JPS5862489A - ソフトランデイング装置 - Google Patents
ソフトランデイング装置Info
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- JPS5862489A JPS5862489A JP56158822A JP15882281A JPS5862489A JP S5862489 A JPS5862489 A JP S5862489A JP 56158822 A JP56158822 A JP 56158822A JP 15882281 A JP15882281 A JP 15882281A JP S5862489 A JPS5862489 A JP S5862489A
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- Japan
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- fork
- tip
- quartz tube
- heat treatment
- jig
- Prior art date
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D3/00—Charging; Discharging; Manipulation of charge
- F27D3/12—Travelling or movable supports or containers for the charge
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J4/00—Feed or outlet devices; Feed or outlet control devices
- B01J4/001—Feed or outlet devices as such, e.g. feeding tubes
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B5/00—Muffle furnaces; Retort furnaces; Other furnaces in which the charge is held completely isolated
- F27B5/02—Muffle furnaces; Retort furnaces; Other furnaces in which the charge is held completely isolated of multiple-chamber type
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Furnace Charging Or Discharging (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は熱処理炉内へ被処理物を出し入れするためのボ
ートローディング装置に関し、特に高温処理用として好
適なソフトランディング装置に関するものである。
ートローディング装置に関し、特に高温処理用として好
適なソフトランディング装置に関するものである。
半導体製造工程においては、ウェーハ等の被処理物を拡
散、ＣＶＤ、アニール処理するための熱処理炉を使用し
ており、このためウェーハを炉に出し入れするボートロ
ーディング装置が必要とされる。この種の装置として、
従来ではボートローダ法に基づ（装置やパドル法に基づ
（装置が採用されているが、ボートローダ法ではウェー
ハ治具を内管内で移動させる際に接触部から塵埃が発生
してウェーハ欠陥の原因をつくるという欠点があり、ま
たパドル法では長棒（パドル）を内管内に挿入しｙ：ま
ま熱処理を行なうために炉内に温度変化を生じさせ、一
定した温度下での熱処理ができないという欠点がある。
散、ＣＶＤ、アニール処理するための熱処理炉を使用し
ており、このためウェーハを炉に出し入れするボートロ
ーディング装置が必要とされる。この種の装置として、
従来ではボートローダ法に基づ（装置やパドル法に基づ
（装置が採用されているが、ボートローダ法ではウェー
ハ治具を内管内で移動させる際に接触部から塵埃が発生
してウェーハ欠陥の原因をつくるという欠点があり、ま
たパドル法では長棒（パドル）を内管内に挿入しｙ：ま
ま熱処理を行なうために炉内に温度変化を生じさせ、一
定した温度下での熱処理ができないという欠点がある。
更に、前記二種の装置の他に種々の装置が提案されては
いるが、いずれのものも一旦つエーノへ治具を炉内にセ
ットした後には熱処理が完了するまでウェーハ治具を炉
外に移送しないように構成されあるいはシーケンス制御
されている定め、特に拡散処理のような高温処理の場合
ＶＣは石英製のウェーハ治具が炉内管に融着し、炉外へ
の移送を不能にするという問題が生じている。このため
、現在ではウェーハ治具を用いた際の熱処理炉内の高温
化に制限を受けている。なお、従来で＆１炉の内壁に無
接触でウエーノ・治具を出し入れする石英フォークを利
用した装置が考えられてきているが、罰述したウェーハ
治具の融着の問題は解決することかできず、またウエー
ノ・治具を炉内に接触させないようフォークを炉内に入
れたｔ！で支持させようとしても高熱によりフォークが
変形してウェーハを正常に支持てることかで１！ないと
いう問題が生じる。
いるが、いずれのものも一旦つエーノへ治具を炉内にセ
ットした後には熱処理が完了するまでウェーハ治具を炉
外に移送しないように構成されあるいはシーケンス制御
されている定め、特に拡散処理のような高温処理の場合
ＶＣは石英製のウェーハ治具が炉内管に融着し、炉外へ
の移送を不能にするという問題が生じている。このため
、現在ではウェーハ治具を用いた際の熱処理炉内の高温
化に制限を受けている。なお、従来で＆１炉の内壁に無
接触でウエーノ・治具を出し入れする石英フォークを利
用した装置が考えられてきているが、罰述したウェーハ
治具の融着の問題は解決することかできず、またウエー
ノ・治具を炉内に接触させないようフォークを炉内に入
れたｔ！で支持させようとしても高熱によりフォークが
変形してウェーハを正常に支持てることかで１！ないと
いう問題が生じる。
したがって本発明の目的は、その先端にウェーハ治具を
支持可能なフォークを熱処理炉内面に無接触で炉内に出
し入れ可能に構成すると共に、フォークの先端を上下に
揺動してウェーハ治具の上げ降しを可能とし、かつフォ
ークの炉内外における停止位置を任意に設定してその移
動をシーケンス的に制御し得るよう構成することにより
、塵埃の発生防止や一定した温度での熱処理を実現する
のは勿論のこと、フォークの変形やウェーハ治具の融着
を生ずることなく高温条件下での熱処理を行ｒｘうこと
ができるソフトランディング装置を提供することにある
。
支持可能なフォークを熱処理炉内面に無接触で炉内に出
し入れ可能に構成すると共に、フォークの先端を上下に
揺動してウェーハ治具の上げ降しを可能とし、かつフォ
ークの炉内外における停止位置を任意に設定してその移
動をシーケンス的に制御し得るよう構成することにより
、塵埃の発生防止や一定した温度での熱処理を実現する
のは勿論のこと、フォークの変形やウェーハ治具の融着
を生ずることなく高温条件下での熱処理を行ｒｘうこと
ができるソフトランディング装置を提供することにある
。
以下、本発明を図示の実施例により説明する。
第１図は本発明装置の全体構成を示し、ソフトランディ
ング装置１は、詳細な図示を省略した熱処理炉の石英管
２の開口側に隣設して配置しており１石英製のウェー八
治具３土に整列載置した被熱処理物であるウェーハ４を
このウェ−ハ治具と共に前記石英管２内に搬入しかつ取
り出すことができる。即ち、ソフトランディング装置１
は。
ング装置１は、詳細な図示を省略した熱処理炉の石英管
２の開口側に隣設して配置しており１石英製のウェー八
治具３土に整列載置した被熱処理物であるウェーハ４を
このウェ−ハ治具と共に前記石英管２内に搬入しかつ取
り出すことができる。即ち、ソフトランディング装置１
は。
基台５とこの基台の後方に立設した背壁６とを有してお
り、この背壁６には前記石英管２の管軸方向（以下、前
後方向と称する）＆Ｃ延設した一対のガイド２レール７
．７を上下に配置している。このガイドレール７．７に
は第２図に示すように、垂直方向に架設した一対のガイ
ドロッド８．８ＶＣて一体化された上下の支持台９，１
０を夫々滑動可能に嵌合している。そして、これら支持
台９，１０は下側の支持台ｌＯに一体形成したブロック
１１に前記ガイドレール７．７と平行に前記背壁６に支
架した送り軸１２を嵌挿している。この送り軸１２は第
１図のように両端部を軸受１３．１３にて軸支すると共
に、その一端に固着したプーリ１４を前後動モータ１５
の出力プーリ１６とでベルト１７連結し、モータ１５に
よって軸転駆動される。
り、この背壁６には前記石英管２の管軸方向（以下、前
後方向と称する）＆Ｃ延設した一対のガイド２レール７
．７を上下に配置している。このガイドレール７．７に
は第２図に示すように、垂直方向に架設した一対のガイ
ドロッド８．８ＶＣて一体化された上下の支持台９，１
０を夫々滑動可能に嵌合している。そして、これら支持
台９，１０は下側の支持台ｌＯに一体形成したブロック
１１に前記ガイドレール７．７と平行に前記背壁６に支
架した送り軸１２を嵌挿している。この送り軸１２は第
１図のように両端部を軸受１３．１３にて軸支すると共
に、その一端に固着したプーリ１４を前後動モータ１５
の出力プーリ１６とでベルト１７連結し、モータ１５に
よって軸転駆動される。
また、前記ブロック１１内にはこの送り軸１２と協働し
てブロックを軸方向（前後方向）Ｋ移動させる機構を内
装しており、この機構により送り軸が軸転されたとぎに
は、七〇軸転方向に応じてブロック１１、つまり上、下
の支持台９，１０は一体的に前後方向に移動できる。
てブロックを軸方向（前後方向）Ｋ移動させる機構を内
装しており、この機構により送り軸が軸転されたとぎに
は、七〇軸転方向に応じてブロック１１、つまり上、下
の支持台９，１０は一体的に前後方向に移動できる。
前記上、下の支持台９，１０間に設けた前記ガイドロッ
ド８．８には略り字型に形成した可動台１８の突片１９
を挿通させ、支持台９，１０に対して可動台１８を上下
移動できるようにしている。
ド８．８には略り字型に形成した可動台１８の突片１９
を挿通させ、支持台９，１０に対して可動台１８を上下
移動できるようにしている。
また、可動台１８の背面略中央に突設したブロック板２
０は前記支持台９，１０間で上下方ｌ′ｌ１Ｏｖｃ軸支
したウオームロッド２１に螺合させ、このウオームロッ
ド２１の軸転により可動台１８を支持台９．１０に対し
て上下移動させることができる。
０は前記支持台９，１０間で上下方ｌ′ｌ１Ｏｖｃ軸支
したウオームロッド２１に螺合させ、このウオームロッ
ド２１の軸転により可動台１８を支持台９．１０に対し
て上下移動させることができる。
前記ウオームロッド２１はその下端にプーリ２２を一体
に設け、このプーリ２２と支持台１０に固設した上下動
モータ２３のプーリ２４との間にベルト２５を巻揖ける
ことによりウオームロッドは軸転できる。
に設け、このプーリ２２と支持台１０に固設した上下動
モータ２３のプーリ２４との間にベルト２５を巻揖ける
ことによりウオームロッドは軸転できる。
一万、前記可動台１８の水平部上には前後に夫々設けた
段部２６．２６に沿って前後方向と直角な方向（以下、
左右方向と称する）に移動可能な滑動台２７を載置して
いる。この滑動台２７はその上面の図示左端に立片２８
を一体に形成しており、この立片２８と対向するように
して前記可動台１８の左端に立設した固定立片２９に軸
転可能に軸支した左右調整ボルト３０にこの立片２８を
螺合させている。この左右調整ボルト３０は先端に摘み
３１を有しており、摘み３１を手操作にて回動すること
によりボルト３０が軸転し、これにより滑動台２７を可
動台１８上で左右方向に移動することができる。
段部２６．２６に沿って前後方向と直角な方向（以下、
左右方向と称する）に移動可能な滑動台２７を載置して
いる。この滑動台２７はその上面の図示左端に立片２８
を一体に形成しており、この立片２８と対向するように
して前記可動台１８の左端に立設した固定立片２９に軸
転可能に軸支した左右調整ボルト３０にこの立片２８を
螺合させている。この左右調整ボルト３０は先端に摘み
３１を有しており、摘み３１を手操作にて回動すること
によりボルト３０が軸転し、これにより滑動台２７を可
動台１８上で左右方向に移動することができる。
前記滑動台２７上には詳細を後述するフォークを支持す
る上下揺動台３２をその一端３２ａＶｃおいて軸受３３
．３３および軸（図示せず）Ｋて支持している。また、
この上下揺動台３２の略中央部に対応する位置には短ロ
ッド状に形成した偏心カム３４を軸受３５．３５にで横
設支持し上下方向に回動できるよう構成すると共に、そ
の一端にはウオームホイール３６を固着している。そし
て、このウオームホイール３６＆Ｃは滑動台２７上に固
定した揺動モータ３７の回転ウオーム３８を噛合させ、
モータ３７により偏心カム３４を軸転することができる
。
る上下揺動台３２をその一端３２ａＶｃおいて軸受３３
．３３および軸（図示せず）Ｋて支持している。また、
この上下揺動台３２の略中央部に対応する位置には短ロ
ッド状に形成した偏心カム３４を軸受３５．３５にで横
設支持し上下方向に回動できるよう構成すると共に、そ
の一端にはウオームホイール３６を固着している。そし
て、このウオームホイール３６＆Ｃは滑動台２７上に固
定した揺動モータ３７の回転ウオーム３８を噛合させ、
モータ３７により偏心カム３４を軸転することができる
。
前記上下揺動台３２上には断面を略■字状としたフォー
ク受台３９をその一端部位においてポル）４０止めし、
更にこの受台３９上にはフォーク４１を二本のベルト４
２．４２ｖｃて略水平前後方回に支持している。このフ
ォーク４１は石英材を用いたパルプ状に形成しており、
第１図のようにその先端部４１ａはパイプの上側を切欠
いてウェーハ治具３を複数個並置できるようにしている
。
ク受台３９をその一端部位においてポル）４０止めし、
更にこの受台３９上にはフォーク４１を二本のベルト４
２．４２ｖｃて略水平前後方回に支持している。このフ
ォーク４１は石英材を用いたパルプ状に形成しており、
第１図のようにその先端部４１ａはパイプの上側を切欠
いてウェーハ治具３を複数個並置できるようにしている
。
したがってこのフォーク４１は、第３図に示すように、
前記上下揺動台３２の中央部が前記偏心カム３４０局面
に支持されていることから、偏心カム３４が図示鎖線の
ように軸転されたとぎには上下揺動台３２、フォーク受
は台３９と共にその先端部４１ａを上下に揺動すること
かできる。また、前記ボルト４０を緩めたときには上下
揺動台３２に対してフォーク先端部４１ａを水平左右方
向に揺動することができる。
前記上下揺動台３２の中央部が前記偏心カム３４０局面
に支持されていることから、偏心カム３４が図示鎖線の
ように軸転されたとぎには上下揺動台３２、フォーク受
は台３９と共にその先端部４１ａを上下に揺動すること
かできる。また、前記ボルト４０を緩めたときには上下
揺動台３２に対してフォーク先端部４１ａを水平左右方
向に揺動することができる。
更に、前記フォーク４１は、第４図（Ａ）、 （Ｂ）。
（Ｃ）に示すように、その略中央部の内部、外部に夫々
内キャップ４３．外キャップ４４をセットすることかで
きる。これら両キャップ４３．４４は夫々外筐を石英カ
ラヌで形成すると共に内部に石英ウールを充填させたも
のでノ・ンドル４３ａ、４４ａや空気抜き４３ｂ、４４
１）を付設している。前記内キャシブ４３は短円柱状に
形成してフォーク４１内部に装入でき、外キ今ツブ４４
は一部に半長円形の切欠き４４ｃを有する厚肉円板状に
形成してフォークの上部に載置できる。そして、このよ
うにして内、外の上々ツブ４３．４４を装着したフォー
ク４１を後述するように前記石英管２内に進入させたと
きには−これらキ今ツブ４３，４４はフォーク４１と石
英管２との垂直断面方向の空隙を閉塞することができる
。
内キャップ４３．外キャップ４４をセットすることかで
きる。これら両キャップ４３．４４は夫々外筐を石英カ
ラヌで形成すると共に内部に石英ウールを充填させたも
のでノ・ンドル４３ａ、４４ａや空気抜き４３ｂ、４４
１）を付設している。前記内キャシブ４３は短円柱状に
形成してフォーク４１内部に装入でき、外キ今ツブ４４
は一部に半長円形の切欠き４４ｃを有する厚肉円板状に
形成してフォークの上部に載置できる。そして、このよ
うにして内、外の上々ツブ４３．４４を装着したフォー
ク４１を後述するように前記石英管２内に進入させたと
きには−これらキ今ツブ４３，４４はフォーク４１と石
英管２との垂直断面方向の空隙を閉塞することができる
。
次に以上の構成のソフトランディング装置の作用を説明
する。
する。
第５図は石英管２内にウェーハ治具３をセットさせる工
程を示す図であり、同図（Ａ）のように用意されたフォ
ーク４１の先端部４１ａ上に同図（Ｂｌのように複数個
のウェーハ治具３を載置する。このとき、フォーク先端
部はウェーハ治具の重量により下方へ変形されるため、
上下動モータ２３を回転してウオームロッド２１を軸転
させ、可動台１８を上動することにより同図（Ｃ）のよ
うにフォーク４１全体を上動する。更に、上下揺動モー
タ３７を回転して偏心カム３４を軸転することにより、
第３図に示［たようにフォーク先端部４１ａは上方へ揺
動し、この結果フォーク先端部は第５図（Ｄ）のように
その姿勢を略水平に近い状態に１で補正される。次いで
、前後動モータ１５を回転して送り軸１２を軸転丁れば
、ブロック１１０作用によって支持台９，１０は図示左
方へ前進し、フォーク４１は石英管２内に進入して同図
（Ｂ）実線のように所定位置で停止する。そこで、上下
動モータ２３を逆′ｙ５同に回転すれば同図（Ｅ）鎖線
のようにフォーク４１全体が下動し、所定の下動位置で
ウェーハ治具３の下端を石英管２の内底面に接触させる
。因みにこのときの状態を第６図に拡大して示す。しか
る後、上下揺動モータ３７を逆転してフォーク先端部４
１ａを下方に揺動させると、第５図（Ｆ）のように先端
部は下動してウェーハ治具３の支持から解放される。し
たがって、その後に前後動モータ１５を逆転してフォー
ク４１を図示右進させ、石英管２内から後退させると共
に上下動モータ２３を順転してフォークを上動すれば、
同図（Ｇ）の実線ないし鎖線のようにフォーク４１は初
期位置に復帰される。以上の工程によりウェーハ治具３
は石英管の内部を無接触状態で進入されかつ静かに石英
管内に載置される。
程を示す図であり、同図（Ａ）のように用意されたフォ
ーク４１の先端部４１ａ上に同図（Ｂｌのように複数個
のウェーハ治具３を載置する。このとき、フォーク先端
部はウェーハ治具の重量により下方へ変形されるため、
上下動モータ２３を回転してウオームロッド２１を軸転
させ、可動台１８を上動することにより同図（Ｃ）のよ
うにフォーク４１全体を上動する。更に、上下揺動モー
タ３７を回転して偏心カム３４を軸転することにより、
第３図に示［たようにフォーク先端部４１ａは上方へ揺
動し、この結果フォーク先端部は第５図（Ｄ）のように
その姿勢を略水平に近い状態に１で補正される。次いで
、前後動モータ１５を回転して送り軸１２を軸転丁れば
、ブロック１１０作用によって支持台９，１０は図示左
方へ前進し、フォーク４１は石英管２内に進入して同図
（Ｂ）実線のように所定位置で停止する。そこで、上下
動モータ２３を逆′ｙ５同に回転すれば同図（Ｅ）鎖線
のようにフォーク４１全体が下動し、所定の下動位置で
ウェーハ治具３の下端を石英管２の内底面に接触させる
。因みにこのときの状態を第６図に拡大して示す。しか
る後、上下揺動モータ３７を逆転してフォーク先端部４
１ａを下方に揺動させると、第５図（Ｆ）のように先端
部は下動してウェーハ治具３の支持から解放される。し
たがって、その後に前後動モータ１５を逆転してフォー
ク４１を図示右進させ、石英管２内から後退させると共
に上下動モータ２３を順転してフォークを上動すれば、
同図（Ｇ）の実線ないし鎖線のようにフォーク４１は初
期位置に復帰される。以上の工程によりウェーハ治具３
は石英管の内部を無接触状態で進入されかつ静かに石英
管内に載置される。
−万、第７図は熱処理の完了したウエーノ・のウェーハ
治具を石英管内から取り出て工程を示す図であり、同図
（Ａ）のように待機しているフォーク４１を前後動モー
タ１５を作動することＶ（より石英管２内に前進させ、
フォーク先端部４１ａを同図ＣＢ）のようにウェーハ治
具３の下方に進入させる。次いで、上下動モータ２３を
作動してフォーク全体を上動丁れげフォーク先端部は同
図（Ｃ）のようにウェーハ治具３を丁（い上げる。この
とぎ、先端部４１ａはウェーハ治具３の重量によって下
方に変形される。このため、上下揺動モータ３７を作動
丁れはフォーク先端部は上方へ揺動され、同図（Ｄ）の
ように先端部を水平に近い状態にしてウェーハ治具を支
持する。しかる後、前後動モータ１５を逆転丁ればフォ
ークは同図（Ｂ）実線のように後退して石英管２から退
出し、これと略同時に上下動モータ２３によりフォーク
全体を鎖線のように下動させ、更に同図（Ｆ）のように
上下揺動モータ３７Ｖｃよりフォーク先端部４１８を初
期状態に下方揺動させる。したがって、この状態で作業
者がフォーク上のウェーハ治具３を取り去れげフォーク
は同図ＣＧ）のように初期状態に戻されるのである。こ
のフォークによるウェーハ治ＪＬ３の取り出し時にもウ
ェーハ治具は石英管２とは無接触で取り出されるのであ
る。
治具を石英管内から取り出て工程を示す図であり、同図
（Ａ）のように待機しているフォーク４１を前後動モー
タ１５を作動することＶ（より石英管２内に前進させ、
フォーク先端部４１ａを同図ＣＢ）のようにウェーハ治
具３の下方に進入させる。次いで、上下動モータ２３を
作動してフォーク全体を上動丁れげフォーク先端部は同
図（Ｃ）のようにウェーハ治具３を丁（い上げる。この
とぎ、先端部４１ａはウェーハ治具３の重量によって下
方に変形される。このため、上下揺動モータ３７を作動
丁れはフォーク先端部は上方へ揺動され、同図（Ｄ）の
ように先端部を水平に近い状態にしてウェーハ治具を支
持する。しかる後、前後動モータ１５を逆転丁ればフォ
ークは同図（Ｂ）実線のように後退して石英管２から退
出し、これと略同時に上下動モータ２３によりフォーク
全体を鎖線のように下動させ、更に同図（Ｆ）のように
上下揺動モータ３７Ｖｃよりフォーク先端部４１８を初
期状態に下方揺動させる。したがって、この状態で作業
者がフォーク上のウェーハ治具３を取り去れげフォーク
は同図ＣＧ）のように初期状態に戻されるのである。こ
のフォークによるウェーハ治ＪＬ３の取り出し時にもウ
ェーハ治具は石英管２とは無接触で取り出されるのであ
る。
したがって、以上の工程によるウェーハ治具の装入、取
出作用は、ウェーハ治具３を石英管２内で管内面に無接
触状態で移動させるので、ウェーハ治具と内面との間に
摩耗に伴なう塵埃が発生することはない。また、フォー
ク４１は単に上下。
出作用は、ウェーハ治具３を石英管２内で管内面に無接
触状態で移動させるので、ウェーハ治具と内面との間に
摩耗に伴なう塵埃が発生することはない。また、フォー
ク４１は単に上下。
前後に移動するだけではな（先端部４１ａを上下に揺動
できるので、ウェーハ治具の重量に伴すってフォークが
変形した場合にもウェーハ治具を水平に近い状態で支持
することができウェーハ治具の落下等は殆んど生じない
。この場食、フォーク先端部が下方に変形してもこれを
上方に補正することにより、フォークが下動したとぎで
もフォークと石英管が干渉しないという利点もある。
できるので、ウェーハ治具の重量に伴すってフォークが
変形した場合にもウェーハ治具を水平に近い状態で支持
することができウェーハ治具の落下等は殆んど生じない
。この場食、フォーク先端部が下方に変形してもこれを
上方に補正することにより、フォークが下動したとぎで
もフォークと石英管が干渉しないという利点もある。
次ニ以上の基本作用を可能とした本例のソフトランディ
ング装置の応用例を説明する。先ず、本装置では石英管
２に対するフォークの相対位置を第８図（入）、 （Ｂ
）、 （Ｃ） ノよ’）Ｋ分け、各位置を７ ｚ ｐ
ｇ 、Ｐｊ とする。即ち、Ｐ、はフォーク４１が石英
管２かも完全に退避された状態、Ｐ、はフォーク先端部
４１ａが石英管２の均熱部２ａ内に位置された状態、つ
ｆリウェーハ治具が均熱部２ａ内に位置された状態、Ｐ
、はフォーク先端部４１ａが石英管２の均熱部から退避
されてはいるが石英管ｚ内には未だに位置しており、こ
のとき、罰記内、外のキャップ４３．４４が石英管２の
開口に位置ｌ、て石英管内を閉塞している状態である。
ング装置の応用例を説明する。先ず、本装置では石英管
２に対するフォークの相対位置を第８図（入）、 （Ｂ
）、 （Ｃ） ノよ’）Ｋ分け、各位置を７ ｚ ｐ
ｇ 、Ｐｊ とする。即ち、Ｐ、はフォーク４１が石英
管２かも完全に退避された状態、Ｐ、はフォーク先端部
４１ａが石英管２の均熱部２ａ内に位置された状態、つ
ｆリウェーハ治具が均熱部２ａ内に位置された状態、Ｐ
、はフォーク先端部４１ａが石英管２の均熱部から退避
されてはいるが石英管ｚ内には未だに位置しており、こ
のとき、罰記内、外のキャップ４３．４４が石英管２の
開口に位置ｌ、て石英管内を閉塞している状態である。
このようＴｘＰ、、Ｐ、、Ｐ、の各位置を設定した上で
、第９図（Ａ）、 （Ｂ）、 （Ｃ） Ｋ示すようｒｚ
モードにてシーケンス制御を行なうことにより種々の処
理に対応した制御を行なうことができる。即ち、ウェー
ハを拡散処理する場合やＣＶＤ処理する場合のように比
較的処理温度が高いとぎには同図（Ａ）、 （Ｂ）のよ
うなモード人、モードＢを行なう。モードＡは同図（Ａ
）のＳ、の工程でフォークをＰｔ ｔで移動してウェー
ハ治具を均熱部にセットした後、Ｓ、の工程でフォーク
をＰ、ｔで後退させる。ここで、内、外キャップにて石
英管を閉塞させた１ま拡散、ＣＶＤ等の熱処理を行なう
。
、第９図（Ａ）、 （Ｂ）、 （Ｃ） Ｋ示すようｒｚ
モードにてシーケンス制御を行なうことにより種々の処
理に対応した制御を行なうことができる。即ち、ウェー
ハを拡散処理する場合やＣＶＤ処理する場合のように比
較的処理温度が高いとぎには同図（Ａ）、 （Ｂ）のよ
うなモード人、モードＢを行なう。モードＡは同図（Ａ
）のＳ、の工程でフォークをＰｔ ｔで移動してウェー
ハ治具を均熱部にセットした後、Ｓ、の工程でフォーク
をＰ、ｔで後退させる。ここで、内、外キャップにて石
英管を閉塞させた１ま拡散、ＣＶＤ等の熱処理を行なう
。
このとぎ、フォーク先端部は石英管の開口部近傍に位置
しているため熱の影響は少ない。そして、熱処理中にお
いては、処理熱によって石英製のウェーハ治具が石英管
との接触部（下端）において石英管内面に溶融接着する
おそれがあるが、これはタイマーにより作動されるフォ
ークの８３工程により防止できる。つｆす、タイマーの
作用によってフォークは適宜時間間隔をおいてＰ３位置
からＰ、位置１ｃまで前進し、Ｐ３位置においてフォー
ク先端部を短時間上方へ揺動位置させる。これにより、
ウェーハ治具はその間だけ持ち上げられて石英管の内面
から離されることＶＣ’ｒｊす、石英管内面との溶着か
う防止される。この作用の完了後は再びＰ３位置まで戻
る。このような作用を処理の間中、適宜間隔おいて繰返
し行なうことにより、ウエーノ・治具の溶着を確実に防
止することができる。そして、熱処理の完了後には、Ｓ
４の工程で再びフォーク先端部がウエーノ・治具下に進
入し−８，の工程でウェー・・治具を石英管外に取り出
すことになる。したがって、高温処理においてもウェー
ハ治具の溶着やフォークの熱変形を防止することかでき
、良好な熱処理を完成することができる。
しているため熱の影響は少ない。そして、熱処理中にお
いては、処理熱によって石英製のウェーハ治具が石英管
との接触部（下端）において石英管内面に溶融接着する
おそれがあるが、これはタイマーにより作動されるフォ
ークの８３工程により防止できる。つｆす、タイマーの
作用によってフォークは適宜時間間隔をおいてＰ３位置
からＰ、位置１ｃまで前進し、Ｐ３位置においてフォー
ク先端部を短時間上方へ揺動位置させる。これにより、
ウェーハ治具はその間だけ持ち上げられて石英管の内面
から離されることＶＣ’ｒｊす、石英管内面との溶着か
う防止される。この作用の完了後は再びＰ３位置まで戻
る。このような作用を処理の間中、適宜間隔おいて繰返
し行なうことにより、ウエーノ・治具の溶着を確実に防
止することができる。そして、熱処理の完了後には、Ｓ
４の工程で再びフォーク先端部がウエーノ・治具下に進
入し−８，の工程でウェー・・治具を石英管外に取り出
すことになる。したがって、高温処理においてもウェー
ハ治具の溶着やフォークの熱変形を防止することかでき
、良好な熱処理を完成することができる。
モードＢは同図（Ｂ）の工程Ｓ、、Ｓ、で示すようにフ
ォークにてウエーノ・治具を石英管内に進入セントした
後はフォークをＰ、の位置まで後退させ、つ１リフオー
クを石英管から完全に引き出した上で熱処理を行なう。
ォークにてウエーノ・治具を石英管内に進入セントした
後はフォークをＰ、の位置まで後退させ、つ１リフオー
クを石英管から完全に引き出した上で熱処理を行なう。
そして、熱処理の完了後にはＳ８．ｓ、の工程で再びフ
ォークを往復動させることによりウエーノ・治具を石英
管内から取り出てことができる。本モードは極めて高℃
・温度での熱処理ＶＣｖ効であり、かつ石英管の自動キ
ャップを併用した場合には更に有効である。
ォークを往復動させることによりウエーノ・治具を石英
管内から取り出てことができる。本モードは極めて高℃
・温度での熱処理ＶＣｖ効であり、かつ石英管の自動キ
ャップを併用した場合には更に有効である。
モードＣはアニール処理等の比較的低い温度での処理に
有効であり、工程Ｓ、。においてフォークをＰ２位置ま
で前進させてウエーノ・治具を石英管の均熱部に進入さ
せ、この状態を保ったままで熱処理を行ｒｘ ５゜そし
て、熱処理の完了後にはＳＩ。
有効であり、工程Ｓ、。においてフォークをＰ２位置ま
で前進させてウエーノ・治具を石英管の均熱部に進入さ
せ、この状態を保ったままで熱処理を行ｒｘ ５゜そし
て、熱処理の完了後にはＳＩ。
の工程にまりウェーハ治具を石英管から取り出てのであ
る。処理温度が低いためにフォークの熱変形が生じるこ
とがないのは言う筐でもない。
る。処理温度が低いためにフォークの熱変形が生じるこ
とがないのは言う筐でもない。
なお、前記各モードは予めマイクロコンビー−タにプロ
グラム入力させておぎ、選択スイッチを押すことにより
所望のモードを得られるようにしておけばよい。もっと
も、汎用機として構成する場合にはフォークの作動を手
操作できろように構成しておけばよく、例えば操作パネ
ルのスイッチパネルを第１０図のように構成丁ればよい
。この装置では、フォークの作動を制御するパネル下部
の作動スイッチ群４５は、セミオート、マニュアルモー
ドで使用でき、マニュアルモードの時はスイッチを押し
ている間だけ動作し、セミオートモードでは１度押すと
次のボジシ四ンソで自動的に移動して停止することＶＣ
なる。ｔｙ、−１前述したモードＡ、Ｂ、ＣはＡ、Ｂ、
Ｃの各スイッチ４６の選択により可能である。
グラム入力させておぎ、選択スイッチを押すことにより
所望のモードを得られるようにしておけばよい。もっと
も、汎用機として構成する場合にはフォークの作動を手
操作できろように構成しておけばよく、例えば操作パネ
ルのスイッチパネルを第１０図のように構成丁ればよい
。この装置では、フォークの作動を制御するパネル下部
の作動スイッチ群４５は、セミオート、マニュアルモー
ドで使用でき、マニュアルモードの時はスイッチを押し
ている間だけ動作し、セミオートモードでは１度押すと
次のボジシ四ンソで自動的に移動して停止することＶＣ
なる。ｔｙ、−１前述したモードＡ、Ｂ、ＣはＡ、Ｂ、
Ｃの各スイッチ４６の選択により可能である。
ここで本発明は前記実施例に限定されるものではなく、
フォークの前後動、上下動、上下揺動の各作動を行Ｔｘ
ウための具体的な装置は適宜の設計変更が可能である
。
フォークの前後動、上下動、上下揺動の各作動を行Ｔｘ
ウための具体的な装置は適宜の設計変更が可能である
。
以上のように本発明のソフトランディング装置は、ウェ
ーハ治具を搬送し得るフォークを、熱処理炉に対して少
なくとも上下１前後に移動できるよう構成すると共に、
フォーク先端部を上下に揺動してワエーノ・治具の上下
動を可能にしているので、ウェーハ治具の出し入れに際
して炉内面とウェーハ治具等とを無接触状態に保って塵
埃の発生を防止することかできる。また、熱処理中にお
いてフォークを間欠的に出入れしてウエーノ・治具を持
ち上げることができるので、ウエーノ・治具の熱による
溶着を防止することかできる−１でフォークの熱変形を
防止することができ、これにより高温条件下での熱処理
を極めて良好に行なうことができるのである。
ーハ治具を搬送し得るフォークを、熱処理炉に対して少
なくとも上下１前後に移動できるよう構成すると共に、
フォーク先端部を上下に揺動してワエーノ・治具の上下
動を可能にしているので、ウェーハ治具の出し入れに際
して炉内面とウェーハ治具等とを無接触状態に保って塵
埃の発生を防止することかできる。また、熱処理中にお
いてフォークを間欠的に出入れしてウエーノ・治具を持
ち上げることができるので、ウエーノ・治具の熱による
溶着を防止することかできる−１でフォークの熱変形を
防止することができ、これにより高温条件下での熱処理
を極めて良好に行なうことができるのである。
第１図は本発明装置の全体構成図、第２図は要部の部分
分解斜視図、第３図はフォークの上下揺動を説明するた
めの部分正面図、第４図よｒ〜（Ｃルミフォークの詳細
を示す図で同図（Ａ）は部分斜視図、同図（Ｂ）は側面
図、同図（Ｃ）は正面断面図、第５図（Ａ）〜（Ｇ）は
作用を説明する模式図、第６図は石英管内の断面図、第
７図（Ａ）〜（Ｇ）は作用を説明する模式図、第８図（
Ａ）〜（Ｃ）はボジシ目ンの説明図、第９図はモードＡ
、Ｂ、Ｃにおけるフォーク作動図、第１０図はスイッチ
パネルの配置図である。 １・・・ソフトランディング装置、２・・・石英管（処
理炉）、３・・・ウェーハ治具、４・・・ウェーハ、９
゜１０・支持台、１２・・・送り軸、１５・・・前後動
モータ、１８・・・可動台、２３・・・上下動モータ、
２７・・・滑動台、３２・・・上下揺動台、３４・・・
偏心カム、３７・・上下揺動モータ、３９・・・フォー
ク受は台、４トフォーク、４１ａ・・・フォーク先端部
、４３・・・内キ今ツブ、４４川外キヤツプ、Ｐ、〜Ｐ
、・・・ボジシ璽ン、ＳＩ〜Ｓ１１・・・フォークの工
程。 代理人 弁理士 薄 １）利 辛 第 ８ 図 ４／ユ 一カヨヨ 。 閣「＝＝さ ４７ ノ／工 第 ９ 図
分解斜視図、第３図はフォークの上下揺動を説明するた
めの部分正面図、第４図よｒ〜（Ｃルミフォークの詳細
を示す図で同図（Ａ）は部分斜視図、同図（Ｂ）は側面
図、同図（Ｃ）は正面断面図、第５図（Ａ）〜（Ｇ）は
作用を説明する模式図、第６図は石英管内の断面図、第
７図（Ａ）〜（Ｇ）は作用を説明する模式図、第８図（
Ａ）〜（Ｃ）はボジシ目ンの説明図、第９図はモードＡ
、Ｂ、Ｃにおけるフォーク作動図、第１０図はスイッチ
パネルの配置図である。 １・・・ソフトランディング装置、２・・・石英管（処
理炉）、３・・・ウェーハ治具、４・・・ウェーハ、９
゜１０・支持台、１２・・・送り軸、１５・・・前後動
モータ、１８・・・可動台、２３・・・上下動モータ、
２７・・・滑動台、３２・・・上下揺動台、３４・・・
偏心カム、３７・・上下揺動モータ、３９・・・フォー
ク受は台、４トフォーク、４１ａ・・・フォーク先端部
、４３・・・内キ今ツブ、４４川外キヤツプ、Ｐ、〜Ｐ
、・・・ボジシ璽ン、ＳＩ〜Ｓ１１・・・フォークの工
程。 代理人 弁理士 薄 １）利 辛 第 ８ 図 ４／ユ 一カヨヨ 。 閣「＝＝さ ４７ ノ／工 第 ９ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、熱処理炉の開口側に配置され、その先端部に被処理
物を載置しπフォークを前記熱処理炉内に前進して装入
し、かつ後退して取出丁よつｔｔｒ−シｅ装置であって
、前記フォークは熱処理炉に対して全体を少なくとも前
後動および上下できるように構成する−１、フォークの
先端部を上下に揺動できるように構成したことを特徴と
するソフトランディング装置。 ２、フ會−りは上下動および先端部の上下揺動を調節し
てフォークないし被処理物が熱処理炉の内面に干渉しな
い状態で前後動するよ５に構成してなる特許請求の範囲
第１項記載のソフトランディング装置。 ３、フォークは載置した被処理物がフォーク先端部の重
量変形に拘らず略水平状態となるように先端部の上下揺
動を調節できるように構成してなる特許請求の範囲第１
項または第２項記載のソフトランディング装置。
Priority Applications (12)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56158822A JPS5862489A (ja) | 1981-10-07 | 1981-10-07 | ソフトランデイング装置 |
| US06/418,252 US4468195A (en) | 1981-10-07 | 1982-09-15 | Thermal treatment apparatus |
| KR8204471A KR910001908B1 (en) | 1981-10-07 | 1982-10-05 | Semiconductor device |
| GB08228547A GB2109519B (en) | 1981-10-07 | 1982-10-06 | Thermal treatment apparatus and method |
| DE19823237047 DE3237047A1 (de) | 1981-10-07 | 1982-10-06 | Waermebehandlungs-einrichtung |
| GB08424276A GB2148471B (en) | 1981-10-07 | 1984-09-26 | Thermal treatment apparatus and method |
| SG37087A SG37087G (en) | 1981-10-07 | 1987-04-23 | Thermal treatment apparatus |
| SG371/87A SG37187G (en) | 1981-10-07 | 1987-04-23 | Thermal treatment apparatus and method |
| HK704/87A HK70487A (en) | 1981-10-07 | 1987-10-01 | Thermal treatment apparatus and method |
| HK714/87A HK71487A (en) | 1981-10-07 | 1987-10-01 | Thermal treatment apparatus |
| MY607/87A MY8700607A (en) | 1981-10-07 | 1987-12-30 | Thermal treatment apparatus and method |
| MY608/87A MY8700608A (en) | 1981-10-07 | 1987-12-30 | Thermal treatment apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56158822A JPS5862489A (ja) | 1981-10-07 | 1981-10-07 | ソフトランデイング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5862489A true JPS5862489A (ja) | 1983-04-13 |
| JPH0227592B2 JPH0227592B2 (ja) | 1990-06-18 |
Family
ID=15680128
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56158822A Granted JPS5862489A (ja) | 1981-10-07 | 1981-10-07 | ソフトランデイング装置 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4468195A (ja) |
| JP (1) | JPS5862489A (ja) |
| KR (1) | KR910001908B1 (ja) |
| DE (1) | DE3237047A1 (ja) |
| GB (1) | GB2109519B (ja) |
| HK (2) | HK70487A (ja) |
| MY (1) | MY8700607A (ja) |
| SG (1) | SG37187G (ja) |
Cited By (5)
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| JPH01110722A (ja) * | 1987-10-23 | 1989-04-27 | Tel Sagami Ltd | 半導体ウェアの搬入方法 |
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| JPH01230229A (ja) * | 1987-11-18 | 1989-09-13 | Tel Sagami Ltd | 熱処理装置 |
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| RU2768810C1 (ru) * | 2020-11-02 | 2022-03-24 | Общество с ограниченной ответственностью ТОРГОВЫЙ ДОМ "ЭЛЕКТРОМАШ" (ООО ТД "ЭЛЕКТРОМАШ") | Установка обжиговая с камерой дожига |
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- 1982-09-15 US US06/418,252 patent/US4468195A/en not_active Expired - Lifetime
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- 1982-10-06 DE DE19823237047 patent/DE3237047A1/de not_active Withdrawn
- 1982-10-06 GB GB08228547A patent/GB2109519B/en not_active Expired
-
1987
- 1987-04-23 SG SG371/87A patent/SG37187G/en unknown
- 1987-10-01 HK HK704/87A patent/HK70487A/xx not_active IP Right Cessation
- 1987-10-01 HK HK714/87A patent/HK71487A/xx not_active IP Right Cessation
- 1987-12-30 MY MY607/87A patent/MY8700607A/xx unknown
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