架12和第三抬升架13进行活动连接，第一抬升架11、第二抬升架12和第三抬升架13的两侧均为导向杆1101，滑动套筒903分别与对应的导向杆1101进行套接，第一承载架9与第二承载架10可沿导向杆1101进行上下滑动；

位于承载板体901四个边角的滑动套筒903套接在导向杆1101的内部，为第一承载架9和第二承载架10的高度调节提供导向的作用，使得位于空盘物料舱1、料盘物料舱2、中转运输机构3和取料运输机构4内部的滚筒801运输线8可调节至同一高度的水平面上进行对物料盘的运输。

第一抬升架11、第二抬升架12和第三抬升架13的顶部均设有用于驱动第一承载架9与第二承载架10进行上下滑动的抬升驱动组件17；

抬升驱动组件17包括抬升伺服电机1701和抬升丝杆1702，承载板体901的一侧设有与抬升丝杆1702相匹配的螺接件904，抬升伺服电机1701分别固定连接在第一抬升架11、第二抬升架12和第三抬升架13的顶部，抬升丝杆1702的一端与抬升伺服电机1701的输出轴进行固定连接，抬升丝杆1702的另一端贯穿第一抬升架11、第二抬升架12和第三抬升架13的顶部，且与螺接件904进行螺接；

通过抬升伺服电机1701带动抬升丝杆1702进行旋转，使得螺接在抬升丝杆1702中部的螺接件904沿抬升丝杆1702进行上下移动，为第一承载架9与第二承载架10的高度调节提供驱动力，使得位于空盘物料舱1、料盘物料舱2、中转运输机构3和取料运输机构4内部的滚筒801运输线8可调节至同一高度的水平面上进行对物料盘的运输。

位于中转运输机构3和取料运输机构4内部的间隙调节机构16设置在第二抬升架12和第三抬升架13的内部，位于空盘物料舱1、料盘物料舱2内部的间隙调节机构16设置在第一承载架9的内部，第一限位板体14和第二限位板体15均通过连接座1605与间隙调节机构16进行固定连接，连接座1605呈直角状结构，第一限位板体14和第二限位板体15的底部固定连接在连接座1605的一侧；

通过直角状结构的连接座1605将第一限位板体14和第二限位板体15分别垂直地固定连接间隙调节机构16的内部，使得第一限位板体14和第二限位板体15沿间隙调节机构16进行水平运动时，第一限位板体14和第二限位板体15依然与滚筒801运输线8保持垂直的结构，使得两块第一限位板体14之间的间隙大小保持均匀，有利于不同尺寸的物料盘均可进入滚筒801运输线8内部进行运输。

间隙调节机构16包括调节导轨1601、调节伺服电机1602、调节丝杆1603和调节滑块1604，调节滑块1604的底部可滑动地连接在调节导轨1601的中部，连接座1605远离第一限位板体14和第二限位板体15的一侧与调节滑块1604的顶部进行固定连接，第一限位板体14和第二限位板体15与调节导轨1601之间的夹角为90度；

调节伺服电机1602设置在调节导轨1601的一端，调节丝杆1603的一端与调节伺服电机1602的输出轴进行固定连接，连接座1605的中部设有向上凸起的螺接块1606，调节丝杆1603的另一端贯穿螺接块1606的中部，且与螺接块1606进行螺接；

通过调节伺服电机1602带动调节丝杆1603进行旋转，将螺接调节丝杆1603中部的螺接块1606沿调节丝杆1603进行移动，同时带动连接座1605沿导轨进行滑动，为第一限位板体14和第二限位板体15的间隙大小调节提供驱动力，使半导体料盘自动运输设备适应不同尺寸的半导体料盘进行运输，达到减少不同尺寸的半导体料盘自动运输设备的目的。

第一限位板体14的中部开设有若干个套接通孔1401，滚筒801插接在套接通孔1401的内部，滚筒801可在套接通孔1401的内部进行移动；

第二限位板体15的中部开设有若干条滑槽1501，滑槽1501贯穿第二限位板体15的两侧面，滚筒801插接在滑槽1501的内部，且与滑槽1501之间保持垂直的结构，滚筒801可沿滑槽1501的内部进行滑动；

在第一限位板体14和第二限位板体15的中部分别开设有套接通孔1401和滑槽1501，使的滚筒801与第一限位板体14和第二限位板体15的运动互不干涉，使半导体料盘自动运输设备适应不同尺寸的半导体料盘进行运输，达到减少不同尺寸的半导体料盘自动运输设备的目的。

固定支架902的外侧壁均设有若干个从动轮802和驱动轮803，从动轮802和驱动轮803均可转动地连接在固定支架902的外侧壁，滚筒801的端部贯穿固定支架902与从动轮802进行固定连接；

固定支架902的一侧设有运输伺服电机804，运输伺服电机804的输出轴贯穿固定支架902与驱动轮803进行固定连接，从动轮802与驱动轮803之间通过传动链条805进行活动连接；

通过运输伺服电机804带动驱动轮803进行旋转，并通过传动链条805将驱动力传导至从动轮802处，使得滚筒801跟随从动轮802进行旋转，为物料盘可在滚筒801运输线8的上方进行移动提供驱动力。

伺服滑台组件501包括移动伺服电机5011、移动滑块5016、移动导轨5017和移动丝杆5015，移动滑块5016的底部与移动导轨5017进行可滑动地连接，移动滑块5016的顶部与支持臂502远离夹具503的一端进行固定连接，移动伺服电机5011设置在移动导轨5017的一侧，移动丝杆5015的一端贯穿移动滑块5016的中部，且与移动滑块5016进行螺接；

移动丝杆5015的另一端设有传动同步轮5013，移动伺服电机5011的输出轴设有驱动同步轮5012，传动同步轮5013与驱动同步轮5012之间通过同步带5014进行活动连接；

通过移动伺服电机5011输出高精度的旋转量，带动驱动同步轮5012进行旋转，通过传动同步轮5013和同步带5014将驱动力传导至移动丝杆5015，使得移动丝杆5015带动移动滑块5016沿移动导轨5017进行位移，有利于提高夹具503移动的定位精确度，使得夹具503可快速且精确地在料盘物料舱2与取料运输机构4之间的上方进行移动和对物料盘的搬运。

气动组件包括直线气缸5031和旋转气缸5032，直线气缸5031的顶部与支持臂502一端的底部进行固定连接，直线气缸5031的底部与旋转气缸5032的顶部进行固定连接，旋转气缸5032可沿直线气缸5031的垂直方向进行移动；

夹具503的中心固定连接在旋转气缸5032的底部，夹具503可沿旋转气缸5032的中心进行旋转，通过气动的直线气缸5031对夹具503进行下降与抬升，使得夹具503可快速对物料盘进行下压夹取和抬升搬运，提高了物料盘进行堆叠的速度，提高了半导体料盘自动运输设备的运输效率。

取料运输机构4远离中转运输机构3的一侧设有料盘检测机构，料盘检测机构位于第三抬升架13顶部所在的平面上，料盘检测机构包括检测气缸6和限位开关7，检测气缸6的一端为推动部，限位开关7固定连接在推动部的端部，推动部可向第三抬升架13的一侧进行延伸，限位开关7的开关探头可延伸至滚筒801运输线8的内部；

通过检测气缸6将限位开关7的开关探头延伸至滚筒801运输线8的内部，若物料盘的方向相反，限位开关7的开关探头则会与物料盘进行抵接，从而触发旋转气缸5032的工作信号，旋转气缸5032对夹具503进行旋转，使得夹具503对吸附在底部的物料盘进行水平方向上的旋转，有利于调整物料盘的方向。

工作流程为：首先将多个带有半导体物料的物料盘同时放入料盘物料舱2，通过位于中转运输机构3的第二抬升架12将第二承载架10进行下降，将第二承载架10的高度调节至位于料盘物料舱2的第一承载架9高度一致，通过运输伺服电机804对位于中转运输机构3和料盘物料舱2内部的滚筒801运输线8进行驱动，使得带有半导体物料的物料盘的从料盘物料舱2转移至中转运输机构3处；

然后，将通过位于中转运输机构3的第二抬升架12将第二承载架10进行抬升至取料运输机构4所在的水平面上，再通过运输伺服电机804对位于中转运输机构3和取料运输机构4内部的滚筒801运输线8进行驱动，使得带有半导体物料的物料盘从中转运输机构3转移至取料运输机构4处；

待其他设备对取料运输机构4处的物料盘进行取走，并将空置的物料盘放置在取料运输机构4的滚筒801运输线8上进行空置的物料盘的回收；

首先，通过位于取料运输机构4的第三抬升架13对带有多个空置的物料盘的第二承载架10进行下降，使得最上方的物料盘与位于中转运输机构3的滚筒801运输线8保持在同一高度；

然后通过伺服滑台组件501将夹具503移动至取料运输机构4的上方，并通过直线气缸5031对夹具503进行下降，夹具503对物料盘进行吸附，同时检测气缸6将限位开关7的开关探头延伸至物料盘的侧壁，若物料盘的方向相反，限位开关7的开关探头则会与物料盘进行抵接，从而触发旋转气缸5032的工作信号，直线气缸5031对夹具503进行抬升后，旋转气缸5032对夹具503进行旋转，使得夹具503对吸附在底部的物料盘进行水平方向上的旋转，再通过伺服滑台组件501将夹具503移动至中转运输机构3的上方，并通过直线气缸5031对夹具503进行下降至滚筒801运输线8处，同时位于中转运输机构3处的第二抬升架12对第二承载架10进行下降，使得第二承载架10的高度下降一个物料盘的高度，然后重复上述的步骤，直至中转运输机构3堆叠满物料盘；

最后，通过第二抬升架12将位于中转运输机构3处的第二承载架10进行抬升至空盘物料舱1所在的水平面上，使中转运输机构3的滚筒801运输线8与空盘物料舱1的滚筒801运输线8的高度保持一致，再通过运输伺服电机804对位于中转运输机构3和空盘物料舱1的滚筒801运输线8进行驱动，使空置的物料盘从中转运输机构3转移至空盘物料舱1处，完成空盘的回收。

注意，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.半导体料盘自动运输设备，其特征在于：包括空盘物料舱、料盘物料舱、中转运输机构和取料运输机构，空盘物料舱和料盘物料舱之间为上下垂直分布，中转运输机构设置在料盘物料舱与取料运输机构之间；

所述空盘物料舱、料盘物料舱、中转运输机构和取料运输机构均设有用于运输料盘的滚筒运输线，滚筒运输线包括若干根可转动的滚筒，空盘物料舱和料盘物料舱的内部均设有第一抬升架，中转运输机构的内部设有第二抬升架，取料运输机的内部设有第三抬升架，位于空盘物料舱和料盘物料舱内部的滚筒运输线均通过第一承载架与第一抬升架进行活动连接，位于中转运输机构和取料运输机构内部的滚筒运输线通过第二承载架分别与第二抬升架和第三抬升架进行活动连接，第二抬升架的高度大于第三抬升架的高度；

位于空盘物料舱和料盘物料舱内部的滚筒运输线顶部的两侧均设有第一限位板体，位于中转运输机构和取料运输机构内部的滚筒运输线顶部的两侧均设有第二限位板体，空盘物料舱、料盘物料舱、中转运输机构和取料运输机构的内部均设有用于驱动第一限位板体和第二限位板体移动的间隙调节机构，第一限位板体和第二限位板体分别与间隙调节机构进行固定连接，相邻两块第一限位板体通过间隙调节机构进行间隙调节，相邻两块第二限位板体通过间隙调节机构进行间隙调节；

所述中转运输机构的上方设有堆叠机械手，堆叠机械手包括伺服滑台组件、支持臂和夹具，支持臂的一端通过气动组件与夹具进行活动连接，支持臂的另一端与伺服滑台组件进行活动连接，夹具通过支持臂延伸至中转运输机构的上方，夹具通过伺服滑台组件可在中转运输机构与取料运输机构之间的上方进行移动。

2.根据权利要求1所述的半导体料盘自动运输设备，其特征在于：所述第一承载架与第二承载架的结构保持一致，第一承载架和第二承载架均包括承载板体、固定支架和滑动套筒，固定支架垂直固定连接在承载板体的两侧，滚筒的两端可转动地连接在固定支架的内侧壁，滑动套筒设置于承载板体的四个边角处，第一承载架与第二承载架均通过滑动套筒与第一抬升架、第二抬升架和第三抬升架进行活动连接，第一抬升架、第二抬升架和第三抬升架的两侧均为导向杆，滑动套筒分别与对应的导向杆进行套接，第一承载架与第二承载架可沿导向杆进行上下滑动。

3.根据权利要求2所述的半导体料盘自动运输设备，其特征在于：所述第一抬升架、第二抬升架和第三抬升架的顶部均设有用于驱动第一承载架与第二承载架进行上下滑动的抬升驱动组件；

抬升驱动组件包括抬升伺服电机和抬升丝杆，承载板体的一侧设有与抬升丝杆相匹配的螺接件，抬升伺服电机分别固定连接在第一抬升架、第二抬升架和第三抬升架的顶部，抬升丝杆的一端与抬升伺服电机的输出轴进行固定连接，抬升丝杆的另一端贯穿第一抬升架、第二抬升架和第三抬升架的顶部，且与螺接件进行螺接。

4.根据权利要求2所述的半导体料盘自动运输设备，其特征在于：所述位于中转运输机构和取料运输机构内部的间隙调节机构设置在第二抬升架和第三抬升架的内部，位于空盘物料舱、料盘物料舱内部的间隙调节机构设置在第一承载架的内部，第一限位板体和第二限位板体均通过连接座与间隙调节机构进行固定连接，连接座呈直角状结构，第一限位板体和第二限位板体的底部固定连接在连接座的一侧。

5.根据权利要求4所述的半导体料盘自动运输设备，其特征在于：所述间隙调节机构包括调节导轨、调节伺服电机、调节丝杆和调节滑块，调节滑块的底部可滑动地连接在调节导轨的中部，连接座远离第一限位板体和第二限位板体的一侧与调节滑块的顶部进行固定连接，第一限位板体和第二限位板体与调节导轨之间的夹角为90度；

调节伺服电机设置在调节导轨的一端，调节丝杆的一端与调节伺服电机的输出轴进行固定连接，连接座的中部设有向上凸起的螺接块，调节丝杆的另一端贯穿螺接块的中部，且与螺接块进行螺接。

6.根据权利要求4所述的半导体料盘自动运输设备，其特征在于：所述第一限位板体的中部开设有若干个套接通孔，滚筒插接在套接通孔的内部，滚筒可在套接通孔的内部进行移动；

第二限位板体的中部开设有若干条滑槽，滑槽贯穿第二限位板体的两侧面，滚筒插接在滑槽的内部，且与滑槽之间保持垂直的结构，滚筒可沿滑槽的内部进行滑动。

7.根据权利要求2-6任意一项所述的半导体料盘自动运输设备，其特征在于：所述固定支架的外侧壁均设有若干个从动轮和驱动轮，从动轮和驱动轮均可转动地连接在固定支架的外侧壁，滚筒的端部贯穿固定支架与从动轮进行固定连接；

固定支架的一侧设有运输伺服电机，运输伺服电机的输出轴贯穿固定支架与驱动轮进行固定连接，从动轮与驱动轮之间通过传动链条进行活动连接。

8.根据权利要求1-6任意一项所述的半导体料盘自动运输设备，其特征在于：所述伺服滑台组件包括移动伺服电机、移动滑块、移动导轨和移动丝杆，移动滑块的底部与移动导轨进行可滑动地连接，移动滑块的顶部与支持臂远离夹具的一端进行固定连接，移动伺服电机设置在移动导轨的一侧，移动丝杆的一端贯穿移动滑块的中部，且与移动滑块进行螺接；

移动丝杆的另一端设有传动同步轮，移动伺服电机的输出轴设有驱动同步轮，传动同步轮与驱动同步轮之间通过同步带进行活动连接。

9.根据权利要求1-6任意一项所述的半导体料盘自动运输设备，其特征在于：所述气动组件包括直线气缸和旋转气缸，直线气缸的顶部与支持臂一端的底部进行固定连接，直线气缸的底部与旋转气缸的顶部进行固定连接，旋转气缸可沿直线气缸的垂直方向进行移动；

夹具的中心固定连接在旋转气缸的底部，夹具可沿旋转气缸的中心进行旋转。

10.根据权利要求9所述的半导体料盘自动运输设备，其特征在于：所述取料运输机构远离中转运输机构的一侧设有料盘检测机构，料盘检测机构位于第三抬升架顶部所在的平面上，料盘检测机构包括检测气缸和限位开关，检测气缸的一端为推动部，限位开关固定连接在推动部的端部，推动部可向第三抬升架的一侧进行延伸，限位开关的开关探头可延伸至滚筒运输线的内部。

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