CN218414519U - 一种料座搬运机构 - Google Patents

Abstract

一种料座搬运机构，包括沿工作台水平面移动的移部一和移部二、沿工作台的纵向移动的移部三和沿工作台轴向枢转的移部四，移部二、移部三和移部四一体地被架构在移部一上；料座被卡吊在移部四上可被移部二和/或移部三滑动移运、或可被移部四旋转移运；移部一、移部二和移部三均为齿轮啮合滑动，且移部三的齿轮啮合结构与移部一和移部二的齿轮啮合结构不同。本实用新型结构设计合理，可多组抓取料座移动，基于不同轨道的滑动设定不同类型的齿轮啮合来控制滑动方向，不仅安全性能高，而且传动稳定性高，可延长各轴向滑动配合的寿命；多组抓取料座，搬运质量效果好且生产效率高，降低生产成本。

Description

一种料座搬运机构

技术领域

本实用新型属于硅片加工中的移动搬运技术领域，尤其是涉及一种料座搬运机构。

背景技术

现有常规的料座都是人工搬运，无法适应现有批量化的自动生产线，不仅质量无法保证，而且安全性差，生产效率还低。

实用新型内容

本实用新型提供一种料座搬运机构，尤其是适用于长度大于600mm的料座的搬运，解决了现有技术中人工搬运质量不稳定、安全性差且生产效率低的技术问题。

为解决至少一个上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：

一种料座搬运机构，包括沿工作台水平面移动的移部一和移部二、沿工作台的纵向移动的移部三和沿工作台轴向枢转的移部四，所述移部二、所述移部三和所述移部四一体地被架构在所述移部一上；料座被卡吊在所述移部四上可被所述移部二和/或所述移部三滑动移运、或可被所述移部四旋转移运；

所述移部一、所述移部二和所述移部三均为齿轮啮合滑动，且所述移部三的齿轮啮合结构与所述移部一和所述移部二的齿轮啮合结构不同。

在本实用新型中的其中一个实施例，所述移部一和所述移部二均被构造为直齿轮啮合结构；所述移部三被构造为斜齿轮啮合结构。

在本实用新型中的其中一个实施例，所述移部一包括：

沿工作台长度方向设置的架体一；

在所述架体一上设有并向设置的导轨一；

配设在每个所述导轨一旁侧的齿条一；

以及电机一；

所述电机一驱动齿轮轴一使与所述齿条一啮合的齿轮一沿所述齿条一步进，以带动所述移部二、所述移部三和所述移部四或料座沿所述导轨一滑动。

在本实用新型中的其中一个实施例，所述电机一、所述移部二、所述移部三和所述移部四均设置在两个所述导轨一之间，且所述电机一构设在所述移部二上并位于所述齿轮轴一的中间。

在本实用新型中的其中一个实施例，所述移部二包括：

垂直于所述架体一设置的两个架体二；

在每个所述架体二上分设有一个导轨二；

与所述导轨二并行设置的两个齿条二；

以及设置在所述齿条二之间的电机二；

所述电机二驱动与其输出端连接的齿轮二分别与所述齿条二啮合，进而带动所述移部三和所述移部四或料座沿所述导轨二滑动。

在本实用新型中的其中一个实施例，所述导轨二沿工作台宽度方向设置；

所述电机一被设置于所述导轨二远离所述电机二的一侧。

在本实用新型中的其中一个实施例，所述移部三包括：

横跨所述导轨二设置的架体三；

在所述架体三上竖向设置一对导轨三；

并沿所述导轨三的长度方向并行设置一组斜齿的齿条三；

以及设置在所述齿条三之间的电机三；

在所述电机三的输出端设有相对设置的斜齿的齿轮三；

所述齿轮三响应来自所述电机三的驱动力与所述齿条三啮合，以带动所述移部四或料座沿所述导轨三竖直上下移动。

在本实用新型中的其中一个实施例，所述电机三与所述电机二均竖直设置且分设在所述架体三两侧；

且在所有所述导轨一、所述导轨二和所述导轨三的端部均设有限位块。

在本实用新型中的其中一个实施例，所述移部四包括：

悬吊在所述架体三下方的电机四；

与所述电机四同轴配合的盘装座；

以及固设在所述盘装座上的夹爪；

所述电机四可带动所述盘装座轴向旋转，以带动载有料座的所述夹爪旋转。

在本实用新型中的其中一个实施例，在每个所述移部一上，至少可构设有一组所述移部二、所述移部三和所述移部四。

采用本实用新型设计的一种料座搬运机构，本结构设计合理，可多组抓取料座移动，基于不同轨道的滑动设定不同类型的齿轮啮合来控制滑动方向，不仅安全性能高，而且传动稳定性高，可延长各轴向滑动配合的寿命；多组抓取料座，搬运质量效果好且生产效率高，降低生产成本。

附图说明

图1是本实用新型一实施例的料座搬运机构的立体图；

图2是本实用新型一实施例的A部的放大图；

图3是本实用新型一实施例的料座搬运机构的正视图；

图4是本实用新型一实施例的料座搬运机构的俯视图。

图中：

10、移部一 11、架体一 12、电机一

13、导轨一 14、齿条一 15、齿轮一

20、移部二 21、架体二 22、电机二

23、导轨二 24、齿条二 25、齿轮二

30、移部三 31、架体三 32、电机三

33、导轨三 34、齿条三 35、齿轮三

40、移部四 41、电机四 42、盘装座

43、夹爪 50、料座

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明。

因现有料座50均为较长的标准件，长度至少为600mm，有的甚至达1200mm的长度，人工搬运困难且安全性低，因此需要设计一种自动化搬运料座50的搬运机构，以使料座50在下料区后能至少被旋转300°-350°后移转至上料台上进行下一工序的工作。

本实施例提出一种料座搬运机构，如图1-4所示，包括沿工作台(附图省略)水平面移动的移部一10和移部二20、沿工作台的纵向移动的移部三30和沿工作台轴向枢转的移部四40，移部二20、移部三30和移部四40一体地被架构在移部一10上移动；料座50被卡吊在移部四40上可被移部二20和/或移部三30滑动移运、或可被移部四40旋转移运；在工作过程中，移部一10、移部二20和移部三30均为齿轮啮合滑动，且移部三30的齿轮啮合结构与移部一10和移部二20的齿轮啮合结构不同。

在本实用新型中的其中一个实施例，如图4所示，移部一10和移部二20均被构造为直齿轮啮合结构；移部三30被构造为斜齿轮啮合结构。为了提高料座50被搬运的效率，并提高整个搬运机构的稼动率，在本实施例中，设有一个移部一10和两组移部二20、移部三30和移部四40形成的搬运组合。

具体地，移部一10包括沿工作台长度方向设置的架体一11、在架体一11上设有并向设置的导轨一13、配设在每个导轨一13旁侧的齿条一14以及电机一12。其中，架体一11为铝型材搭建而成的框架；电机一12固设在在移部二20的架体二21上，也即是位于两个导轨一13之间的架体二21上；齿条一14为直齿条，相应地，与齿条一14啮合的齿轮一15也是直齿轮，直齿轮的齿轮一15设置在电机一12的两侧的输出端，电机一12立式地固定在架体二21上的支撑座上，其为二级减速机，包含直通式行星减速机加上直角行星减速机。由于工作台的长度跨度大，电机一12沿工作台宽度方向设置，电机一12位于架体二21的长度中间放置可使两侧的架体一11受力小，并使齿轮一15与齿条一14啮合受力小，且受力均匀。

齿轮一15设置在电机一12两端的同步轴上，由三段组成，中间轴穿过减速电机一12向两端的齿轮轴提供动力，两端的齿轮轴分别由刚性联轴器传递动力，保证两端齿轮一15同步转动，给跨度较大的导轨一13提供动力。同步轴使用带座轴承进行支撑，该结构简单，经济，零部件种类少便于更换，多数使用标准件，便于替换或者更换类似其他品牌零部件。

工作时，电机一12驱动齿轮轴一使齿轮一15和齿条一14啮合以沿齿条一14步进，以带动移部二20、移部三30和移部四40同步移动，当料座50被卡吊在移部四40下方的卡爪46上时，料座50与移部二20、移部三30和移部四40一同移动；当移部四40中的卡爪46为空载时，则仅有移部二20、移部三30和移部四40沿导轨一13滑动。

在本实用新型中的其中一个实施例，电机一12、移部二20、移部三30和移部四40均设置在两个导轨一13之间，且电机一12构设在移部二20上并位于齿轮轴一的中间。

在本实用新型中的其中一个实施例，移部二20包括垂直于架体一11设置的两个架体二21，并在每个架体二21上分设有一个导轨二23，还包括与导轨二23并行设置的两个齿条二24以及设置在齿条二24之间的电机二22；电机二22驱动与其输出端连接的齿轮二25分别与两个齿条二24啮合，进而带动移部三30和移部四40或料座50沿导轨二23滑动。

在本实用新型中的其中一个实施例，导轨二23沿工作台宽度方向设置，每一搬运组合中的两条导轨二23相邻且间隔设置，电机一12被设置在导轨二23远离电机二22的一侧。架体二21的制备与架体一11相同，且电机二22立式固设在两个架体二21之间的固定架上，电机二22两端连接有两个连轴，两个连轴分别与齿轮二25连接。齿条二24为直齿齿条，相应地，齿轮二25为直齿齿轮，直齿啮合不仅稳定而且易于控制，结构简单且适合跨度尺寸较长的传动。

在本实用新型中的其中一个实施例，移部三30包括横跨导轨二23设置的架体三31，在架体三31上竖向设置一对导轨三33；并沿导轨三33的长度方向并行设置一组斜齿的齿条三35，以及设置在齿条三34之间的电机三32；在电机三32的输出端设有相对设置的斜齿的齿轮三35；齿轮三35响应来自电机三32的驱动力与齿条三34啮合，以带动移部四40或料座50沿导轨三33竖直上下移动。其中，移部三30设置在架体二21之间，结构紧凑，空间利用率高，而且竖直立向移动使用斜齿齿轮啮合传动，具有承载力大，静音效果好和啮合面积大的优点，使得齿轮三35与齿条三34的啮合间隙较小，传动配合的强度更大，由于料座50的重量及移部四40的重量整体较重，故需要一个啮合强度高且配合稳定的传动连接方式来带动移部三30和移部四40整体移动，进而选择斜齿啮合的齿轮传动方式来控制移部三30。

在本实用新型中的其中一个实施例，电机三32与电机二22均竖直立放设置且分设在架体三31的两侧；同时为了保证所有滑轨位置的准确性，且在所有导轨一13、导轨二23和导轨三33的端部均设有限位块。

在本实用新型中的其中一个实施例，移部四40包括悬吊在架体三31下方的电机四41、与电机四41同轴配合的盘装座42，以及固设在盘装座42上的夹爪43；夹爪43为自动控制的悬吊机械手，此为本领域的常规结构，在此省略；电机四41可带动盘装座42轴向旋转，以带动载有料座50的夹爪43旋转一定的角度，以达到料座50转向悬调的目的。电机四41通过固定在其上侧为铝板法兰承接垂直轴与电机四41连接，其下侧为铝板法兰安装夹爪，中间使用称重轴连接，整体结构紧凑，在下侧的法兰上设置有硬限位及到位传感器。

本实施例中的搬运机构主要用于硅片脱胶机用的较长长度的料座搬运运输，料座50的搬运长度可达600-1200mm不同长度，可实现料座50在设备中进行水平面中的长度方向和宽度方向、竖直高度方向的三个方向的移动运输，并实现料座50的轴向300-350°的大角度的旋向枢转。节省搬运时间，提高设备效率，节省能源等，同时实现了自动化、信息化、智能化的搬运控制。

在本实施例中，两组抓取搬运组件均沿同一个水平长度方向上移动，以提高搬运效率，当其中一个搬运组件在抓取料座50时，另一个搬运组件已经完成搬运工作，准备返回再次抓取料座50，交替工作。

采用本实用新型设计的一种料座搬运机构，本结构设计合理，可多组抓取料座移动，基于不同轨道的滑动设定不同类型的齿轮啮合来控制滑动方向，不仅安全性能高，而且传动稳定性高，可延长各轴向滑动配合的寿命；多组抓取料座，搬运质量效果好且生产效率高，降低生产成本。

以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。

Claims (10)

1.一种料座搬运机构，包括沿工作台水平面移动的移部一和移部二、沿工作台的纵向移动的移部三和沿工作台轴向枢转的移部四，所述移部二、所述移部三和所述移部四一体地被架构在所述移部一上；其特征在于，料座被卡吊在所述移部四上可被所述移部二和/或所述移部三滑动移运、或可被所述移部四旋转移运；

所述移部一、所述移部二和所述移部三均为齿轮啮合滑动，且所述移部三的齿轮啮合结构与所述移部一和所述移部二的齿轮啮合结构不同。

2.根据权利要求1所述的一种料座搬运机构，其特征在于，所述移部一和所述移部二均被构造为直齿轮啮合结构；所述移部三被构造为斜齿轮啮合结构。

3.根据权利要求1或2所述的一种料座搬运机构，其特征在于，所述移部一包括：

沿工作台长度方向设置的架体一；

在所述架体一上设有并向设置的导轨一；

配设在每个所述导轨一旁侧的齿条一；

以及电机一；

所述电机一驱动齿轮轴一使与所述齿条一啮合的齿轮一沿所述齿条一步进，以带动所述移部二、所述移部三和所述移部四或料座沿所述导轨一滑动。

4.根据权利要求3所述的一种料座搬运机构，其特征在于，所述电机一、所述移部二、所述移部三和所述移部四均设置在两个所述导轨一之间，且所述电机一构设在所述移部二上并位于所述齿轮轴一的中间。

5.根据权利要求4所述的一种料座搬运机构，其特征在于，所述移部二包括：

垂直于所述架体一设置的两个架体二；

在每个所述架体二上分设有一个导轨二；

与所述导轨二并行设置的两个齿条二；

以及设置在所述齿条二之间的电机二；

所述电机二驱动与其输出端连接的齿轮二分别与所述齿条二啮合，进而带动所述移部三和所述移部四或料座沿所述导轨二滑动。

6.根据权利要求5所述的一种料座搬运机构，其特征在于，所述导轨二沿工作台宽度方向设置；

所述电机一被设置于所述导轨二远离所述电机二的一侧。

7.根据权利要求5或6所述的一种料座搬运机构，其特征在于，所述移部三包括：

横跨所述导轨二设置的架体三；

在所述架体三上竖向设置一对导轨三；

并沿所述导轨三的长度方向并行设置一组斜齿的齿条三；

以及设置在所述齿条三之间的电机三；

在所述电机三的输出端设有相对设置的斜齿的齿轮三；

所述齿轮三响应来自所述电机三的驱动力与所述齿条三啮合，以带动所述移部四或料座沿所述导轨三竖直上下移动。

8.根据权利要求7所述的一种料座搬运机构，其特征在于，所述电机三与所述电机二均竖直设置且分设在所述架体三两侧；

且在所有所述导轨一、所述导轨二和所述导轨三的端部均设有限位块。

9.根据权利要求8所述的一种料座搬运机构，其特征在于，所述移部四包括：

悬吊在所述架体三下方的电机四；

与所述电机四同轴配合的盘装座；

以及固设在所述盘装座上的夹爪；

所述电机四可带动所述盘装座轴向旋转，以带动载有料座的所述夹爪旋转。

10.根据权利要求1-2、4-6、8-9任一项所述的一种料座搬运机构，其特征在于，在每个所述移部一上，至少可构设有一组所述移部二、所述移部三和所述移部四。

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