JPS6068643A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
- Publication number
- JPS6068643A JPS6068643A JP17628583A JP17628583A JPS6068643A JP S6068643 A JPS6068643 A JP S6068643A JP 17628583 A JP17628583 A JP 17628583A JP 17628583 A JP17628583 A JP 17628583A JP S6068643 A JPS6068643 A JP S6068643A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating film
- resistant insulating
- piezoelectric vibrator
- moisture
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明はベース基板上に発振用負荷容量と圧電振動素子
とを形成塔載した圧電振動子Ｉこ開するものである。
とを形成塔載した圧電振動子Ｉこ開するものである。
従来技術と問題点
従来の圧電振動子を用いて発振させる場合、その発振回
路には通常第１図ａに示すコルピッツ型発振回路が使用
される。このコルピッツ型発１辰回路は圧電振動子１と
トランジスタ２と２個の負荷容、！３．４とから構成さ
れ℃おり負荷容量として必ず２個の負荷容量３．４を必
要としている。これはまた変形して第１図ｂに示す如く
ａ図のトランジスタの代蚤月こインバータ回路５と抵抗
６とを用いたマイコン等のクロック発振回路となる。こ
れらの回路では部品点数を減らし、実装面積を小さくす
るために負荷容量を圧電振動子のベース基板に形成した
ものが用いられる。
路には通常第１図ａに示すコルピッツ型発振回路が使用
される。このコルピッツ型発１辰回路は圧電振動子１と
トランジスタ２と２個の負荷容、！３．４とから構成さ
れ℃おり負荷容量として必ず２個の負荷容量３．４を必
要としている。これはまた変形して第１図ｂに示す如く
ａ図のトランジスタの代蚤月こインバータ回路５と抵抗
６とを用いたマイコン等のクロック発振回路となる。こ
れらの回路では部品点数を減らし、実装面積を小さくす
るために負荷容量を圧電振動子のベース基板に形成した
ものが用いられる。
第２図は負荷容量を具備した圧電振動子の従来例を示す
図であり、ａは縦断面図、ｂｌｄａ図のｂ −ｂａにお
ける断面図である。同図において。
図であり、ａは縦断面図、ｂｌｄａ図のｂ −ｂａにお
ける断面図である。同図において。
７はベース基板、８は負荷容量の下部電極、９は誘電体
、１０．１１は負荷容量の上部電極、１２は圧電振動素
子＝１３．１４はその電極端子。
、１０．１１は負荷容量の上部電極、１２は圧電振動素
子＝１３．１４はその電極端子。
１５はキャップ、１６はスルーホールをそれぞれ示す。
この圧電振動子はベース基板７の上に電極８．１０．１
１ど誘電体９よりなる負荷容量が厚膜法により形成さし
、その１警こ圧電振動素子１２が塔載されて小形化され
ている。ところがこの場合、負荷容量の誘電体９が厚膜
であるためポーラスであり耐湿性が劣るという欠点があ
った。
１ど誘電体９よりなる負荷容量が厚膜法により形成さし
、その１警こ圧電振動素子１２が塔載されて小形化され
ている。ところがこの場合、負荷容量の誘電体９が厚膜
であるためポーラスであり耐湿性が劣るという欠点があ
った。
発明の目的
本発明は上記従来の欠点に鑑み、圧電素子と、耐湿性を
向上した負荷容量を同一ペース基板上に形成・塔載した
圧電振動子を提供することを目的とするものである。
向上した負荷容量を同一ペース基板上に形成・塔載した
圧電振動子を提供することを目的とするものである。
発明の構成
そしてこの目的は本発明によれば、ベース基板上に２個
の負荷容量を厚膜法により形成し、その上に圧電振動素
子を塔載した圧電振動子１こおいて。
の負荷容量を厚膜法により形成し、その上に圧電振動素
子を塔載した圧電振動子１こおいて。
前記負荷容量に耐湿性の絶縁膜を仮覆し定ことを特徴と
する圧電振動子を提供することによって達発明の実施例 以下１本発明実施例を図面によって詳述する。
する圧電振動子を提供することによって達発明の実施例 以下１本発明実施例を図面によって詳述する。
第３図は本発明による圧電振動子を説明するための図で
あり、＆は縦断面図、ｂはキャップ及び圧電振動素子を
除いた状態での平面図である０同図において、２０はペ
ース基板、２１は負荷容量の下部電極、２２は誘電体、
２３．２４は負荷容量の上部電極、２５耐湿性絶縁膜、
２６は圧電振動素子、２７．２８はその電極端子、２９
はキャップをそれぞれ示している。
あり、＆は縦断面図、ｂはキャップ及び圧電振動素子を
除いた状態での平面図である０同図において、２０はペ
ース基板、２１は負荷容量の下部電極、２２は誘電体、
２３．２４は負荷容量の上部電極、２５耐湿性絶縁膜、
２６は圧電振動素子、２７．２８はその電極端子、２９
はキャップをそれぞれ示している。
本実施例は第３図に示す如く、ペース基板２０の上）こ
下部電極２１１誘電体２２、上部電極２３゜２４よりな
る負荷容量を厚膜ペーストを印刷・焼成する厚膜法によ
り形成し、その上１こ耐湿性のある絶縁膜２５を被覆し
、その上【こ圧電振動素子２６を塔載し、キャップ２９
で封止したものである。なお耐湿性絶縁膜２５を形成す
るにけガラスペーストな印削後焼成するか、あるいはレ
ジストを印刷・硬化させる方法がある。なおまた耐湿性
絶縁膜２５を形成する場合【こけ負荷容量の上部電極２
３．２４１こ圧電振動素子の電極端子２７．２８を接続
できるよう９こ、その部分に第３図すの如く窓３０及び
３０′をあけておく必要がある。この窓３０．３０’は
第４図に示１−如くスリット状の窓３１．３２としても
良い。
下部電極２１１誘電体２２、上部電極２３゜２４よりな
る負荷容量を厚膜ペーストを印刷・焼成する厚膜法によ
り形成し、その上１こ耐湿性のある絶縁膜２５を被覆し
、その上【こ圧電振動素子２６を塔載し、キャップ２９
で封止したものである。なお耐湿性絶縁膜２５を形成す
るにけガラスペーストな印削後焼成するか、あるいはレ
ジストを印刷・硬化させる方法がある。なおまた耐湿性
絶縁膜２５を形成する場合【こけ負荷容量の上部電極２
３．２４１こ圧電振動素子の電極端子２７．２８を接続
できるよう９こ、その部分に第３図すの如く窓３０及び
３０′をあけておく必要がある。この窓３０．３０’は
第４図に示１−如くスリット状の窓３１．３２としても
良い。
このよう１こ形成された本実施例は負荷容量が耐湿性絶
縁膜２５で外気と路行さ肚るため、その耐湿性は向上す
る。
縁膜２５で外気と路行さ肚るため、その耐湿性は向上す
る。
発明の効果
以上、詳細に説明したように本発明の圧電振動子は負荷
容量を内蔵１２．その負荷容量に耐湿性の絶縁膜を被覆
することにより耐湿性の向上した小型の圧電振動子が提
供できるといった効果大なるものである。
容量を内蔵１２．その負荷容量に耐湿性の絶縁膜を被覆
することにより耐湿性の向上した小型の圧電振動子が提
供できるといった効果大なるものである。
第１図はコルピッツ回路及びマイコン等のクロック発振
回路を説明するための図、第２図は従来の負荷容量を内
蔵した圧電振動子を説明１−るための図、第３図及び第
４図は本発明１こよる圧電振動子を説明するための図で
ある。 図面において、２０はベース基板、２１は下部電極、２
２は誘電体、２３．２４は下部電極。 ２５は耐湿性絶縁膜、２６は圧電振動素子をそれぞれ示
１−０ 特許出願人 富士通株式会？１・ 特許出願代理人 非理± １￥ 木 朗 弁理士 西 釦 和 之 弁理士 内 ８１ 室 男 弁理士 山 口 昭 之 第１図 第２図 第３１￥１ 第４図 ｉＡ ′１２ ｚ４
回路を説明するための図、第２図は従来の負荷容量を内
蔵した圧電振動子を説明１−るための図、第３図及び第
４図は本発明１こよる圧電振動子を説明するための図で
ある。 図面において、２０はベース基板、２１は下部電極、２
２は誘電体、２３．２４は下部電極。 ２５は耐湿性絶縁膜、２６は圧電振動素子をそれぞれ示
１−０ 特許出願人 富士通株式会？１・ 特許出願代理人 非理± １￥ 木 朗 弁理士 西 釦 和 之 弁理士 内 ８１ 室 男 弁理士 山 口 昭 之 第１図 第２図 第３１￥１ 第４図 ｉＡ ′１２ ｚ４
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ベース基板上に２個の負荷容量な厚膜法により形成
し、その上に圧電振動素子を塔載した圧電振動子におい
て、前記負荷容量に耐湿性の絶縁膜を被覆したことを特
徴とする圧電振動子。 ２、前記耐湿性絶縁膜はガラスペーストを印刷後焼成し
たものであることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の圧電振動子。 ３、前記耐湿性絶縁膜はレジストを印刷後硬化させたも
のであることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
圧？４振動子。 ４、前記負荷容量【こ被覆した耐湿性絶縁膜には圧電振
動子の電極端子を負荷容量の電極に接続するための窓を
あけたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の圧
゛亀振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17628583A JPS6068643A (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | 圧電振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17628583A JPS6068643A (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | 圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6068643A true JPS6068643A (ja) | 1985-04-19 |
Family
ID=16010904
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17628583A Pending JPS6068643A (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | 圧電振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6068643A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60111114U (ja) * | 1983-12-27 | 1985-07-27 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミツク発振子 |
| JPS60111115U (ja) * | 1983-12-27 | 1985-07-27 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミツク発振子 |
| JPS6481404A (en) * | 1987-09-22 | 1989-03-27 | Tdk Corp | Piezoelectric compound component and its manufacture |
| JPH01179514A (ja) * | 1988-01-11 | 1989-07-17 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 発振回路の構成部品を内蔵した圧電共振子 |
| JPH01236715A (ja) * | 1988-03-16 | 1989-09-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | セラミック共振子 |
| JPH0486333U (ja) * | 1990-11-30 | 1992-07-27 | ||
| JPH067316U (ja) * | 1992-06-26 | 1994-01-28 | 京セラ株式会社 | 圧電共振子 |
| JP2006270548A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Tdk Corp | 圧電共振部品 |
| WO2016084417A1 (ja) * | 2014-11-28 | 2016-06-02 | 京セラ株式会社 | 圧電部品 |
-
1983
- 1983-09-26 JP JP17628583A patent/JPS6068643A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60111114U (ja) * | 1983-12-27 | 1985-07-27 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミツク発振子 |
| JPS60111115U (ja) * | 1983-12-27 | 1985-07-27 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミツク発振子 |
| JPH0314823Y2 (ja) * | 1983-12-27 | 1991-04-02 | ||
| JPH0328594Y2 (ja) * | 1983-12-27 | 1991-06-19 | ||
| JPS6481404A (en) * | 1987-09-22 | 1989-03-27 | Tdk Corp | Piezoelectric compound component and its manufacture |
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| JPH01236715A (ja) * | 1988-03-16 | 1989-09-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | セラミック共振子 |
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| JPH067316U (ja) * | 1992-06-26 | 1994-01-28 | 京セラ株式会社 | 圧電共振子 |
| JP2006270548A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Tdk Corp | 圧電共振部品 |
| WO2016084417A1 (ja) * | 2014-11-28 | 2016-06-02 | 京セラ株式会社 | 圧電部品 |
| JPWO2016084417A1 (ja) * | 2014-11-28 | 2017-08-10 | 京セラ株式会社 | 圧電部品 |
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